阅读说明：本技术 掩模夹具、电镀装置 (Mask jig and plating apparatus ) 是由 小池勇辉 铃木健司 仓持政美 高桥健二 于 2017-08-23 设计创作，主要内容包括：掩模夹具(100)具备：接触部件(130),该接触部件(130)形成有使棒状的活塞杆(10)通过的贯通孔(133),并且在贯通孔(133)的周围具有,该变形部(134)通过活塞杆(10)的外螺纹(10e)插入到贯通孔(133)中而发生弹性变形并与活塞杆(10)的外周端面接触；以及支撑单元(170),其沿着与活塞杆(10)的轴心方向交叉的方向可移动地支撑接触部件(130)。(A mask jig (100) is provided with: a contact member (130) which is provided with a through hole (133) for allowing the rod-shaped piston rod (10) to pass through, and which is provided around the through hole (133), wherein the deformation portion (134) is elastically deformed by the insertion of the external thread (10e) of the piston rod (10) into the through hole (133) and comes into contact with the outer peripheral end surface of the piston rod (10); and a support unit (170) that movably supports the contact member (130) in a direction intersecting the axial direction of the piston rod (10).)

掩模夹具、电镀装置

技术领域

本发明涉及掩模夹具、电镀装置。

背景技术

以往提出了具备对棒状工件(被镀覆部件)的下部进行掩蔽的掩模夹具的电镀装置。

例如，专利文献1所记载的电镀装置为将用工件支撑机构悬吊的棒状工件浸渍在具备阳极且填充有电镀液的镀覆槽中的形式的电镀装置，其中，在镀覆槽中具备掩蔽工件下部的掩模夹具，工件的下部在电镀液中被***到掩模夹具中而进行掩蔽。并且，掩模夹具具备用于收纳工件下部的比工件外径更大的凹部、或直径比工件外径更大的贯通孔。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-13191号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在对于棒状的被镀覆部件的规定部位实施要形成希望镀覆的物质(金属)的薄膜的镀覆处理之前，例如若被镀覆部件的轴心与掩模夹具的凹部或贯通孔的中心错位，则在所要掩蔽的部位也可能会被镀覆(也可能会形成薄膜)。

本发明的目的在于提供一种能够抑制所要掩蔽的部位被镀覆的掩模夹具、电镀装置。

用于解决课题的手段

为了实现该目的，本发明涉及一种掩模夹具，其特征在于，该掩模夹具具备：接触部件，该接触部件形成有使棒状的被镀覆部件通过的贯通孔，并且在上述贯通孔的周围具有变形部，该变形部通过上述被镀覆部件的特定部位***到上述贯通孔中而发生弹性变形并与上述被镀覆部件的外周端面接触，以及支撑部，其支撑上述接触部件，上述接触部件可沿着与上述被镀覆部件的轴心方向交叉的方向移动。

从其他方面出发，本发明涉及一种电镀装置，其特征在于，该装置具备：镀覆槽，容纳包含希望镀覆的物质的电镀液；握持部，握持棒状的被镀覆部件；以及掩模夹具，配置在上述镀覆槽内，掩蔽上述被镀覆部件的特定部位；上述掩模夹具具备：接触部件，该接触部件形成有使上述被镀覆部件通过的贯通孔，并且在上述贯通孔的周围具有变形部，该变形部通过上述特定部位***到上述贯通孔中而发生弹性变形并与上述被镀覆部件的外周端面接触；以及支撑部，其支撑上述接触部件，上述接触部件可沿着与上述被镀覆部件的轴心方向交叉的方向移动。

