阅读说明：本技术 振动梁加速度计 (Vibrating beam accelerometer ) 是由 约翰·施特雷洛 米歇尔·诺瓦克 于 2019-05-27 设计创作，主要内容包括：本发明题为“振动梁加速度计”。本公开提供了一种限定纵向轴线的谐振器,该谐振器包括：安装垫；垫连接器；至少一个隔离机构；以及一对细长尖齿,该一对细长尖齿在纵向轴线的方向上延伸。隔离机构包括：外部块,该外部块限定在相对侧上的第一外端和第二外端；内部块,该内部块限定在相对侧上的第一内端和第二内端；以及一对互连构件,其中一对互连构件中的每个相应的互连构件将第二外端连接到第一内端。一对细长尖齿的相应的第一端连接到第二内端,并且垫连接器将安装垫连接到第一外端。(The invention provides a vibrating beam accelerometer. The present disclosure provides a resonator defining a longitudinal axis, the resonator comprising: a mounting mat; a pad connector; at least one isolation mechanism; and a pair of elongated tines extending in the direction of the longitudinal axis. The isolation mechanism includes: an outer block defining first and second outer ends on opposite sides; an inner block defining first and second inner ends on opposite sides; and a pair of interconnecting members, wherein each respective interconnecting member of the pair of interconnecting members connects the second outer end to the first inner end. Respective first ends of a pair of elongated tines are connected to the second inner end, and a pad connector connects the mounting pad to the first outer end.)

振动梁加速度计

技术领域

本公开涉及振动梁加速度计，也被称为谐振梁加速度计。

背景技术

加速度计通过检测在惯性力下检验质量块的位移起作用。一种检测力和加速度的技术是测量质量块相对于框架的位移。另一种技术是测量在附接检验质量块的谐振器抵消检验质量块的惯性力时在该谐振器中引起的应变。在加速度计受到外力时，可以例如通过测量谐振器的频率的变化来确定应变。

发明内容

在一些示例中，本公开描述了振动梁加速度计(VBA)，其中谐振器具有在安装垫与谐振尖齿之间的分段的隔离块，该分段的隔离块可以减小因尖齿的谐振造成的在安装垫上的轴向应变或端部泵浦，从而产生具有提高的准确度和精确度以及较低的测量误差的加速度计。

在一些示例中，本公开描述了限定纵向轴线的谐振器，该谐振器包括：安装垫；垫连接器；隔离机构，该隔离机构包括：外部块，该外部块限定在相对侧上的第一外端和第二外端；内部块，该内部块限定在相对侧上的第一内端和第二内端；以及一对互连构件，其中该对互连构件中的每个相应的互连构件将第二外端连接到第一内端；以及一对细长尖齿，该对细长尖齿在纵向轴线的方向上延伸，其中该对细长尖齿中的相应的第一端连接到第二内端，其中垫连接器将安装垫连接到第一外端。

在一些示例中，本公开描述了检验质量块组件，该验质量块组件包括：谐振器，该谐振器限定纵向轴线；检验质量块；检验载体；以及至少一个挠曲件，该至少一个挠曲件将检验质量块连接到检验载体。该谐振器包括：第一安装垫；垫连接器；隔离机构；以及一对细长尖齿，该对细长尖齿在第一谐振器的纵向轴线的方向上延伸。隔离机构包括：外部块，该外部块限定在相对侧上的第一外端和第二外端；内部块，该内部块限定在相对侧上的第一内端和第二内端；以及一对互连构件，其中一对互连构件中的每个相应的互连构件将第二外端连接到第一内端。一对细长尖齿的相应的第一端连接到第二内端，并且垫连接器将第一安装垫连接到第一外端。谐振器的第一安装垫结合到检验质量块的表面或检验载体的表面。

在一些示例中，本公开描述了限定纵向轴线的谐振器，该谐振器包括：第一安装垫和第二安装垫；第一垫连接器和第二垫连接器；第一隔离机构和第二隔离机构；以及一对细长尖齿，该对细长尖齿在纵向轴线的方向上延伸。每个相应的隔离机构包括：外部块，该外部块限定在相对侧上的第一外端和第二外端；内部块，该内部块限定在相对侧上的第一内端和第二内端；以及一对互连构件，其中一对互连构件中的每个相应的互连构件将第二外端连接到第一内端。一对细长尖齿的相应的第一端连接到第一隔离机构的第二内端，并且一对细长尖齿的相应的第二端连接到第二隔离机构的第二内端，其中第一垫连接器将第一安装垫连接到第一隔离机构的第一外端，并且其中第二垫连接器将第二安装垫连接到第二隔离机构的第一外端。

