一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备
阅读说明：本技术 一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备 (Flashover chemical shore protection agent, production method and equipment ) 是由 万小宁 于 2021-07-22 设计创作，主要内容包括：本发明涉及半导体制造领域,具体涉及一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备,底壳与釜体转动连接,进气阀与釜体连通,进气阀和氮气供应装置连接通入氮气进行保护；进料壳的第一进料口放入甲苯,第二进料口放入需要萃取的2-巯基苯骈噻唑原料,混合壳与进料壳连通,进入的甲苯和原料进入混合壳中,加压泵与混合壳连通,可以向混合壳中冲入氮气以提高气压,喷嘴与混合壳连通喷出混合后的液体,第二单向阀设置在混合壳和进料壳连接处,过滤网与底壳可拆卸连接,第一出料管穿过底壳,原料通过第一出料管排出,通过过滤网的甲苯物质通过第二出料管排出,使得加工过程在封闭环境中完成,避免有害物质外泄。(The invention relates to the field of semiconductor manufacturing, in particular to a flash etching liquid medicine bank protection agent, a production method and equipment, wherein a bottom shell is rotationally connected with a kettle body, an air inlet valve is communicated with the kettle body, and the air inlet valve is connected with a nitrogen supply device and is filled with nitrogen for protection; toluene is put into to the first feed inlet of feeding shell, the 2-mercapto benzothiazole raw materials that needs the extraction is put into to the second feed inlet, mix shell and feeding shell intercommunication, toluene and the raw materials that get into mix in the shell, force (forcing) pump and mixing shell intercommunication, can dash into nitrogen gas in order to improve atmospheric pressure in mixing the shell, the liquid after nozzle and mixing shell intercommunication blowout mix, the second check valve sets up at mixing shell and feeding shell junction, the filter screen can be dismantled with the drain pan and be connected, first discharging pipe passes the drain pan, the raw materials is discharged through first discharging pipe, toluene material through the filter screen passes through the second discharging pipe and discharges, make the course of working accomplish in the closed environment, avoid harmful substance to leak outward.)
