平面型碳化硅逆阻mosfet器件及其制备方法
阅读说明：本技术 平面型碳化硅逆阻mosfet器件及其制备方法 (Planar silicon carbide reverse-resistance MOSFET device and preparation method thereof ) 是由 张金平 王鹏蛟 陈伟 刘竞秀 张波 于 2020-12-29 设计创作，主要内容包括：本发明属于功率半导体器件技术领域,具体涉及一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件及其制备方法。本发明相对于传统的平面型碳化硅MOSFET,去掉了其N型碳化硅衬底,在器件源区一侧引入了第一N型碳化硅缓冲层,在器件漏区一侧引入了第二N型碳化硅缓冲层,并且在器件漏区一侧引入了结型肖特基势垒二极管结构。所述器件结构可以使平面型碳化硅MOSFET在获得大的正反向对称耐压的同时,具有较小的正向导通压降。此外,为了进一步提升器件耐压以及导通特性,给出了几种相应的衍生结构。(The invention belongs to the technical field of power semiconductor devices, and particularly relates to a planar silicon carbide reverse-resistance MOSFET device and a preparation method thereof. Compared with the traditional planar silicon carbide MOSFET, the N-type silicon carbide substrate of the planar silicon carbide MOSFET is removed, the first N-type silicon carbide buffer layer is introduced to one side of the source region of the device, the second N-type silicon carbide buffer layer is introduced to one side of the drain region of the device, and the junction Schottky barrier diode structure is introduced to one side of the drain region of the device. The device structure can enable the planar silicon carbide MOSFET to obtain large forward and reverse symmetrical voltage resistance and simultaneously have small forward conduction voltage drop. In addition, in order to further improve the voltage resistance and the conduction characteristic of the device, a plurality of corresponding derivative structures are provided.)
技术领域
本发明属于功率半导体器件技术领域，具体涉及一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件及其制备方法。
背景技术
逆变器是将直流电转换为交流电的器件，其应用场景比较广泛，比如光伏逆变器、不间断电源、轨道交通和无轨电车、变频器等。多电平逆变器具有低损耗、低噪声以及输出波形接近正弦波等优良特性，因此其应用场景更加广阔。矩阵逆变器是一种新型的电力转换器，它可以直接实现交流-交流的转换。与传统的交流-直流-交流变频方式相比，矩阵逆变器不需要直流电容进行中间储能，提高了整个系统的可靠性，并且降低了成本。
