阅读说明：本技术 一种承载晶圆的防翘曲装置 (Anti-warping device for bearing wafer ) 是由 徐权锋 于 2020-06-23 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种承载晶圆的防翘曲装置,其结构包括晶圆盒、凹槽、放置槽、底板、通槽和调节定位装置,本发明通过将调节定位装置设置于通槽内侧中部,便可通过第一旋钮带动第一螺纹杆在螺纹座上进行转动,使得连接座上的固定夹沿着限位座进行前后滑动,实现对固定的直径距离进行调节,再对活动夹沿着横杆上的滑槽上进行左右滑动,并且通过第二旋钮带动第二螺纹杆进行螺纹固定,实现对固定的左右间距进行调节,便于调节,固定性强,通过横杆前端中部设置有限位槽,并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合,便于进行限位滑动,保证滑动的稳定性。(The invention discloses a warping-proof device for bearing a wafer, which structurally comprises a wafer box, a groove, a placing groove, a bottom plate, a through groove and an adjusting and positioning device.)

一种承载晶圆的防翘曲装置

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种承载晶圆的防翘曲装置。

背景技术

晶圆在经过研磨工艺之后，由于自身的厚度减薄，尤其是边缘的厚度特别小，在将晶圆放入晶圆盒之后，会造成翘曲现象的发生，进而容易造成对晶圆的损坏，为了晶圆避免研磨后发生翘曲通过承载晶圆的防翘曲装置进行放置。

当需要对承载晶圆的防翘曲装置进行使用的情况下，由于现有防翘曲装置内径放置尺寸均为固定状，不同批次或者不同型号的晶圆直径尺寸步进相同，并且晶圆与内部放置槽难以紧密贴合放置，移动过程中容易出现晃动跑位，导致晶圆磕碰磨损。

发明内容

(一)解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种承载晶圆的防翘曲装置，解决了当需要对承载晶圆的防翘曲装置进行使用的情况下，由于现有防翘曲装置内径放置尺寸均为固定状，不同批次或者不同型号的晶圆直径尺寸步进相同，并且晶圆与内部放置槽难以紧密贴合放置，移动过程中容易出现晃动跑位，导致晶圆磕碰磨损的问题。

(二)技术方案

本发明通过如下技术方案实现：本发明提出了一种承载晶圆的防翘曲装置，包括晶圆盒、凹槽、放置槽和调节定位装置，所述晶圆盒顶端中部嵌入有凹槽，所述调节定位装置设置于通槽内侧中部，所述调节定位装置包括第一旋钮、第一螺纹杆、螺纹座、限位座、连接座、横杆、固定夹、滑槽和固定机构，所述第一旋钮前端中部与第一螺纹杆相连接，所述第一螺纹杆外径表面与螺纹座螺纹配合，所述螺纹座与限位座顶部后端相互固定，所述第一螺纹杆外侧前端与连接座转动配合，所述连接座与横杆后端中部紧密固定，所述横杆前端中部通过螺栓与固定夹锁紧固定，所述横杆左右两端内中部穿设有滑槽，所述滑槽内侧中部设置有固定机构，所述螺纹座与通槽内侧中部相互固定。

进一步的，所述凹槽内侧左右两端嵌入有放置槽，所述晶圆盒后端中部贯穿有通槽。

进一步的，所述固定机构包括第二旋钮、第二螺纹杆和活动夹，所述第二旋钮前端中部与第二螺纹杆相连接，所述第二螺纹杆与活动夹后端中部螺纹配合，所述第二螺纹杆沿着滑槽内径表面滑动配合。

进一步的，所述第一旋钮外部设置有橡胶套，并且橡胶套表面设置有防滑纹。

进一步的，所述滑槽和固定机构设置有两组，并且呈平行相对状分布。

进一步的，所述固定夹内侧中部设置有夹槽，并且夹槽内径表面呈光滑状。

进一步的，所述横杆前端中部设置有限位槽，并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合。

进一步的，所述活动夹内侧中部设置有夹槽，并且夹槽内径表面呈光滑状。

进一步的，所述底板材质为PVC塑料。

进一步的，所述第一螺纹杆采用不锈钢材质。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种承载晶圆的防翘曲装置，具备以下有益效果：

优点一：通过将调节定位装置设置于通槽内侧中部，便可通过第一旋钮带动第一螺纹杆在螺纹座上进行转动，使得连接座上的固定夹沿着限位座进行前后滑动，实现对固定的直径距离进行调节，再对活动夹沿着横杆上的滑槽上进行左右滑动，并且通过第二旋钮带动第二螺纹杆进行螺纹固定，实现对固定的左右间距进行调节，便于调节，固定性强。

优点二：通过横杆前端中部设置有限位槽，并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合，便于进行限位滑动，保证滑动的稳定性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明调节定位装置的结构示意图；