附图和以下描述中阐述了一个或多个示例的细节。其他特征、目的和优点将从描述和附图以及从权利要求书中显而易见。

附图说明

图1A是示出示例性检验质量块组件的顶视图的概念图。

图1B是示出沿着AA-AA线的图1A的示例性检验质量块组件的横截面侧视图的概念图。

图2是可与图1A的检验质量块组件一起使用的示例性谐振器的示意图。

图3是在静止状态时图2的谐振器的示例性隔离机构的放大示意图。

图4是在谐振状态时图2的谐振器的示例性隔离机构的放大示意图。

图5是可与图1A的检验质量块组件一起使用的另一个示例性谐振器的放大示意图。

具体实施方式

导航、指导和定位系统依赖于加速度计的准确度来在各种环境中执行关键操作。一种类型的加速度计是精密微机电系统(MEMS)振动梁加速度计(VBA)，其利用一对谐振器并测量谐振器之间的振动频率的变化以感测取向和/或加速度的变化。与常规的加速度计设计相比，这种VBA具有若干优点，诸如较低的制造成本、较小的尺寸、承受极端环境的能力、以及性能稳定性。

为了感测取向和/或加速度的变化，两个谐振器可以在推拉配置中附接到检验质量块的相对侧。每个谐振器可以包括一对细长梁或尖齿，并且每个谐振器可以取决于在相应的尖齿内的轴向应变而进行不同频率的振动。驱动和感测功能可以结合在谐振器的特征中，以保持细长尖齿的振动处于基本上不对称的模式，其中两个谐振器之间的差分频率代表感测到的加速度。

在单个谐振器内，平行细长梁或尖齿的移动可以被设计为横向地平衡(例如，垂直于细长尖齿的纵向轴线)。然而，如在下面进一步描述的，平行细长梁或尖齿的移动可能在安装垫上施加意外的轴向应变(例如，在平行于细长尖齿的纵向轴线的方向上的应变)，从而导致测量误差。在一些示例中，本公开描述了包括多组隔离机构的谐振器的结构，这些隔离机构可有助于减少或消除由细长梁或尖齿的移动产生的轴向应变，从而产生提高的测量准确度。

图1A和图1B是示出包括通过挠曲件16a和16b连接到检验载体14的检验质量块12的示例性检验质量块组件10的俯视图(图1A)和横截面侧视图(图1B，沿着图1A的线AA-AA截取)的概念图。检验质量块组件10还包括桥接检验质量块12和检验载体14之间的间隙21的至少两个谐振器20a和20b。谐振器20a和20b各自具有分别安装到检验质量块12和检验载体14的相应表面的相对端。检验质量块组件10可以是VBA的检验质量块组件。同样，谐振器20a和20b可以与VBA或结合谐振器20a和20b的其他设备一起使用，并且可受益于本文所述的谐振器20a和20b的设计特征。在一些示例中，检验质量块组件10可以是面外检验质量块组件(如图1A和图1B所示)或面内检验质量块组件。

VBA通过监测谐振器20a和20b之间的频率的差分变化来操作。谐振器20a和20b(也被称为双端调谐叉(DETF))中的每个将取决于施加在相应的谐振器20a或20b上的轴向应变(例如，在图1A和图1B的y轴方向上施加的压缩或张紧)以特定频率振动。在操作期间，检验载体14可以直接地或间接地安装到经历加速度或角度变化的对象18(例如，飞机、导弹、取向模块等)，以使检验质量块12在垂直于由挠曲件16a和16b限定的平面的方向上(例如，在箭头22的方向上或在图1B的z轴的方向上)经历惯性位移。检验质量块12的偏转包括取决于力的方向或方向变化而引起在谐振器20a和20b中的一个谐振器上的轴向张紧和在另一个上的轴向压缩。谐振器20a和20b上的不同相对应变改变谐振器20a和20b的细长尖齿的相应的振动频率。通过测量这些变化，可以测量施加在对象18上的力的方向和大小，从而测量加速度或取向。

