一种铝硅酸盐玻璃
阅读说明：本技术 一种铝硅酸盐玻璃 (Aluminosilicate glass ) 是由 彭寿 张冲 沈玉国 曹志强 金良茂 朱明柳 于 2020-06-05 设计创作，主要内容包括：本发明涉及一种铝硅酸盐玻璃,其特征在于由以下重量百分比的原料制成：55-65％的SiO<Sub>2</Sub>、16-21％的Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>、3.5-7.5%的B<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>、6-9％的MgO、1-6％的CaO、0.5-3％的SrO、1.6-4%ZnO、0.5-2%的TiO<Sub>2</Sub>、0.1-0.2%的SnO<Sub>2</Sub>；其中TiO<Sub>2</Sub>/(MgO+CaO+SrO+ZnO)为0.04-0.18%；Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>/(MgO+ZnO)为1.5-2.3%；(Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>+SiO<Sub>2</Sub>)/B<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>为10.7-23.95%；ZnO/(MgO+CaO+SrO+ZnO)为0.13-0.3%；(Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>+B<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>)/(MgO+CaO+SrO+ZnO)为1.2-2.35%；SiO<Sub>2</Sub>/(Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>+B<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>)为2.15-3.2。本发明优点：制得的玻璃具有高应变点、高杨氏模量、高硬度、高透过率、低表面张力、低热收缩率及高化学稳定性等特性,适用于光电显示、照片、光伏等行业；为环境友好型碱土铝硅酸盐玻璃体系,不含任何有毒物质,符合平板显示行业发展趋势,适合熔融下拉法、浮法等多种成型方式,适合大规模工业生产。(The invention relates to aluminosilicate glass which is characterized by being prepared from the following raw materials in percentage by weight: 55-65% of SiO 2 16-21% of Al 2 O 3 3.5-7.5% of B 2 O 3 6 to 9 percent of MgO, 1 to 6 percent of CaO, 0.5 to 3 percent of SrO, 1.6 to 4 percent of ZnO and 0.5 to 2 percent of TiO 2 0.1-0.2% of SnO 2 (ii) a Wherein the TiO is 2 0.04-0.18% of (MgO + CaO + SrO + ZnO); al (Al) 2 O 3 1.5-2.3% of (MgO + ZnO); (Al) 2 O 3 +SiO 2 )/B 2 O 3 10.7-23.95%; ZnO/(MgO + CaO + SrO + ZnO) is 0.13-0.3%; (Al) 2 O 3 +B 2 O 3 ) /(MgO + CaO + SrO + ZnO) is 1.2 to 2.35 percent; SiO 2 2 /(Al 2 O 3 +B 2 O 3 ) Is 2.15-3.2. The inventionThe advantages are that: the prepared glass has the characteristics of high strain point, high Young modulus, high hardness, high transmittance, low surface tension, low thermal shrinkage, high chemical stability and the like, and is suitable for industries such as photoelectric display, photos, photovoltaics and the like; the glass is an environment-friendly alkaline earth aluminosilicate glass system, does not contain any toxic substance, accords with the development trend of the flat panel display industry, is suitable for a plurality of forming modes such as a melting down-draw method and a float method, and is suitable for large-scale industrial production.)
