阅读说明：本技术 环烯烃组合物及应用其的半导体容器 (Cycloolefin composition and semiconductor container using the same ) 是由 江俊彥 邱铭乾 于 2019-03-12 设计创作，主要内容包括：本发明公开一种环烯烃组合物,其包括添加石墨烯材料之环烯烃共聚物或添加石墨烯材料的环烯烃聚合物,其中石墨烯材料所占的重量百分比为0.6％～1.8％。本发明提供一种环烯烃半导体容器,其由该环烯烃组合物所制成。(The invention discloses a cycloolefin composition, which comprises cycloolefin copolymer added with graphene materials or cycloolefin polymer added with the graphene materials, wherein the weight percentage of the graphene materials is 0.6-1.8%. The invention provides a cycloolefin semiconductor container which is prepared from the cycloolefin composition.)

环烯烃组合物及应用其的半导体容器

技术领域

本发明涉及材料组合物及其应用技术领域，特别涉及一种由添加石墨烯 材料的环烯烃组合物及应用其的半导体容器。

背景技术

在半导体工业中，常见作为传载使用的容器包括了传送盒以及储存盒两 大类。而常见的半导体容器主体材料包括聚丙烯(Polypropylene,PP)、聚碳 酸酯(Polycarbonate,PC)和液晶聚合物(Liquid Crystal Polymer,LCP)等等。

早期传送盒以聚丙烯为主体材料者居多，但因其制造良率低，现已较少 使用；后又发展以聚碳酸酯为主体材料者，但又因材料本身吸水率大于0.25％， 低湿维持时间短，相对其制程加工过程对维持干燥的需求就较高，会使制造 成本提升，故现也较少使用。至于以液晶聚合物为主体材料者，一般认为具 有高硬度、高热变形温度、高良率以及湿度维持时间长之优点。但仍存有其 他问题，如材料成本较高、垂直流体方向强度弱而容易断裂等问题。

因此，面对半导体工业严格的制程标准和成本考虑，在不更动容器主体 结构的情况下，其主体材料的选择则显得至关重要。要如何单藉材料的改良， 达到质轻、高尺寸安定性、耐冲击、湿度维持时间长、低有害气体释出以及 低有机气体挥发等诸多要求，此乃本发明欲解决的课题之一。

针对上述材质，在后续的开发应用中，如中国台湾专利公告号第 TWI560798号专利所示的发明，其中提及了应用环烯烃组合物添加奈米碳管 (Carbon Nanotube,CNT)以达到调控半导体容器至抗静电(Anti-static)等级 的技术。然而，中国台湾专利公告号第TWI560798号专利在欲将容器调整至抗 静电(Anti-static)等级时，所需要添加的奈米碳管重量百分比高达2.0％～2.8％。 基于奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT)属于昂贵的碳材料，对于高重量百分 比的奈米碳管添加，虽有助于其各项特性提升，但将会使半导体容器的成本 大幅度的提高。此外，对于半导体容器中使用过量的奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT)，也有可能造成环境污染。

发明内容

有鉴于先前技术所提及制造成本大幅提高以致商用困难和可能造成环境 污染的问题，本发明提供了一种环烯烃组合物，能大幅减少奈米碳管的使用 和污染问题，又能同时达到表现抗静电(Anti-static)特性的技术。

如上所述，本发明揭露了提供一种环烯烃组合物，其构成材料包括环烯 烃类化合物，并进一步添加石墨烯材料，并使石墨烯材料所占的重量百分比 为0.6％～1.8％。其中，环烯烃类化合物可为环烯烃共聚物(Cycloolefin copolymer,COC)或环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP)；而该石墨烯 材料可以是石墨烯微片(Graphenenanoplatelets)、氧化石墨烯(graphene oxide) 或其组合。

环烯烃类化合物的制造方式，一是以开环交换聚合法 (Ring-peningmetathesispolymerization,ROMP)，反应射出成型的热固性共聚 物，以及利用氢化步骤控制分子量的热塑性共聚物，即为环烯烃共聚物 (Cycloolefin copolymer,COC)这一类。另一则是在触媒存在下进行聚合反应， 使其主链上保有双环狀结构，即环烯烃聚合物(Cycloolefinpolymer,COP)这 一类。本发明进一步将环烯烃类化合物添加0.6％～1.8％重量百分比的石墨烯材 料。

本发明的环烯烃半导体容器，系以前述的环烯烃组合物所制成，使其具 有质轻、高尺寸安定性、耐冲击、湿度维持时间长、低有害气体释出以及高 良率等特性。

以上对本发明的简述，目的在于对本发明之数种面向和技术特征作一基 本说明。发明简述并非对本发明的详细表述，因此其目的不在特别列举本发 明的关键性或重要组件，也不是用来界定本发明的范围，仅为以简明的方式 呈现本发明的数种概念而已。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实 施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面 描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的 附图。

