阅读说明：本技术 速度控制器 (Speed control ) 是由 濱富夫 西牧裕 于 2018-04-09 设计创作，主要内容包括：技术问题在于形成一种速度控制器,结构简单且能够应用于短行程的缸。作为解决手段,速度控制器(1)包括将第一端口(12)和第二端口(14)连通而使压力流体流通的第一流路(15)、第二流路(16),在第一流路(15)中配置第一阀(27),在第二流路(16)中配置第二阀(28),还包括第三流路(22)、第四流路(26),在第三流路(22)中配置有第三阀(46),其在第三流路中仅允许从第一阀口(12)向缸室(20)的相对于活塞(30)靠活塞轴(34)一侧的部分的流通,并且通过第三阀芯(46a)向开通第三流路(22)的方向移动,闭锁第一流路(15)和第四流路(26),通过第三阀芯(46a)向闭锁第三流路(22)的方向移动,开通第一流路(15)和第四流路(26)。(Technical problem is to be formed a kind of speed control, and structure is simple and can be applied to the cylinder of short stroke.As solution, speed control (1) includes the first flow path (15) for being connected to first port (12) with second port (14) and pressure fluid being made to circulate, second flow path (16), the first valve (27) are configured in first flow path (15), the second valve (28) are configured in second flow path (16), it further include third flow path (22), 4th flow path (26), third valve (46) are configured in third flow path (22), it only allows the circulation relative to piston (30) by the part of piston shaft (34) side from the first valve port (12) to cylinder chamber (20) in third flow path, and it is mobile by the direction of third spool (46a) Xiang Kaitong third flow path (22), it is latched first flow path (15) and the 4th flow path (26), by third spool ( It is 46a) mobile to the direction of locking third flow path (22), open first flow path (15) and the 4th flow path (26).)

速度控制器

技术领域

本发明涉及一种速度控制器，更具体而言，涉及一种与外部的缸连接而能够逐级地控制该缸的动作速度的速度控制器。

背景技术

在进行机械装置和电子设备等的组装的自动设备线等中，多采用使用复动式缸(以下简称为“缸”)的装置。但是，如果使缸高速化，则能够缩短循环时间，但另一方面，会产生停止时的冲击变大而缸寿命变短这样的问题。另外，随着自动设备线等的用途的扩大，对行程短的缸的需求也在增加。

以往，为了即使缸速度高速化也不会使停止时的冲击变大，一般采用在缸的连接有活塞的机构部分设置减震器(例如，油式)来缓和缸停止时的冲击的方法。但是，在这种情况下，存在机构复杂化以及由于设置减震器而无法缩短行程等技术问题。此外，由于油式减震器在结构上存在漏油的可能性，因此还存在无法用于食品机械等这样的技术问题。

因此，本申请的发明人提出了一种速度控制器，该速度控制器能够不使用减震器而通过简单的结构逐级地控制外部缸在一个行程中的动作速度(专利文献1：参照日本专利特开2016-161055号公报)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2016-161055号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

由于专利文献1所记载的速度控制器是未设置减震器的结构，因此能够使缸的行程较短。但是，最近对进一步缩短缸行程这样的市场需求越来越高。

在结构上，专利文献1所记载的速度控制器在电磁阀切换的时刻，打开使压力流体从第二端口向第一端口流通的流路。因此，相对于电磁阀切换以从第一端口排出来自缸的压力流体的时间点，流量控制的开始产生了稍许时间延迟，上述流量控制进行来自缸的压力流体从第二端口流通到第一端口的流量的调节。由此，需要与上述流量控制的延迟时间对应的行程。

也就是说，已知的速度控制器能够通过简单的结构逐级地控制外部的缸在一个行程中的动作速度，适合于上述流量控制的延迟时间不会成为问题的长行程的缸，但另一方面，不适合于上述流量控制的延迟时间成为问题的短行程的缸。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种速度控制器，该速度控制器能够不使用减震器而通过简单的结构逐级地控制外部的缸在一个行程中的动作速度，并且，通过消除上述流量控制的延迟时间，能够适用于短行程的缸。