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备。
背景技术
但是对于超精细线路成型工艺，目前MSAP工艺中常见的酸铜或碱铜已无法达到精度的要求，即便采用价格昂贵的真空蚀刻设备，线路品质可产品可靠性依然无法得到有效保证，当前采用真空蚀刻设备上酸铜体系制备精细线路的工艺，最低的有效蚀刻线宽线距通常为45μm/45μm左右。
蚀刻药水中一般需要添加护岸剂，也称为缓蚀剂，可以防止或减缓材料腐蚀，现有的护岸剂使用效果不好，并且在提纯的过程中溶剂容易挥发到空气中，影响操作人员健康。
发明内容
本发明的目的在于提供一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备，旨在解决现有制造过程溶剂容易挥发到空气中影响操作人员健康的问题。
为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种闪蚀药水护岸剂，所述闪蚀药水护岸剂为2-巯基苯骈噻唑。
第二方面，本发明提供一种闪蚀药水护岸剂的生产设备，包括：外壳、进料组件、搅拌组件和过滤组件，所述外壳包括釜体、进气阀和底壳，所述釜体具有第一凹槽，所述底壳与所述釜体转动连接，并覆盖所述第一凹槽，所述进气阀与所述釜体连通，并位于所述釜体的一侧，所述进料组件包括进料壳、混合壳、加压泵、喷嘴和第二单向阀，所述进料壳具有第一进料口和第二进料口，所述进料壳与所述釜体固定连接，并位于所述釜体的一侧，所述混合壳与所述进料壳连通，并贯穿所述釜体，所述加压泵与所述混合壳连通，并位于所述釜体外侧，所述喷嘴与所述混合壳连通，并位于所述釜体内，所述第二单向阀设置在所述混合壳和所述进料壳连接处，所述过滤组件包括过滤网和第二出料管，所述过滤网具有第一出料管，所述过滤网与所述底壳可拆卸连接，所述第一出料管穿过所述底壳，所述第二出料管与所述底壳连通，并位于所述底壳的一侧，所述搅拌组件设置在所述釜体内。
其中，所述外壳还包括第一密封圈，所述第一密封圈与所述底壳固定连接，并位于所述底壳和所述釜体之间。
通过所述第一密封圈可以对所述底壳和所述釜体之间的缝隙进行密封，使得密封性更好，避免内部的生产物质泄漏。
其中，所述外壳还包括支架和防滑垫，所述支架与所述釜体固定连接，并位于所述底壳的一侧，所述防滑垫与所述支架固定连接，并位于所述支架远离所述釜体的一侧。
通过所述支架可以将所述釜体抬离地面，在所述支架的底部设置所述防滑垫可以增加与地面之间的摩擦力，使得放置更加稳定。
其中，所述进料组件还包括从动叶片和主动叶片，所述从动叶片与所述进料壳转动连接，并位于所述进料壳内，所述主动叶片与所述从动叶片固定连接，并位于所述釜体内靠近所述喷嘴的一侧。
在喷嘴喷出混合液时，可以推动所述主动叶片转动，所述主动叶片可以带动所述从动叶片转动，使得可以对所述混合壳中的液体进行混合，使得混合更加充分均匀。
其中，所述搅拌组件包括搅拌电机和搅拌叶片，所述搅拌电机与所述釜体固定连接，并位于所述釜体的一侧，所述搅拌叶片与所述搅拌电机的输出轴固定连接，并位于所述釜体内。
所述搅拌电机可以带动所述搅拌叶片转动，从而可以对所述釜体中的溶液进行搅拌，使得混合得更加充分，使得萃取效果更好。
第三方面，本发明还提供一种闪蚀药水护岸剂的生产方法，包括：通过进气阀和外部氮气供给设备连接排出釜体中的空气；
通过第一出料口和第二出料口分别加入甲苯和2-巯基苯骈噻唑；
甲苯和2-巯基苯骈噻唑进入进料壳中混合，得到混合液；
打开所述第二单向阀使得混合液进入混合壳中；
启动加压泵向混合壳中加压，通过喷嘴喷出混合液；
启动搅拌组件对混合液进行搅拌；
通过过滤组件分离2-巯基苯骈噻唑。