图1是本发明实施例与比较实施例添加碳材料重量百分比比较图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步 说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有 作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、 后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位 置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应 地随之改变。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应 做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一 体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间 媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除 非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理 解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的， 而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数 量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一 个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以 本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无 法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范 围之内。

本发明的环烯烃组合物系指以环烯烃类化合物，如环烯烃共聚物 (Cycloolefincopolymer,COC)或环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP) 为主体材料，并添加重量百分比为0.6％～1.8％的石墨烯材料所形成的组合物， 以及应用此材料组合物制成的环烯烃半导体容器。所述环烯烃半导体容器可 以是为光罩载具或基板载具，而所述石墨烯材料可以是石墨烯微片(Graphene nanoplatelets)、氧化石墨烯(graphene oxide)或其组合。

其中，光罩载具可以是光罩盒(Reticle Pod)。所述光罩盒(Reticle Pod) 包括光罩储存盒、光罩传送盒(含标准机械接口(Standard Mechanical Interface, SMIF)光罩传送盒)或极紫外光(Extreme ultraviolet lithography,EUV)光罩 盒；而基板载具可以是前开式晶圆盒(Front opening unified pod,FOUP)、晶 舟盒或其他用以乘载半导体制程上所使用基板(Substrate)的任意传送或储存 容器，本发明并不加以限制。

前述所称的半导体制程上所使用基板(Substrate)可以是硅基板、玻璃基 板、陶瓷基板、可挠性塑料基板或蓝宝石基板等。而硅基板可以是晶圆。

在本实施例中，系以表面电阻落在(Surface resistivity)10⁹～10¹²(单位： 欧姆/单位面积；Ω/sq.)，达到抗静电(Anti-static)等级的光罩盒(Reticle Pod) 进行比较测试。

实施例

添加重量百分比0.6％～1.8％石墨烯材料的环烯烃聚合物(Cycloolefinpolymer,COP)所制成的光罩盒(Reticle Pod)。

比较实施例

添加重量百分比2.0％～2.8％奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT)环烯烃聚 合物(Cycloolefin polymer,COP)所制成的光罩盒(Reticle Pod)。

请先参照图1，图1系本发明实施例与比较实施例添加碳材料重量百分比 比较图。如图1所示，本发明实施例在环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP) 中添加石墨烯材料，将其表面电阻调整介于10⁴～10¹²(单位：欧姆/单位面积； Ω/sq.)之间时，所添加的重量百分比需求比率自调整表面电阻至10⁸(单位： 欧姆/单位面积；Ω/sq.)后，与添加奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT)的比 较实施例相比，本实施例出现显著(*)减少碳材料使用量的下降趋势。更精 确来说，将本实施例与比较实施例相比，自调整表面电阻至10⁸(单位：欧姆 /单位面积；Ω/sq.)后，使用量显著下降幅度高达32％。

而进一步调整至本实施例所欲达到的抗静电(Anti-static)等级(10⁹～10¹² (单位：欧姆/单位面积；Ω/sq.))时，本实施例与比较实施例相比，碳材料 使用量显著下降的比率更为剧烈。将本实施例与比较实施例对照，在抗静电 (Anti-static)等级的区间内，本实施例添加的重量百分比与比较实施例对照 之下，使用量减少幅度高达35.7％～70％。

图1中，实施例与比较实施例于抗静电(Anti-static)等级区间内的测试结 果请参照下表1。当环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP)所制成的光罩 盒(Reticle Pod)添加重量百分比0.6％～1.8％石墨烯材料时，可使其表面电阻 落在(Surfaceresistivity)10⁹～10¹²(单位：欧姆/单位面积；Ω/sq.)，达到抗 静电(Anti-static)等级；同样条件下，环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP) 所制成的光罩盒需要添加多达重量百分比2.0％～2.8％奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT)，才能达到表面电阻落在(Surface resistivity)10⁹～10¹²(单位： 欧姆/单位面积；Ω/sq.)并符合抗静电(Anti-static)等级的功效。

表1、抗静电等级添加物重量百分比暨表面电阻值比较表

由上表1的结论可得知，本实施例所采用添加重量百分比0.6％～1.8％石墨 烯材料的环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP)所制成的光罩盒(Reticle Pod)能节省比较实施例中所采用奈米碳管的重量高达35.7％～70％。表1的结 果更能证明本发明之实施例可以明显且大幅节省半导体容器达到抗静电 (Anti-static)等级的制造成本，实谓具有进步性。