具有正反向导通能力和阻断能力的双向开关是多电平逆变器和矩阵逆变器的核心器件。逆阻型绝缘栅双极型晶体管(RB-IGBT)是一种具有双向阻断能力的新型IGBT，将两个RB-IGBT反向并联便可以构成一个双向开关。传统的双向开关通常由两个普通IGBT和两个快恢复二极管构成，与之相比，由RB-IGBT构成的双向开关元件数目更少，导通损耗更低。常规的RB-IGBT通常采用非穿通型(NPT)结构，这种结构的IGBT漂移区较长，因此电流拖尾严重，关断损耗较大。如何降低双向开关的功率损耗是目前的研究热点之一。
碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表之一，具有禁带宽度大、电子饱和漂移速度高、热导率高等优良特性。与相同耐压等级的IGBT相比，碳化硅MOSFET拥有更低的导通压降和关断损耗。因此，如果碳化硅MOSFET能够实现双向阻断，其性能相比RB-IGBT会优越很多。图1是传统的平面型碳化硅MOSFET，该结构具备较大的正向阻断能力和较低的导通压降。然而，该结构并不具备反向阻断能力。
发明内容
本发明的目的是为了解决如何让平面型碳化硅MOSFET具备大的正反向对称耐压，以及如何降低其导通压降的问题。传统的平面型碳化硅MOSFET如图1所示，并不具备反向阻断能力。本发明提出了两种技术方案。技术方案1如图2所示，本技术方案中去掉了传统的平面型碳化硅MOSFET结构中的碳化硅衬底，在源区一侧引入了第一N型碳化硅缓冲层，在漏区一侧引入了第二N型碳化硅缓冲层，并且在漏区一侧引入结型势垒肖特基二极管结构(JBS)。该器件结构使平面型碳化硅MOSFET具备了反向阻断能力，同时获得较低的正向导通压降。技术方案2如图3所示，技术方案2中也去掉了传统的平面型碳化硅MOSFET结构中的碳化硅衬底，在源区一侧引入了第一N型碳化硅缓冲层，在漏区一侧引入了第二N型碳化硅缓冲层，与技术方案1不同的地方是其器件背部结构，在本技术方案中，第二N型碳化硅缓冲层与漏极金属之间形成肖特基接触，P型浮空区并不与漏极金属之间形成接触。本技术方案同样使平面型碳化硅MOSFET具备了反向阻断能力，同时获得较低的正向导通压降。此外，本发明还提供了两种技术方案中器件的制备方法，制作工艺简单可控，与现有工艺兼容性强。
为实现上述发明目的，本发明技术方案如下：
一、方案一
一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件，其元胞结构包括：从下至上依次层叠设置的背部漏极金属1、第二N型碳化硅缓冲层21、N型碳化硅外延层3、第一N型碳化硅缓冲层11；所述第一N型碳化硅缓冲层11中具有第一P型碳化硅基区4和第二P型碳化硅基区41；第一N型碳化硅缓冲层11的下部与N型碳化硅外延层3相接，第一N型碳化硅缓冲层11的上部将第一P型碳化硅基区4和第二P型碳化硅基区41分隔开；所述第一P型碳化硅基区4中具有第一P型碳化硅源区5和第一N型碳化硅源区7；所述第一P型碳化硅源区5与第一N型碳化硅源区7左右相接；所述第二P型碳化硅基区41中具有第二P型碳化硅源区51和第二N型碳化硅源区71；所述第二P型碳化硅源区51和第二N型碳化硅源区71左右相接；所述第一P型碳化硅基区4、第二P型碳化硅基区41及第一N型碳化硅缓冲层11上方具有栅介质层10；所述栅介质层10上方具有栅极9；所述第一源极金属6，与第一P型碳化硅源区5及部分第一N型碳化硅源区7上下相接，并形成欧姆接触；所述第二源极金属61，与第二P型碳化硅源区51及部分第二N型碳化硅源区71上下相接，并形成欧姆接触；
第二N型碳化硅缓冲层21中具有不相邻的P型区域12；P型区域12的下方与背部漏极金属1之间欧姆接触13；第二N型碳化硅缓冲层21与背部漏极金属1之间形成肖特基接触14。
作为优选方式，用P柱31和N柱32替代了N型碳化硅外延层3。
作为优选方式，所述第一N型碳化硅缓冲层11正下方、左下方以及右下方设置有第一P型埋层15。
作为优选方式，所述第一N型碳化硅缓冲层11内部设置有第二P型埋层18。
作为优选方式，所有碳化硅材料替换为氮化镓、氧化镓、氮化硼、硅材料。
本发明还提供一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件的制备方法，包括以下制备步骤：
步骤1：采用外延工艺，在N型碳化硅衬底2表面制得第二N型碳化硅缓冲层21；
