阅读说明：本技术 一种物料传输自动线及其取送料装置 (Material transmission transfer machine and get material feeding unit thereof ) 是由 王胜利 杨波 于 2018-07-24 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种取送料装置,包括滑动盘、固定在滑动盘上的机械手臂和中转料箱,所述机械手臂用于将待测物装入中转料箱,以及将待测物从中转料箱中取出并送入检测装置,通过上述设置,机械手臂将供料装置内的待测物取出,放入中转料箱,在将待测物放入检测装置时,机械手臂从中转料箱中直接取出,无需取送料装置进行多次的滑动,提高放置的效率,并且也减少能源的消耗,延长取送料装置的滑动寿命,本发明还公开了采用该取送料装置的物料传输自动线。(The invention discloses a material taking and feeding device, which comprises a sliding disc, a mechanical arm and a transfer material box, wherein the mechanical arm is fixed on the sliding disc and is used for loading an object to be detected into the transfer material box, taking the object to be detected out of the transfer material box and feeding the object to be detected into a detection device.)

一种物料传输自动线及其取送料装置

技术领域

本发明涉及晶圆检测设备领域，特别涉及一种物料传输自动线及其取送料装置。

背景技术

目前，公开号为CN105321860B的中国专利公开了一种全自动进出料设备包括物料进出平台、滑轨、机械手臂以及设置于滑轨的旁侧的测试机台；物料进出平台适于送出或回收工作物件，其中工作物件包括载体以及位于载体上的多个待测物，且载体具有辨识码；在物料进出平台的辨识单元辨识完载体的辨识码后，物料进出平台的控制单元驱动机械手臂自物料进出平台取出工作物件，并在机械手臂沿滑轨移动至对应的测试机台时将工作物件置放于其内。

这种自动上下料系统在使用时，机械手臂将待测物逐个送至测试机台，机械手臂移动行程长，送料所需时间长，检测工作效率低。

发明内容

本发明的目的是提供一种取送料装置，其具有检测效率高的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种取送料装置，包括滑动盘、固定在滑动盘上的机械手臂和中转料箱，所述机械手臂用于将待测物装入中转料箱，以及将待测物从中转料箱中取出并送入检测装置。

通过采用上述技术方案，机械手臂将供料装置内的待测物取出，放入中转料箱，在将待测物放入检测装置时，机械手臂从中转料箱中直接取出，无需取送料装置进行多次的滑动，提高放置的效率，并且也减少能源的消耗，延长取送料装置的滑动寿命。

进一步设置：取送料装置还包括辨识组件，所述机械手臂可将待测物送至辨识组件。

通过采用上述技术方案，辨识组件对待测物的位置和编号等信息进行检测，保证送至后续检测装置的产品为完整产品，并且通过控制系统控制选择送至合适的检测装置。

进一步设置：所述辨识组件包括固定台，固定台上转动连接有转动盘以及驱动转动盘转动的转动电机，转动盘用于放置待测物，所述固定台上还固定有检测器，所述固定台上还固定有对待测物预检查的检测器。

通过采用上述技术方案，待测物在中转料箱中的放置方位不同，经过辨识组件的调整，可以保证送入检测装置的待测物方向相同，提高检测结果的准确性。

进一步设置：所述转动电机设置于固定台的侧面，所述转动电机与转动盘带连接。

通过采用上述技术方案，带传动结构简单，传动平稳，运转时产生噪音小，带动待测物转动所需的作用力较小，带传动即可满足传动需求，成本低，使用和维护方便。

进一步设置：所述机械手臂包括固定在滑动盘上的升降组件和连接在升降组件顶端的摆臂组件，所述摆臂组件包括若干水平转动连接的摆臂和取料爪。

通过采用上述技术方案，机械手臂在三维方向上可以进行移动，机械手臂的工作区域广，可以从更多的位置取、放待测物，适用范围广。

进一步设置：所述摆臂组件设置有至少两组。

通过采用上述技术方案，多组摆臂组件可以分别进行取料，提高取料和放料的效率，从而提高检测效率。

进一步设置：所述取送料装置还包括滑轨，所述滑动盘沿滑轨滑动，所述滑动盘上固定有驱动电机，所述驱动电机的输出端设置有驱动轮，所述滑轨上固定有驱动齿板，所述驱动轮与驱动齿板啮合。

通过采用上述技术方案，通过驱动电机带动滑动台的移动，可以简单的将滑动台移动并定位至设定位置，控制准确。

进一步设置：所述驱动轮包括沿驱动轮周向边缘均匀分布的驱动柱，所述驱动齿板上设置有圆弧状截面驱动槽。

通过采用上述技术方案，驱动柱受力时作用力指向驱动柱的轴心，相对于齿轮齿条结构强度高，使用寿命长。

本发明的另一目的是提供一种物料传输自动线，其具有检测效率高的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种物料传输自动线，包括供料装置、检测装置和上述取送料装置。

