一种用于真空腔体的雾化装置及其使用方法
阅读说明：本技术 一种用于真空腔体的雾化装置及其使用方法 (Atomization device for vacuum cavity and use method thereof ) 是由 李大玉 周逸文 梁中阳 梅昕 张超 于 2021-07-30 设计创作，主要内容包括：本发明公开了等离子增强化学气相沉积薄膜的辅助设备领域内的一种用于真空腔体的雾化装置及其使用方法,装置包括上盖组件、第一基体、雾化组件和快拆结构,所述上盖组件设置在第一基体上部,所述雾化组件与第一基体相对应设置,所述快拆结构通过第二基体与第一基体相连接,快拆结构的另一端与待雾化液体相连接；方法包括步骤：安装好雾化装置的各个部分；将雾化装置通过支撑爪支撑放置在真空腔体内的玻璃板上；将进液管和电线穿过真空腔体上的小孔和外界相连；向进液管的进口通入待雾化液体原料；接入电源,装置开始工作。本发明能够实现真空腔体中的雾化,同时使整个装置易于拆卸,不占用储存空间。(The invention discloses an atomization device for a vacuum cavity and a use method thereof in the field of auxiliary equipment of a plasma enhanced chemical vapor deposition film, wherein the device comprises an upper cover assembly, a first base body, an atomization assembly and a quick-release structure, the upper cover assembly is arranged on the upper part of the first base body, the atomization assembly is arranged corresponding to the first base body, the quick-release structure is connected with the first base body through a second base body, and the other end of the quick-release structure is connected with liquid to be atomized; the method comprises the following steps: installing all parts of the atomization device; the atomization device is supported and placed on the glass plate in the vacuum cavity through the supporting claw; the liquid inlet pipe and the electric wire are connected with the outside through the small hole on the vacuum cavity; introducing a liquid raw material to be atomized into an inlet of the liquid inlet pipe; and the power supply is switched on, and the device starts to work. The invention can realize atomization in the vacuum cavity, and simultaneously, the whole device is easy to disassemble and does not occupy storage space.)
技术领域