本发明的一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备，所述底壳与所述釜体转动连接，通过所述底壳可以对所述釜体进行封闭，所述进气阀与所述釜体连通，所述进气阀位于所述釜体的上方，将所述进气阀和外部的氮气供应装置连接，可以使得氮气通过所述进气阀进入所述釜体中，从上往下排出空气，避免空气中的物质污染提取后的护岸剂；所述进料壳与所述釜体固定连接，所述第一进料口放入甲苯，所述第二进料口放入需要萃取的2-巯基苯骈噻唑原料，所述混合壳与所述进料壳连通，进入的甲苯和原料可以进入所述混合壳中，所述加压泵与所述混合壳连通，启动所述加压泵可以向所述混合壳中冲入氮气以提高所述混合壳中的气压，所述喷嘴与所述混合壳连通，在高压情况下所述喷嘴可以喷出混合后的液体，所述第二单向阀设置在所述混合壳和所述进料壳连接处，使得所述混合壳在加压时关闭所述混合壳和所述进料壳的连接处，所述过滤网与所述底壳可拆卸连接，所述第一出料管穿过所述底壳，留在所述过滤网上的原料可以通过所述第一出料管排出，通过所述过滤网的甲苯和树脂通过所述第二出料管排出，从而可以使得整个加工过程在封闭的环境中完成，避免有害物质外泄，从而解决现有制造过程溶剂容易挥发到空气中影响操作人员健康的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的一种闪蚀药水护岸剂生产设备的结构图；
图2是本发明的一种闪蚀药水护岸剂生产设备的左侧结构图；
图3是本发明的一种闪蚀药水护岸剂生产设备的右侧结构图；
图4是本发明的一种闪蚀药水护岸剂生产设备沿主动叶片的剖面示意图；
图5是本发明的一种闪蚀药水护岸剂生产设备沿中线的剖面示意图；
图6是本发明的一种闪蚀药水护岸剂的生产方法的流程图。
1-外壳、2-进料组件、3-搅拌组件、4-过滤组件、11-釜体、12-进气阀、13-底壳、14-第一密封圈、15-支架、16-防滑垫、21-进料壳、22-混合壳、23-加压泵、24-喷嘴、25-从动叶片、26-主动叶片、31-搅拌电机、32-搅拌叶片、33-刮片、41-过滤网、42-第二出料管、43-第二密封圈、111-第一凹槽、211-第一进料口、212-第二进料口、411-第一出料管。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1~图3，第一方面，本发明提供一种闪蚀药水护岸剂：
在本实施方式中， 所述闪蚀药水护岸剂为2-巯基苯骈噻唑。2-巯基苯并噻唑是一种化学物质，分子式是C7H5NS2。淡黄色单斜针状或叶片状结晶。溶于冰醋酸，溶于碱和碳酸碱溶液，不溶于水。有苦味，有不宜人的气味。所述2-巯基苯骈噻唑能在软性线路板铜箔表面形成保护膜，2-巯基苯骈噻唑在线路两侧形成相对稳定的有机保护膜，进而达到对细线路的护岸作用。
第二方面，请参阅图1~图5，本发明还提供一种闪蚀药水护岸剂生产设备：
包括外壳1、进料组件2、搅拌组件3和过滤组件4，所述外壳1包括釜体11、进气阀12和底壳13，所述釜体11具有第一凹槽111，所述底壳13与所述釜体11转动连接，并覆盖所述第一凹槽111，所述进气阀12与所述釜体11连通，并位于所述釜体11的一侧，所述进料组件2包括进料壳21、混合壳22、加压泵23、喷嘴24和第二单向阀27，所述进料壳21具有第一进料口211和第二进料口212，所述进料壳21与所述釜体11固定连接，并位于所述釜体11的一侧，所述混合壳22与所述进料壳21连通，并贯穿所述釜体11，所述加压泵23与所述混合壳22连通，并位于所述釜体11外侧，所述喷嘴24与所述混合壳22连通，并位于所述釜体11内，所述第二单向阀27设置在所述混合壳22和所述进料壳21连接处，所述过滤组件4包括过滤网41和第二出料管42，所述过滤网41具有第一出料管411，所述过滤网41与所述底壳13可拆卸连接，所述第一出料管411穿过所述底壳13，所述第二出料管42与所述底壳13连通，并位于所述底壳13的一侧，所述搅拌组件3设置在所述釜体11内。