通过采用上述技术方案，机械手臂将供料装置内的待测物取出，放入中转料箱，在将待测物放入检测装置时，机械手臂从中转料箱中直接取出，无需取送料装置进行多次的滑动，提高放置的效率；取送料装置对检测装置送料的时间较长，此时操作人员可以对供料装置进行补料，避免停机补料的过程，检测效率高。

进一步设置：所述检测装置设置于取送料装置的两侧。

通过采用上述技术方案，检测装置分布在取送料装置两侧，从而检测装置与供料装置平均距离减小，取送料装置的滑动路程减小，减少了能源的消耗，同时提高检测的效率。

综上所述，本发明具有以下技术效果：

1、采用带中转料箱的取送料装置，批量运输待测物进行放置，放置效率高；

2、辨识组件对待测物的完整性进行检测，并对位置进行调整，提高检测结果的可靠性。

附图说明

图1是实施例1结构示意图；

图2是实施例1另一视角的结构示意图；

图3是实施例1的下侧滑动位置处的结构示意图；

图4是实施例2的结构示意图。

图中，1、滑动盘；2、机械手臂；3、中转料箱；4、辨识组件；5、转动盘；6、转动电机；7、升降组件；8、摆臂组件；9、滑轨；10、驱动电机；11、驱动轮；12、驱动齿板；13、驱动柱；14、驱动槽；15、固定台、16、供料装置；17、检测装置。

具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。

实施例1：一种取送料装置，如图1所示，包括滑轨9、滑动盘1、固定在滑动盘1上的机械手臂2和中转料箱3，机械手臂2用于将待测原料送入中转料箱3以及将中转料箱3中原料取出送至检测装置。

参照图2和图3，滑动盘1上螺纹连接有驱动电机10，驱动电机10的输出端从滑动盘1下方穿出，输出端上固定有驱动轮11，滑轨9上固定有与驱动轮11配合的驱动齿板12，驱动轮11转动带动滑动盘1沿滑轨9滑动。驱动轮11包括若干环状均匀分布圆柱状驱动柱13，驱动齿板12上均匀分布有与驱动柱13配合的具有弧形槽底的驱动槽14，驱动轮11转动时，通过驱动柱13与驱动槽14侧壁抵触来带动驱动轮11移动，驱动柱13受力时作用力指向驱动柱13的轴心，相对于齿轮齿条结构强度高，使用寿命长。

参照图1和图2，机械手臂2包括固定于滑动盘1上的升降组件7和连接于升降组件7顶端的两个摆臂组件8，所述摆臂组件8包括转动连接在升降组件7顶端的第一摆臂，和水平连接在第一摆臂远离升降组件7一端的第二摆臂以及水平转动连接在第二摆臂远离第一摆臂一端的取料爪。两组摆臂组件8分别用于拿取滑动方向两侧的待测物。取料爪包括转动连接在第二摆臂远离第一摆臂一端的的取料臂，取料臂上螺纹连接有托起待测物钢托的取料盘

参照图1和图2，中转料箱3包括支撑架、固定在支撑架上的中转料箱3以及固定在支撑架上的辨识组件4，辨识组件4位于中转料箱3的正上方。支撑架上固定有阻挡电机，阻挡电机的输出端朝向机械手臂2，阻挡电机的输出的端上固定有阻挡杆，阻挡杆在阻挡电机的带动下沿垂直面转动，转动路径经过中转料箱3与机械手臂2之间，阻挡机械手臂2进入中转料箱3。

参照图2，辨识组件4包括固定在支撑架上的固定台、转动连接在固定台15上的转动盘5、固定在固定台15上的转动电机6以及螺纹连接在固定台15上的检测架，所述检测架上固定有正对转动盘5圆心的检测头，转动电机6的输出端固定有转动轮，转动轮与转动盘5之间通过带连接传动。

使用时，机械手臂2将待测物送至中转料箱3，待中转料箱3被装至设定容量后；机械手臂2将待测物取出，利用辨识组件4检测待测物的编号及位置，调节待测物至合适方位，驱动电机10启动，带动机械手臂2和中转料箱3移动至对应检测装置处，将待测物送入；循环从中转料箱3取料、检测、送料，直至将中转料箱3中待测物取光。在取送料装置送料时，操作人员在不停机的情况下对供料装置进行补料。

实施例2：一种物料传输自动线，如图4所示，包括供料装置16、检测装置17和实施例1中的取送料装置，供料装置16包括对称设置于滑轨9的一端的两侧的两个取料盒供料机，检测装置17设置于滑轨9两侧。

以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。