本发明属于等离子增强化学气相沉积薄膜的辅助设备领域，特别涉及一种用于真空腔体的雾化装置及其使用方法。
背景技术
现有技术中，采用等离子增强化学气相沉积法制备薄膜时，需要在真空压力条件下进行，常有的雾化技术有超声雾化技术，压力雾化技术等。
超声波雾化是利用电子高频震荡（振荡频率为17MHz 或24MHz，超过人的听觉范围，该电子振荡对人体及动物无伤害），通过陶瓷雾化片的高频谐振，将液态水分子间的分子键打散而产生自然飘逸的水雾，不需加热或添加任何化学试剂。压力雾化是当液体在高压的作用下，以很高的速度喷射出喷嘴进入到静止或低速气流中，形成雾化效果。
超声波雾化和压力雾化存在以下问题：难以做到保证真空腔体的气密性；无法进行拆卸，收纳时占用空间大，携带不便。因此急需一种可以应用于真空腔体的雾化装置及其使用方法。
发明内容
本发明的目的之一是针对真空压力下的雾化问题，提供一种用于真空腔体的雾化装置，能够实现真空腔体中的雾化，同时使整个装置易于拆卸，不占用储存空间。
本发明的目的是这样实现的：一种用于真空腔体的雾化装置，包括上盖组件、第一基体、雾化组件和快拆结构，所述上盖组件设置在第一基体上部，所述雾化组件与第一基体相对应设置，所述快拆结构通过第二基体与第一基体相连接，快拆结构的另一端与待雾化液体相连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于： 本发明用于真空腔体内的雾化，上盖组件的设置方便雾化组件和快拆结构的安装设置，第一基体是其他部件安装定位的基础，雾化组件是使雾化装置进行雾化的部分，快拆结构的设立连接了雾化装置与外界，同时防止外界气体进入密封的真空腔体中。
作为本发明的进一步改进，所述第一基体上分别开设有电机容纳腔、凸型腔、大圆通孔、进液口、压盖固定口和小圆孔；所述电机容纳腔呈长方形，电机容纳腔开设在第一基体中部，电机容纳腔内竖直设置有电机； 所述大圆通孔对应开设在电机容纳腔下方的第一基体上，大圆通孔竖直贯穿第一基体设置；所述凸型腔呈倒置的“凸”字形，凸型腔包括上腔体和下腔体，上腔体的长度大于下腔体的长度，凸型腔紧邻电机容纳腔设置，凸型腔与第二基体相对应设置，第一基体的边缘开设有紧邻凸型腔的边缘槽；所述进液口开设在凸型腔下方的第一基体上，进液口竖直贯穿第一基体设置，进液口与进液管相匹配设置；所述压盖固定口与凸型腔的下腔体相对称设置；所述小圆孔设置有至少两个，至少两个小圆孔对称开设在第一基体上端。第一基体上的电机容纳腔用于安装电机，凸型腔和边缘槽用于安装第二基体。
作为本发明的进一步改进，所述上盖组件包括压盖、支撑爪和手拧螺丝，所述压盖上开设有两个中心对称的小圆通孔，所述手拧螺丝设置有两个，两个手拧螺丝与两个小圆通孔一一对应设置，压盖上的小圆通孔与小圆孔相对应设置；所述压盖的下表面中部设置有嵌入部，嵌入部表面开设有凹槽，嵌入部配合嵌入第一基体上的电机容纳腔，压盖的下表面中部开设有圆形凹槽，圆形凹槽与电机的旋转轴上端相配合设置；压盖下表面紧邻嵌入部处设有一长方形凸起，长方形凸起与第一基体的凸型腔上腔体相对应设置；所述第二基体包括边缘部和插入部，边缘部与边缘槽相对应设置，插入部插入凸型腔设置，所述长方形凸起的宽度等于第二基体的插入部、接电片和电极片的宽度之和；所述压盖的下表面边缘处设有一弧形凸起，弧形凸起与边缘槽相对应设置，压盖下表面的另一侧沿周向设置有一拱门形凸起，拱门形凸起与压盖固定口相对应设置；所述支撑爪设置有四个，四个支撑爪沿压盖周向间隔分布设置，支撑爪上端和压盖相连，支撑爪下端支撑在玻璃板上。压盖通过多个支撑爪支撑在玻璃板上，长方形凸起安装在凸型腔上腔体内，长方形凸起位于第二基体的插入部、接电片和电极片的上方，拱门形凸起具有固定压盖的作用。
作为本发明的进一步改进，所述雾化组件包括电机和雾化盘，所述电机上设置有旋转轴，电机上设有两片左右对应分布的接电片，两个接电片分别和正极的电极片、负极的电极片相接触，所述雾化盘包括上方的锥套和下方的容纳腔，所述锥套包括环形上盘体和套状雾化部，雾化部的横截面积从上到下递减设置，所述锥套的上盘体和雾化部内壁上均设有若干沿圆周向均布的圆齿,任意相邻的两个圆齿之间均形成倾斜的雾化槽，雾化槽的开口朝下设置；所述雾化盘上对应电机设有联接轴套，联接轴套和电机的旋转轴通过销相连接。联接轴套上留有与旋转轴相对应的孔，通过销相配合连接，电机通过旋转轴带动雾化盘转动，雾化盘容纳需要雾化的原料，当电机启动时，旋转轴带动雾化盘旋转，容纳腔中的液体在离心力的作用下自雾化槽喷出，雾化成小液滴。