检验质量块组件10可以包括用于在谐振器20a和20b上引起振荡频率的附加部件，诸如一个或多个电迹线、压电驱动器、电极等，或可与加速度计的最终构造一起使用的其他部件，诸如定子、永磁体、电容传感板、阻尼板、力再平衡线圈等，它们都未在图1A和图1B中示出。此类部件是已知的，并且可以由本领域的普通技术人员结合在检验质量块组件10或最终加速度计(例如VBA)上。

如图1A所示，检验载体14可以是平面环形结构，其基本上包围检验质量块12并基本上将挠曲件16a和16b以及检验质量块12保持在共用平面(例如，图1A和图1B的x-y平面)中。虽然图1A所示的检验载体是圆形形状，但是可以设想，检验载体14可以是任何形状(例如，方形、矩形、椭圆形等)，并且可以包围或不包围检验质量块12。

可以使用任何合适的材料形成检验质量块12、检验载体14、谐振器20a和20b以及挠曲件16。在一些示例中，检验质量块12、检验载体14、谐振器20a和20b以及挠曲件16可以由硅基材料制成，诸如石英(SiO₂)、压电材料、柏林石(AlPO₄)、正磷酸镓(GaPO₄)、Thermaline、钛酸钡(BaTiO₃)、锆钛酸铅(PZT)、氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)、诸如镍铬合金(例如，铬镍铁合金)的金属合金等。在一些示例中，可以使用相同的材料形成检验质量块12、检验载体14、谐振器20a和20b以及挠曲件16。

图2是示例性谐振器30(例如，谐振器20a和20b中的一个谐振器)的放大示意图，其包括定位在谐振器30的相对端的第一安装垫32a和第二安装垫32b。谐振器30还包括一组振动细长梁或尖齿(本文称为“细长尖齿34a和34b”)，该组振动细长梁或尖齿沿着纵向轴线36彼此平行地延伸。定位在细长尖齿34a和34b与相应的第一安装垫32a和第二安装垫32b之间的是隔离机构38a和38b。每个隔离机构38a和38b可以包括内部块40a和40b以及外部块42a和42b。每个相应的内部块40a和40b以及外部块42a和42b可以由一对互连构件44a和44b连接。每个内部块40a和40b直接地连接到两个细长尖齿34a和34b的相应端。外部块42a和42b分别通过垫连接器46a和46b连接到第一安装垫32a和第二安装垫32b。例如，参考隔离机构38a，内部块40a和外部块42a由一对互连构件44a连接。外部块42a经由垫连接器46a连接到第一安装垫32a，并且内部块40a连接到两个细长尖齿34a和34b的相应的第一端。如上所述，谐振器30可以被称为DETF。在一些示例中，谐振器30可以位于单个平面内(例如，如图2所示的x-y平面)。

谐振器30的第一安装垫32a和第二安装垫32b可以分别使用任何合适的技术来固定到检验质量块(例如，图1A的检验质量块12)或检验载体(例如，图1A的检验载体14)。在一些示例中，第一安装垫32a和第二安装垫32b可以使用结合粘合剂诸如环氧树脂、使用钎焊、铜焊或焊接或其他合适的结合机构固定到相应的检验质量块或检验载体。在一些示例中，第一安装垫32a和第二安装垫32b可以是谐振器30的唯一部分，其机械地联接到在其中安装有谐振器30的装置(例如，检验质量块12或检验载体14)，从而允许谐振器30的其余部分自由浮动。

关于隔离机构38a和38b的几何形状和布置的其他细节将在下面参考图3和图4进一步详细地讨论。虽然关于隔离机构38a讨论了以下细节，但是此类细节可以同样地适用于隔离机构38b的部件和布置。在一些示例中，隔离机构38a和38b可以基本上相同(例如，相同或几乎相同)，或可以是彼此的镜像。在其他示例中，谐振器30可以仅包括隔离机构38a和38b中的一个隔离机构。虽然关于单个谐振器30讨论了以下细节，但是结合在检验质量块组件中的两个谐振器(例如，检验质量块组件10的谐振器20a和20b)可以包括本文所述的一个或多个隔离机构38。

图3是在静止状态(例如，非谐振)时图2的谐振器30的隔离机构38a的放大示意图。如图3所示，结合连接器46a将第一安装垫32a连接到外部块42a的第一端48a。结合连接器46a可以是细长薄条材料，用作外部块42a与第一安装垫32a之间的桥接部，以使两个构件彼此隔离。在一些示例中，结合连接器46a可以是谐振器30的唯一部件，其物理地连接外部块42a和第一安装垫32a。应当理解，与驱动和感测机构相关联的附加部件(诸如电迹线)可以沿着隔离机构38a的部分形成，包括例如结合连接器46a，本文未示出或描述。

