阅读说明：本技术 一种加速度计封装结构、密封性检测系统及方法 (Accelerometer packaging structure, and sealing detection system and method ) 是由 于湘涛 吴楠 张菁华 张吉 徐国栋 付秀娟 韩旭 杨杏敏 彭振新 潘天鹏 于 2018-09-13 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种加速度计封装结构、密封检测系统及方法,其中方法包括：将加速度计表芯与所述壳体进行装配；将卡箍与所述检漏设备进行连接；将装配好的加速度计放置于卡箍的顶部,使得壳体底部的通孔与所述卡箍的通道相对；启动喷气设备,对加速度计外部喷惰性气体；启动检漏设备,检测加速度计装配的漏率；选择漏率小于预设漏率的加速度计置于所述充气设备内；启动充气设备对加速度计内填充示踪气体；对通孔进行铅锡焊锡封；检测方法简单可靠,能够对加速度计封装的密封性进行有效检测。(The invention provides an accelerometer packaging structure, a sealing detection system and a method, wherein the method comprises the following steps: assembling an accelerometer core with the housing; connecting a hoop with the leakage detection equipment; placing the assembled accelerometer on the top of the hoop so that the through hole in the bottom of the shell is opposite to the channel of the hoop; starting gas injection equipment, and injecting inert gas to the outside of the accelerometer; starting leak detection equipment, and detecting the leak rate of the accelerometer assembly; selecting an accelerometer with a leakage rate smaller than a preset leakage rate to be arranged in the inflating equipment; starting the inflation equipment to fill trace gas in the accelerometer; carrying out lead-tin soldering tin sealing on the through hole; the detection method is simple and reliable, and can effectively detect the sealing performance of the accelerometer package.)

一种加速度计封装结构、密封性检测系统及方法

技术领域

本发明涉及加速度计技术领域，尤其涉及一种加速度计封装结构、密封检测系统及方法。

背景技术

石英挠性加速度计(简称加速度计)作为惯性测量的重要仪表，具有高精度、高可靠性、适合加速度测量的优点，已在航天、航空、航海和石油等众多领域得到了广泛的应用，许多惯性测量系统需要经历低压或高压等环境，加速度计内外存在压差导致加速度计参数变化，因此，为了满足系统需求，进行加速度计封装设计及性能筛选，有利于筛选出气压环境适应性优良的加速度计产品。

目前，加速度计密封性设计的缺陷在于：加速度计内部充有常压气体，产生空气压膜阻尼保证加速度计闭环系统正常工作，加速度计长期工作在非常压环境，由于加速度计内部外部存在气压差，加速度计内部气体将逐渐内漏或者外逸，结果导致加速度计参数也随之改变，影响了加速度计测量精度。

发明内容

本发明的目的在于针对上述现有技术中的加速度计密封性检测的需求，提出一种加速度计封装结构、密封检测系统及方法，能够有效提高加速度计封装的密封性，并且对密封性进行有效检测。