作为一个实施方式，通过以下公开的解决手段来解决上述技术问题。

公开的速度控制器的特征在于，包括：第一流路和第二流路，上述第一流路和第二流路分别将配置于主体部的第一端口和第二端口连通而使压力流体流通，在上述第一流路中配置有第一阀，上述第一阀的第一阀芯固定于在形成于上述主体部的缸室中能够往复运动地配置的活塞，且配置在向该缸室的外部突出的活塞轴的向该缸室的外部突出的一侧，上述第一阀使上述第一阀芯与形成于上述主体部的第一开口孔接触、分离，从而调节流通的压力流体的流量，在上述第二流路中配置有第二阀，上述第二阀仅允许从上述第一端口向上述第二端口的流通，上述速度控制器还包括第三流路和第四流路，上述第三流路将上述第一端口与上述缸室的相对于上述活塞靠上述活塞轴侧的部分连通，并使压力流体流通，上述第四流路将上述缸室的相对于上述活塞靠上述活塞轴侧的部分与形成于上述主体部的排气口连通，并使压力流体流通，在上述第三流路中配置有第三阀，上述第三阀在上述第三流路中仅允许从上述第一端口向上述缸室的相对于上述活塞靠上述活塞轴侧的部分的流通，并且，上述第三阀通过第三阀芯向开通上述第三流路的方向移动，闭锁上述第一流路和上述第四流路，通过第三阀芯向闭锁上述第三流路的方向移动，开通上述第一流路和上述第四流路。

发明效果

根据公开的速度控制器，能够不使用减震器而通过简单的结构逐级地控制外部的缸在一个行程中的动作速度，并且，通过消除上述流量控制的延迟时间，实现能够应用于短行程的缸的速度控制器。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的速度控制器的例子的示意图，是表示初始状态的动作说明图。

图2是上述实施方式的速度控制器的示意图，是表示开通第三流路的中途状态的动作说明图。

图3是上述实施方式的速度控制器的示意图，是说明开通第一流路、第二流路以及第三流路的状态的动作说明图。

图4是上述实施方式的速度控制器的示意图，是说明在关闭第三流路的状态下开通第四流路的状态的动作说明图。

图5是上述实施方式的速度控制器的示意图，是说明开通第五流路的状态的动作说明图。

图6是上述实施方式的速度控制器的示意图，是说明开通第一流路的状态的动作说明图。

图7是具有图1至图6所示的速度控制器和外部的缸而构成的情况的回路图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行详细说明。图1至图6是表示本实施方式的速度控制器1的例子的平面剖视图(示意图)，是说明动作的动作说明图。图7是表示具有图1至图6所示的速度控制器1(在此为两个速度控制器1A、1B)和外部的缸2而构成的情况的回路图。另外，在用于说明实施方式的所有附图中，对具有相同功能的构件标注相同的符号，有时省略其重复说明。

本实施方式的速度控制器1例如组装(连接)于使压力流体(例如压缩空气)相对于构成自动设备线等的外部的复动式缸(以下简称为“缸”)2流通的流路，逐级地(例如按高速和低速这两级)控制该缸2的动作速度。

如图1～图6所示，速度控制器1在主体部10中包括使压力流体流通的多个流路(详细情况后面描述)。另外，在主体部10的内部设置有将活塞30保持为能够往复移动的缸室20。

另外，作为速度控制器1的构成材料，除了后面描述的第二阀芯39和环状垫圈38等使用橡胶材料的部分之外，根据使用条件适当使用树脂材料(例如POM、PBT等)或金属材料(例如不锈钢、黄铜等)。