步骤2：采用外延工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21表面制得N型碳化硅外延层3；
步骤3：采用外延工艺，在N型碳化硅外延层3表面制得第一N型碳化硅缓冲层11；
步骤4：采用光刻和离子注入工艺，在第一N型碳化硅缓冲层11的一端注入P型半导体杂质形成第一P型碳化硅基区4，在第一N型碳化硅缓冲层的另一端注入P型半导体杂质形成第二P型碳化硅基区41；
步骤5：采用光刻和离子注入工艺，在第一P型碳化硅基区4中注入P型半导体杂质形成第一P型源区5，注入N型半导体杂质形成第一N型源区7。在第二P型基区41中注入P型半导体杂质形成第二P型源区51，注入N型半导体杂质形成第二N型源区71。
步骤6：采用热氧化工艺，在第一P型碳化硅基区4、第二P型碳化硅基区41及第一N型碳化硅缓冲层11表面制得栅介质层10；
步骤7：采用淀积及刻蚀工艺，在栅介质层10表面制得栅极9；
步骤8：翻转硅片，采用研磨工艺去掉N型碳化硅衬底2；
步骤9：采用光刻和离子注入工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21中制得不相邻的P型区域12；
步骤10：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得第一源极金属6及第二源极金属61；
步骤11：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得背部漏极金属1，并且，在背部漏极金属1与第二N型碳化硅缓冲层21之间形成肖特基接触，在背部漏极金属1与P型区域12之间形成欧姆接触。
二方案二
一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件，其元胞结构包括：从下至上依次层叠设置的背部漏极金属1、第二N型碳化硅缓冲层21、N型碳化硅外延层3、第一N型碳化硅缓冲层11；所述第一N型碳化硅缓冲层11中具有第一P型碳化硅基区4和第二P型碳化硅基区41；第一N型碳化硅缓冲层11的下部与N型碳化硅外延层3相接，第一N型碳化硅缓冲层11的上部将第一P型碳化硅基区4和第二P型碳化硅基区41分隔开；所述第一P型碳化硅基区4中具有第一P型碳化硅源区5和第一N型碳化硅源区7；所述第一P型碳化硅源区5与第一N型碳化硅源区7左右相接；所述第二P型碳化硅基区41中具有第二P型碳化硅源区51和第二N型碳化硅源区71；所述第二P型碳化硅源区51和第二N型碳化硅源区71左右相接；所述第一P型碳化硅基区4、第二P型碳化硅基区41及第一N型碳化硅缓冲层11上方具有栅介质层10；所述栅介质层10上方具有栅极9；所述第一源极金属6，与第一P型碳化硅源区5及部分第一N型碳化硅源区7上下相接，并形成欧姆接触；所述第二源极金属61，与第二P型碳化硅源区51及部分第二N型碳化硅源区71上下相接，并形成欧姆接触；
第二N型碳化硅缓冲层21中具有不相连的P型浮空区17；P型浮空区17的下方与背部漏极金属1之间没有接触，在第二N型碳化硅缓冲层21中完全浮空；第二N型碳化硅缓冲层21与背部漏极金属1之间形成肖特基接触。
作为优选方式，用P柱31和N柱32替代了N型碳化硅外延层3。
作为优选方式，所述第一N型碳化硅缓冲层11正下方、左下方以及右下方设置有第一P型埋层15。
作为优选方式，所述第一N型碳化硅缓冲层11内部设置有第二P型埋层18。
作为优选方式，所有碳化硅材料替换为氮化镓、氧化镓、氮化硼、硅材料。
本发明还提供一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件的制备方法，包括以下制备步骤：
步骤1：采用外延工艺，在N型碳化硅衬底2表面制得第二N型碳化硅缓冲层21；
步骤2：采用外延工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21表面制得N型碳化硅外延层3；
步骤3：采用外延工艺，在N型碳化硅外延层3表面制得第一N型碳化硅缓冲层11；
步骤4：采用光刻和离子注入工艺，在第一N型碳化硅缓冲层11的一端注入P型半导体杂质形成第一P型碳化硅基区4，在第一N型碳化硅缓冲层的另一端注入P型半导体杂质形成第二P型碳化硅基区41；
