一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法
阅读说明：本技术 一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法 (Preparation method of ultralow-density titanium dioxide foam ) 是由 牛高 袁磊 徐习斌 杨睿戆 谭秀兰 董云松 于 2020-12-02 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法,包括：以低密度金属泡沫作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔,分别依次以钛源和氧源作为生成二氧化钛的前躯体,开启原子层沉积设备循环沉积,循环沉积完成后,停止加热；待反应腔温度降低至室温后,取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体,将其浸泡于稀硝酸中,以去除低密度金属泡沫,得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗,并用超临界二氧化碳干燥,得到低密度二氧化钛泡沫。此方法制备的低密度二氧化钛泡沫可应用于激光惯性约束聚变、储氢、净化、过滤、催化支架等其相关领域。(The invention discloses a preparation method of ultra-low density titanium dioxide foam, which comprises the following steps: placing low-density metal foam serving as a substrate for atomic layer deposition into a reaction cavity of atomic layer deposition equipment, respectively and sequentially using a titanium source and an oxygen source as precursors for generating titanium dioxide, starting the atomic layer deposition equipment for cyclic deposition, and stopping heating after the cyclic deposition is finished; after the temperature of the reaction cavity is reduced to room temperature, taking out the low-density metal foam and titanium dioxide foam composite block, and soaking the low-density metal foam and titanium dioxide foam composite block in dilute nitric acid to remove the low-density metal foam to obtain a titanium dioxide block material; and (3) washing the titanium dioxide block material, and drying by using supercritical carbon dioxide to obtain the low-density titanium dioxide foam. The low-density titanium dioxide foam prepared by the method can be applied to the related fields of laser inertial confinement fusion, hydrogen storage, purification, filtration, catalytic supports and the like.)
技术领域
本发明属于泡沫金属氧化物材料的制备领域，具体涉及一种采用原子层沉积与二氧化碳超临界干燥相结合方法制备超低密度二氧化钛泡沫的方法。
背景技术
TiO2以其良好的禁带宽度、较高的催化活性及无毒、稳定性好等优点而受到广泛研究。在TiO2微粒分散悬浮体系中，由于TiO2颗粒细小，给催化剂的分离和回收带来极大困难，因此产生许多催化剂的固定方法，比如溶胶-凝胶法、电化学法、化学气相沉积法、喷雾热分解法、脉冲激光沉积、磁控溅射方法等。不同的制备技术对薄膜的结构、外观和性能有不同影响。TiO2的光催化反应多数发生在界面区，即催化剂表面。因此TiO2表面性质对反应有重要影响。表面性质主要包括表面积、晶格缺陷以及表面羟基等的影响。在晶格缺陷等其它因素相同时，表面积越大，吸附量越大，活性就越高。实际上具有大表面积的TiO2通常存在更多的复合中心，在气凝胶表面及孔洞涂覆TiO2薄膜，极大增加了表面积，提供最大的反应活性中心。TiO2薄膜及低密度泡沫可应用到激光惯性约束聚变、催化、太阳能电池等领域。
目前金属泡沫的制备方法主要是去合金法。去合金法就是选择性的溶解合金中的某一成分，这种方法对原始材料由比较苛刻的要求：材料内部的成分和组织尽可能的均匀。
发明内容
本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。
为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，提供了一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、以低密度金属泡沫作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，设置反应腔的温度为120～200℃，分别依次以钛源和氧源作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；
步骤二、待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于体积分数为5～20％的稀硝酸中，以去除低密度金属泡沫，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，得到低密度二氧化钛泡沫。