在此，缸室20在一端侧设置有壳体36和第一壁部43，该壳体36和第一壁部43保持气密并分隔缸室20的内部和外部(在此，是主体部10的内部的成为第一流路15和第二流路16的部分)。另外，在另一端侧设置有盖40和第二壁部45，该盖40和第二壁部45保持气密并分隔缸室20的内部和外部(在此，是成为主体部10的外部的部分)。也就是说，缸室20是由主体部10、壳体36、第一壁部43、第二壁部45和盖40形成内部空间的结构。另外，作为一例，采用了将主体部10、壳体36、第一壁部43、第二壁部45、盖40分体地形成的结构，但也可以采用主体部10、壳体36、第一壁部43、第二壁部45、盖40中的几个形成为一体的结构。

在本实施方式中，活塞轴34固定于能够往复运动地配设在缸室20内的活塞30，能够与该活塞30一起沿轴向往复运动。另外，作为一例，采用了将活塞轴34和活塞30形成为一体的结构，但也可以采用形成为分体的结构。

另外，活塞轴34构成为插通缸室20的一端侧的壳体36并使该活塞轴34的前端侧向该缸室20外突出。此外，橡胶制的环状垫圈38设置在活塞轴34插通的壳体36的滑动位置处，并且活塞轴34能够在相对于壳体36保持气密性的同时沿轴向移动。另外，在此，将环状垫圈38图示为X型环，但也可以由O型环代替。

另一方面，关于设置在主体部10中的上述多个流路，更具体而言，设置有第一流路15(图5中的箭头D或图6中的箭头E所例示的流路)，上述第一流路15使压力流体从第二端口14流通到第一端口12。此外，设置有第二流路16(图3中的箭头B所例示的流路)，上述第二流路16使压力流体从第一端口12流通到第二端口14。此外，设置有第三流路22(图3中箭头A所例示的流路)，上述第三流路22将第一端口12与形成在主体部10内部的缸室20的相对于活塞30靠活塞轴34侧的部分连通，并且使压力流体流通。另外，设置有第四流路26(图4中的箭头C所例示的流路)，上述第四流路26将缸室20中的相对于活塞30靠活塞轴34侧的部分和设置在主体部10上的排气口24连通，并使压力流体流通。

首先，对本实施方式的速度控制器1所具备的多个阀的配置以及结构进行说明。

在本实施方式中，靠近第一端口12配设有第一阀27。另外，在与第一阀27成规定间隔的位置配设有第二阀28。此外，壳体36的前端部嵌入到第二阀28的成为第二阀座41的壁上，并且构成为使活塞轴34的前端侧突出。

在此，第一流路15构成为，第一阀27的在第一阀座37开口的第一开口孔37a成为流路的一部分。在本实施方式中，第一阀27作为调节阀而发挥功能，该调节阀通过使配置于活塞轴34的前端的第一阀芯35往复运动而与第一开口孔37a接触、分离，从而调节流通的压力流体的流量(详细情况后面描述)。

此外，第二流路16设置有第二阀28，该第二阀28配置在围绕活塞轴34的外周的位置处，并且仅允许从第一端口12向第二端口14的流通。第二阀28构成为开闭第二流路16。该第二阀28包括第二阀芯39和第二阀座41，并且起到仅在图3中的箭头B所例示的方向上允许压力流体通过的作用。也就是说，在使压力流体从第一端口12侧向第二流路16内流通的情况下，通过压力流体的压力，第二阀芯39从第二阀座41分隔开而流路开通。另一方面，在使压力流体从第二端口14侧向第二流路16内流通的情况下，通过压力流体的压力，第二阀芯39与阀座41紧贴而流路闭锁。作为一例，第二阀芯39使用橡胶形成，第二阀座41与主体部10一体地使用树脂材料形成。也就是说，第二阀28作为单向阀发挥作用。

在本实施方式中，设置有移动构件，该移动构件使活塞30和活塞轴34向减少缸室20内的容积且使配置于活塞轴34的前端的第一阀芯35抵接或进入第一开口孔37a的方向(或者该方向和反方向这两个方向)移动。

作为移动构件，采用使用施力构件(例如，通过施力构件的作用力使其移动的机构)或者电动机(例如，使用由控制部驱动的步进电动机等、齿条齿轮或滚珠丝杠等使其移动的机构)的结构等。