步骤5：采用光刻和离子注入工艺，在第一P型碳化硅基区4中注入P型半导体杂质形成第一P型源区5，注入N型半导体杂质形成第一N型源区7。在第二P型基区41中注入P型半导体杂质形成第二P型源区51，注入N型半导体杂质形成第二N型源区71。
步骤6：采用热氧化工艺，在第一P型碳化硅基区4、第二P型碳化硅基区41及第一N型碳化硅缓冲层11表面制得栅介质层10；
步骤7：采用淀积及刻蚀工艺，在栅介质层10表面制得栅极9；
步骤8：翻转硅片，采用研磨工艺去掉N型碳化硅衬底2；
步骤9：采用光刻和离子注入工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21中制得不相邻的P型浮空区17；
步骤10：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得第一源极金属6及第二源极金属61；
步骤11：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得背部漏极金属1，并且，在背部漏极金属1与第二N型碳化硅缓冲层21之间形成肖特基接触。
进一步的，为了简化描述，上述器件结构和制备方法是以N沟道MOSFET为例来说明，但本发明同样适用于P沟道MOSFET器件的制备。
本发明的工作原理：
传统的平面型碳化硅MOSFET如图1所示。在正向工作时，在漏极施加正电压，源极施加负电压，通过在栅极施加适当的正向偏压使器件开启，需要关断时则撤去栅极的正向偏压，由P型基区和N型漂移区形成的反向PN结来承受耐压，耗尽区向衬底方向扩展，由于N型衬底具有很高的掺杂浓度，因此阻止了耗尽区的进一步扩展，防止了器件的穿通，保证了正向耐压。然而在反向关断时，传统的平面型碳化硅MOSFET无法形成耐压区，因此不具备反向耐压能力。
本发明有方案一和方案二两种技术方案，两种技术方案的基本原理是类似的，因此这里只阐述技术方案一的工作原理。方案一中去掉了传统的平面型碳化硅MOSFET结构中的碳化硅衬底，在源区一侧引入了第一N型碳化硅缓冲层，在漏区一侧引入了第二N型碳化硅缓冲层，并且在漏区一侧引入结型势垒肖特基二极管结构(JBS)，从而在反向关断时可以产生耐压区，使碳化硅MOSFET具备了反向阻断能力，并且可以获得一个较低的正向导通压降。需要注意的是，在本发明中，引入的第一N型碳化硅缓冲层和第二N型碳化硅缓冲层浓度高于漂移区浓度，但同时又低于传统平面型碳化硅MOSFET的衬底浓度，浓度范围为1015cm-3至1016cm-3量级，从而保证器件能够获得较大的对称耐压。
当该MOSFET器件结构正常导通的时候，由于肖特基势垒低于PN结势垒，电流会率先通过肖特基势垒的导电沟道流动，器件为多子导电，因此正向工作时，JBS结构等效于SBD结构，由于肖特基势垒比欧姆接触的势垒低，因此相比传统的平面型碳化硅MOSFET，该器件结构可以得到更低的MOSFET漏接触电阻，同时，由于引入的第一N型碳化硅缓冲层和第二N型碳化硅缓冲层浓度高于漂移区浓度，因此器件的导通压降会进一步降低。当器件通过大的浪涌电流时，由于P型碳化硅/N型碳化硅PN结上方大的横向电流在N型碳化硅中产生的大的压降，背部P型碳化硅/N型碳化硅PN结导通，背部P型碳化硅向N型碳化硅中注入大量空穴，形成局部电导调制，降低了N型碳化硅中的导通电阻，显著降低了器件的损耗，提升了器件的通流能力，因而提升了器件的抗浪涌电流能力，使器件具有高的浪涌电流承受能力。
在正向耐压时,首先由P型基区和第一N型碳化硅缓冲层形成的PN结进行耐压，由于引入的第一N型碳化硅缓冲层浓度不是很高，因此耗尽区可以穿过第一N型碳化硅缓冲层，继续向漂移区下方扩展，当耗尽区到达第二N型碳化硅缓冲层时，由于第二N型碳化硅缓冲层浓度高于漂移区浓度，因此可以阻止耗尽区的扩展，从而保证了较大的正向耐压。在反向耐压时，相邻P型区域与漂移区之间处于反偏状态，随着反偏电压的增大，彼此耗尽区会发生交叠，将肖特基界面包裹其中，使其免受高场影响，从而显著降低漏电流，而耗尽区则向源极一侧的漂移区进行扩展，当器件到达第一N型碳化硅缓冲层时，由于第一N型碳化硅缓冲层浓度高于漂移区浓度，因此耗尽区停止扩展，防止了器件的穿通，保证了器件具备较大的反向耐压。因此，该器件结构具备较大的正反向对称耐压，同时具备较小的正向导通压降。
本发明的有益效果表现在：
