微流体装置和制造微流体装置的方法

文档序号:816654 发布日期:2021-03-26 浏览:14次 >En<

阅读说明:本技术 微流体装置和制造微流体装置的方法 (Microfluidic device and method of manufacturing a microfluidic device ) 是由 方晔 张锐 于 2019-07-30 设计创作,主要内容包括:一种微流体装置,其包括设置在玻璃基基板中的流动通道;以及与玻璃基基板结合并至少部分覆盖流动通道的盖板,其中盖板的厚度至多为200μm。(A microfluidic device comprising a flow channel disposed in a glass-based substrate; and a cover plate bonded to the glass-based substrate and at least partially covering the flow channel, wherein the cover plate has a thickness of at most 200 μm.)

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