作为一例，在本实施方式中，使用施力构件作为移动构件。关于该施力构件，更具体而言，在缸室20内设置有以一端与活塞30抵接、另一端与盖40抵接的方式配设的第一施力构件(例如，螺旋弹簧、其他弹簧构件)42。该第一施力构件27d产生使活塞30和活塞轴34向减少缸室20内的容积且使配置于活塞轴34的前端的第一阀芯35抵接或进入第一开口孔37a的方向移动的作用力。另外，作为第一施力构件的变形例，也可以采用构成为对活塞30的另一端侧施加压缩流体(压缩空气等)的压力、产生与上述同样的作用力的结构(未图示)。

在本实施方式中，具有X型环44，该X型环44固定在第一阀芯35的外周，在第一阀芯35与第一开口孔37a之间保持气密。该X型环44在活塞30和活塞轴34通过上述移动构件向上述方向移动时具有作为限位件的功能，并且弹性变形，使得配置在活塞轴34的前端处的第一阀芯35不会相对于第一开口37a进入至超过预定位置。另外，X型环44也可以由O型环代替。此外，可以采用设置调节构件的结构(未示出)，该调节构件限定活塞30的停止位置(即，配置在活塞轴34的前端处的第一阀芯35的停止位置)，并且能够调节该停止位置。另外，在使用电动机(例如，步进电动机)作为移动构件的情况下，通过控制部对电动机的控制，进行活塞30(和活塞轴34)的停止位置的调节，因而控制部和电动机构成调节构件。

在第三流路22设置有第三阀46。该第三阀46构成为，通过配置为能够在设置于第三流路22的流路中途的阀箱46e内往复运动的第三阀芯46a向开通第三流路22的方向移动，闭锁第四流路26和第一流路15，通过第三阀芯46a向闭锁上述第三流路22的方向移动，开通第四流路26和第一流路15。第三阀46作为单向阀而发挥功能(详细情况后面描述)。

在本实施方式中，第三阀46包括：第三阀芯46a，上述第三阀芯46a构成为能够在阀箱46e内往复运动；第二施力构件(作为一例，螺旋弹簧)46d，上述第二施力构件46d向阀箱46e内的里侧方向(将第三阀芯46a按入第三阀座46b的方向)对第三阀芯46a进行施力；以及环状垫圈46f，上述环状垫圈46f固定于第三阀芯46a，以在该第三阀芯46a和阀箱46e之间保持气密。另外，在此，将环状垫圈46f图示为X型环，但也可以由O型环代替。

在第三阀座46b上，在第二施力构件46d的方向上连结固定有第一筒构件46j和第二筒构件46g。第一筒构件46j固定于成为第二阀座41的壁而划分主体部10的内部。第二筒构件46g固定于第一壁部43而划分主体部10的内部。第三阀芯46a构成为能够在阀箱46e内、第一筒构件46j内以及第二筒构件46g内往复运动。而且，在第三阀芯46a上固定有环状垫圈46i，配置成能够在该第三阀芯46a与第一筒构件46j之间保持气密。另外，在第三阀芯46a上以规定间隔固定有环状垫圈46c、46m、46h，配置成能够在该第三阀芯46a与第二筒构件46g之间保持气密。在此，从第三阀芯46a的靠近环状垫圈46f的一侧(远离第二施力构件46d的一侧)开始依次配置有环状垫圈46i、46c、46m、46h。

此外，第三流路22形成为使流路的中途部分22a通过第三阀芯46a的内部。此外，在第三阀芯46a内设置有第四阀47，该第四阀47在形成于内部的第三流路22的中途部分22a中仅允许从第一端口12向缸室20的相对于活塞30靠活塞轴34侧的部分的流通。