作为本发明的进一步改进，所述快拆结构包括第二基体、连接模块和输送模块，所述第二基体上设有两个电极片，两个电极片分别为正极和负极；所述第二基体上开设有螺纹孔；所述连接模块包括连接管一、气密填充物、长管、卡箍和连接管二，所述连接管一与第二基体相对应的一端设有外螺纹，连接管一通过外螺纹与第二基体的螺纹孔内壁相连接，连接管一的另一端通过卡箍与长管的一端相连接，长管的另一端通过卡箍与连接管二相连接，所述连接管一内放置有多个气密填充物；所述输送模块包括进液管和电线，所述第二基体上开设有与所述螺纹孔相连通的基体孔，基体孔向下贯穿第二基体设置，所述进液管穿过所述连接模块进入螺纹孔，再从第二基体的基体孔中穿出，并进入到进液口中，穿出进液口的进液管与雾化盘相对应设置，所述电线设置有两根，两根电线的一端分别和正极的电极片、负极的电极片相连接，两根电线的另一端穿过所述连接模块并与外接电源的正负极相连接。进液管穿过连接模块自第二基体的螺纹孔中穿出，连接到进液口中，使原料进入雾化盘中；所述连接模块是指连接外界与雾化装置的连接模块，同时防止外界气体进入真空腔体，保证真空腔体的密闭性，连接模块的长管两端分别和连接管一和连接管二通过卡箍连接，防止外界气体进入真空腔体中；连接管一内放置多个气密填充物，仅允许进液管和两根电线通过，以形成真空密封的空间。
作为本发明的进一步改进，所述弧形凸起和长方形凸起共同将第二基体的边缘部卡在中间，压盖上的小圆孔与凹槽相对应设置，第一基体的外部呈柱状，压盖与第一基体通过手拧螺丝相固定连接。弧形凸起和长方形凸起共同将第二基体的边缘部卡在中间，以稳固定位第二基体，第一基体是用于容纳、连接和定位雾化装置的各个部分的主体。
作为本发明的进一步改进，所述大圆通孔的直径小于电机容纳腔的长度，大圆通孔的深度等于联接轴套的高度，联接轴套与大圆通孔相对应设置。
作为本发明的进一步改进，所述连接模块连接外界与雾化装置。连接模块是指连接外界与雾化装置的连接模块，以防止外界气体进入真空腔体。
本发明的目的之二是提供一种用于真空腔体的雾化装置的使用方法，能够实现进行真空腔体中的雾化操作步骤。
本发明的目的是这样实现的：一种用于真空腔体的雾化装置的使用方法，包括如下步骤：
步骤一，安装好雾化装置的各个部分；
步骤二，将雾化装置通过支撑爪支撑放置在真空腔体内的玻璃板上；
步骤三，将进液管和电线穿过真空腔体上的小孔和外界相连；
步骤四，向进液管的进口通入待雾化液体原料；
步骤五，接入电源，装置开始工作。
作为本发明的进一步改进，将进液管和电线穿过真空腔体上小孔和外界相连时，将连接管二配合卡入真空腔体的小孔中。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：通过进液管将待雾化溶液原料导入容纳腔中，接入电源后，电机带动雾化盘旋转，在离心力的作用下，溶液进入雾化槽中，通过各雾化槽自雾化盘的边缘喷出，实现雾化的过程；在通入待雾化溶液原料和接入电源时，连接管一、气密填充物、长管、卡箍和连接管二所组成的连接模块，保证真空腔体的密闭性，真空腔体的连接管二和连接管一进一步防止了外界气体进入真空腔体；其快拆结构也使得整个装置易于拆装，节省收纳空间。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为上盖组件的结构示意图。
图3为压盖下表面的结构示意图。
图4为第一基体的结构示意图。
图5为第一基体的结构示意图。
图6为雾化组件的结构示意图。
图7为雾化盘内表面的局部放大图。
图8为快拆结构的示意图。
图9为连接管一和第二基体的连接示意图。
图10为本发明应用于真空腔体的正视立体示意图。
图11为本发明应用于真空腔体的背面立体示意图。