双向开关是多电平逆变器和矩阵逆变器的核心器件。将两个RB-IGBT反向并联可以构成一个双向开关，常规的硅基RB-IGBT通常采用非穿通型(NPT)结构，这种结构的IGBT漂移区较长，因此电流拖尾严重，关断损耗较大。与相同耐压等级的硅基IGBT相比，碳化硅MOSFET拥有更低的导通压降和关断损耗。本发明为一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件，该器件结构具备较大的正反向对称耐压，同时具备较小的正向导通压降，相比于两个硅基RB-IGBT形成的双向开关，由两个逆阻型碳化硅MOSFET形成的双向开关拥有更低的导通压降和更高的开关速度，从而有效降低双向开关在多电平逆变器和矩阵逆变器应用中的功率损耗。
附图说明
图1是传统的平面型碳化硅MOSFET的元胞结构示意图；
图2是本发明实施例1的元胞结构示意图；
图3是本发明实施例2的元胞结构示意图；
图4是本发明实施例3的元胞示意图；
图5是本发明实施例4的元胞结构示意图；
图6是本发明实施例5的元胞结构示意图；
图7是本发明实施例6的元胞结构示意图；
图8是本发明实施例7的元胞结构示意图；
图9是本发明实施例8的元胞结构示意图；
图10是本发明实施例9的元胞结构示意图；
图11是本发明实施例1制备工艺中通过外延工艺在N型碳化硅衬底2表面制得第二N型碳化硅缓冲层21后的结构示意图；
图12是本发明实施例1制备工艺中通过外延工艺在第二N型碳化硅缓冲层21表面制得N型碳化硅外延层3后的结构示意图；
图13是本发明实施例1制备工艺中通过外延工艺在N型碳化硅外延层3上外延形成第一N型碳化硅缓冲层11后的结构示意图；
图14是本发明实施例1制备工艺中通过光刻和离子注入工艺，在第一N型碳化硅缓冲层11内形成第一P型碳化硅基区基区4和第二P型碳化硅基区41后的结构示意图；
图15是本发明实施例1制备工艺中通过光刻和离子注入在第一P型碳化硅基区4内形成第一P型源区5和第一N型源区7，第二P型碳化硅基区41内形成第二P型源区51和第二N型源区71后的结构示意图；
图16是本发明实施例1制备工艺中通过热氧化工艺形成栅介质层10后的结构示意图；
图17是本发明实施例1制备工艺中通过淀积及刻蚀工艺，在栅介质层10表面制得栅极9后的结构示意图；
图18是本发明实施例1制备工艺中翻转硅片，采用研磨工艺去掉N型碳化硅衬底2后的结构示意图；
图19是本发明实施例1制备工艺中通过光刻和离子注入工艺在第二N型碳化硅缓冲层21中制得P型区域12后的结构示意图；
图20是本发明实施例1制备工艺中通过淀积工艺制得第一源极金属6和第二源极金属61后的结构示意图；
图21是本发明实施例1制备工艺中通过淀积工艺形成背部漏极金属1，并且，在背部漏极金属1与第二N型碳化硅缓冲层21之间形成肖特基接触，在背部漏极金属与P型区域12之间形成欧姆接触后的结构示意图；
图1至图10中，1为背部漏极金属，2为N型碳化硅衬底，21为第二N型碳化硅缓冲层，3为N型碳化硅外延层，31为P柱，32为N柱，4为第一P型碳化硅基区，41为第二P型碳化硅基区，5为第一P型源区，51为第二P型源区，6为第一源极金属，61为第二源极金属，7为第一N型源区，71为第二N型源区，9为栅极，10为栅介质层，11为第一N型碳化硅缓冲层，12为P型区域，13为欧姆接触，14为肖特基接触，15为第一P型埋层，17为P型浮空区，18为第二P型埋层。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
实施例1：
一种逆阻型碳化硅MOSFET，其元胞结构如图2所示，包括：从下至上依次层叠设置的背部漏极金属1、第二N型碳化硅缓冲层21、N型碳化硅外延层3、第一N型碳化硅缓冲层11；所述第一N型碳化硅缓冲层11中具有第一P型碳化硅基区4和第二P型碳化硅基区41；第一N型碳化硅缓冲层11的下部与N型碳化硅外延层3相接，第一N型碳化硅缓冲层11的上部将第一P型碳化硅基区4和第二P型碳化硅基区41分隔开；所述第一P型碳化硅基区4中具有第一P型碳化硅源区5和第一N型碳化硅源区7；所述第一P型碳化硅源区5与第一N型碳化硅源区7左右相接；所述第二P型碳化硅基区41中具有第二P型碳化硅源区51和第二N型碳化硅源区71；所述第二P型碳化硅源区51和第二N型碳化硅源区71左右相接；所述第一P型碳化硅基区4、第二P型碳化硅基区41及第一N型碳化硅缓冲层11上方具有栅介质层10；所述栅介质层10上方具有栅极9；所述第一源极金属6，与第一P型碳化硅源区5及部分第一N型碳化硅源区7上下相接，并形成欧姆接触；所述第二源极金属61，与第二P型碳化硅源区51及部分第二N型碳化硅源区71上下相接，并形成欧姆接触；