发明的效果

根据本发明，能够将被镀覆部件的轴心与掩模夹具的中心对齐，能够抑制所要掩蔽的部位被镀覆。

附图说明

图1是本实施方式的电镀装置的示意性构成图。

图2是示出利用电镀装置实施镀覆处理时的状态的图。

图3是作为被镀覆部件的一例的活塞杆的示意图。

图4的(a)和(b)是示出第1实施方式的掩模夹具的示意性构成的图。

图5是示出活塞杆***在第1实施方式的掩模夹具中的状态的图。

图6的(a)是示出活塞杆被***到第1实施方式的掩蔽治具中之前的状态的图。(b)是示出活塞杆***在第1实施方式的掩模夹具中的状态的图。

图7的(a)是示出活塞杆被***到比较例的掩模夹具中之前的状态的图。(b)是示出活塞杆***在比较例的掩模夹具中的状态的图。

图8是示出第2实施方式的掩模夹具的示意性构成的图。

图9的(a)是示出第3实施方式的掩模夹具的示意性构成的图。(b)是示出活塞杆10***在第3实施方式的掩模夹具300中的状态的图。

图10的(a)和(b)是示出第4实施方式的掩模夹具的示意性构成的图。

图11是示出第5实施方式的掩模夹具的示意性构成的图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。

图1是本实施方式的电镀装置1的示意性构成图。

图2是示出利用电镀装置1实施镀覆处理时的状态的图。

电镀装置1具备：作为握持部的一例的握持机构20，其握持作为棒状的被镀覆部件的一例的活塞杆10；以及镀覆槽30，其容纳包含希望镀覆的物质的电镀液。并且，电镀装置1利用握持机构20握持复数根活塞杆10，通过将复数根活塞杆10浸渍在配置于下方的镀覆槽30中而进行镀覆处理。

电镀装置1具备：沿上下方向延伸的复数根柱11、架设在复数根柱11的上部的板状的水平板12、沿前后方向(垂直于纸面的方向)延伸的2根轨道13、以及在2根轨道13上行走的自行式台14。

电镀装置1还具备：设于自行式台14的马达15、安装于马达15的输出轴的小齿轮16、以及沿前后方向延伸且与小齿轮16一起形成小齿轮·齿条机构的齿条17。自行式台14通过马达15的驱动而沿前后方向移动。

握持机构20具备：使活塞杆10升降的升降气缸21、辅助升降的2根导轨22、以及安装在升降气缸21和2根导轨22的下端部的板状的升降板23。另外，握持机构20具有安装于升降板23并且握持活塞杆10的复数个握持插口24。复数个握持插口24通过升降气缸21的伸缩而与升降板23一起升降。

另外，电镀装置1具备：储藏电镀液的罐32、泵33、将储藏在罐32中的电镀液供给到镀覆槽30中的供给管34、以及使镀覆槽30内的电镀液返回到罐32中的回管35。

另外，电镀装置1具备：用于电镀的阳极36、阳极侧的汇流条37、阴极支承台38以及阴极侧的汇流条39。

另外，电镀装置1具备：配置在镀覆槽30内并对活塞杆10的特定部位进行掩蔽的掩模夹具100以及对掩模夹具100进行保持并进行升降的升降机构50。

关于掩模夹具100在下文详述。

升降机构50具备：保持掩模夹具100的大致U字状的框架51、支撑该框架51的两端的复数个螺母部件52、使各螺母部件52升降的螺杆53以及用于使螺杆53旋转的传动杆54和锥齿轮55。另外，升降机构50与一个螺杆54连结的马达56、以及与另一螺杆54连结的旋转检测器57。

在按以上方式构成的电镀装置1中构成为能够根据所要镀覆处理的被镀覆部件(本实施方式中为活塞杆10)的长度或要掩蔽的部位来调整掩模夹具100的高度。另一方面，驱动行进马达15，使被镀覆部件(活塞杆10)向镀覆槽30上移动，在该位置驱动升降气缸21，使被镀覆部件下降。之后将升降板23载置于阴极支承台38。其后藉由阳极侧的汇流条37和阴极侧的汇流条39在阳极36与被镀覆部件(活塞杆10)之间施加规定的电压。这样，电镀液中的作为希望镀覆的物质的一例的金属离子(Cr离子等)靠近阴极侧的被镀覆部件(活塞杆10)，金属开始进行还原析出。

(活塞杆、掩模夹具)

图3是作为被镀覆部件的一例的活塞杆10的示意图。其与图1相同方向地示出。

图4的(a)和图4的(b)是示出第1实施方式的掩模夹具100的示意性构成的图。掩模夹具100为对活塞杆10进行镀覆处理的情况下合适的夹具。

{活塞杆}

活塞杆10是车辆的悬架中使用的部件，配置在气缸内的活塞被保持在其一端部，另一端部在气缸外露出。例如，为了抑制活塞杆10中的露出到气缸外的部位与对气缸内进行密封的油封装置滑动接触而发生磨耗，对于与油封装置滑动接触的部位进行实施硬质镀铬的镀覆处理。