其中，1上盖组件，2第一基体，3雾化组件，4快拆结构，5小圆通孔， 6压盖，7弧形凸起，8长方形凸起，9圆形凹槽，10凹槽，10a嵌入部，11拱门形凸起，12手拧螺丝，13支撑爪，14压盖固定口，15电机容纳腔，16小圆孔，17凸型腔，17a上腔体，17b下腔体，18进液口，19大圆通孔，20旋转轴，21接电片，22电机，23雾化盘，24销，25联接轴套，26锥套，26a上盘体，26b雾化部，27容纳腔，28雾化槽，29圆齿，30电极片，31第二基体，31a边缘部，31b插入部，32输送模块，33连接模块，34连接管一，35气密填充物，36卡箍，37长管，38连接管二，39电线，40进液管，41玻璃板，42真空腔体，43边缘槽。
具体实施方式
如图1-11所示，为一种用于真空腔体的雾化装置，包括上盖组件1、第一基体2、雾化组件3和快拆结构4，上盖组件1设置在第一基体2上部，雾化组件3与第一基体2相对应设置，快拆结构4通过第二基体31与第一基体2相连接，快拆结构4的另一端与待雾化液体相连接。
第一基体2上分别开设有电机容纳腔27、凸型腔17、大圆通孔19、进液口18、压盖固定口14和小圆孔16；电机容纳腔27呈长方形，电机容纳腔27开设在第一基体2中部，电机容纳腔27内竖直设置有电机22； 大圆通孔19对应开设在电机容纳腔27下方的第一基体2上，大圆通孔19竖直贯穿第一基体2设置；凸型腔17呈倒置的“凸”字形，凸型腔17包括上腔体17a和下腔体17b，上腔体17a的长度大于下腔体17b的长度，凸型腔17紧邻电机容纳腔27设置，凸型腔17与第二基体31相对应设置，第一基体2的边缘开设有紧邻凸型腔17的边缘槽43；进液口18开设在凸型腔17下方的第一基体2上，进液口18竖直贯穿第一基体2设置，进液口18与进液管40相匹配设置；压盖固定口14与凸型腔17的下腔体17b相对称设置；小圆孔16设置有至少两个，至少两个小圆孔16对称开设在第一基体2上端。第一基体2上的电机容纳腔27用于安装电机22，凸型腔17和边缘槽43用于安装第二基体31。第一基体2是用于容纳、连接和定位雾化装置的各个部分的主体。
上盖组件1包括压盖6、支撑爪13和手拧螺丝12，压盖6上开设有两个中心对称的小圆通孔5，手拧螺丝12设置有两个，两个手拧螺丝12与两个小圆通孔5一一对应设置，压盖6上的小圆通孔5与小圆孔16相对应设置；压盖6的下表面中部设置有嵌入部10a，嵌入部10a表面开设有凹槽10，嵌入部10a配合嵌入第一基体2上的电机容纳腔27，压盖6的下表面中部开设有圆形凹槽9，圆形凹槽9与电机22的旋转轴20上端相配合设置；压盖6下表面紧邻嵌入部10a处设有一长方形凸起8，长方形凸起8与第一基体2的凸型腔17上腔体17a相对应设置；第二基体31包括边缘部31a和插入部31b，边缘部31a与边缘槽43相对应设置，插入部31b插入凸型腔17设置，长方形凸起8的宽度等于第二基体31的插入部31b、接电片21和电极片30的宽度之和；压盖6的下表面边缘处设有一弧形凸起7，弧形凸起7与边缘槽43相对应设置，压盖6下表面的另一侧沿周向设置有一拱门形凸起11，拱门形凸起11与压盖6固定口相对应设置；支撑爪13设置有四个，四个支撑爪13沿压盖6周向间隔分布设置，支撑爪13上端和压盖6相连，支撑爪13下端支撑在玻璃板41上。压盖6通过多个支撑爪13支撑在玻璃板41上，长方形凸起8安装在凸型腔17上腔体17a内，长方形凸起8位于第二基体31的插入部31b、接电片21和电极片30的上方，拱门形凸起11具有固定压盖6的作用。弧形凸起7和长方形凸起8共同将第二基体31的边缘部31a卡在中间，压盖6上的小圆孔16与凹槽10相对应设置，第一基体2的外部呈柱状，压盖6与第一基体2通过手拧螺丝12相固定连接。弧形凸起7和长方形凸起8共同将第二基体31的边缘部31a卡在中间，以稳固定位第二基体31。