第二N型碳化硅缓冲层21中具有不相邻的P型区域12；P型区域12的下方与背部漏极金属1之间欧姆接触13；第二N型碳化硅缓冲层21与背部漏极金属1之间形成肖特基接触14。
优选的，所有碳化硅材料替换为氮化镓、氧化镓、氮化硼、硅材料。
本实施例还提供一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件的制备方法，包括以下制备步骤：
步骤1：采用外延工艺，在N型碳化硅衬底2表面制得第二N型碳化硅缓冲层21；
步骤2：采用外延工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21表面制得N型碳化硅外延层3；
步骤3：采用外延工艺，在N型碳化硅外延层3表面制得第一N型碳化硅缓冲层11；
步骤4：采用光刻和离子注入工艺，在第一N型碳化硅缓冲层11的一端注入P型半导体杂质形成第一P型碳化硅基区4，在第一N型碳化硅缓冲层的另一端注入P型半导体杂质形成第二P型碳化硅基区41；
步骤5：采用光刻和离子注入工艺，在第一P型碳化硅基区4中注入P型半导体杂质形成第一P型源区5，注入N型半导体杂质形成第一N型源区7。在第二P型基区41中注入P型半导体杂质形成第二P型源区51，注入N型半导体杂质形成第二N型源区71。
步骤6：采用热氧化工艺，在第一P型碳化硅基区4、第二P型碳化硅基区41及第一N型碳化硅缓冲层11表面制得栅介质层10；
步骤7：采用淀积及刻蚀工艺，在栅介质层10表面制得栅极9；
步骤8：翻转硅片，采用研磨工艺去掉N型碳化硅衬底2；
步骤9：采用光刻和离子注入工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21中制得不相邻的P型区域12；
步骤10：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得第一源极金属6及第二源极金属61；
步骤11：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得背部漏极金属1，并且，在背部漏极金属1与第二N型碳化硅缓冲层21之间形成肖特基接触，在背部漏极金属1与P型区域12之间形成欧姆接触。
实施例2：
一种逆阻型碳化硅MOSFET，其元胞结构如图3所示，本实施例和实施例1的区别在于：第二N型碳化硅缓冲层21中具有不相连的P型浮空区17；P型浮空区17的下方与背部漏极金属1之间没有接触，在第二N型碳化硅缓冲层21中完全浮空；第二N型碳化硅缓冲层21与背部漏极金属1之间形成肖特基接触。
优选的，所有碳化硅材料替换为氮化镓、氧化镓、氮化硼、硅材料。
本实施例还提供一种平面型碳化硅逆阻MOSFET器件的制备方法，包括以下制备步骤：
步骤1：采用外延工艺，在N型碳化硅衬底2表面制得第二N型碳化硅缓冲层21；
步骤2：采用外延工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21表面制得N型碳化硅外延层3；
步骤3：采用外延工艺，在N型碳化硅外延层3表面制得第一N型碳化硅缓冲层11；
步骤4：采用光刻和离子注入工艺，在第一N型碳化硅缓冲层11的一端注入P型半导体杂质形成第一P型碳化硅基区4，在第一N型碳化硅缓冲层的另一端注入P型半导体杂质形成第二P型碳化硅基区41；
步骤5：采用光刻和离子注入工艺，在第一P型碳化硅基区4中注入P型半导体杂质形成第一P型源区5，注入N型半导体杂质形成第一N型源区7。在第二P型基区41中注入P型半导体杂质形成第二P型源区51，注入N型半导体杂质形成第二N型源区71。
步骤6：采用热氧化工艺，在第一P型碳化硅基区4、第二P型碳化硅基区41及第一N型碳化硅缓冲层11表面制得栅介质层10；
步骤7：采用淀积及刻蚀工艺，在栅介质层10表面制得栅极9；
步骤8：翻转硅片，采用研磨工艺去掉N型碳化硅衬底2；
步骤9：采用光刻和离子注入工艺，在第二N型碳化硅缓冲层21中制得不相邻的P型浮空区17；
