具体实施方式

下面，参照附图来说明本公开的实施方式。此外，在本说明书和附图中，有时通过对实质上相同的构成要素标注相同的标记来省略重复的说明。

<系统结构>

图1是表示实施方式所涉及的控制系统1的结构例的图。根据实施方式所涉及的控制系统1，能够恰当地对装置进行操作。下面，说明控制系统1控制基板处理装置的例子，该基板处理装置对平板显示器(Flat Panel Display：FPD)用的基板进行处理。此外，公开的控制系统1能够控制各种装置。

在图1中，控制系统1具有主终端10A(“第一终端”的一例。)、子终端10B(“第二终端”的一例。)、手持终端10C(“第四终端”的一例。)、远程终端10D(“第三终端”的一例。)、控制装置20以及基板处理装置30。此外，下面，在无需区分主终端10A、子终端10B、手持终端10C以及远程终端10D的各终端的情况下，简称为“终端10”。

另外，控制系统1还具有未图示的第一开关40A、第二开关40B、第三开关40C(下面，在无需区分的情况下，简称为“开关40”)。终端10与控制装置20可以经由网络N连接，并且，及控制装置20与开关40可以经由网络N连接。此外，主终端10A、子终端10B、手持终端10C以及远程终端10D的数量不限定于图1的例子。

终端10为从用户(维修员、工程师等)处接受用于控制基板处理装置30的操作的装置。终端10可以具有计算机。

另外，终端10也可以不具有计算机。在该情况下，终端10可以具有显示从控制装置20接收到的显示画面的信息的监视器或触摸面板显示器。另外，终端10可以具有用于接受来自用户的操作的键盘和鼠标、或触摸面板显示器。

(关于主终端10A)

主终端10A和子终端10B例如可以设置(配置)于与基板处理装置30相同的场所(现场、本地)。在该情况下，作为与基板处理装置30相同的场所，例如主终端10A和子终端10B可以设定于例如设置基板处理装置30的工厂等设施内。另外，作为与基板处理装置30相同的场所，主终端10A和子终端10B例如也可以设定于设置基板处理装置30的清洁室内。

主终端10A例如可以设置于控制装置20的附近。主终端10A可以不具有计算机，具有键盘、鼠标以及触摸面板显示器。在该情况下，主终端10A的键盘和鼠标可以通过USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)线缆来与控制装置20连接。另外，主终端10A的触摸面板显示器例如显示通过DVI(Digital Visual Interface：数字视频接口)线缆或传输模拟RGB分量视频信号的VGA线缆等显示器线缆从控制装置20接收到的显示画面的信息，并且通过RS-232C线缆将从用户输入的信息传输至控制装置20。

(关于子终端10B)

子终端10B例如可以设置于该设施内的与主终端10A分离的场所。子终端10B可以不具有计算机，具有触摸面板显示器。在该情况下，子终端10B的触摸面板显示器与控制装置20例如可以通过传输模拟RGB分量视频信号的VGA线缆、传输从用户输入的信息(输入信号)的RS-232C线缆、将该视频信号和该输入信号传输至IP网络的装置、以及LAN(LocalArea Network：局域网)等连接。

(关于手持终端10C)

手持终端10C例如可以为能够在设置基板处理装置30的工厂等设施内利用的便携式终端。手持终端10C例如通过LAN线缆、PLC(Power Line Communications：电力线通信)用线缆以及RS-232C线缆等线缆(有线)而与基板处理装置30连接，经由基板处理装置30来与控制装置20进行通信。此外，手持终端10C可以通过无线LAN、BLE(Bluetooth(注册商标)LowEnergy：低功耗蓝牙)及NFC(Near field communication：近场通信)等近距离无线通信而与基板处理装置30连接，经由基板处理装置30来与控制装置20进行通信。

(关于远程终端10D)

远程终端10D例如可以设置于与基板处理装置30不同的场所(远程)。在该情况下，作为与基板处理装置30不同的场所，例如远程终端10D可以设定于例如设置基板处理装置30的工厂等设施外。在该情况下，远程终端10D例如可以设置于用户的办公室等。远程终端10D例如可以为笔记本PC(Personal Computer：个人计算机)等信息处理装置。在该情况下，远程终端10D与控制装置20例如可以通过传输模拟RGB分量视频信号的VGA线缆、传输用户通过键盘和鼠标输入的信息(输入信号)的USB线缆、将相应的视频信号和相应的输入信号传输至IP网络的装置、以及LAN(Local Area Network：局域网)等连接。

(关于开关40)

第一开关40A为用于将子终端10B和远程终端10D对基板处理装置30进行的控制设为无效的开关。在将第一开关40A设定成了接通的情况下，能够仅从主终端10A控制基板处理装置30。此外，即使在将第一开关40A设定成了接通的情况下，如果手持终端10C与基板处理装置30进行了连接，则主终端10A对基板处理装置30的进行的控制的至少一部分变得无效，仅能够从手持终端10C控制基板处理装置30的该至少一部分。另外，当将第一开关40A设定为断开时，通过使第二开关40B或第三开关40C接通，能够将子终端10B或远程终端10D对基板处理装置30进行的控制设为有效。