活塞杆10由外径不同的复数个圆柱状的部位构成，具有外径最大的中央轴部10a、设于中央轴部10a的上方的上轴部10b、以及设于中央轴部10a的下方的下轴部10c。在上轴部10b的上端部的外周面形成外螺纹10d、在下轴部10c的下端部的外周面形成外螺纹10e。并且，中央轴部10a由于是与油封装置接触的部分，所以其是利用电镀装置1进行镀覆(形成金属的薄膜)的部位。外螺纹10d、外螺纹10e是被螺母紧固的部位，因而不进行镀覆(不形成金属的薄膜)。上轴部10b利用握持机构20的握持插口24进行握持，外螺纹10e利用掩模夹具100进行掩蔽。

{掩模夹具}

<第1实施方式>

第1实施方式的掩模夹具100具备：抑制单元110，其抑制作为希望镀覆的物质的一例的金属离子去往作为棒状活塞杆10的特定部位的一例的外螺纹10e；以及作为支撑部的一例的支撑单元170，其支撑抑制单元110，抑制单元110可沿着与活塞杆10的轴心交叉的方向移动。

[抑制单元]

抑制单元110具备接触部件130，其与活塞杆10的下轴部10c的外周面接触，抑制金属离子去往外螺纹10e。另外，抑制单元110具备抑制部件140，其包围位于活塞杆10的外螺纹10e的上方的中央轴部10a的下端部的周围，抑制金属离子去往外螺纹10e。另外，抑制单元110具备保持接触部件120和抑制部件140的保持部件150。

接触部件130具有：包围活塞杆10的下轴部10c(外螺纹10e)的周围的圆筒状的圆筒状部131以及设于圆筒状部131的上端部的凸缘132。接触部件130为橡胶等弹性体。例如，接触部件130可示例出利用聚偏二氟乙烯(PVDF)等热塑性氟聚合物成型而成。

圆筒状部131的内径与活塞杆10的下轴部10c的外径相同，圆筒状部131的中心线方向的长度比活塞杆10的下轴部10c的长度更长。因此，活塞杆10的下轴部10c配置在接触部件130的内侧。接触部件130的圆筒状部131的内部起到作为使活塞杆10的下轴部10c穿过的贯通孔133的功能。

接触部件130在使活塞杆10的下轴部10c通过的贯通孔133的周围具有变形部134，该变形部134通过外螺纹10e被***到贯通孔133中而发生弹性变形并与活塞杆10的外周端面接触。变形部134由圆筒状部131中的上部和中部、凸缘132中的中心侧的部位构成。在变形部134以辐射状形成狭缝135并被分离成复数部分。即，接触部件130具有分离成复数部分的接触片136，按照在活塞杆10的下轴部10c未被***的状态下接触片136彼此不会相互接触的方式形成狭缝135。

需要说明的是，在掩模夹具100中，按照圆筒状部131等圆筒状的部位或部件的中心线方向与活塞杆10的轴心方向相同的方式进行配置。

抑制部件140具有：作为在中央部形成有贯通孔141a的圆形板状部位的基部141、从基部141的内周侧端部向着与轴心方向交叉的斜上方向倾斜的倾斜部142以及从基部141的外周侧端部沿轴心方向朝向下方延伸的圆筒状的圆筒状部143。

基部141的贯通孔141a的孔径比活塞杆10的中央轴部10a的外径更大。基部141的外径比接触部件130的外径更大。

倾斜部142按照内面142a与活塞杆10的中央轴部10a的外周面之间的间隙从上侧向下侧逐渐减小的方式形成。换言之，倾斜部142相对于轴心倾斜，随着向接触部件130的方向行进，其与作为规定部位的一例的中央轴部10a之间的间隙逐渐变小。倾斜部142相对于轴心的角度θ可示例出小于45度。倾斜部142的上部的上部外表面142b按照平行于轴心方向的方式成型为在规定长度上具有相同外径。倾斜部142的上部外表面142b的下方的外表面按照厚度大致相同的方式以外径从上侧向下侧逐渐减小的方式进行成型。

圆筒状部143的内径大于接触部件130的凸缘132的外径，圆筒状部143的轴心方向的尺寸大于接触部件130的凸缘132的尺寸。在圆筒状部143的外周面形成有与形成在保持部件150上的内螺纹152a紧固的外螺纹143a。