一种加速度计封装结构，包括用于对加速度计表芯进行封装的壳体，所述壳体底部设置有环形凸台，所述壳体底部的中心设置有通孔。

进一步地，所述环形凸台的高度为0.5mm-1mm。

进一步地，所述通孔的孔径为0.3mm-1.5mm。

一种加速度计密封检测系统，包括上述的加速度计封装结构，还包括加速度计表芯、连接工装、检漏设备、喷气设备以及充气设备；

所述连接工装包括卡箍；

所述卡箍的纵截面为工字型，所述卡箍的内部设有通道；

所述卡箍的一个端面与所述壳体的底部连接，所述卡箍的另一个端面与所述检漏设备连接；

所述通道连通所述通孔和所述检漏设备或者充气设备；

所述卡箍的与壳体连接的端面上设置有第一密封圈，所述卡箍与检漏设备连接的端面上设置有第二密封圈；

所述喷气设备用于对加速度计外部喷惰性气体，所述充气设备用于对加速度计内填充示踪气体。

一种加速度计密封检测方法，采用上述的加速度计密封检测系统进行检测，所述方法包括：

将加速度计表芯与所述壳体进行装配；

将卡箍与所述检漏设备进行连接；

将装配好的加速度计放置于所述卡箍的顶部，使得壳体底部的通孔与所述卡箍的通道相对；

启动喷气设备，对加速度计外部喷惰性气体；

启动检漏设备，检测加速度计装配的漏率；

选择漏率小于预设漏率的加速度计置于所述充气设备内；

启动充气设备对加速度计内填充示踪气体；

对所述通孔进行铅锡焊锡封。

进一步地，装配好的加速度计放置于所述卡箍的顶部，呈1g状态放置。

进一步地，所述惰性气体为氦气。

进一步地，所述预设漏率为1×10^-9Pa.m³/s。

进一步地，对所述通孔进行铅锡焊锡封之后，还包括：

将所述加速度计放入真空室进行检漏。

本发明提供的加速度计封装结构、密封检测系统及方法，至少包括如下有益效果：

(1)封装结构简单可靠；

(2)密封检测系统的密封性好，有效保证检漏过程中密封性；

(3)检测方法简单可靠，能够对加速度计封装的密封性进行有效检测。

附图说明

图1为本发明提供的加速度计封装结构一种实施例的底面示意图。

图2为本发明提供的加速度计密封检测系统中的卡箍一种实施例的结构示意图。

图3为本发明提供一种加速度计密封检测方法一种实施例的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例一

参考图1，本实施例提供一种加速度计封装结构，包括用于对加速度计表芯进行封装的壳体101，壳体101底部设置有环形凸台102，壳体101底部的中心设置有通孔103。

作为一种优选的实施方式，环形凸台102的高度为0.5mm-1mm。

作为一种优选的实施方式，通孔103的孔径为0.3mm-1.5mm。

环形凸台102的设置，能够为铅锡焊预留空间，避免出现局部高点导致的加速度计放置不稳。

实施例二

本实施例提供一种加速度计密封检测系统，包括上述的加速度计封装结构，还包括加速度计表芯、连接工装、检漏设备、喷气设备以及充气设备；

参考图2，连接工装包括卡箍201；

卡箍201的纵截面为工字型，卡箍201的内部设有通道202；

卡箍201的一个端面与壳体101的底部连接，卡箍201的另一个端面与检漏设备连接；

通道202连通通孔103和检漏设备；

卡箍201的与壳体101连接的端面上设置有第一密封圈203，卡箍201与检漏设备连接的端面上设置有第二密封圈204；

喷气设备用于对加速度计外部喷惰性气体，充气设备用于对加速度计内填充示踪气体。

作为一种优选的实施方式，卡箍201的端面上设置有相应的卡槽，用于对第一密封圈进行固定。

第一密封圈203和第二密封圈204的设置，可以有效保证检漏过程中密封性。

实施例三

参考图3，本实施例提供一种加速度计密封检测方法，如实施例二所述的加速度计密封检测系统进行检测，所述方法包括：

步骤S301，将加速度计表芯与所述壳体进行装配；

步骤S302，将卡箍与所述检漏设备进行连接；

步骤S303，将装配好的加速度计放置于所述卡箍的顶部，使得壳体底部的通孔与所述卡箍的通道相对；

步骤S304，启动喷气设备，对加速度计外部喷惰性气体；

步骤S305，启动检漏设备，检测加速度计装配的漏率；

步骤S306，选择漏率小于预设漏率的加速度计置于所述充气设备内；

步骤S307，启动充气设备对加速度计内填充示踪气体；

步骤S308，对所述通孔进行铅锡焊锡封。

具体地，步骤S303中，装配好的加速度计放置于所述卡箍的顶部，呈1g状态放置。

步骤S304中，惰性气体为氦气。

步骤S305中，检漏设备通过通孔对壳体内部进行抽气，从而检测加速度计装配的漏率。

步骤S306中，预设漏率为1×10^-9Pa.m³/s，即小于该预设漏率则被认为不合格，不合格的加速度计可以拆解封装结构，重新进行检测。

步骤S307中，加速度计置于充气设备内，示踪气体通过通孔进入到壳体内部。

进一步地，执行步骤S308之后，还包括：

将所述加速度计放入真空室进行检漏。

将铅锡焊锡封后的加速度计放入真空室进行检漏，对铅锡焊锡封的密封性进行检测。

本实施例提供的加速度计密封检测方法，方法简单可靠，能够对加速度计封装的密封性进行有效检测。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。