在一些示例中，结合连接器46a可以对准和中心定位在纵向轴线36上，纵向轴线36限定细长尖齿34a和34b之间的中心线。这样，可以有效地平衡细长尖齿34a和34b的横向移动(例如，在图3的x轴方向上的移动)，从而在操作期间在结合连接器46a上产生不显著的横向应变。结合连接器46a的宽度和长度(例如，如分别在图3的x轴和y轴方向上测量的)可以具有任何合适的尺寸。在一些示例中，结合连接器46a的相对宽度(例如，在x轴方向上的距离)可以大于相应的细长尖齿34a的相对宽度(例如，在x轴方向上的距离)，诸如约为细长尖齿34a的宽度的两倍。

外部块42a沿着第一端48a连接到结合连接器46a并沿着第二端48b连接到一对互连构件44a。第一端48a和第二端48b可以限定外部块42a的相对侧，其中第一端48a更靠近第一安装垫32a，并且第二端48b更靠近细长尖齿34a和34b。外部块42a可以沿着外部块轴线50横向地延伸(例如，垂直于纵向轴线36)。当谐振器处于静止状态时，外部块轴线50可以基本上垂直(例如，垂直或几乎垂直)于纵向轴线36。在一些示例中，外部块42a可以是矩形形状，其限定任何合适尺寸的宽度和长度(例如，如分别在图3的x轴和y轴方向上测量的)。在一些示例中，外部块42a的相对长度(例如，如在图3的y轴上测量的)可以是外部块42a的相对宽度的尺寸(例如，如在图3的x轴上测量的)的约1/3至约1/2。附加地或另选地，外部块42a的相对长度可以比相应的细长尖齿34a的相对宽度(例如，如在图3的x轴上测量的)大并比相应的细长尖齿34a的相对宽度小约五倍。在一些示例中，外部块42a的相对长度可以是相应的细长尖齿34a的宽度的约三倍至约五倍。在一些示例中，外部块42a的宽度(例如，如在图3的x轴上测量的)可以长于互连构件44a的外侧宽度(例如，在x轴方向上从第一互连构件44a的外侧到第二互连构件44a的外侧测量的)并约等于或小于内部块40a的宽度。

一对互连构件44a将外部块42a的第二端48b连接到内部块40a的第一端52a。一对互连构件44a中的每个互连构件可以是细长薄条材料，其充当外部块42a与内部块40a之间的桥接部，以将两个块彼此物理地隔离。在一些示例中，一对互连构件44a可以是谐振器30的唯一部件(例如，排除任何附加的电迹线或沉积在其上的其他部件)，其物理地连接外部块42a和内部块40a。在一些示例中，一对互连构件44a可以基本上平行(例如，平行或几乎平行)于纵向轴线36对准，但是以将谐振器30的中心线(例如，纵向轴线36)等分的间距距离(例如，如在互连构件44a的中心轴54之间测量的距离W1)分开。在一些示例中，在一对互连构件44a之间的间距距离(例如，距离W1)可以等于或小于细长尖齿34a和34b之间的间距距离(例如，如在细长尖齿34a和34b的中心轴58之间测量的距离W2)。在诸如谐振器30仅包括有单个隔离机构38a的其他示例中，一对互连构件44a之间的间距距离(例如，距离W1)可以等于、小于或大于细长尖齿34a和34b之间的间距距离(例如，距离W2)。如下面进一步描述的，可以选择W1:W2的比率，以消除因内部块40a和外部块42a的弓弯而发生的端部泵浦。

每个互连构件的宽度和长度(例如，如分别在图3的x轴和y轴方向上测量的)可以具有任何合适的尺寸。在一些示例中，相应的互连构件44a的相对宽度(例如，如在图3的x轴中测量的)可以基本上等于(例如，等于或几乎等于)相应的细长尖齿34a的相对宽度，或可以大于(例如，最高约两倍)相应的细长尖齿34a的相对宽度。相应的互连构件44a的相对长度可以限定内部块40a和外部块42b之间的间距距离。在一些示例中，相应的互连构件44a的相对长度可以等于相应的相对宽度，或可以大于相应的相对宽度。