雾化组件3包括电机22和雾化盘23，电机22上设置有旋转轴20，电机22上设有两片左右对应分布的接电片21，两个接电片21分别和正极的电极片30、负极的电极片30相接触，雾化盘23包括上方的锥套26和下方的容纳腔27，锥套26包括环形上盘体26a和套状雾化部26b，雾化部26b的横截面积从上到下递减设置，锥套26的上盘体26a和雾化部26b内壁上均设有若干沿圆周向均布的圆齿29,任意相邻的两个圆齿29之间均形成倾斜的雾化槽28，雾化槽28的开口朝下设置；雾化盘23上对应电机22设有联接轴套25，联接轴套25和电机22的旋转轴20通过销24相连接。联接轴套25上留有与旋转轴20相对应的孔，通过销24相配合连接，大圆通孔19的直径小于电机容纳腔27的长度，大圆通孔19的深度等于联接轴套25的高度，联接轴套25与大圆通孔19相对应设置，电机22通过旋转轴20带动雾化盘23转动，雾化盘23容纳需要雾化的原料，当电机22启动时，旋转轴20带动雾化盘23旋转，容纳腔27中的液体在离心力的作用下自雾化槽28喷出，雾化成小液滴。
快拆结构4包括第二基体31、连接模块33和输送模块32，第二基体31上设有两个电极片30，两个电极片30分别为正极和负极；第二基体31上开设有螺纹孔；连接模块33包括连接管一34、气密填充物35、长管37、卡箍36和连接管二38，连接管一34与第二基体31相对应的一端设有外螺纹，连接管一34通过外螺纹与第二基体31的螺纹孔内壁相连接，连接管一34的另一端通过卡箍36与长管37的一端相连接，长管37的另一端通过卡箍36与连接管二38相连接，连接管一34内放置有多个气密填充物35；连接模块33连接外界与雾化装置。连接模块33是指连接外界与雾化装置的连接模块33，以防止外界气体进入真空腔体42；输送模块32包括进液管40和电线39，第二基体31上开设有与所述螺纹孔相连通的基体孔，基体孔向下贯穿第二基体31设置，进液管40穿过连接模块33进入螺纹孔，再从第二基体31的基体孔中穿出，并进入到进液口18中，穿出进液口18的进液管40与雾化盘23相对应设置，电线39设置有两根，两根电线39的一端分别和正极的电极片30、负极的电极片30相连接，两根电线39的另一端穿过连接模块33并与外接电源的正负极相连接。进液管40穿过连接模块33自第二基体31的螺纹孔中穿出，连接到进液口18中，使原料进入雾化盘23中；连接模块33是指连接外界与雾化装置的连接模块33，同时防止外界气体进入真空腔体42，保证真空腔体42的密闭性，连接模块33的长管37两端分别和连接管一34和连接管二38通过卡箍36连接，防止外界气体进入真空腔体42中；连接管一34内放置多个气密填充物35，仅允许进液管40和两根电线39通过，以形成真空密封的空间。
本发明的优点在于： 本发明用于真空腔体42内的雾化，上盖组件1的设置方便雾化组件3和快拆结构4的安装设置，第一基体2是其他部件安装定位的基础，雾化组件3是使雾化装置进行雾化的部分，快拆结构4的设立连接了雾化装置与外界，同时防止外界气体进入密封的真空腔体42中。
本发明的一种用于真空腔体的雾化装置的使用方法，包括如下步骤：
步骤一，安装好雾化装置的各个部分；
步骤二，将雾化装置通过支撑爪13支撑放置在真空腔体42内的玻璃板41上；
步骤三，将进液管40和电线39穿过真空腔体42上的小孔和外界相连；将进液管40和电线39穿过真空腔体42上小孔和外界相连时，将连接管二38配合卡入真空腔体42的小孔中；
步骤四，向进液管40的进口通入待雾化液体原料；
步骤五，接入电源，装置开始工作。
本发明的优点在于：通过进液管40将待雾化溶液原料导入容纳腔27中，接入电源后，电机22带动雾化盘23旋转，在离心力的作用下，溶液进入雾化槽28中，通过各雾化槽28自雾化盘23的边缘喷出，实现雾化的过程；在通入待雾化溶液原料和接入电源时，连接管一34、气密填充物35、长管37、卡箍36和连接管二38所组成的连接模块33，保证真空腔体42的密闭性，真空腔体42的连接管二38和连接管一34进一步防止了外界气体进入真空腔体42；其快拆结构4也使得整个装置易于拆装，节省收纳空间。
本发明并不局限于上述实施例，在本发明公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本发明的保护范围内。
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