优选的是，所述低密度金属泡沫为泡沫银，所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将硫化物醇溶液加入聚乙烯吡咯烷酮醇溶液中，搅拌均匀，然后加入硝酸银醇溶液，搅拌均匀后加入高压反应釜中，在160℃～200℃下反应5h～12h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银。
优选的是，所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将硫化物醇溶液加入聚乙烯吡咯烷酮醇溶液中，加压超声15～30min，然后加入硝酸银醇溶液，搅拌均匀后加入加入超临界二氧化碳反应器中，密闭后，通入二氧化碳至15～20MPa，在温度为45℃～60℃下保持45～60min，然后泄压，加入高压反应釜中，在160℃～200℃下反应3～8h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银。
优选的是，所述加压超声的压力0.2～0.4MPa，频率120～150KHz。
优选的是，所述硫化物醇溶液的浓度为0.02mol/L～0.05mol/L；所述聚乙烯吡咯烷酮醇溶液的浓度为0.1mol/L～1mol/L；所述硝酸银醇溶液的浓度为0.5mol/L～2mol/L；所述硫化物醇溶液与聚乙烯吡咯烷酮醇溶液的体积比为1:45～55；所述硝酸银醇溶液与聚乙烯吡咯烷酮醇溶液的体积比为1:15～25；所述聚乙烯吡咯烷酮醇溶液在使用前加热至120～160℃，保持10～15min以充分去除多余的水分及溶解氧。
优选的是，所述硫化物醇溶液、聚乙烯吡咯烷酮醇溶液和硝酸银醇溶液的溶剂均为乙二醇、丙二醇、丙三醇或丁二醇中的一种或多种；所述硫化物醇溶液的硫化物溶质为硫化钠或硫化钾；所述聚乙烯吡咯烷酮醇溶液中的溶质聚乙烯吡咯烷酮的分子量为子量为5.4万～130万。
优选的是，所述步骤一中，原子层沉积设备循环沉积的一个循环包括以下过程：第一步：脉冲钛源前驱体进入反应腔并在基体上发生化学吸附；第二步：用氮气吹扫冲洗未反应的钛源及钛源与基体反应产生的副产物；第三步：脉冲氧源并与钛源发生反应；第四步：用氮气吹扫气吹扫未反应的水及副产物。
优选的是，所述钛源为四氯化钛；所述氧源为水或臭氧；所述钛源前驱体在反应腔内沉积的脉冲时间为1s，氮气吹扫冲洗的时间为10s；所述氧源在反应腔内沉积的脉冲时间为0.1s，氮气吹扫冲洗时间为10s。
优选的是，所述步骤二中，浸泡于体积分数为5～20％的稀硝酸，并采用依次在50KHz、100KHz、180KHz、260KHz的超声频率下处理，每个频率处理时间为5～10min。
优选的是，所述循环沉积的循环次数为500～2000次；超临界二氧化碳干燥的干燥温度为40℃。
本发明至少包括以下有益效果：本发明得到的超低密度二氧化钛气凝胶的密度达到度6～10mg/cc；采用本文明的制备方法可以根据实际的需求通过改变沉积基底和调节ALD的循环次数，制备不同结构参数的二氧化钛泡沫；此方法制备的低密度二氧化钛泡沫可应用于激光惯性约束聚变、储氢、净化、过滤、催化支架等其相关领域。
本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明：
图1为本发明实施例1制备的低密度二氧化钛泡沫的SEM图；
图2为本发明实施例1制备的泡沫银的氮气吸附曲线；
图3为本发明实施例1制备的泡沫银的的SEM图；
图4为本发明制备的低密度二氧化钛泡沫在万焦耳激光装置上泡沫靶1.6～4.4keV能区X光转换效率示意图；
图5为本发明制备的低密度二氧化钛泡沫在十万焦耳激光装置上泡沫靶K壳层4～7keV能区X光转换效率示意图。
具体实施方式
：
下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
实施例1：
一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、以泡沫银作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，设置反应腔的温度为160℃，分别依次以四氯化钛和水作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；
其中，原子层沉积设备循环沉积的一个循环包括以下过程：第一步：脉冲四氯化钛前驱体进入反应腔并在基体上发生化学吸附；第二步：用氮气吹扫冲洗未反应的四氯化钛及四氯化钛与基体反应产生的副产物；第三步：脉冲水并与四氯化钛发生反应；第四步：用氮气吹扫气吹扫未反应的水及副产物；所述四氯化钛前驱体在反应腔内沉积的脉冲时间为1s，氮气吹扫冲洗的时间为10s；所述水在反应腔内沉积的脉冲时间为0.1s，氮气吹扫冲洗时间为10s；所述循环沉积的循环次数为600次，得到的二氧化钛镀层为30nm；
其中所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将580μL浓度为0.025mol/L的硫化钠乙二醇溶液加入28.5mL浓度为0.0284mol/L的聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中，搅拌均匀，然后加入1.5mL浓度为0.9mol/L的硝酸银乙二醇溶液，搅拌均匀后加入高压反应釜中，在190℃下反应5h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银；所述聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中的溶质聚乙烯吡咯烷酮的分子量为子量为130万；图2为该泡沫银的氮气吸附曲线，该泡沫银的比表面积为174m2/g，密度为15.2mg/cm3；
步骤二、待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于体积分数为10％的稀硝酸中，以去除低密度金属泡沫，直至用氯化钡溶液检测，溶液中无法检出银离子时，取出块体，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，温度40℃，得到低密度二氧化钛泡沫；经测试，该低密度二氧化钛泡沫的密度为10.2mg/cm3。
实施例2：