需要说明的是，抑制部件140可例示出为金属或树脂。

保持部件150具有：在中央部形成了贯通孔151a的作为圆形板状部位的圆板状部151以及从圆板状部151的外周侧端部沿轴心方向向上方延伸的圆筒状的圆筒状部152。

圆板状部151的贯通孔151a的孔径大于接触部件130的圆筒状部131的外径、小于接触部件130的凸缘132的外径。圆板状部151的外径大于接触部件130的凸缘132的外径。

在圆筒状部152的内周面形成有对于在抑制部件140的圆筒状部143的外周面形成的外螺纹143a进行紧固的内螺纹152a。

需要说明的是，保持部件150可例示出为金属或树脂。

如上所述构成的抑制单元110中，在接触部件130被配置在保持部件150的圆板状部151与抑制部件140的基部141之间的状态下，通过将形成于抑制部件140的外螺纹143a与形成于保持部件150的内螺纹152a紧固而进行一体化。

[支撑单元]

支撑单元170具备：载置抑制单元110的底座180、通过将抑制单元110夹在其与底座180之间来限制抑制单元110在轴心方向上的移动的限制部件190、以及对限制部件190的移动进行限制的锁定螺母195。

底座180为圆筒状的部件，具有与轴心方向正交的上端面181。底座180的内径比抑制单元110的包围部件130的圆筒状部131的外径大，底座180的轴心方向的长度比包围部件130的圆筒状部131的长度长。底座180的外径为抑制单元110的保持部件150的外径以上。在底座180的上部的外周面形成有对形成于限制部件190的内螺纹191a进行紧固的外螺纹180a。

需要说明的是，底座180可例示出为金属、树脂。

限制部件190具有：外径相同但内径不同的2个圆筒状的第1圆筒状部191和第2圆筒状部192、以及从第2圆筒状部192的上端部向内侧(中心侧)突出的突出部193。

需要说明的是，限制部件190可例示出为金属或树脂。

在第1圆筒状部191的内周面形成有紧固在形成于底座180的外周面的外螺纹180a上的内螺纹191a。

第2圆筒状部192的内径比第1圆筒状部191的内径大。第2圆筒状部192的轴心方向的尺寸比抑制单元110的保持部件150中的轴心方向的尺寸大。

突出部193为在中央部形成有贯通孔193a的圆形板状部位。贯通孔193a的孔径比抑制单元110的抑制部件140的圆筒状部143的内径小。贯通孔193a的孔径比抑制部件140的倾斜部142的作为最大外径的上部外表面142b的外径大。

如上所述构成的支撑单元170中，在将抑制单元110的保持部件150的下端面(圆板状部151的下表面)载置在底座180的上端面181的状态下，相对于底座180安装限制部件190。此时，抑制单元110的抑制部件140的倾斜部142通入限制部件190的突出部193的贯通孔193a。其后，通过将形成于限制部件190的内螺纹191a紧固于形成在底座180的外螺纹180a，而可移动地支撑抑制单元110。限制部件190向下方的移动由紧固于形成在底座180的外螺纹180a的锁定螺母195来限制。锁定螺母195的位置按照底座180的上端面181与限制部件190的突出部193之间的间隙大于被底座180的上端面181和限制部件190的突出部193夹在中间的抑制单元110的尺寸的方式进行设定。

由于限制部件190的第2圆筒状部192的内径大于第1圆筒状部191的内径、大于抑制单元110的保持部件150的外径，因而在第2圆筒状部192的内周面与抑制单元110的保持部件150的外周面之间产生间隙。因此，抑制单元110能够沿着与轴心方向正交的方向移动，直至保持部件150的外周面与限制部件190的第2圆筒状部192的内周面接触。

图5是示出活塞杆10被***到了第1实施方式的掩模夹具100中的状态的图。即，图5也是图2的V部的放大截面图。

电镀装置1中，在藉由阳极侧的汇流条37和阴极侧的汇流条39对阳极36和活塞杆10之间施加规定的电压时，电镀液中的金属离子Mi去往阴极侧的活塞杆10，金属开始进行还原析出。