一对互连构件44a中的每个互连构件可以限定沿着其长度(例如，在图3的y轴方向上)延伸的中心轴54。出于下面进一步描述的原因，在一些示例中，中心轴54可以基本上平行(例如，平行或几乎平行)于细长尖齿34a和34b的相应的轴线对准并以其为中心，或中心轴54可以基本上平行(例如，平行或几乎平行)于细长尖齿34a和34b的相应的轴线对准但可以是偏心的，使得一对互连构件44a定位得更靠近谐振器30的中心线(例如，纵向轴线36)而不是细长尖齿34a和34b。图3示出了后一种配置。

内部块40a沿着第一端52a连接到互连构件44a并沿着第二端52b连接到细长尖齿34a和34b的相应的第一端。第一端52a和第二端52b可以限定内部块40a的相对侧，其中第一端52a更靠近第一安装垫32a，而第二端52b更靠近细长尖齿34a和34b。内部块40a可以沿着内部块轴线56横向地延伸(例如，垂直于纵向轴线36)。当谐振器处于静止状态时，内部块轴线56可以基本上垂直(例如，垂直或几乎垂直)于纵向轴线36。

在一些示例中，内部块40a可以是矩形形状，其限定任何合适尺寸的宽度和长度(例如，如分别在图3的x轴和y轴方向上测量的)。在一些示例中，内部块40a的相对长度(例如，如在图3的y轴上测量的)可以是内部块40a的相对宽度(例如，如在图3的y轴上测量的)的尺寸的约1/3至约1/2。附加地或另选地，内部块40a的相对长度可以比相应的细长尖齿34a的相对宽度(例如，如在图3的x轴上测量的)大并比相应的细长尖齿34a的相对宽度小约五倍。在一些示例中，内部块40a和外部块42a可以是基本上相同(例如，相同或几乎相同)的尺寸，而在其他示例中，内部块40a和外部块42a可以是不同的尺寸。例如，外部块42a的相对宽度可以小于内部块40a的相对宽度。

细长尖齿34a和34b可以各自平行于纵向轴线36从内部块40a的第二端52b延伸到内部块40b的相应的第二端。细长尖齿34a和34b的中心轴58可以以如垂直于纵向轴线36测量的间距距离(例如，细长尖齿34a和34b的中心轴58之间的距离W2)分开，其中细长尖齿34a和34b将谐振器30的中心线(例如，纵向轴线36)等分。在一些示例中，细长尖齿34a和34b之间的间距距离(例如，距离W2)可以大于一对互连构件44a之间的间距距离(例如，距离W1)，其原因在下面参考图4进一步讨论，或在一些示例中，可以等于或小于间距距离(例如，距离W1)。在一些示例中，相对间距距离(例如，距离W2)可以比细长尖齿34a和34b的总长度小约1/5，并且可以比相应的细长尖齿34a的宽度大约两倍。

谐振器30的振动驱动和感测功能可以以各种方式实现，包括例如使用静电梳驱动元件、可变间隙平行板电容器驱动元件、压电驱动元件等。当使用静电梳以及其他驱动和感测机构时，细长尖齿34a和34b通常需要被分开足够的距离(例如，相应的细长尖齿34a的宽度至少约5至约10倍的间距距离(例如，距离W2))，以适应在细长尖齿34a和34b之间放置感测和/或驱动元件(例如，图5中所示的静电梳76)。虽然在细长尖齿34a和34b之间具有较大的间距距离(例如，距离W2)可有用于避免在细长尖齿34a和34b被紧密地间隔且桁架系统被用于连接驱动和感测特征时可能发生的一些不期望的振动模式，将细长尖齿34a和34b放置在彼此相距较大的间距距离W2处可能导致某种不准确性，诸如安装垫32a和32b上的增加的纵向应变。一种这样的纵向应变被称为“端部泵浦”。由于因来自细长尖齿34a和34b的相反弯矩引起的施加在安装垫32a和32b以及垫连接器46a和46b上的纵向应变(例如，在纵向轴线36的方向上)，发生端部泵浦。例如，当细长尖齿34a和34b向外弓弯时，可以在内部块40a的表面52b上在细长尖齿34a和34b的端部处产生限制力矩。这些力矩将导致内部块40a弯曲，如图4所示，这继而可能在垫连接器46a和安装垫32a上产生拉力。