图3为本发明调节定位装置俯视的结构示意图；

图4为本发明调节定位装置左视的结构示意图；

图5为本发明固定机构的结构示意图。

图中：晶圆盒-1、凹槽-2、放置槽-3、底板-4、通槽-5、调节定位装置-6、第一旋钮-61、第一螺纹杆-62、螺纹座-63、限位座-64、连接座-65、横杆-66、固定夹-67、滑槽-68、固定机构-69、第二旋钮-691、第二螺纹杆-692、活动夹-693。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1，本发明提供一种承载晶圆的防翘曲装置：包括晶圆盒1、凹槽2、放置槽3、底板4、通槽5和调节定位装置6。晶圆盒1顶端中部嵌入有凹槽2。凹槽2内侧左右两端嵌入有放置槽3，便于进行辅助放置。晶圆盒1后端中部贯穿有通槽5。调节定位装置6设置于通槽5内侧中部。

请参考图2，调节定位装置6包括第一旋钮61、第一螺纹杆62、螺纹座63、限位座64、连接座65、横杆66、固定夹67、滑槽68和固定机构69。第一旋钮61前端中部与第一螺纹杆62相连接，便于进行受力转动。第一螺纹杆62外径表面与螺纹座63螺纹配合。螺纹座63与限位座64顶部后端相互固定，第一螺纹杆62外侧前端与连接座65转动配合，便于进行固定转动。连接座65与横杆66后端中部紧密固定，横杆66前端中部通过螺栓与固定夹67锁紧固定。横杆66左右两端内中部穿设有滑槽68，滑槽68内侧中部设置有固定机构69，便于进行滑动调节。

结合参考图1和图2，螺纹座63与通槽5内侧中部相互固定。

请参考图2和图3，其中，所述固定机构69包括第二旋钮691、第二螺纹杆692和活动夹693，所述第二旋钮691前端中部与第二螺纹杆692相连接，便于进行受力转动，所述第二螺纹杆692与活动夹693后端中部螺纹配合，所述第二螺纹杆692沿着滑槽68内径表面滑动配合。

图4显示了调节定位装置6的侧面示意图，显示了螺纹座63与限位座64顶部后端相互固定。

其中，所述第一旋钮61外部设置有橡胶套，并且橡胶套表面设置有防滑纹(具有相应凹槽，如图2至图5中所示)，避免使用时造成手滑。

其中，所述滑槽68和固定机构69设置有两组，并且呈平行相对状分布，保证固定的范围，如图2中所示，并且，两组滑槽68和固定机构69分别设置在固定夹67两侧。

其中，所述固定夹67内侧中部设置有夹槽(未标注，可参考图2)，并且夹槽内径表面呈光滑状，便于进行***定位。

其中，所述横杆66前端中部设置有限位槽(未标注，可参考图5)，并且限位槽内径表面与活动夹693进行滑动配合，便于进行限位滑动。

其中，所述活动夹693内侧中部设置有夹槽，并且夹槽内径表面呈光滑状，便于进行***定位。

其中，所述底板4材质为PVC塑料，牢固耐用，性价比高，耐腐蚀，质量好。

其中，所述第一螺纹杆62采用不锈钢材质，耐腐蚀性强，成本低，性价比高。

本专利所述的：底板4材质为PVC塑料，PVC塑料化工领域指化合物聚氯乙烯，PVC材料具有不易燃性，高强度，耐气侯变化性以及优良的几何稳定性，PVC对氧化剂，还原剂和强酸都有很强的抵抗力，然而它能够被浓氧化酸如浓硫酸，浓硝酸所腐蚀并且也不适用与芳香烃，氯化烃接触的场合。

工作原理：

第一，先将承载晶圆的防翘曲装置放置于合适的位置，通过底板4对晶圆盒1进行底部支撑放置；

第二，当需要对研磨完毕的晶圆进行收纳放置时，由于现有防翘曲装置内径放置尺寸均为固定状，不同批次或者不同型号的晶圆直径尺寸步进相同，并且晶圆与内部放置槽3难以紧密贴合放置，移动过程中容易出现晃动跑位，导致晶圆磕碰磨损，而本发明通过将调节定位装置6设置于通槽5内侧中部，接着对第一旋钮61施力进行顺时针转动，便可通过第一旋钮61带动第一螺纹杆62在螺纹座63上进行转动，使得连接座65上的固定夹67沿着限位座64进行前后滑动，实现对固定的直径距离进行调节，然后再对活动夹693沿着横杆66上的滑槽68上进行左右滑动，并且对第二旋钮691进行顺时针转动，通过第二旋钮691带动第二螺纹杆692进行螺纹固定，实现对固定的左右间距进行调节，便于调节，固定性强；

第三，调节完毕后，便可将所需放置的晶圆与晶圆盒1内的放置槽3进行***放置，并且通过固定夹67和活动夹693进行双重辅助固定，稳定性强，避免损坏。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。