一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、以泡沫银作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，设置反应腔的温度为160℃，分别依次以四氯化钛和水作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；
其中，原子层沉积设备循环沉积的一个循环包括以下过程：第一步：脉冲四氯化钛前驱体进入反应腔并在基体上发生化学吸附；第二步：用氮气吹扫冲洗未反应的四氯化钛及四氯化钛与基体反应产生的副产物；第三步：脉冲水并与四氯化钛发生反应；第四步：用氮气吹扫气吹扫未反应的水及副产物；所述四氯化钛前驱体在反应腔内沉积的脉冲时间为1s，氮气吹扫冲洗的时间为10s；所述水在反应腔内沉积的脉冲时间为0.1s，氮气吹扫冲洗时间为10s；所述循环沉积的循环次数为1000次，得到的二氧化钛镀层为50nm；
其中所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将580μL浓度为0.025mol/L的硫化钾乙二醇溶液加入28.5mL浓度为0.0284mol/L的聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中，搅拌均匀，然后加入1.5mL浓度为0.9mol/L的硝酸银乙二醇溶液，搅拌均匀后加入高压反应釜中，在190℃下反应5h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银；所述聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中的溶质聚乙烯吡咯烷酮的分子量为子量为130万；该泡沫银的比表面积为160m2/g，密度为18.3mg/cm3；
步骤二、待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于体积分数为10％的稀硝酸中，以去除低密度金属泡沫，直至用氯化钡溶液检测，溶液中无法检出银离子时，取出块体，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，温度40℃，得到低密度二氧化钛泡沫；经测试，该低密度二氧化钛泡沫的密度为10.5mg/cm3。
实施例3：
一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、以泡沫银作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，设置反应腔的温度为160℃，分别依次以四氯化钛和水作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；
其中，原子层沉积设备循环沉积的一个循环包括以下过程：第一步：脉冲四氯化钛前驱体进入反应腔并在基体上发生化学吸附；第二步：用氮气吹扫冲洗未反应的四氯化钛及四氯化钛与基体反应产生的副产物；第三步：脉冲水并与四氯化钛发生反应；第四步：用氮气吹扫气吹扫未反应的水及副产物；所述四氯化钛前驱体在反应腔内沉积的脉冲时间为1s，氮气吹扫冲洗的时间为10s；所述水在反应腔内沉积的脉冲时间为0.1s，氮气吹扫冲洗时间为10s；所述循环沉积的循环次数为600次，得到的二氧化钛镀层为30nm；
其中所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将580μL浓度为0.025mol/L的硫化钠乙二醇溶液加入28.5mL浓度为0.0284mol/L的聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中，加压超声15min，然后加入1.5mL浓度为0.9mol/L的硝酸银乙二醇溶液，搅拌均匀后加入加入超临界二氧化碳反应器中，密闭后，通入二氧化碳至15MPa，在温度为45℃下保持60min，然后泄压，加入高压反应釜中，在190℃下反应3h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银；所述加压超声的压力0.2MPa，频率120KHz；所述聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中的溶质聚乙烯吡咯烷酮的分子量为子量为130万；该泡沫银的比表面积为195m2/g，密度为12.8mg/cm3；通过加压超声和在超临界二氧化碳中进行预混合，使反应物溶解更充分，混合更均匀，制备得到的泡沫银的性能更有优异；
步骤二、待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于体积分数为10％的稀硝酸中，以去除低密度金属泡沫，直至用氯化钡溶液检测，溶液中无法检出银离子时，取出块体，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，温度40℃，得到低密度二氧化钛泡沫；经测试，该低密度二氧化钛泡沫的密度为7.2mg/cm3。
实施例4：
一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、以泡沫银作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，设置反应腔的温度为160℃，分别依次以四氯化钛和水作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；
其中，原子层沉积设备循环沉积的一个循环包括以下过程：第一步：脉冲四氯化钛前驱体进入反应腔并在基体上发生化学吸附；第二步：用氮气吹扫冲洗未反应的四氯化钛及四氯化钛与基体反应产生的副产物；第三步：脉冲水并与四氯化钛发生反应；第四步：用氮气吹扫气吹扫未反应的水及副产物；所述四氯化钛前驱体在反应腔内沉积的脉冲时间为1s，氮气吹扫冲洗的时间为10s；所述水在反应腔内沉积的脉冲时间为0.1s，氮气吹扫冲洗时间为10s；所述循环沉积的循环次数为1000次，得到的二氧化钛镀层为50nm；
