具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。

如图1所示，本发明所焊接的溅射环200，包括环体201、电极202和支撑件203。在焊接前，电极202和支撑件203已采用其他方法固定在环体201上。

如图2-图6所示，为本发明提出的适于溅射环批量电子束焊接的组件的实施例100，主要用在真空电子束焊机上，用于批量焊接溅射环200，包括芯轴101、隔板102、螺栓103、挡板105以及套筒。

芯轴101为钢制材料或铝制材料，芯轴101的一端为圆柱体，其安装到真空电子束焊机的卡盘上，另一端设有螺纹孔，螺栓103安装在其内；芯轴上有多个台阶，其数量可根据真空电子束焊机工作台的大小而设置，在一般的电子束焊机中，优选芯轴上的台阶数为7个；台阶的高度从圆柱端到螺纹孔端逐渐减小，以便于装配。

隔板102为圆盘形，在靠近其边缘两侧设有凸台，直径略小于溅射环200内径，在圆心处设有大孔，保证芯轴101能够穿过，隔板102上设有多个减重孔，优选为六个，便于操作人员取放和安装。隔板102为多个，之间安装溅射环200，根据溅射环200的数量设置隔板的数量，隔板的数量比溅射环的数量少一个，相邻两个隔板用于固定中间的溅射环。隔板通常采用铝材料。

螺栓103安装于芯轴101的螺纹孔中，在螺栓103前部设有挡板105，用于阻挡隔板，减少螺栓对隔板的磨损。

实际使用中，根据溅射环的数量在挡板105前部，即挡板105和其相邻的隔板之间设有套筒，用于阻挡隔板，如附图4-6的实施例示出的，分别设置有第一套筒104、第二套筒106或第三套筒107。套筒的尺寸由挡板和与其相邻的隔板之间的距离而定。

溅射环焊接前，需要先将芯轴101安装到真空电子束焊机卡盘上，用卡盘上卡爪卡住芯轴101的圆柱一端，卡盘为多抓，优选三抓或四爪，卡住芯轴101后，调整其跳动在±0.1mm以内。

实施例1

如图3所示为焊接四件溅射环时装配示意图。在芯轴101固定在真空电子束焊机卡盘上并调整好后，先将一隔板102安装到芯轴101上，然后依次安装溅射环200、隔板102，共安装4次溅射环200、隔板102，最后把挡板105安装到最后一个隔板后面，调整四件溅射环200的支撑件203、电极202相对位置，使四件溅射环200的支撑件203位于平行于芯轴中心线的同一直线上，四件溅射环200的电极202位于平行于芯轴中心线的同一直线上，拧紧螺栓103，把真空电子束焊机工作台上顶尖顶到螺栓103上，这样溅射环批量焊接组件就安装完毕。关闭炉门、抽真空到真空度5×10^-2Pa后即可进行焊接。在焊接前，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心X坐标位置。同样，在十字方向，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心Y坐标位置。圆心坐标确定后，设定高压、束流和扫描线速度参数，在真空电子束焊机上编程进行圆扫描。先不引束，进行模拟扫描，验证配件圆心坐标点和所编程序正确性。验证正确后，即可进行引束焊接。以此类推，焊接支撑件203、电极202。当焊接完第一件溅射环200后，可编程自动进行后续几个溅射环200的焊接。

实施例2

如图4所示为焊接三件溅射环时装配示意图，在芯轴101固定在真空电子束焊机卡盘上并调整好后，先将一隔板102安装到芯轴101上，然后依次安装溅射环200、隔板102，共安装3次溅射环200、隔板102，调整三件溅射环200的支撑件203、电极202相对位置，使三件溅射环200的支撑件203位于平行于芯轴中心线的同一直线上，三件溅射环200的电极202位于平行于芯轴中心线的同一直线上，，把第一套筒104套入芯轴101上，最后把挡板105安装到第一套筒104后，拧紧螺栓103，把真空电子束焊机工作台上顶尖顶到螺栓103上，这样溅射环环批量焊接组件就安装完毕。关闭炉门、抽真空到真空度5×10^-2Pa后即可进行焊接。在焊接前，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心X坐标位置。同样，在十字方向，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心Y坐标位置。圆心坐标确定后，设定高压、束流和扫描线速度参数，在真空电子束焊机上编程进行圆扫描。先不引束，进行模拟扫描，验证配件圆心坐标点和所编程序正确性。验证正确后，即可进行引束焊接。以此类推，焊接支撑件203、电极202。当焊接完第一件溅射环200后，可编程自动进行后续几个溅射环200的焊接。

实施例3

如图5所示为焊接两件溅射环时装配示意图，在芯轴101固定在真空电子束焊机卡盘上并调整好后，先将一隔板102安装到芯轴101上，然后依次安装溅射环200、隔板102，共安装3次溅射环200、隔板102，调整两件溅射环200的支撑件203、电极202相对位置，使两件溅射环200的支撑件203位于平行于芯轴中心线的同一直线上，两件溅射环200的电极202位于平行于芯轴中心线的同一直线上，，把第二套筒106套入芯轴101上，最后把挡板105安装到第二套筒106后，拧紧螺栓103，把真空电子束焊机工作台上顶尖顶到螺栓103上，这样溅射环环批量焊接组件就安装完毕。关闭炉门、抽真空到真空度5×10^-2Pa后即可进行焊接。在焊接前，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心X坐标位置。同样，在十字方向，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心Y坐标位置。圆心坐标确定后，设定高压、束流和扫描线速度参数，在真空电子束焊机上编程进行圆扫描。先不引束，进行模拟扫描，验证配件圆心坐标点和所编程序正确性。验证正确后，即可进行引束焊接。以此类推，焊接支撑件203、电极202。当焊接完第一件溅射环200后，可编程自动进行下一个溅射环200的焊接。

实施例4

如图6所示为焊接一件溅射环时装配示意图，在芯轴101固定在真空电子束焊机卡盘上并调整好后，先将一隔板102安装到芯轴101上，然后依次安装溅射环200、隔板102，共安装3次溅射环200、隔板102，把第三套筒107套入芯轴101上，最后把挡板105安装到第三套筒107后，拧紧螺栓103，把真空电子束焊机工作台上顶尖顶到螺栓103上，这样溅射环环批量焊接组件就安装完毕。关闭炉门、抽真空到真空度5×10^-2Pa后即可进行焊接。在焊接前，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心X坐标位置。同样，在十字方向，先以小功率引电子束，打在焊缝位置，取当前引束坐标点，然后在直径方向取另一点坐标，确定圆心Y坐标位置。圆心坐标确定后，设定高压、束流和扫描线速度参数，在真空电子束焊机上编程进行圆扫描。先不引束，进行模拟扫描，验证配件圆心坐标点和所编程序正确性。验证正确后，即可进行引束焊接。以此类推，焊接支撑件203、电极202。

通过实施例1-4可以看出，在焊接多个溅射环200时，只需要进行一次抽真空和一次冷却时间，和焊接一个溅射环200时抽真空和冷却时间一样，这样，在焊接N个溅射环200时，相当于节省了N-1个抽真空和冷却时间。而且，在批量焊接时，只需要在焊接第一个溅射环进行坐标调整和确定，其他溅射环200在编程后可进行自动焊接，减少了N-1次坐标调整和确定的时间。综上，溅射环批量焊接组件及方法节省了时间，提高了生产效率，提高了设备利用率，相应降低了企业生产成本。

上述实施例仅示例性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。本发明还有许多方面可以在不违背总体思想的前提下进行改进，任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。