另一方面，随着从上侧向下侧行进，抑制部件140的倾斜部142的内面142a与活塞杆10的中央轴部10a的外周面之间的间隙逐渐减小，由于以该方式形成，因而越向中央轴部10a的最下端部行进，到达中央轴部10a的外周面的金属离子Mi的量越少。另外，由于抑制单元110的接触部件130的圆筒状部131的内径(贯通孔133的孔径)与活塞杆10的下轴部10c的外径相同，因而在活塞杆10的下轴部10c***在贯通孔133中的状态下，接触部件130的圆筒状部131的内周面与活塞杆10的下轴部10c的外周面接触。因此，接触部件130可阻断金属离子Mi从接触部件130的上方通过接触部件130的圆筒状部131的内周面与下轴部10c的外周面之间去往外螺纹10e。另外，由于接触部件130的圆筒状部131包围外螺纹10e的周围，因而可抑制金属离子Mi从作为圆筒状部131的外侧的圆筒状部131的外周面与底座180的内周面之间去往配置在圆筒状部131的内侧的外螺纹10e。由此，可抑制在活塞杆10的外螺纹10e形成金属的薄膜(金属还原析出)。

在相对于掩模夹具100***活塞杆10时，在接触部件130的贯通孔133的中心Ch与活塞杆10(下轴部10c)的轴心Cs相同的情况下，圆筒状部131的内周面均等地与活塞杆10的下轴部10c的外周面接触。

图6的(a)为示出活塞杆10被***到第1实施方式的掩模夹具100中之前的状态的图。图6的(b)为示出活塞杆10***在第1实施方式的掩模夹具100中的状态的图。

如图6所示，在相对于掩模夹具100***活塞杆10时，在接触部件130的贯通孔133的中心Ch与活塞杆10(下轴部10c)的轴心Cs发生错位的情况下，下轴部10c的外周面仅与复数个接触片136中的部分接触片136的上部接触，发生了接触的接触片136在与轴心正交的方向上受力。由此，抑制单元110在对应接触片136受到的下轴部10c作用力的方向上移动，容易使贯通孔133的中心Ch与活塞杆10的轴心Cs相同。并且，在活塞杆10被***到了掩模夹具100中之后，复数个接触片136可与下轴部10c的外周面均等地接触。

通过使复数个接触片136与下轴部10c的外周端面均等地接触，可准确度更高地阻断金属离子Mi从接触部件130的上方通过圆筒状部131的内周面与下轴部10c的外周面之间而去往外螺纹10e。

图7的(a)是示出活塞杆被***到比较例的掩模夹具中之前的状态的图。图7的(b)是示出活塞杆***在比较例的掩模夹具中的状态的图。

比较例的掩模夹具相对于第1实施方式的掩模夹具100的不同点在于接触部件130无法沿与轴心正交的方向移动。

在相对于比较例的掩模夹具***活塞杆10时，在形成于接触部件130的贯通孔133的中心Ch与活塞杆10(下轴部10c)的轴心Cs发生错位的情况下，下轴部10c的外周面仅与复数个接触片136中的部分接触片136的上端部接触。之后，活塞杆10在使部分接触片136发生弹性变形的同时向下方移动。其结果，在活塞杆10***在比较例的掩模夹具中之后，在复数个接触片136中的未与下轴部10c的外周面接触的接触片136与下轴部10c的外周面之间产生间隙。于是，金属离子Mi容易藉由该间隙从接触部件130的上方去往外螺纹10e，活塞杆10的外螺纹10e容易被镀覆(容易形成金属的薄膜)。另外，在由于贯通孔133的中心Ch与活塞杆10(下轴部10c)的轴心Cs发生错位而使仅部分接触片136反复发生变形时，该部分接触片136容易发生塑性变形等损伤，掩模夹具的耐久性降低。

与之相对，根据第1实施方式的掩模夹具100，即使接触部件130的贯通孔133的中心Ch与活塞杆10(下轴部10c)的轴心Cs发生错位，贯通孔133的中心Ch与活塞杆10的轴心Cs也容易相同。即，由于抑制单元110相对于支撑单元170可移动地支撑，因而在活塞杆10***时，即使贯通孔133的中心Ch与活塞杆10的轴心Cs发生错位，在***后，贯通孔133的中心Ch与活塞杆10的轴心Cs也容易相同。其结果，在活塞杆10***在掩模夹具100中之后，复数个接触片136与下轴部10c的外周面均等地接触，可准确度更高地阻断金属离子Mi从接触部件130的上方去往外螺纹10e。因此，第1实施方式的掩模夹具100能够准确度更高地抑制所要掩蔽的部位被镀覆(形成金属的薄膜)的情况。