第四阀47构成为包括在第三流路22的中途部分22a中能够移动地构成的第四阀芯47a、第四阀座47b和第三施力构件47c(作为一例，螺旋弹簧)，上述第三施力构件47c向使第四阀芯47a与第四阀座47b紧贴的方向施力。在本实施方式中，第四阀47配设在第三阀芯46a的内部。通过在第三阀芯46a的内部设置第四阀47的结构，能够实现装置全体的小型化和机构的简化。第四阀47作为单向阀而发挥功能(详细情况后面描述)。在第三阀芯46a的侧面，在环状垫圈46c与环状垫圈46m之间的位置形成有第五开口孔46p。第三流路22形成为使流路的中途部分22a通过第五开口孔46。

接下来，第四流路26构成为，在第三阀芯46a往复运动的空间部、即阀箱46e中，相对于第三阀芯46a靠设置有第二施力构件46d一侧的区域成为流路的一部分。另外，在第四流路26上设置有调节流通的压力流体的流量的针阀48。

在本实施方式中，针阀48构成为，在针轴48a上固定节流件48c，通过使节流件48c与前端部48b一起移动，从而使排气口24的实质的开口面积变化，由此进行流量的调节。在此，设置在针轴48a的后端部的螺纹部48d相对于主体部10能够旋转地螺合，通过使调节旋钮48e旋转，能够使针轴48a在轴向上移动，因此，通过改变节流件48c相对于排气口24的位置，能够进行排气口24的实质开口面积的调节。另外，设置于第四流路26的流路中途的节流件48c的位置、形状可以适当设定，而没有特别限定。

在此，第三流路22中的将第二筒构件46g和缸室20的相对于活塞30靠活塞轴34侧的部分连结的部分用作与第四流路26共用的流路。但是，并不限定于该结构，也可以采用设置第四流路26的专用流路的结构(未图示)。

在本实施方式中，第一流路15以通过第三阀芯46a的外周部分的方式形成。在第三阀芯46a的外周上形成有缩颈部46k，在缩颈部46k的外周上配置有第一圆筒件46j，并且环状垫圈46i在第三阀座46b和第一筒构件46j之间的位置处固定于第三阀芯46a。在此，缩颈部46k仅为一例，也可以采用槽形状等(未图示)。

下面，对具有上述结构的速度控制器1的动作进行说明。

作为代表性的例子，在为了驱动外部的缸(在此为复动式缸)2而具备两个速度控制器1(1A、1B)的结构中，对使缸2中的活塞2b向图7的箭头X1方向移动的情况进行说明。

从外部的压力流体供给源3供给压力流体(作为一例，压缩空气)，经过流路60、电磁阀4、流路62，供给到速度控制器1(1A)的第一端口12。另外，电磁阀4的作用将在后面描述。

首先，对此时的速度控制器1(1A)的动作及作用进行说明。

在初始状态(未供给压力流体的状态)下，如图1所示，速度控制器1(1A)的多个阀闭锁。具体而言，第一阀27通过第一施力构件27d的作用力关闭。第三阀芯46a通过第二施力构件46d的作用力被压入第三阀座46b。并且，第四阀芯47a通过第三施力构件47d的作用力而与第四阀座47b紧贴。

当向初始状态的速度控制器1(1A)的第一端口12供给压力流体时，如图2的箭头F1所示，供给的压力流体首先克服第二施力构件46d的作用力而使第三阀芯46a从第三阀座46b分离。然后，克服第三施力构件47d的作用力而使第四阀芯47a从第四阀座47b分离。接着，如图3所示，克服第三施力构件47d的作用力而使第四阀芯47a从第四阀座47b分离。通过第四阀芯47a从第四阀座47b分离，如图3的箭头A所示，第三流路22开通，该第三流路22连通第一端口12和形成于主体部10内部的缸室20的相对于活塞30靠活塞轴34侧的部分，并使压力流体流通。

而且，通过开通第三流路22，在速度控制器1(1A)的缸室20内贮存压力流体，活塞30移动到Y1方向的规定位置。活塞30向克服第一施力构件27d的作用力的Y1方向移动，固定在活塞30上的活塞轴34移动，使配置在活塞轴34的前端的第一阀芯35从形成在第一阀座37上的第一开口孔37a分离。通过打开第一开口孔37a，利用压力流体的压力，第二阀芯39从第二阀座41分隔开，第二流路16开通。通过开通第二流路16，如图3的箭头B所示，压力流体从第一端口12流通到第二端口14。

