阅读说明：本技术 一种低温探针台的工件容载腔体 (Workpiece containing and carrying cavity of low-temperature probe station ) 是由 黄晓婷 于 2020-04-08 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种低温探针台的工件容载腔体,涉及低温探针台技术领域,支杆末端均嵌入设置于腔体内侧,且载物台外壁四侧均开有开口,对工件的四侧进行稳固,工件不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况,并且不妨碍正常的检测工作,撑板前端开有滑道,且撑板前端滑动连接有连接板,连接板后端固定有与其为一体的滑块,且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接,通过连接板支撑显微镜的上下移动,便于检测人员使用显微镜对工件进行观察,解决了工件在进行低温探针时不便于被固定好,以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况,造成工作的不便,并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察,显微镜不易垂直对工件进行成像的问题。(The invention provides a workpiece containing and carrying cavity of a low-temperature probe station, which relates to the technical field of low-temperature probe stations, wherein the tail end of a supporting rod is embedded in the inner side of the cavity, openings are formed in four sides of the outer wall of an object stage, so that the four sides of a workpiece are stable, the workpiece cannot slide or even fall out of the object stage and normal detection work is not hindered, a slide way is formed in the front end of a supporting plate, a connecting plate is connected to the front end of the supporting plate in a sliding manner, a slide block integrated with the connecting plate is fixed at the rear end of the connecting plate, the slide block is positioned in the slide way and is in sliding connection with the slide way, the slide block supports the microscope to move up and down through the connecting plate, so that a detector can observe the workpiece by using the microscope conveniently, the problem that the workpiece is not fixed well when the low-temperature probe is carried out is solved, the problem that the workpiece moves or even falls when the work is caused, the working inconvenience is caused, and the microscope is needed to observe the workpiece when the work is carried out, the microscope is not easy to vertically image the workpiece.)

一种低温探针台的工件容载腔体

技术领域

本发明涉及低温探针台

技术领域

，尤其是涉及一种低温探针台的工件容载腔体。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，而低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台，现有的低温探针台的工件容载腔体结构单一，工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像，针对现有技术存在的问题，提供了一种低温探针台的工件容载腔体。

本发明要解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种低温探针台的工件容载腔体，包括腔体和撑板，所述撑板焊接在腔体后端；

所述腔体内部设有载物台，且载物台底端四侧均固定连接有支杆，所述支杆末端均嵌入设置于腔体内侧，且载物台外壁四侧均开有开口，所述载物台顶面且位于开口正上方均开有活动槽，且开口内部均设置有螺杆，所述螺杆中心均穿插有转芯，且活动槽内部均滑动连接有卡板，所述卡板外侧均固定有与其为一体的齿条；

所述撑板前端开有滑道，且撑板前端滑动连接有连接板，所述连接板后端固定有与其为一体的滑块，且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接。

优选的，所述腔体外壁四侧均开有连接口，并开口和连接口交替分布，且载物台通过支杆与腔体连接。

优选的，所述开口与活动槽之间相互贯通，且卡板均呈“L”形状，所述螺杆通过转芯与开口转动连接，且螺杆后端凸出并延伸至活动槽内。

优选的，所述齿条与螺杆相互卡接，且卡板在活动槽内部上下移动。

优选的，所述卡板之间呈环形排布。

优选的，所述滑道内部和滑块后端均开有对应口，且滑道内的对应口数量为若干个并呈垂直排布。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

检测人员将工件拿起并放置到载物台上，工件放置好后，检测人员再分别划动螺杆，螺杆在转动的同时，卡板会随螺杆的转动而进行移动，可通过螺杆来调整卡板将载物台上的工件卡好，检测人员按照此方法将所有的卡板往下移动，四个卡板分别卡住工件的四侧，对工件进行稳固，工件在检测过程中就不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况，并且不妨碍正常的检测工作。

检测人员可先行将观察用显微镜连接在连接板上，并且显微镜的镜头垂直向下朝向于载物台，可使用显微镜对工件进行观察，将对应口内的螺栓拧下，滑块即可在滑道内进行滑动，让显微镜的镜头向下靠近工件，检测人员移动显微镜至合适的状态后，可再次将外部的螺栓拧入到相对应的两个对应口当中，固定好滑块当前的位置，通过连接板支撑显微镜的上下移动，便于检测人员使用显微镜对工件进行观察。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的载物台结构示意图；