另外，第1实施方式的掩模夹具100中，抑制单元110的抑制部件140的倾斜部142按照与中央轴部10a之间的间隙向接触部件130的方向逐渐减小的方式相对于轴心方向倾斜，该倾斜部相对于轴心方向的角度θ小于45度。因此，根据第1实施方式的掩模夹具100，与倾斜部142相对于轴心方向的角度θ为45度以上的情况相比，金属离子Mi不容易从接触部件130的上方去往外螺纹10e。其结果，第1实施方式的掩模夹具100能够准确度更高地抑制所要掩蔽的部位被镀覆的情况。

需要说明的是，角度θ越小则金属离子Mi越难到达中央轴部10a的下端部，在中央轴部10a的下端部可能不会形成金属的薄膜。另外，倾斜部142的轴心方向的长度越大则金属离子Mi越难到达中央轴部10a的下端部。另外，倾斜部142的内周面径与中央轴部10a的外周面径之差越小，则金属离子Mi越难到达中央轴部10a的下端部。因此，角度θ越小，倾斜部142的轴心方向的长度可以越小等，可以将角度θ、倾斜部142的轴心方向的长度以及倾斜部142的内周面径与中央轴部10a的外周面径之差相互关联地进行设定。

另外，第1实施方式的掩模夹具100中，在接触部件130中形成狭缝135且活塞杆10的下轴部10c未***的状态下，分离成复数部分的接触片136彼此不相互接触。与之相对，在活塞杆10的下轴部10c***之前复数个接触片136彼此相互接触的构成中，在下轴部10c***后，接触片136相互碰撞，接触片136可能与中央轴部10a接触。若接触片136与中央轴部10a接触，则在中央轴部10a的下端部不会形成金属的薄膜。如上所述，利用第1实施方式的掩模夹具100，能够准确度更高地抑制所应镀覆的部位未被镀覆的情况。

另外，第1实施方式的掩模夹具100中，抑制单元110的抑制部件140的倾斜部142的上部外表面142b按照与轴心方向平行的方式进行成型。另外，抑制部件140的倾斜部142中的与轴心方向正交的方向的尺寸小于支撑单元170的底座180中的与轴心方向正交的方向的尺寸。这样，可抑制抑制部件140的倾斜部142的上部外表面142b中的与轴心方向正交的方向的尺寸。其结果，在电镀装置1中设置掩模夹具100的状态下，抑制部件140的倾斜部142的上部外表面142b不容易干扰阳极36(参照图1)。即，根据第1实施方式的掩模夹具100，通过使抑制部件140的倾斜部142的形状为上述的形状，可以提高电镀装置1的空间效率。

需要说明的是，在上述的实施方式中，抑制单元110的接触部件130的圆筒状部131的内径(贯通孔133的孔径)与活塞杆10的下轴部10c的外径相同，但并不特别限于该方式。接触部件130的圆筒状部131的内径与活塞杆10的下轴部10c的外径也可以不同。例如，接触部件130的圆筒状部131的内径可以小于活塞杆10的下轴部10c的外径。这种情况下，在活塞杆10的下轴部10c被***到贯通孔133中时，通过接触部件130的接触片136发生弹性变形，在下轴部10c***在贯通孔133中的状态下，圆筒状部131的内周面与下轴部10c的外周面接触。

另一方面，接触部件130的圆筒状部131的内径可以大于活塞杆10的下轴部10c的外径。这种情况下、即接触部件130的圆筒状部131的内周面与活塞杆10的下轴部10c的外周面之间具有间隙的情况下，可以如下设定这些圆筒状部131的内径与下轴部10c的外径。在活塞杆10的下轴部10c***在接触部件130的贯通孔133中的状态下，在从接触部件130的上端面到形成于下轴部10c的外螺纹10e为止的轴心方向的长度大的情况下，即使接触部件130的圆筒状部131的内周面与活塞杆10的下轴部10c的外周面之间具有间隙，金属离子Mi也难以到达外螺纹10e。因此，从接触部件130的上端面到形成于下轴部10c的外螺纹10e为止的轴心方向的长度越大，越容许圆筒状部131的内周面与活塞杆10的下轴部10c的外周面之间的间隙增大等，可以按照金属离子Mi不会到达外螺纹10e的方式将外螺纹10e的位置与间隙的尺寸相互关联地设定。