此外，本发明实施例更可证明在大幅降低昂贵碳材料使用的前提下，依 然维持比较实施例原拥有的优异功效。

经测试，本实施例环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP)添加重量百 分比0.6％～1.8％的石墨烯材料所制成的光罩盒(Reticle Pod)可以达到和添加 重量百分比2.0％～2.8％奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT)的环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP)所制成的光罩盒(Reticle Pod)同样明显降低溢 出的各种有害离子的功效。所述有害离子包括氟离子(F^-)、氯离子(Cl^-)、 亚硝酸根离子(NO₂ ^2-)、溴离子(Br^-)、硝酸根离子(NO₃ ^-)、硫酸根离子(SO₄ ^2-)、 锂离子(Li⁺)、铵根离子(NH₄ ⁺)、钾离子(K⁺)、镁离子(Mg²⁺)和钙离子 (Ca²⁺)。

此外，本发明实施例进一步针对环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP) 添加重量百分比为0.6％～1.8％的石墨烯材料测试其可承受的摔落高度。结果发 现环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP)添加重量百分比为0.6％～1.8％的 石墨烯微片所制成的光罩盒(Reticle Pod)与比较实施例中添加重量百分比 2.0％～2.8％奈米碳管(CarbonNanotube,CNT)的环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP)所制成的光罩盒(ReticlePod)可达到同样的抗碰撞能力，自 90公分高的位置落下而不产生任何损伤。

由于半导体容器皆需有良好之气密性，以避免外界气体或微粒污染，因 此在短时间内将盒体内水气快速排除后，若能长时间将盒体内维持在低相对 湿度，则表示此盒体不易被水气穿透，气密效果良好，因此进一步针对前述 两者进行盒体内相对湿度的测试。在下表2中，可以明显发现本实施例添加重 量百分比为0.6％～1.8％石墨烯材料环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer,COP) 所制成的光罩盒(Reticle Pod)与比较实施例中添加重量百分比2.0％～2.8％奈 米碳管(Carbon Nanotube,CNT)环烯烃聚合物(Cycloolefinpolymer,COP) 所制成的光罩盒(Reticle Pod)可达到几乎相同的0％相对湿度维持时间。

表2、0％相对湿度维持时间表

请续参表3，其为本发明环烯烃组合物之应用特性测试结果表，系用以显 示本实施例添加重量百分比为0.6％～1.8％石墨烯材料环烯烃聚合物 (Cycloolefin polymer,COP)所制成的光罩盒(Reticle Pod)与比较实施例中 添加重量百分比2.0％～2.8％奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT)环烯烃聚合物 (Cycloolefin polymer,COP)所制成的光罩盒(Reticle Pod)，应用于半导体容 器应具备之各项重要应用特性进行测试的结果表。

表3、应用特性测试结果表

表3记载了本发明实施例和比较实施例的各项特性的测试结果，可进一步 肯定，本发明实施例能够在减少昂贵碳材料使用重量幅度达35.7％～70％的前 提下，达到与比较实施例几乎相同的各种特性。

在前述各项应用特性之中，添加石墨烯材料的环烯烃组合物的比重都可 维持在1～1.2之间。而一般以液晶聚合物(Liquid Crystal Polymer,LCP)作为 主材料者，其比重约在1.5左右。换言之，对于同样尺寸的半导体容器而言， 使用环烯烃组合物为主材料者，其重量将可减轻25％～50％，对搬运作业有实 质且明显的帮助。

此外，环烯烃组合物的含水率介于0.0001％～0.01％，属含水率较低的材 料，即其本身不会发生吸湿现象，因此，本发明的环烯烃半导体容器即使是 湿式的半导体清洗制程也适用。

再者，环烯烃组合物的断裂延伸率约为5％，明显大于一般以液晶聚合物 (LiquidCrystal Polymer,LCP)作为主材料者(液晶聚合物(Liquid Crystal Polymer,LCP)半导体容器断裂延伸率数值通常小于1％)，表示本实施例抗冲 击时材料延伸较多，较不会立即脆断。

由上表3也可得知，本发明之实施例的耐冲击强度大于等于30(焦耳/公 尺)，落在30(焦耳/公尺)～50(焦耳/公尺)之间。而一般未添加石墨烯材料。 至于本实施例的缩水率同样落在0.1％～0.5％之间，有助于提升尺寸安定性，进 而能提升产品的良率。

本发明实施例采用的的环烯烃组合物及应用其的半导体容器，并不限制 其可应用的盒体外观形式或尺寸，主要在于本发明所揭示的技术特征，系以 环烯烃化合物(如环烯烃共聚物(Cycloolefin copolymer,COC)及环烯烃聚合 物(Cycloolefin polymer,COP))作为主体材料并进一步添加特定重量百分比 的石墨烯材料，即能够拥有相当于添加昂贵奈米碳管(Carbon Nanotube,CNT) 之半导体容器包括抗静电(Anti-static)在内的各项特性，但又能大幅降低其 昂贵碳材料的使用量(35.7％～70％)，以达到在不影响性能的前提下大幅降低 制造成本功效。

惟以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明 实施之范围，即依本发明申请专利范围及说明内容所作之简单变化与修饰， 皆仍属本发明涵盖的范围内。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围， 凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构 变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范 围内。