下面，对此时的速度控制器1(1B)的作用进行说明。

当活塞2b通过上述作用向X1方向被驱动时，从缸2送出的压力流体经过流路66供给至速度控制器1(1B)的第二端口14。在此，通过速度控制器1(1B)调节从流路66流入第二端口14并从第一端口12向流路68送出的压力流体的流速(即流量)，由此能够调节(控制)缸2的活塞2b的动作速度(轴向移动速度)。也就是说，在通过速度控制器1(1B)内(更具体而言，第二流路16内)的压力流体的流速快(即每单位时间的流量多)的情况下，缸2的活塞2b的动作速度(轴向移动速度)成为高速。另一方面，在该压力流体的流速慢(即每单位时间的流量少)的情况下，缸2的活塞2b的动作速度(轴向移动速度)成为低速。

如后面描述，供给至速度控制器1(1B)的第二端口14的压力流体经过第一阀27向第一端口12流通。另外，从第一端口12送出的压力流体经由流路68和电磁阀4被送出到大气中。

在此，作为通常设定，设定为，在缸2的活塞2b开始向X1方向移动的时刻，在速度控制器1(1B)的缸室20内贮存有压力流体，活塞30成为移动到Y1方向的规定位置的状态。(贮存的作用与上述的速度控制器1(1A)的情况相同。)此时，如图4所示，速度控制器1B克服第二施力构件46d的作用力使第三阀芯46a从第三阀座46b分离。并且，由于第四阀芯47a通过第三施力构件47d的作用力而与第四阀座47b紧贴，因此第三流路的中途部分22a闭锁。并且，在该时刻，由于环状垫圈46h与第二壁部45紧贴，因此第三流路26闭锁。

当缸2的活塞2b开始向X1方向移动时，如图4的箭头F2所示，贮存在阀箱46e内的压力流体从第一端口12排出，第三阀芯46a通过第二施力构件46d的作用力而开始向被压入第三阀座46b的方向移动。通过第三阀芯46a向被压入第三阀座46b的方向移动，环状垫圈46m与第二筒构件46g紧贴，因此第三流路的中途部分22a闭锁。另外，此时，由于环状垫圈46h与第二壁部45分离，因此第四流路26开通。在该时刻，由于环状垫圈46i与第一筒构件46j紧贴，因此第一流路15闭锁。

也就是说，当缸2的活塞2b开始向X1方向移动时，第一流路15闭锁，第二流路16闭锁，第三流路22闭锁，仅第四流路26变成开通状态。也就是说，根据本实施方式，在电磁阀4切换到使来自缸2的压力流体从第一端口12排出的时刻，开始流量控制，该流量控制进行使来自缸2的压力流体从第二端口14向第一端口12流通的流量的调节。因此，能够消除以往那样的流量控制的延迟时间，因此成为适用于短行程的缸的速度控制器1。

当第一流路15闭锁并且第四流路26开通时，如图4所示，贮存在阀箱46e内的压力流体开始从第一端口12排出，并且由于贮存在缸室20的相对于活塞30靠活塞轴34侧的部分中的压力流体的减少，第一施力构件27d的作用力超过该压力，并且活塞30通过该作用力开始向Y2方向移动。并且，如箭头C所示，贮存于速度控制器1(1B)的缸室20内的压力流体在第四流路26内从缸室20的相对于活塞30靠活塞轴34侧的部分经由阀箱46e和针阀48向排气口24流通，并被排出(送出)到主体部10的外部。

然后，如图5所示，第三阀芯46a通过第二施力构件46d的作用力向被压入第三阀座46b的方向移动，并且环状垫圈46i与第一筒构件46j分离，从而第一流路15开通。由此，起到在图5中箭头D所例示的方向上使压力流体通过的作用。然后，压力流体从第二端口14流通到第一端口12。此时，成为通过第一阀27、即第一流路15内的压力流体的流速相对较快(即每单位时间的流量较多)的状态。也就是说，缸2的活塞2b的动作速度(轴向移动速度)成为高速。

