具体实施方式

1研磨装置

图1所示的研磨装置1是对被加工物W进行研磨的干式的研磨装置。以下，对研磨装置1进行说明。如图1所示，研磨装置1具有：基座10，其沿Y轴方向延伸设置；以及柱11，其竖立设置于基座10的+Y方向侧。

研磨装置1具有保持工作台30。保持工作台30具有圆板形状，其上表面成为对被加工物W进行保持的保持面30a。

保持工作台30与未图示的吸引构件连接。通过在保持面30a上载置有被加工物W的状态下使用吸引构件等产生吸引力，将所产生的吸引力传递到保持面30a，从而能够将被加工物W吸引保持于保持面30a。

在保持工作台30的下方配设有未图示的水平移动机构。保持工作台30能够通过该水平移动机构而沿Y轴方向移动。另外，在基座10上配设有波纹件31。通过保持工作台30沿Y轴方向移动，波纹件31进行伸缩。保持工作台30与未图示的旋转构件连接，能够以通过保持工作台30的中心的Z轴方向的旋转轴线35为轴进行旋转。

在柱11的-Y方向侧的侧面配设有使研磨单元6沿Z轴方向进行研磨进给的研磨进给机构7。研磨进给机构7具有：滚珠丝杠70，其具有Z轴方向的旋转轴线75；一对导轨71，它们与滚珠丝杠70平行地配设；电动机72，其使滚珠丝杠70以旋转轴线75为轴进行旋转；升降板73，其内部的螺母与滚珠丝杠70螺合，侧部与导轨71滑动接触；以及保持架74，其与升降板73连结并对研磨单元6进行保持。

当使用电动机72使滚珠丝杠70绕旋转轴线75进行旋转时，升降板73一边被导轨71引导一边沿Z轴方向升降移动，并且被保持架74支承的研磨单元6沿Z轴方向升降移动。

研磨单元6具有：主轴60，其具有Z轴方向的旋转轴线65；壳体61，其将主轴60支承为能够旋转；电动机62，其使主轴60以旋转轴线65为轴进行旋转；圆板状的安装座63，其与主轴60的下端连接；以及圆板状的研磨垫64，其以能够装卸的方式安装于安装座63的下表面。

研磨垫64例如具有毛毡等无纺布或聚氨酯等材质，并且含有适当大小的磨粒。例如，研磨垫64的直径比被加工物W的直径大，在研磨加工时，研磨垫64的研磨面64a与被加工物W的整个被研磨面Wa接触。

在基座10上的研磨单元6的下方配设有长方体状的加工室5。加工室5具有：底板50；侧壁51a～51d，它们与底板50的外周连结并沿Z轴方向竖立设置；以及顶板52，其与底板50相对并与侧壁51a～侧壁51d的上端连接。在底板50的大致中央部形成有具有比保持工作台30稍大的直径的圆形状的开口500，保持工作台30从开口500突出。

-Y方向侧的侧壁51a例如具有被切成大致长方形状而形成的未图示的搬入搬出口。另外，在侧壁51a上配设有沿Z轴方向升降移动而使搬入搬出口开闭的挡板510和引导挡板510的升降移动的导轨511，挡板510能够通过气缸等挡板可动构件512而上下移动。

例如，在挡板510上升而使搬入搬出口开放的状态下，使用未图示的水平移动机构而使保持工作台30沿Y轴方向移动，由此能够使保持工作台30在加工室5的内部移动或者向加工室5的外部移动。加工室5是进行被加工物W的研磨加工的空间。

在+Y方向侧的侧壁51d上形成有通气口56。

在顶板52的大致中央部形成有圆形状的第2开口520，该第2开口520具有比安装座63和研磨垫64稍大的直径，在该第2开口520的周围配设有密封部件520a。当研磨单元6被研磨进给机构7驱动而向-Z方向下降时，研磨垫64被收纳于加工室5的内部。在研磨垫64被收纳于加工室5的内部的状态下，第2开口520成为被安装座63和密封部件520a紧密地封闭的状态。

在使用研磨装置1对被加工物W进行研磨加工时，首先，将被加工物W以其被研磨面Wa朝上的方式载置于保持工作台30的保持面30a，通过使未图示的吸引构件动作而将被加工物W吸引保持于保持面30a。

然后，使用挡板可动构件512使挡板510向+Z方向移动而打开挡板510，并且使用未图示的Y轴方向移动构件使保持工作台30向+Y方向移动。由此，保持工作台30和保持工作台30的保持面30a所保持的被加工物W被收纳于加工室5的内部，并被定位于研磨垫64的下方。

然后，使用挡板可动构件512使挡板510向-Z方向移动而关闭挡板510。接下来，使用未图示的旋转构件使保持工作台30以旋转轴线35为轴进行旋转。进而，使用电动机62使主轴60以旋转轴线65为轴进行旋转。由此，与主轴60连结的安装座63和安装于安装座63的研磨垫64以旋转轴线65为轴进行旋转。