图3为本发明的载物台结构局部放大示意图；

图4为本发明的卡板结构示意图；

图5为本发明的螺杆结构示意图；

图6为本发明的撑板结构示意图。

图中标记：腔体1、连接口101、载物台2、支杆201、开口202、活动槽203、卡板3、齿条301、螺杆4、转芯401、撑板5、滑道501、对应口502、连接板6、滑块601。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1-图6，本发明提供一种低温探针台的工件容载腔体，包括腔体1和撑板5，所述撑板5焊接在腔体1后端，下面对一种低温探针台的工件容载腔体的各个部件进行详细描述：

所述腔体1内部设有载物台2，且载物台2底端四侧均固定连接有支杆201，所述支杆201末端均嵌入设置于腔体1内侧，且载物台2外壁四侧均开有开口202，所述载物台2顶面且位于开口202正上方均开有活动槽203，且开口202内部均设置有螺杆4，所述螺杆4中心均穿插有转芯401，且活动槽203内部均滑动连接有卡板3，所述卡板3外侧均固定有与其为一体的齿条301，首先检测人员应当将低温探针的各个结构安装好，所述腔体1外壁四侧均开有连接口101，并开口202和连接口101交替分布，且载物台2通过支杆201与腔体1连接，把探针结构安装于连接口101当中，并且探针会位于腔体1内部，所述卡板3之间呈环形排布，探针分别位于卡板3之间的空间即可，探针结构安装好后，进入到检测工序，工件削切成圆盘形较便于检测人员的检测工作，检测人员将工件拿起并放置到载物台2上，工件放置好后，检测人员再分别划动螺杆4，所述开口202与活动槽203之间相互贯通，且卡板3均呈“L”形状，所述螺杆4通过转芯401与开口202转动连接，且螺杆4后端凸出并延伸至活动槽203内，螺杆4通过转芯401在开口202当中进行旋转，所述齿条301与螺杆4相互卡接，且卡板3在活动槽203内部上下移动，并且因为螺杆4与卡板3之间卡接，而螺杆4外壁又开有若干圈倾斜状的螺纹，所以螺杆4在转动的同时，卡板会随螺杆4的转动而进行移动，工件被放置到载物台2之前，卡板3为最高位置，以确保工件被顺利放入，工件放置好分别后，检测人员可通过螺杆4来调整卡板3将载物台2上的工件卡好，呈“L”形状的卡板3恰好把工件卡在内侧，检测人员按照此方法将所有的卡板3往下移动，四个卡板3分别卡住工件的四侧，对工件进行稳固，工件在检测过程中就不会出现滑动甚至是掉落出载物台2的情况，连接口101与卡板3之间位置交替排布，探针朝向于工件为被卡板3卡住的位置，不妨碍正常的检测工作；

所述撑板5前端开有滑道501，且撑板5前端滑动连接有连接板6，所述连接板6后端固定有与其为一体的滑块601，且滑块601位于滑道501内部并与滑道501滑动连接，连接板6表面均匀开有若干个对应口502，检测人员可先行将观察用显微镜连接在连接板6上，并且显微镜的镜头垂直向下朝向于载物台2，检测人员可将滑块601滑动至滑道501的顶部，所述滑道501内部和滑块601后端均开有对应口502，且滑道501内的对应口502数量为若干个并呈垂直排布，滑块601上的对应口502会与滑道501上位置最高的对应口502相互对应，检测人员使用外界的对应口502将滑块601与滑道501进行固定，通过外部的低温探针对工件进行低温处理，最后可使用显微镜对工件进行观察，将对应口502内的螺栓拧下，滑块601即可在滑道501内进行滑动，连接板6通过滑块601以及滑道501保持垂直的上下移动，连接板6垂直向下移动，让显微镜的镜头向下靠近工件，检测人员移动显微镜至合适的状态后，可再次将外部的螺栓拧入到相对应的两个对应口502当中，固定好滑块601当前的位置，通过连接板6支撑显微镜的上下移动，便于检测人员使用显微镜对工件进行观察。

以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，应当指出的是，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。