技术领域
本发明属玻璃生产领域，涉及各种显示器用玻璃基板，具体涉及一种铝硅酸盐玻璃。
背景技术
液晶显示器（Liquid crystal diplay,LCD）和有机发光显示器（Organic light-emitting diode,OLED）是目前最主要的两类显示产品，从2004年至今，LCD显示技术不断更新，产品向大型化、超薄化和高清化发展，其面板最大尺寸已达2940×3370mm，薄膜晶体管（Thin film transistor,TFT）驱动电路从非晶体（a-Si）向多晶硅（p-Si）转变，可使电路更细小，导电性更佳，使显示开口面积更大，色彩更鲜艳，像素更佳微型化，图像更细腻逼真。而OLED具有不需要背光、对比度更高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于柔性显示等特点，已成为显示行业的新宠。
玻璃基板是LCD/OLED 显示器的关键性基础材料，主要用于TFT制程、CF（Colorfilm）器件的载板，在玻璃表面进行电路和制程加工。由于显示效果和屏幕刷新速率提升的需要，采用低温多晶硅（Low temperature poly-silicon,LTPS）技术制备TFT，可使LCD/OLED显示产品具有高分辨率、反应速度快、解析度高、稳定性高、亮度高、开口率增大等特点。
LTPS制程工艺是通过对沉积在玻璃基板表面的非晶硅（Amorphous silicom, a-Si）进行热处理，使其转化成多晶硅（Poly-silicon，p-Si），从而使电子迁移速率提高100倍以上。但是热处理温度高达600-700℃，而玻璃基板受热处理影响将产生不可逆收缩变形，导致上下基板在合片/成盒时出现像素点位置产生相对偏移，将产生永久漏光或黑点，造成像素显示不受控，形成显示疵点，影响显示面板质量，因此对LTPS基板玻璃提出新的技术挑战和质量要求，其耐温性能、表面质量和尺寸精度的要求更为严苛。
低温多晶硅（Low temperature poly-silicon,LTPS）作为主流技术。现今市场上对面板分辨率、轻薄化、低能耗等要求越来越高，尤其是手机、平板、可穿戴等移动设备。面板厂主要规划G6及以下世代产线来生产移动设备面板，应用G6以上产线（大陆主要是G8.5产线）来生产TV、monitor等大尺寸面板。大世代面板生产线需要依靠IGZO显示屏技术来提高镀膜的精度，而G6 及以下世代的中小面板生产线要想大幅度提高分辨率，传统的α-Si技术已经捉襟见肘，不管是AM-OLED（有源矩阵有机发光二极体面板）技术，还是高分辨率的高端TFT-LCD面板，都需要应用LTPS技术来实现。
发明内容
本发明的目的是提供一种铝硅酸盐玻璃，该玻璃组合物具有高应变点、高杨氏模量、高透过率、低表面张力以及低热收缩率、表面平整度良好的玻璃产品，适用于大规模工业生产，适合高世代面板应用。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
一种铝硅酸盐玻璃，其特征在于由以下重量百分比的原料（以氧化物计）制成： 55-65％的SiO2、16-21％的Al2O3、3.5-7.5%的B2O3、6-9％的MgO、1-6％的CaO、0.5-3％的SrO、1.6-4%ZnO、0.5-2%的TiO2、0.1-0.2%的SnO2；
其中TiO2/（MgO+CaO+SrO+ZnO）为0.04-0.18%；
Al2O3/（MgO+ZnO）为1.5-2.3%；
(Al2O3+SiO2)/B2O3为10.7-23.95%；
ZnO/（MgO+CaO+SrO+ZnO）为0.13-0.3%；
(Al2O3+B2O3)/（MgO+CaO+SrO+ZnO）为1.2-2.35%；
SiO2/(Al2O3+B2O3)为2.15-3.2。