步骤10：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得第一源极金属6及第二源极金属61；
步骤11：采用蒸发或溅射工艺以及刻蚀工艺，制得背部漏极金属1，并且，在背部漏极金属1与第二N型碳化硅缓冲层21之间形成肖特基接触。
实施例3：
实施例1的一种衍生结构，其元胞结构如图4所示。本实施例将实施例1中的N型碳化硅外延层3替换为P柱31和N柱32，其余结构均与实施例1相同。
本实施例中通过引入P柱31和N柱32形成了超结MOSFET结构。具体原理是：当P柱31和N柱32达到电荷平衡时，整个漂移区对外不显电性可近似为中性，这使得漂移区浓度和耐压相对独立。本实施例可以保证在相同耐压等级下有效降低器件的导通压降，提升器件性能。
实施例4：
实施例1的一种衍生结构，其元胞结构如图5所示。本实施例在实施例1中的第一N型碳化硅缓冲层11的正下方、左下方和右下方引入了第一P型埋层15，其余结构与实施例1相同。
本实施例中通过引入P型埋层15，提升了器件的正向耐压能力。具体原理是：在正向耐压时，起始于第一N型碳化硅缓冲层11的电力线会有一部分终止于P型埋层15，即降低了P型基区5与第一N型碳化硅缓冲层11构成的PN结处的电场，从而增大了正向耐压。
实施例5：
实施例1的一种衍生结构，其元胞结构如图6所示。本实施例是在实施例4基础上进行的改进，在第一N型碳化硅缓冲层11内部引入了第二P型埋层18，其余结构均与实施例4相同。
本实施例通过在第一N型碳化硅缓冲层11内部引入P型埋层18，辅助耗尽了第一N型碳化硅缓冲层11，进一步降低了P型基区5和第一N型碳化硅缓冲层11构成的PN结处的峰值电场，从而进一步提升了正向耐压。
实施例6：
实施例2的一种衍生结构，其元胞结构如图7所示。本实施例将实施例2中的N型碳化硅外延层3替换为P柱31和N柱32，其余结构均与实施例2相同。
本实施例中通过引入P柱31和N柱32形成了超结MOSFET结构。具体原理是：当P柱31和N柱32达到电荷平衡时，整个漂移区对外不显电性可近似为中性，这使得漂移区浓度和耐压相对独立。本实施例可以保证在相同耐压等级下有效降低器件的导通压降，提升器件性能。
实施例7：
实施例2的一种衍生结构，其元胞结构如图8所示。本实施例在实施例2中的第一N型碳化硅缓冲层11的正下方、左下方和右下方引入了第一P型埋层15，其余结构与实施例2相同。
本实施例中通过引入第一P型埋层15，提升了器件的正向耐压能力。具体原理是：在正向耐压时，起始于第一N型碳化硅缓冲层11的电力线会有一部分终止于第一P型埋层15，即降低了第一P型基区5与第一N型碳化硅缓冲层11构成的PN结处的电场，从而增大了正向耐压。
实施例8：
实施例2的一种衍生结构，其元胞结构如图9所示。本实施例是在实施例7基础上进行的改进，在第一N型碳化硅缓冲层11内部引入了第二P型埋层18，其余结构均与实施例7相同。
本实施例通过在第一N型碳化硅缓冲层11内部引入第二P型埋层18，辅助耗尽了第一N型碳化硅缓冲层11，进一步降低了第一P型基区5和第一N型碳化硅缓冲层11构成的PN结处的峰值电场，从而进一步提升了正向耐压。
实施例9：
实施例2的一种衍生结构，其元胞结构如图10所示。本实施例是在实施例8基础上进行的改进。本实施例中背部漏极金属1和第二N型碳化硅缓冲层21之间形成不同类型的金半接触，即在P型浮空区17正下方的金半接触为肖特基接触，如图中14所示，而在背部漏极金属1和第二N型碳化硅缓冲层21的界面的其他区域为欧姆接触，如图中13所示。
具体原理是：在正向导通时，电流通过势垒更低的肖特基接触流动，从而获得较小的正向导通压降。在反向耐压时，P型浮空区17与第二N型碳化硅缓冲层21之间处于反偏状态，随着反向偏压的不断增大，二者PN结处的电势差也不断增大，因此，耗尽区将会不断拓展直至交叠从而将肖特基界面包裹，显著抑制了肖特基势垒降低，大大降低了漏电流。在本实施例中，由于欧姆接触的势垒比肖特基势垒高，因此通过P型浮空区间隙的漏电流会进一步减小，进一步提升器件耐压能力。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
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