在被加工物W以旋转轴线35为轴进行旋转并且研磨垫64以旋转轴线65为轴进行旋转的状态下，使用研磨进给机构7使研磨垫64向-Z方向下降。由此，研磨垫64的研磨面64a与被加工物W的被研磨面Wa抵接，从而对被加工物W进行研磨加工。当利用研磨垫64对被加工物W进行研磨加工时，产生研磨屑。

此时，研磨垫64被收纳于加工室5的内部，第2开口520成为被安装座63和密封部件520a紧密地封闭的状态，因此能够防止由研磨加工产生的研磨屑等从第2开口520向加工室5的外部飞散。

2集尘处理装置

上述研磨装置1与集尘处理装置8连结，该集尘处理装置8对由被加工物W的研磨加工产生的研磨屑等进行集尘。以下，对集尘处理装置8进行说明。

集尘处理装置8具有长方体状的装置壳体81。在装置壳体81的上表面810形成有圆形的开口810a。在装置壳体81的内部的空间和装置壳体81上配设有集尘处理装置8所具有的各种部件等。

在装置壳体81的下表面安装有容易使装置壳体81移动的脚轮82。

集尘处理装置8具有主体83。主体83例如是旋风式的分离构件的主体部分，具有将灰尘和空气分离的功能。主体83呈中空圆柱状，作为材质，例如由不锈钢等金属材料形成。

主体83具有外筒831。外筒831的直径与形成于装置壳体81的上表面810的圆形的开口810a的直径对应。外筒831例如以装置壳体81的上表面810的开口810a与外筒831的底面一致的状态配设在装置壳体81上，在上表面810与外筒831之间没有间隙。

在外筒831上形成有供空气进入的入口831a，入口831a与通气管871连接。通气管871的不与入口831a连接的一侧的端部与通气口56连结，该通气口56形成于加工室5的+Y方向侧的侧壁51d。

主体83具有上板833。上板833具有与外筒831的上表面对应的圆板形状。在上板833上形成有多个(在图1中为三个)上开口833a。

在主体83的上板833上以覆盖上板833的上方的方式配设有圆筒状的吸引箱86，该吸引箱86例如具有与上板833的直径大致相同的直径。

在吸引箱86的侧板861上形成有出口861a，出口861a与连结管872连接。连结管872与吸气管道875连结，吸气管道875与吸气配管840连结。另外，吸气配管840与吸引源84连接。即，吸引箱86经由连结管872、吸气管道875以及吸气配管840而与吸引源84连通。

吸引源84与排气管841连接，在排气管841的不与吸引源84连接的一侧连结有排气管道877。排气管道877的不与排气管841连结的一侧的端部成为排气口877a。另外，吸引源84、吸气配管840以及排气管841配设于装置壳体81的内部。

吸引源84例如具有未图示的吸引电动机等。通过使吸引源84动作，能够经由吸引箱86和主体83而对加工室5的内部的空气进行吸引，并且能够将所吸引的空气从排气管道877的排气口877a向集尘处理装置8的外部的空间排出。

在吸引箱86的内部配设有多个(在图1中为三个)水喷射喷嘴92。水喷射喷嘴92例如以各自的喷射口朝向-Z方向的方式配置在上板833的上开口833a的上方。另外，水喷射喷嘴92经由阀90而与水提供源9连接。此外，例如在装置壳体81的侧面配设有对阀90的开闭状态进行控制的阀控制部900。通过使用阀控制部900打开阀90并从水提供源9提供水，能够从水喷射喷嘴92朝向上板833的上开口833a喷射水。

在主体83的内部以能够装卸的方式配设有例如与上开口833a的数量对应的数量(在图1中为三个)的过滤器单元2。如图2所示，过滤器单元2具有圆环状的凸缘部20。在凸缘部20的大致中央形成有开口200。

过滤器单元2具有管21。在管21的侧面21c上形成有多个细孔210。管21从凸缘部20垂下，凸缘部20与管21一体化。

过滤器单元2具有由PVA等可溶于水的材质构成的布或多孔质材料的过滤器22。过滤器22是波纹状的筒，通过将管21插入并固定在形成于过滤器22的大致中央的圆柱状的中空220中，成为在管21的侧面21c的外侧卷绕有过滤器22的状态。

如图3所示，过滤器单元2从上开口833a进入主体83的内部，凸缘部20被上板833支承。

在主体83与过滤器单元2之间配设有内筒832。内筒832的上端832a与上板833的下表面侧连结并被固定，并且内筒832被上板833支承。外筒831和内筒832共同具有Z轴方向的中心轴835。内筒832的长度比外筒831的长度短。

在外筒831与内筒832之间的区域的上部例如配设有喷淋喷嘴91，喷淋喷嘴91与水提供源9连接。通过使从水提供源9提供的水从喷淋喷嘴91喷射并与内筒832的外侧面和主体83的外筒831的内侧面接触，能够冲洗附着于内筒832的外侧面和主体83的外筒831的内侧面的灰尘。