进一步，一种铝硅酸盐玻璃，其特征在于由以下重量百分比的原料（以氧化物计）制成：57.8-65％的SiO2、17-19.58％的Al2O3、3.5-7.5%的B2O3、6-8.5％的MgO、1-5.5％的CaO、1.55-2.5％的SrO、2-3.5%ZnO、0.5-2%的TiO2、0.1-0.2%的SnO2；
其中TiO2/（MgO+CaO+SrO+ZnO）为0.05-0.16%；
Al2O3/（MgO+ZnO）为1.49-2.28%；
(Al2O3+SiO2)/B2O3为10.7-20.95%；
ZnO/（MgO+CaO+SrO+ZnO）为0.15-0.3%；
(Al2O3+B2O3)/（MgO+CaO+SrO+ZnO）为1.25-2.15%；
SiO2/(Al2O3+B2O3)为2.15-3.05。
进一步，所述一种铝硅酸盐玻璃的密度介于2.3-2.8g/cm3之间，50-350℃范围内的热膨胀系数为32.8-37.5×10-7/℃，杨氏模量为79.7-87.1GPa，维氏硬度为678.6-691.6，1250℃表面张力为279.3-295.8mN/m，应变点高于718-773℃，熔化温度低于1635℃，600℃保温10min的热收缩率为5.85-9.74ppm，308nm透过率为70.5-78.4%，20℃下10wt%HF酸侵蚀20min ，侵蚀量为5.31-8.58mg/cm2。
本发明的玻璃组合物中：
所述的玻璃组合物中SiO2是玻璃形成体，构成玻璃骨架的成分，增加SiO2含量，会提升耐化学性、机械强度、应变点。如果SiO2过多，玻璃的高温粘度增加，造成难熔，加剧耐材侵蚀。SiO2含量较低则不易形成玻璃，应变点下降，膨胀系数增加，耐酸性和耐碱性均会下降；考虑到熔化温度、玻璃膨胀系数、机械强度、玻璃料性等性能，本发明引入55-65wt%的SiO2。
所述的玻璃组合物中Al2O3是中间体氧化物，用于提高玻璃结构的强度和应变点，改善玻璃化学稳定性，降低玻璃析晶倾向，Al2O3含量过多，玻璃难以熔制、料性短，易析晶，Al2O3含量较低，玻璃容易失透，机械强度较低，不利于成型，本发明引入16-21wt%的Al2O3。
所述的玻璃组合物中B2O3能单独生成玻璃，是一种很好的助熔剂，能降低玻璃粘度、介电损耗、振动损耗，改善玻璃脆性、韧性和光透过率。在玻璃中具有[BO4]四面体和[BO3]三角体两种结构，高温熔化条件下B2O3难于形成[BO4]，可降低高温粘度，低温时B有夺取游离氧形成[BO4]的趋势，使结构趋于紧密，提高玻璃的低温粘度，防止析晶现象的发生，本发明引入3.5-7.5wt%的B2O3。
所述的玻璃组合物中MgO，具有降低高温粘度、增加低温粘度的作用，能够增加玻璃杨氏模量，降低表面张力，抑制玻璃脆度增大的作用，本发明引入6-9wt%的MgO。
所述的玻璃组合物中碱土金属氧化物RO（CaO、SrO、BaO）可以提高玻璃应变点、杨氏模量、降低热膨胀系数。可有效降低玻璃的高温粘度从而提高玻璃的熔融性及成形性，含量过多，会增加失透分相的发生几率，本发明引入1.5-8.15wt%的RO。
所述的玻璃组合物中引入ZnO，改善玻璃的熔化质量，提高玻璃的均匀性，提高玻璃化学稳定性、热稳定性，但是过量玻璃易析晶，本发明引入1.6-4wt%的ZnO。
所述的玻璃组合物中引入TiO2，促进玻璃的熔解和提高玻璃形成稳定性，可以提高玻璃折射率、降低热膨胀系数，本发明引入0.5-2wt%的TiO2。
本发明的玻璃用组合物中，利用其制备铝硅酸盐玻璃时，之所以能够使得玻璃具有优良的综合性能，主要归功于组合物中各组分之间的相互配合，尤其是SiO2、Al2O3、B2O3之间满足SiO2/(Al2O3+B2O3)为2.15-3.05，MgO、CaO、SrO、ZnO、TiO2之间满足TiO2/（MgO+CaO+SrO+ZnO）为0.04-0.18%。
本发明的有益效果：
（1）本发明制得的玻璃具有高应变点、高杨氏模量、高硬度、高透过率、低表面张力、低热收缩率及高化学稳定性等特性；