当细长尖齿34a和34b在挠曲位置与零点位置之间振动时，安装垫32a和32b上的拉力将振荡从而产生泵浦效应。端部泵浦可能导致细长尖齿34a和34b之间的交叉联接，这降低了加速度计的准确度。

包括隔离机构38a和38b可有助于通过在细长尖齿34a和34b与安装垫32a和32b之间提供更好应变系统平衡来减少端部泵浦的影响。图4是在谐振状态时图2的谐振器30的隔离机构38a的放大示意图。如图4所示，两个细长尖齿34a和34b正在谐振，并且被示出为处于在其振荡期间当两个尖齿在图3的x轴的方向上挠曲远离彼此以增加尖齿之间的间距距离时的时刻。该移动导致内部块40a在负y轴方向上沿着内部块轴线56偏转(例如，远离安装垫32a弓弯)。在没有隔离机构38a的情况下，内部块40a的偏转将转移到垫连接器46a以在负y轴方向上拉动安装垫32a，从而产生与检验质量块的偏转无关的附加的纵向应变。

隔离机构38a通过经由互连构件44a和44b在外部块42a中产生相反偏转而产生平衡应变，以在垫连接器46a上建立相反推力。例如，当内部块40a在负y轴方向上沿着内部块轴线56偏转或弓弯时，互连构件44a和44b将被迫靠近在一起并旋转。互连构件44a和44b的位移和旋转将继而迫使外部块42a偏转，以使外部块42a在正y轴方向上沿着外部块轴线50偏转或弓弯。内部块40a和外部块42a的相反偏转可以通过相对于尖齿之间的距离W2调整互连构件44a和44b之间的距离W1来彼此配衡以减少或消除在垫连接器46a和安装垫32a上产生的端部泵浦效应。在一些示例中，在内部块40a和外部块42a中观察到的偏转量可以是不同的或不对称的。在一些示例中，可以使用几何建模(例如，使用诸如ANSYS或ABAQUS的有限元分析软件)来选择隔离机构38a和38b的各种部件的相对尺寸、定位和放置。

图5是另一个示例性谐振器70(例如，谐振器20a和20b中的一个谐振器)的放大示意图，其包括定位在谐振器70的相对端的第一安装垫32a和第二安装垫32b。谐振器70还包括一组细长尖齿74a和74b，它们沿着纵向轴线72或谐振器70彼此平行地延伸。定位在细长尖齿74a和74b与相应的第一安装垫32a和第二安装垫32b之间的是隔离机构38a和38b，每个隔离机构的一端连接到细长尖齿74a和74b，并且相对端通过垫连接器46a和46b连接第一安装垫32a和第二安装垫32b。隔离机构38a和38b、第一安装垫32a和第二安装垫32b以及垫连接器46a和46b可以与上面关于谐振器30所述的相应部件基本上相同(例如，相同或几乎相同)，任何差异如下所述。

如图5所示，细长尖齿74a和74b中的每个尖齿可以包括静电梳形式的一个或多个驱动元件76。在其他示例中，也可以使用其他驱动元件，诸如可变间隙平行板电容器驱动元件、压电驱动元件等。静电梳状驱动元件76可以用于驱动细长尖齿74a和74b并向其提供振动运动。在一些示例中，附接有谐振器70的检验质量块(例如，检验质量块12)可以包括可用于静电地移动静电梳状驱动元件76的多个驱动元件(未示出)。在某些设计中，例如，驱动元件可以包括多个交叉固定或锚定的梳指(未示出)，它们夹在附接到静电梳状驱动元件76的对应多个梳指78内。固定或锚定的梳指与梳指78之间的间隔是相对小的间隙(例如，约1μm至约2μm)。在操作期间，可以向梳指施加电荷以在交错梳指之间引起静电电荷，静电电荷将产生拉力以增加交错梳指之间的相对接合或重叠，从而将电能转换成机械能，由此提供用于使细长尖齿74a和74b横向地振动的驱动方法。

在其他示例中，细长尖齿74a和74b中的每个尖齿可以包括除图5所示的那些之外的静电梳状驱动元件。例如，在一些示例中，细长尖齿74a和74b中的每个尖齿可以包括多个梳指78，多个梳指从相应的细长尖齿74a或74b的一侧或两侧横向地延伸出来。在其他示例中，细长尖齿74a和74b中的每个尖齿可以包括除静电梳状驱动元件之外的驱动机构。

已经描述了各种示例。这些示例和其他示例在以下权利要求的范围内。