在此，通过利用针阀48调节从缸室20内向排气口24流通的压力流体的流速(即每单位时间的流量)，能够调节(控制)活塞30以及固定于活塞30的活塞轴34的向Y2方向的动作速度(轴向移动速度)。也就是说，在通过第四流路26内的压力流体的流速快(即每单位时间的流量多)的情况下，活塞30以及活塞轴34的动作速度(轴向移动速度)成为高速。另一方面，在该压力流体的流速慢(即每单位时间的流量少)的情况下，活塞30和活塞轴34的动作速度(轴向移动速度)成为低速。

然后，如图6所示，当活塞30移动到Y2方向的规定位置时，配置在固定于活塞30的活塞轴34的前端的第一阀芯35与形成于第一阀座37的第一开口孔37a抵接。此时，产生作为第一阀27的调节作用、即通过流量的节流作用。更具体而言，由于流路形成为从活塞轴34侧面的第四开口孔34a通过第一阀芯35前端的第三开口孔35a，因此如图6中的箭头E所例示，压力流体流通至第一端口12。由于第一阀芯35前端的第三开口孔35a的开口面积比形成于第一阀座37的第一开口孔37a的开口面积小，因此成为通过第一流路15内的压力流体的流速相对较慢(即每单位时间的流量少)的状态。也就是说，缸2的活塞2b的动作速度(轴向移动速度)成为低速(从高速切换为低速)。这样，能够逐级地(在此，按高速和低速这两级)调节(控制)缸2的动作速度。另外，活塞30的Y2方向上的规定位置(停止位置)如上所述由X型圈44限定。

如上所述，通过调节针阀48的开口面积、即通过针阀48的压力流体的流速(流量)，可以调节通过第四流路26的压力流体的流速(流量)。由此，能够调节主体部10的活塞30向Y2方向的动作速度(轴向移动速度)。因此，能够调节在第一阀27中开始产生通过流量的节流作用的时刻。也就是说，能够进行调节，使缸2的活塞2b的动作速度(轴向移动速度)从高速移动切换到低速移动的时刻提前或延迟。

接着，简单地说明使缸2的活塞2b向与图7中的箭头X1方向是相反方向的箭头X2方向移动的情况。

为了使活塞2b向箭头X2方向移动，使电磁阀4动作，切换回路，向与上述的示例相反的速度控制器1(1B)供给压力流体即可。更具体而言，从外部的压力流体供给源3将压力流体(作为一例，压缩空气)经由流路60、电磁阀4、流路68供给到速度控制器1(1B)的第一端口12即可。

供给至速度控制器1(1B)的第一端口12的压力流体在第一流路15内及第二流路16内流通，向第二端口14流通。进而，经过流路66供给到外部缸2的缸室内，活塞2b被向X2方向驱动。

另外，由于详细的作用及效果与将压力流体供给到上述速度控制器1(1A)的情况相同，因此省略重复的说明。

如上所述，通过切换电磁阀4的回路，在压力流体从外部的压力流体供给源3供给到速度控制器1(1A)的第一端口12的情况下，缸2的活塞2b能够向箭头X1的方向移动，并且在压力流体从外部的压力流体供给源3供给到速度控制器1(1B)的第一端口12的情况下，缸2的活塞2b能够向箭头X2的方向移动。因此，可以往复驱动复动式的缸2。

另外，本发明不限于以上说明的实施例，在不脱离本发明的范围内可以进行各种变更。

例如，也可以将第一阀设为针阀，采用通过调节式限位件来对通过第一流路15内的压力流体的流速(流量)进行调节的结构等。

此外，形成为通过第三阀芯的外周的一部分以构成第一流路的一部分的缩颈部不限于旋转对称的形状，还可以采用槽形状等(未示出)。