（2）所述玻璃组合物组分中通过特定配比的Al2O3/（MgO+ZnO）、(Al2O3+B2O3)/（MgO+CaO+SrO+ZnO）、SiO2/(Al2O3+B2O3)，可以有效的降低玻璃表面张力，提高玻璃热稳定性，易于摊薄浸润，便于成型拉薄拉宽，特别是拉制成高世代大尺寸玻璃基板（在高世代大尺寸玻璃基板中，其中G8.5代玻璃基板尺寸为2200×2500mm；G10.5代玻璃基板尺寸为2940×3370mm；G11代玻璃基板尺寸为3000mm×3320mm；且板厚≤0.5mm），可实现大尺寸化的要求；
（3）本发明玻璃组合物为环境友好型碱土铝硅酸盐玻璃体系，不含任何有毒物质，不含BaCO3、As2O3、Sb2O3等有毒物质，符合平板显示行业发展趋势，适合于熔融下拉法、浮法等多种成型方式生产，适合于大规模工业生产，制备的玻璃适合于光电显示、照片、光伏等行业，尤其适合作为平板显示产品的衬底玻璃基板材料和/或柔性显示产品的衬底玻璃基板材料。
具体实施方式
一种铝硅酸盐玻璃，具体实施步骤如下：
一种铝硅酸盐玻璃的制备方法，采用表1-4所述配比，其中SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、ZnO、TiO2是指该组合物含有含Si化合物、含Al化合物、含B化合物、含Mg化合物、含Ca化合物、含Sr化合物、含Zn化合物、含Ti化合物（如：含前述各元素的碳酸盐、硝酸盐、硫酸盐、氧化物等），根据玻璃制备工艺的不同，组合物含有澄清剂，对于澄清剂的具体选择没有特别的限定，可以为本领域常用的各种选择，在加热条件下，将所述的SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、ZnO、TiO2混合均匀后进行高温熔融（1450-1650℃）、澄清均化、成型、退火得到铝硼硅酸盐玻璃基板，然后进行切割、研磨、抛光等加工处理。
本发明制得的玻璃，密度介于2.3-2.8g/cm3之间，50-350℃范围内的热膨胀系数为32.8-37.5×10-7/℃，杨氏模量为79.7-87.1GPa，维氏硬度为678.6-691.6,1250℃表面张力为279.3-295.8mN/m，应变点高于718-773℃，熔化温度低于1635℃，热收缩率（600℃、10min）为5.85-9.74ppm，308nm透过率为70.5-78.4%，20℃下10wt%HF酸侵蚀20min 侵蚀量为5.31-8.58mg/cm2。
以下实施例和对比例中：
参照ASTM C-693测定玻璃密度，单位为g/cm3。
参照ASTM E-228使用卧式膨胀仪测定50-350℃的玻璃热膨胀系数，单位为10-7 /℃。
参照ASTM C-623使用材料力学试验机测定玻璃杨氏模量，单位为GPa。
参照GB/T4340.2-2012使用自动转塔数显显微维氏硬度仪测定维氏硬度（HV）。
1250℃表面张力采用高温表面张力仪测定，单位为mN/m。
参照ASTMC-336和ASTMC-338使用三点测试仪测定玻璃的退火点和应变点，单位为℃。
参照ASTMC-965使用旋转高温粘度计测定玻璃高温粘温曲线，其中，200P粘度时对应的温度为熔化温度，单位为℃。
热收缩采用差值计算法。无任何缺陷的玻璃基板，初始长度标记为L0，经过一定条件热处理之后（例如本发明热处理工艺条件为：将玻璃从室温以10℃/min的升温速率升温至600℃并保温10min，然后以10℃/min的降温速率降室温），基板长度发生一定量的收缩，再次测量其长度，标记为Lt，则热收缩Yt表示为：
使用紫外-可见分光光度计测定玻璃透过率，玻璃样品厚度为0.5mm，分别取在308nm处透过率，单位为％。
使用失重法检测玻璃在10%氢氟酸溶液中的侵蚀量，检测条件包括：将无缺陷的玻璃放入20℃的浓度为10wt%的氢氟酸溶液中，震荡状态下侵蚀20min，计算侵蚀量，计算公式为（M样品侵蚀前-M样品侵蚀后）/S样品表面积，单位为mg/cm2，其值越小，表明耐酸性能越强。
下面给出配方中各组份以重量百分计量的具体实施例和对比例，参见表1、2、3、4：
表1.