另外，可以按照接触部件130的圆筒状部131的内径大于活塞杆10的下轴部10c的外径的方式进行设定，并且将轴心方向的位置关系按照活塞杆10的中央轴部10a的下端面抵接推压在接触部件130的上端面的方式来进行设定。通过使活塞杆10的中央轴部10a的下端面推压接触部件130的上端面，接触片136发生弹性变形而向内侧(下轴部10c的外周面侧)突出，圆筒状部131的内周面与下轴部10c的外周面之间的间隙减小。由此，即使在接触部件130的圆筒状部131的内周面与活塞杆10的下轴部10c的外周面之间具有间隙，也能够使金属离子Mi难以到达外螺纹10e。

<第2实施方式>

图8是示出第2实施方式的掩模夹具200的示意性构成的图。

第2实施方式的掩模夹具200相对于第1实施方式的掩模夹具100具有下述不同点：支撑单元270的底座280在下部具有阻断部283，其阻断金属离子Mi从支撑单元270的外侧去往支撑单元270的内侧。下面主要对于与第1实施方式的掩模夹具100的不同之处进行说明。对于在第1实施方式的掩模夹具100与第2实施方式的掩模夹具200中具有相同形状、功能的部分附以相同符号并省略其详细说明。

第2实施方式的掩模夹具200具备：抑制单元110，抑制金属离子Mi去往形成于活塞杆10的下轴部10c的外螺纹10e；以及支撑抑制单元110的支撑单元270。

支撑单元270具有载置抑制单元110的底座280。底座280具有：圆筒状的圆筒状部282；以及阻断部283，设于圆筒状部282的下部且阻断金属离子Mi去往活塞杆10的外螺纹10e。

阻断部283为堵塞圆筒状部282中的下端部的开口的圆板状的部位。

阻断部283可例示出粘接、粘合或熔敷在圆筒状部282的下端部。阻断部283可以嵌合紧贴在圆筒状部282的内侧。另外，圆筒状部282与阻断部283可以一体成型。即，底座280可以为杯状。

根据第2实施方式的掩模夹具200，由于外螺纹10e的周围被支撑单元270的底座280的圆筒状部282和阻断部283包围，因而与未设置阻断部283的构成相比，可准确度更高地抑制金属离子Mi去往外螺纹10e。即，第2实施方式的掩模夹具200能够准确度更高地抑制所应掩蔽的部位被镀覆的情况。

<第3实施方式>

图9的(a)是示出第3实施方式的掩模夹具300的示意性构成的图。图9的(b)是示出活塞杆10***在第3实施方式的掩模夹具300中的状态的图。

第3实施方式的掩模夹具300相对于第1实施方式的掩模夹具100在抑制单元110方面不同。下面主要对于与第1实施方式的掩模夹具100的不同之处进行说明。对于在第1实施方式的掩模夹具100与第3实施方式的掩模夹具300中具有相同形状、功能的部分附以相同符号并省略其详细说明。

第3实施方式的掩模夹具300具备：抑制单元310，抑制金属离子Mi去往形成于活塞杆10的下轴部10c的外螺纹10e；以及支撑抑制单元310的支撑单元170。

抑制单元310中，除了第1实施方式的抑制单元110所具有的接触部件130、抑制部件140和保持部件150以外，还具有可沿轴心方向移动接触部件130的弹性部件360。弹性部件360被配置在接触部件130的凸缘132与保持部件150的圆板状部151之间。

弹性部件360可例示为利用橡胶成型出的在中央部形成了贯通孔361的圆形板状部件。另外，弹性部件360可例示为线圈弹簧。

根据第3实施方式的掩模夹具300，与第1实施方式的掩模夹具100相比，更能够利用抑制单元310吸收活塞杆10的轴心方向的错位。即，根据第3实施方式的掩模夹具300，即使例如由握持机构20握持的活塞杆10的轴心方向的位置位于标准位置(例如图5所示的位置)的下方，也能够通过弹性部件360沿轴心方向的弹性变形而使接触部件130向下方移动。由此，能够抑制因中央轴部10a的下端面与接触部件130接触而引起的接触部件130的变形部134发生损伤，能够提高耐久性。