在本实施方式中，所述底壳13与所述釜体11转动连接，并覆盖所述第一凹槽111，通过所述底壳13可以对所述釜体11进行封闭，所述进气阀12与所述釜体11连通，并位于所述釜体11的一侧，所述进气阀12位于所述釜体11的上方，将所述进气阀12和外部的氮气供应装置连接，可以使得氮气通过所述进气阀12进入所述釜体11中，从上往下排出空气，避免空气中的物质污染提取后的护岸剂；所述进料组件2包括进料壳21、混合壳22、加压泵23和喷嘴24，所述进料壳21具有第一进料口211和第二进料口212，所述进料壳21与所述釜体11固定连接，并位于所述釜体11的一侧，所述第一进料口211放入甲苯，所述第二进料口212放入需要萃取的2-巯基苯骈噻唑原料，所述混合壳22与所述进料壳21连通，并贯穿所述釜体11，进入的甲苯和原料可以进入所述混合壳22中，所述加压泵23与所述混合壳22连通，并位于所述釜体11外侧，启动所述加压泵23可以向所述混合壳22中冲入氮气以提高所述混合壳22中的气压，所述喷嘴24与所述混合壳22连通，并位于所述釜体11内，在高压情况下所述喷嘴24可以喷出混合后的液体，所述第二单向阀27设置在所述混合壳22和所述进料壳21连接处，使得所述混合壳22在加压时关闭所述混合壳22和所述进料壳21的连接处，所述过滤组件4包括过滤网41和第二出料管42，所述过滤网41具有第一出料管411，所述过滤网41与所述底壳13可拆卸连接，所述第一出料管411穿过所述底壳13，留在所述过滤网41上的原料可以通过所述第一出料管411排出，所述第二出料管42与所述底壳13连通，并位于所述底壳13的一侧，通过所述过滤网41的甲苯和树脂通过所述第二出料管42排出，从而可以使得整个加工过程在封闭的环境中完成，避免有害物质外泄，从而解决现有制造过程溶剂容易挥发到空气中影响操作人员健康的问题。
进一步的，所述外壳1还包括第一密封圈14，所述第一密封圈14与所述底壳13固定连接，并位于所述底壳13和所述釜体11之间；所述外壳1还包括支架15和防滑垫16，所述支架15与所述釜体11固定连接，并位于所述底壳13的一侧，所述防滑垫16与所述支架15固定连接，并位于所述支架15远离所述釜体11的一侧。
在本实施方式中，通过所述第一密封圈14可以对所述底壳13和所述釜体11之间的缝隙进行密封，使得密封性更好，避免内部的生产物质泄漏。通过所述支架15可以将所述釜体11抬离地面，在所述支架15的底部设置所述防滑垫16可以增加与地面之间的摩擦力，使得放置更加稳定。
进一步的，所述进料组件2还包括从动叶片25和主动叶片26，所述从动叶片25与所述进料壳21转动连接，并位于所述进料壳21内，所述主动叶片26与所述从动叶片25固定连接，并位于所述釜体11内靠近所述喷嘴24的一侧。
在本实施方式中，在喷嘴24喷出混合液时，可以推动所述主动叶片26转动，所述主动叶片26可以带动所述从动叶片25转动，使得可以对所述混合壳22中的液体进行混合，使得混合更加充分均匀。
进一步的，所述搅拌组件3包括搅拌电机31和搅拌叶片32，所述搅拌电机31与所述釜体11固定连接，并位于所述釜体11的一侧，所述搅拌叶片32与所述搅拌电机31的输出轴固定连接，并位于所述釜体11内；所述搅拌组件3还包括刮片33，所述刮片33与所述搅拌叶片32固定连接，并接触所述釜体11内壁。
在本实施方式中，所述搅拌电机31可以带动所述搅拌叶片32转动，从而可以对所述釜体11中的溶液进行搅拌，使得混合得更加充分，使得萃取效果更好。所述刮片33设置在所述搅拌叶片32上可以跟随所述搅拌叶片32一起转动，从而可以对所述釜体11内壁进行刮动，避免物质附着到
进一步的，所述过滤组件4还包括第二密封圈43，所述第二密封圈43设置在所述第一出料管411与所述底壳13连接处。
在本实施方式中，所述第二密封圈43可以对所述第一出料管411和所述底壳13之间的缝隙进行封闭，避免液体泄漏。
第三方面，请参阅图6，本发明还提供一种闪蚀药水护岸剂生产方法：
S101通过进气阀12和外部氮气供给设备连接排出釜体11中的空气；
S102通过第一出料口和第二出料口分别加入甲苯和2-巯基苯骈噻唑；
S103甲苯和2-巯基苯骈噻唑进入进料壳21中混合，得到混合液；
S104打开所述第二单向阀27使得混合液进入混合壳22中；
S105启动加压泵23向混合壳22中加压，通过喷嘴24喷出混合液；
S106启动搅拌组件3对混合液进行搅拌；
S107通过过滤组件4分离2-巯基苯骈噻唑。
以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。