组分wt% 实施例1 实施例2 实施例3 实施例4 实施例5 实施例6 实施例7 实施例8 实施例9 SiO<sub>2</sub> 55.01 55.34 55.87 56.25 56.57 56.93 57.31 57.62 57.89 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 21 20.93 20.09 20.84 20.35 19.58 19.32 18.33 19.25 B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 3.92 4.59 3.63 3.87 3.75 4.12 4.12 6 5.17 MgO 9 6.86 8.64 6.63 7.91 7.24 6.87 6.93 8.23 CaO 4.5 4.61 5.22 5.99 4.73 5.17 5.7 4.12 3.52 SrO 2.35 3 2.25 2.15 1.62 2.63 2.11 1.11 1.97 ZnO 2.5 2.95 2.52 2.53 3.36 3.14 2.58 3.74 3.03 TiO<sub>2</sub> 1.61 1.6 1.65 1.62 1.59 1.06 1.84 2 0.81 SnO<sub>2</sub> 0.11 0.12 0.13 0.12 0.12 0.13 0.15 0.15 0.13 TiO<sub>2</sub>/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.09 0.09 0.09 0.09 0.09 0.06 0.11 0.13 0.05 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/（MgO+ZnO） 1.83 2.13 1.80 2.28 1.81 1.89 2.04 1.72 1.71 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+SiO<sub>2</sub>)/B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 19.39 16.62 20.93 19.92 20.51 18.57 18.60 12.66 14.92 ZnO/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.14 0.17 0.14 0.15 0.19 0.17 0.15 0.24 0.18 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 1.36 1.46 1.27 1.43 1.37 1.30 1.36 1.53 1.46 SiO<sub>2</sub>/(Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) 2.21 2.17 2.36 2.28 2.35 2.40 2.44 2.37 2.37 密度g/cm<sup>3</sup> 2.59 2.76 2.49 2.75 2.61 2.67 2.31 2.49 2.58 热膨胀系数（50-350℃）10<sup>-7</sup>/℃ 37.2 33.5 36.4 35.1 37.2 36.7 32.9 35.5 36.9 杨氏模量GPa 81.6 80.4 83.5 81.9 82.2 80.7 81.4 80.9 79.7 维氏硬度Hv 680.9 683 681.4 682.8 683.2 681.7 678.6 679.2 683.6 1250℃表面张力mN/m 283.7 285.5 288.6 295.8 285.3 288.5 286.8 281.9 282.4 应变点℃ 730 726 734 756 741 724 731 722 735 熔化温度T<sub>2.3</sub>℃ 1609 1613 1620 1603 1631 1619 1606 1627 1615 热收缩率（600℃、10min）ppm 7.46 8.92 6.84 6.25 7.82 8.34 9.72 7.35 8.29 透过率308nm，% 73.6 75.5 73.1 74.9 73.2 70.7 71.4 75.6 72.7 HF（10%,20min,20℃）mg/cm<sup>2</sup> 7.76 8.54 7.91 8.32 7.15 6.86 6.36 8.11 7.49
表2.