其中所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将580μL浓度为0.025mol/L的硫化钾乙二醇溶液加入28.5mL浓度为0.0284mol/L的聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中，加压超声20min，然后加入1.5mL浓度为0.9mol/L的硝酸银乙二醇溶液，搅拌均匀后加入加入超临界二氧化碳反应器中，密闭后，通入二氧化碳至18MPa，在温度为50℃下保持45min，然后泄压，加入高压反应釜中，在190℃下反应3h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银；所述加压超声的压力0.3MPa，频率130KHz；所述聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中的溶质聚乙烯吡咯烷酮的分子量为子量为130万；该泡沫银的比表面积为188m2/g，密度为14.6mg/cm3；
步骤二、待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于体积分数为10％的稀硝酸中，以去除低密度金属泡沫，直至用氯化钡溶液检测，溶液中无法检出银离子时，取出块体，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，温度40℃，得到低密度二氧化钛泡沫；经测试，该低密度二氧化钛泡沫的密度为7.3mg/cm3。
实施例5：
一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、以泡沫银作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，设置反应腔的温度为160℃，分别依次以四氯化钛和水作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；
其中，原子层沉积设备循环沉积的一个循环包括以下过程：第一步：脉冲四氯化钛前驱体进入反应腔并在基体上发生化学吸附；第二步：用氮气吹扫冲洗未反应的四氯化钛及四氯化钛与基体反应产生的副产物；第三步：脉冲水并与四氯化钛发生反应；第四步：用氮气吹扫气吹扫未反应的水及副产物；所述四氯化钛前驱体在反应腔内沉积的脉冲时间为1s，氮气吹扫冲洗的时间为10s；所述水在反应腔内沉积的脉冲时间为0.1s，氮气吹扫冲洗时间为10s；所述循环沉积的循环次数为1000次，得到的二氧化钛镀层为50nm；
其中所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将580μL浓度为0.025mol/L的硫化钾乙二醇溶液加入28.5mL浓度为0.0284mol/L的聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中，搅拌均匀，然后加入1.5mL浓度为0.9mol/L的硝酸银乙二醇溶液，搅拌均匀后加入高压反应釜中，在190℃下反应5h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银；
步骤二、待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于体积分数为10％的稀硝酸中，并采用依次在50KHz、100KHz、180KHz、260KHz的超声频率下处理，每个频率处理时间为10min；以去除低密度金属泡沫，直至用氯化钡溶液检测，溶液中无法检出银离子时，取出块体，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，温度40℃，得到低密度二氧化钛泡沫；经测试，该低密度二氧化钛泡沫的密度为8.5mg/cm3。
实施例6：
一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、以泡沫银作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，设置反应腔的温度为160℃，分别依次以四氯化钛和水作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；
其中，原子层沉积设备循环沉积的一个循环包括以下过程：第一步：脉冲四氯化钛前驱体进入反应腔并在基体上发生化学吸附；第二步：用氮气吹扫冲洗未反应的四氯化钛及四氯化钛与基体反应产生的副产物；第三步：脉冲水并与四氯化钛发生反应；第四步：用氮气吹扫气吹扫未反应的水及副产物；所述四氯化钛前驱体在反应腔内沉积的脉冲时间为1s，氮气吹扫冲洗的时间为10s；所述水在反应腔内沉积的脉冲时间为0.1s，氮气吹扫冲洗时间为10s；所述循环沉积的循环次数为1000次，得到的二氧化钛镀层为50nm；
其中所述泡沫银的制备方法为：在避光条件下，将580μL浓度为0.025mol/L的硫化钾乙二醇溶液加入28.5mL浓度为0.0284mol/L的聚乙烯吡咯烷酮乙二醇溶液中，加压超声20min，然后加入1.5mL浓度为0.9mol/L的硝酸银乙二醇溶液，搅拌均匀后加入加入超临界二氧化碳反应器中，密闭后，通入二氧化碳至18MPa，在温度为50℃下保持45min，然后泄压，加入高压反应釜中，在190℃下反应3h；自然冷却至室温，得到悬浮于醇溶液中的银纳米线泡沫；将银纳米线泡沫置于超纯水中交换洗涤多次，至溶液透明澄清后，用丙酮多次交换至水分含量低于4000ppm；冷冻干燥，得到泡沫银；所述加压超声的压力0.3MPa，频率130KHz；
步骤二、待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于体积分数为10％的稀硝酸中，并采用依次在50KHz、100KHz、180KHz、260KHz的超声频率下处理，每个频率处理时间为8min；以去除低密度金属泡沫，直至用氯化钡溶液检测，溶液中无法检出银离子时，取出块体，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，温度40℃，得到低密度二氧化钛泡沫。经测试，该低密度二氧化钛泡沫的密度为6.0mg/cm3。
在大型激光装置物理实验中采用等效实施例1,3,5,6中制备的低密度二氧化钛泡沫，由于显著增加辐射体积，万焦耳激光装置上泡沫靶1.6～4.4keV能区X光转换效率相比常密度TiO2固体靶(密度为4.23g/cm3)提升达到两倍以上(如图4所示)；基于十万焦耳激光装置双端对称激光加载带来的对撞效应，泡沫TiO2靶K壳层X光发射(4～7keV)转换效率相比常密度固体Ti靶(Ti靶的密度为4.05g/cm3)提升达到三倍以上(如图5所示)。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
- 上一篇：一种医用注射器针头装配设备
- 下一篇：一种锂镧锆氧颗粒的制备方法及其产品和应用