另外，也可以不在主体83的内部配设内筒832。在主体83的内部没有配设内筒832的情况下，也可以不在主体83的内部的上部配设喷淋喷嘴91。

在主体83的下部设置有漏斗状的排水接收部834。排水接收部834与外筒831的下端连结，配设于装置壳体81的内部。在排水接收部834上形成有排水用开口834a，并且在排水接收部834以从排水用开口834a垂下的方式连接有排水管851。

在排水管851的下方以排水管851的下端851b的高度位置比排水箱852的侧面852c的上端的高度位置低的方式配设有桶状的排水箱852。排水管851和排水箱852配设于装置壳体81的内部。在排水箱852中以水L的水面La的高度位置比排水管851的下端851b的高度位置高的方式贮存有水L，排水管851的下端851b被水面La水封。

在排水箱852的侧面852c上形成有侧面开口852a，在侧面开口852a上连接有使贮存在排水箱852的内部的水L溢流的溢流管853。

溢流管853的不与侧面开口852a连接的一侧的端部与排水口854连接。从排水箱852溢流的水L通过溢流管853而从排水口854向外部排出。

在使用上述的集尘处理装置8对图1所示的加工室5的内部的灰尘进行集尘处理时，使吸引源84动作而发挥吸引力。通过由吸引源84产生的吸引力，加工室5的内部的包含灰尘的空气首先从通气口56流出并通过通气管871而从形成于主体83的外筒831的入口831a流入主体83的内部。

从入口831a流入到主体83的内部的包含灰尘的空气在主体83的内部以中心轴835为轴进行旋转，例如在图3所示的内筒832与外筒831之间呈螺旋状下降。当到达内筒832的下端832b的包含灰尘的空气从内筒832的下端832b流入到内筒832的内部时，在内筒832的内部以中心轴835为轴呈螺旋状上升。

此时，包含灰尘的空气由于离心力的作用而例如与外筒831的内侧面或者内筒832的内侧面或外侧面碰撞。由此，灰尘失去旋转方向的运动量而向排水接收部834落下，并从形成于排水接收部834的排水用开口834a向主体83的外部流出，通过排水管851的内部而积存在排水箱852中。

另外，流入到内筒832的内部的包含灰尘的空气与过滤器22的外侧面22c接触。由此，灰尘被过滤器22捕集，并且空气贯穿过滤器22而流入到过滤器22的内部，从而使灰尘和空气分离。

与灰尘分离的空气从图2所示的管21的细孔210向管21的内部流入并在管21的内部的空间中上升，从凸缘部20的开口200向图1所示的吸引箱86的内部流出。

然后，从形成于吸引箱86的侧板861的出口861a通过连结管872、吸气管道875以及吸气配管840而被吸引源84吸引，并通过排气管841从排气管道877的排气口877a向集尘处理装置8的外部的空间排气。

如上所述，使用集尘处理装置8对加工室5的内部的灰尘进行集尘处理，由此，灰尘附着于过滤器22，集尘处理装置8的捕集灰尘的功能受到损害。因此，需要更换过滤器单元2的过滤器22。

在更换过滤器22时，首先，使用图1所示的阀控制部900打开阀90，从水提供源9向水喷射喷嘴92提供水，从水喷射喷嘴92向过滤器单元2的内部喷射水。从水喷射喷嘴92喷射的水从凸缘部20的开口200流入到图2所示的管21的内部，并从形成于管21的侧面21c的多个细孔210向管21的外侧流出。

当水向管21的外侧流出时，水与卷绕于管21的外侧的过滤器22接触，过滤器22被水溶解。包含溶解后的过滤器22的水溶液向-Z方向落下，并通过排水接收部834和排水管851而积存在排水箱852中。

另外，例如在排水管851上设置未图示的排水阀，通过在关闭该排水阀之后从水喷射喷嘴92喷射水，在主体83的内部贮存水。由此，也可以在主体83的内部使过滤器22浸没而溶解之后，打开排水阀而向排水箱852排水。

当卷绕于管的外侧的过滤器22全部溶于水时，过滤器单元2仅成为凸缘部20和管21。通过把持仅成为凸缘部20和管21的过滤器单元2的凸缘部20并从主体83向+Z方向拔出，能够将过滤器单元2从主体83拔出。

然后，将新的过滤器单元2从上开口833a插入。由此，凸缘部20被上板833支承，新的过滤器单元2被安装于主体83。

另外，为了减缓过滤器单元2的更换时期，也可以具有使水喷射喷嘴92仅喷出空气的功能，定期地从水喷射喷嘴92喷射空气，将附着于过滤器单元2的外侧面的灰尘吹飞。另外，集尘处理装置8例如也可以通过配设于出口861a的压力计来测量连结管872内的负压而识别过滤器的更换时期。

这样，通过利用流水将由可被水溶解的PVA等材质构成的过滤器22溶解，能够防止在更换过滤器22时附着于过滤器22的灰尘向周围扩散，从而能够防止设置有研磨装置1和集尘处理装置8的空间被污染。