组分wt% 实施例10 实施例11 实施例12 实施例13 实施例14 实施例15 实施例16 实施例17 实施例18 SiO<sub>2</sub> 58.12 58.53 58.78 59.21 59.54 59.96 60.13 60.48 60.97 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 18.34 19.18 18.21 18.23 18.61 18.07 19.25 19.33 18.35 B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 4.29 3.76 3.57 5.36 4.58 5.1 5.15 6.02 6.15 MgO 7.45 6.19 8.25 7.42 8.07 7.13 6.52 7.39 6.11 CaO 5.13 5.34 4.24 3.19 3.12 3.32 4.21 3.05 2.43 SrO 2.07 2.55 1.35 2.56 1.36 1.55 1.16 0.55 1.01 ZnO 2.56 2.58 3.96 2.64 3.25 3.46 2.85 2.53 3.32 TiO<sub>2</sub> 1.9 1.71 1.49 1.24 1.34 1.28 0.58 0.53 1.54 SnO<sub>2</sub> 0.14 0.16 0.15 0.15 0.13 0.13 0.15 0.12 0.12 TiO<sub>2</sub>/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.11 0.10 0.08 0.08 0.08 0.08 0.04 0.04 0.12 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/（MgO+ZnO） 1.83 2.19 1.49 1.81 1.64 1.71 2.05 1.95 1.95 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+SiO<sub>2</sub>)/B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 17.82 20.67 21.57 14.45 17.06 15.30 15.41 13.26 12.90 ZnO/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.15 0.15 0.22 0.17 0.21 0.22 0.19 0.19 0.26 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 1.31 1.38 1.22 1.49 1.47 1.50 1.66 1.88 1.90 SiO<sub>2</sub>/(Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) 2.57 2.55 2.70 2.51 2.57 2.59 2.46 2.39 2.49 密度g/cm<sup>3</sup> 2.63 2.71 2.77 2.79 2.48 2.53 2.69 2.55 2.42 热膨胀系数（50-350℃）10<sup>-7</sup>/℃ 37.1 34.7 33.9 36.4 33.7 36.6 34.5 36.8 37.2 杨氏模量GPa 82.6 81.3 80.6 82.7 83.4 85.1 82.5 83.7 82.6 维氏硬度Hv 680.4 682.3 679.5 681.4 680.6 678.7 684.5 680.9 683.6 1250℃表面张力mN/m 284.5 293.7 283.1 282.8 285.6 279.4 280.7 284.5 283.6 应变点℃ 719 723 737 718 734 726 747 738 757 熔化温度T<sub>2.3</sub>℃ 1608 1611 1625 1622 1605 1618 1634 1628 1635 热收缩率（600℃、10min）ppm 5.85 6.96 8.96 7.36 6.53 8.74 7.06 8.75 9.09 透过率308nm，% 73.8 74.3 75.9 76.3 74.9 75.4 78.4 76.9 77.3 HF（10%,20min,20℃）mg/cm<sup>2</sup> 8.58 5.31 6.48 7.02 5.64 6.87 7.35 6.89 7.95
表3.
组分wt% 实施例19 实施例20 实施例21 实施例22 实施例23 实施例24 实施例25 实施例26 实施例27 SiO<sub>2</sub> 61.53 61.26 61.93 62.32 62.59 62.89 63.18 63.64 63.91 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 18.05 18.28 18.65 17.67 18.15 17.84 17.55 16.82 16.38 B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 6.5 6.01 5.78 7.15 6.05 5.47 4.37 7.5 4.58 MgO 6.03 6.15 7.01 6.08 7.04 7.56 6.85 6.05 7.25 CaO 2.54 2.42 1.62 2.35 1.3 1.15 2.16 1.11 1.53 SrO 0.55 0.68 1.04 0.95 1.57 1.08 2.32 0.56 1.64 ZnO 4 3.13 2.75 2.74 2.52 3.01 1.63 2.76 2.57 TiO<sub>2</sub> 0.65 1.95 1.1 0.59 0.65 0.85 1.79 1.43 1.99 SnO<sub>2</sub> 0.15 0.12 0.12 0.15 0.13 0.15 0.15 0.13 0.15 TiO<sub>2</sub>/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.05 0.16 0.09 0.05 0.05 0.07 0.14 0.14 0.15 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/（MgO+ZnO） 1.80 1.97 1.91 2.00 1.90 1.69 2.07 1.91 1.67 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+SiO<sub>2</sub>)/B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 