<第4实施方式>

图10的(a)和图10的(b)是示出第4实施方式的掩模夹具400的示意性构成的图。

第4实施方式的掩模夹具400相对于第1实施方式的掩模夹具100在抑制单元110的接触部件130的形状方面不同。下面主要对于与第1实施方式的掩模夹具100的不同之处进行说明。对于在第1实施方式的掩模夹具100与第4实施方式的掩模夹具400中具有相同形状、功能的部分附以相同符号并省略其详细说明。

第4实施方式的掩模夹具400具备：抑制单元410，抑制金属离子Mi去往形成于活塞杆10的下轴部10c的外螺纹10e；以及支撑抑制单元410的支撑单元170。

并且，抑制单元410具备接触部件430，其与活塞杆10的下轴部10c的外周面接触，抑制金属离子Mi去往外螺纹10e。接触部件430为在中央部形成了贯通孔433的圆形板状部件。即，第4实施方式的接触部件430与第1实施方式的接触部件130不同，不包围活塞杆10的外螺纹10e的周围。接触部件430在贯通孔433的周围具有变形部434，该变形部434通过外螺纹10e被***到贯通孔433中而发生弹性变形，与活塞杆10的外周面接触。变形部434以辐射状形成狭缝435而被分离成复数部分。即，接触部件430具有分离成复数部分的接触片436，按照在活塞杆10的下轴部10c未被***的状态下接触片436彼此不相互接触的方式形成狭缝435。

接触部件430可例示为聚偏二氟乙烯(PVDF)等树脂或金属。

根据第4实施方式的掩模夹具400，与第1实施方式的掩模夹具100相比，金属离子Mi更容易从活塞杆10的外螺纹10e的下方去往外螺纹10e，但若底座180的比外螺纹10e更靠下方的部位的轴心方向的长度足够长，则金属离子Mi不会达到外螺纹10e。因此，像第4实施方式的掩模夹具400这样，通过在抑制单元410不设置包围活塞杆10的外螺纹10e的周围的部位，可以使掩模夹具400的形状简易。

需要说明的是，接触部件430也可以通过将薄的圆形板状部件沿轴向复数重叠而构成。换言之，接触部件430可以由沿轴向重叠的复数层构成。

另外，在接触部件430与保持部件150的圆板状部151之间可以配置第3实施方式的弹性部件360。

<第5实施方式>

图11是示出第5实施方式的掩模夹具500的示意性构成的图。

第5实施方式的掩模夹具500相对于第1实施方式的掩模夹具100在抑制单元110方面不同。下面主要对于与第1实施方式的掩模夹具100的不同之处进行说明。对于在第1实施方式的掩模夹具100与第5实施方式的掩模夹具500中具有相同形状、功能的部分附以相同符号并省略其详细说明。

第5实施方式的掩模夹具500具备：抑制单元510，抑制金属离子Mi去往形成于活塞杆10的下轴部10c的外螺纹10e；以及支撑抑制单元510的支撑单元170。

抑制单元510中，除了第1实施方式的抑制单元110所具有的接触部件130、抑制部件140和保持部件150以外，还在接触部件130的上方具有阻断部件520。

阻断部件520为在中央部形成了贯通孔521的圆形板状部件。贯通孔521的孔径小于活塞杆10的下轴部10c的外径。阻断部件520为橡胶等弹性体。例如，阻断部件520可例示为由聚偏二氟乙烯(PVDF)等热塑性氟聚合物成型出的部件。

根据第5实施方式的掩模夹具500，由于阻断部件520的贯通孔521的孔径小于活塞杆10的下轴部10c的外径，因而在活塞杆10的下轴部10c***在贯通孔521中的状态下，阻断部件520与活塞杆10的下轴部10c的外周面接触。因此，阻断部件520可阻断金属离子Mi从阻断部件520的上方去往外螺纹10e。因此，能够准确度更高地抑制在活塞杆10的外螺纹10e上形成金属的薄膜(金属还原析出)的情况。

符号的说明

1…电镀装置、10…活塞杆、10c…下轴部、10e…外螺纹、100,200,300,400,500…掩模夹具、110,310,410,510…抑制单元、130…接触部件、140…抑制部件、150…保持部件、170,270…支撑单元、180,280…底座、190…限制部件、195…锁定螺母。