12.24 13.23 13.94 11.19 13.35 14.76 18.47 10.73 17.53 ZnO/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.30 0.25 0.22 0.23 0.20 0.24 0.13 0.26 0.20 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 1.87 1.96 1.97 2.05 1.95 1.82 1.69 2.32 1.61 SiO<sub>2</sub>/(Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) 2.51 2.52 2.53 2.51 2.59 2.70 2.88 2.62 3.05 密度g/cm<sup>3</sup> 2.67 2.47 2.65 2.44 2.52 2.56 2.49 2.54 2.72 热膨胀系数（50-350℃）10<sup>-7</sup>/℃ 36.3 32.8 35.7 37.4 34.2 36.9 35.1 34.7 37.5 杨氏模量GPa 84.9 83.3 87.1 85.4 83.2 84.3 82.9 80.4 81.2 维氏硬度Hv 680.4 683.5 684.1 685.2 691.6 683.3 683.9 680.4 682.5 1250℃表面张力mN/m 286.4 295.8 279.3 285.7 283.2 284.9 281.6 283.9 285.3 应变点℃ 770 763 748 752 739 740 735 732 753 熔化温度T<sub>2.3</sub>℃ 1624 1619 1630 1621 1618 1628 1623 1633 1628 热收缩率（600℃、10min）ppm 6.62 8.53 7.36 6.85 8.03 9.74 7.58 6.47 8.38 透过率308nm，% 76.5 78.1 77.6 75.4 73.2 71 74.3 71.7 70.5 HF（10%,20min,20℃）mg/cm<sup>2</sup> 6.02 7.34 6.35 8.42 7.03 8.26 6.41 7.64 8.33
表4.
组分wt% 实施例28 实施例29 实施例30 实施例31 对比例1 对比例2 对比例3 对比例4 SiO<sub>2</sub> 64.26 64.52 64.89 65 53.64 67.37 61.82 61.15 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 17.15 16.76 19.31 18.83 23.65 11.03 19.04 19.95 B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 4.93 3.54 3.65 3.5 8.73 1.15 6.08 7.79 MgO 6.07 8.07 6.05 6.04 10.96 4.26 6.33 6.07 CaO 2.85 2.43 1.76 1.38 0.55 6.34 3.52 2.04 SrO 1.56 0.85 0.78 0.59 0.45 3.03 1.58 1.03 ZnO 1.72 3.17 2.90 2.58 1.5 4.05 1.82 TiO<sub>2</sub> 1.31 0.52 0.55 1.93 0.37 2.62 1.48 SnO<sub>2</sub> 0.15 0.14 0.11 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 TiO<sub>2</sub>/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.11 0.04 0.04 0.18 0.03 0.15 0.13 0.00 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/（MgO+ZnO） 2.20 1.49 2.15 2.18 1.90 1.33 3.01 2.53 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+SiO<sub>2</sub>)/B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 16.51 22.96 23.07 23.95 8.85 68.17 13.30 10.41 ZnO/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 0.14 0.22 0.26 0.24 0.11 0.23 0.00 0.17 (Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)/（MgO+CaO+SrO+ZnO） 1.81 1.40 1.99 2.11 2.41 0.69 2.20 2.53 SiO<sub>2</sub>/(Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>+B<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) 2.91 3.18 2.83 2.91 1.66 5.53 2.46 2.20 密度g/cm<sup>3</sup> 2.61 2.59 2.75 2.63 2.34 2.76 2.69 2.81 热膨胀系数（50-350℃）10<sup>-7</sup>/℃ 36.2 34.9 35.6 36.1 26.85 43.11 39.08 38.67 杨氏模量GPa 80.7 81.3 82 83.5 71.34 73.45 78.73 75.06 维氏硬度Hv 684.5 683.6 680.5 682.9 630.7 641.2 656.3 649.1 1250℃表面张力mN/m 284.7 280.4 290.2 287.3 382.3 390.4 378.6 369.5 应变点℃ 761 744 773 729 631 648 697 683 熔化温度T<sub>2.3</sub>℃ 1629 1617 1626 1635 1649 1598 1628 1631 热收缩率（600℃、10min）ppm 9.63 6.95 7.23 9.28 28.45 19.72 15.89 13.51 透过率308nm，% 73.4 76.3 75.1 73.4 57.5 55.6 68.3 69.8 HF（10%,20min,20℃）mg/cm<sup>2</sup> 8.55 7.15 8.49 8.15 16.46 10.24 9.67 11.85