第一开关40A例如可以设置于主终端10A的附近。在用户按下第一开关40A而将该第一开关40A设定成了接通的情况下，向控制装置20发送表示该意思的信号(主切换信号)。控制装置20的切换部24当接收到该信号时，将来自子终端10B和远程终端10D的输入设为无效。此外，第一开关40A也可以为显示于主终端10A等的显示画面中的按钮等。但是，从安全性的观点出发，期望不是显示于显示画面中的通过软件来控制的按钮，期望是硬件的开关。在该情况下，也可以是，当用户将该按钮设定为接通时，主终端10A将表示该意思的信息和主终端10A的识别信息发送至控制装置20。

第二开关40B为用于将主终端10A和远程终端10D对基板处理装置30进行的控制设为无效的开关。在将第二开关40B设定为接通了的情况下，能够仅通过子终端10B来控制基板处理装置30。此外，即使在将第二开关40B设定成了接通的情况下，如果手持终端10C与基板处理装置30进行了连接，则能够将子终端10B对基板处理装置30的进行的控制的至少一部分设为无效，仅能够从手持终端10C控制基板处理装置30的该至少一部分。另外，当将第二开关40B设定为断开时，通过使第一开关40A或第三开关40C接通，能够将主终端10A或远程终端10D对基板处理装置30进行的控制设为有效。

第二开关40B例如可以设置于子终端10B的附近。在用户将第二开关40B设定成了接通的情况下，将表示该意思的信号(子切换信号)发送至控制装置20。控制装置20的切换部24当接收到该信号时，将来自主终端10A和远程终端10D的输入设为无效。此外，第二开关40B也可以为显示于子终端10B等的显示画面中的按钮。但是，从安全性的观点出发，期望不是显示于显示画面中的通过软件来控制的按钮，期望是硬件的开关。在该情况下，也可以是，当用户将该按钮被设定为接通时，子终端10B将表示该意思的信息和子终端10B的识别信息发送至控制装置20。

第三开关40C为用于将主终端10A和子终端10B对基板处理装置30进行的控制设为无效的开关。另外，即使手持终端10C与基板处理装置30进行了连接，第三开关40C也将手持终端10C对基板处理装置30进行的控制设为无效。在将第三开关40C设定成了接通的情况下，能够仅从远程终端10D控制基板处理装置30。另外，当将第三开关40C设定为断开时，通过将第一开关40A或第二开关40B设为接通，能够将主终端10A或子终端10B对基板处理装置30进行的控制设为有效。

第三开关40C例如可以设置于设置基板处理装置30的工厂等设施内。由此，通过在现场进行操作，能够将能够控制基板处理装置30的终端10切换为远程终端10D。在该情况下，第三开关40C例如可以设置于主终端10A的附近。在该情况下，第三开关40C可以设置于主终端10A的壳体上。在用户将第三开关40C设定了为接通的情况下，将表示该意思的信号发送至控制装置20。此外，第三开关40C可以为显示于主终端10A等的显示画面中的按钮等。但是，从安全性的观点出发，期望不是显示于显示画面中的通过软件来控制的按钮，期望是硬件的开关。在该情况下，当用户将该按钮等设定为接通时，主终端10A将表示该意思的信息和主终端10A的识别信息发送至控制装置20。

此外，在对多个开关40进行了设定为接通的操作(例如按下等)的情况下，控制装置20可以仅将该多个开关40中的、先进行了设定为接通的操作的开关40设定为接通，将其它开关40强制性地设定为断开。另外，在对被强制性地设定为断开的开关40进行了操作的情况下，控制装置20可以向用户通知表示其它开关40先被进行了操作的信息。在该情况下，例如在先按下第一开关40A来将该第一开关40A设定为接通后按下了第二开关40B的情况下，向用户通知第一开关40A已先被进行操作这一情况。

在该情况下，例如在将第二开关40B设定成了接通的情况下，控制装置20可以使与第二开关40B相对应的灯点亮为绿色。而且，在由于已先对第一开关40A进行了接通操作而第二开关40B被强制性地设定为断开的情况下、且基板处理装置30未发生异常的情况下，当按下第二开关40B时，使与第二开关40B相对应的灯以黄色点亮规定期间。

另外，在由于已经先对第一开关40A进行了接通操作而第二开关40B被强制性地设定为断开的情况下、且基板处理装置30发生了异常的情况下，当按下第二开关40B时，使与第二开关40B相对应的灯在规定期间内以黄色闪烁(以固定周期重复点亮和熄灭)。由此，例如用户能够掌握第二开关40B的按下被设为无效的理由。

此外，可以将第三开关40C构成为用于在本地的终端即主终端10A或子终端10B进行的控制和作为远程的终端的远程终端10D进行的控制之间切换的本地/远程切换开关，也可以将第一开关40A和第二开关40B统合地构成为用于在主终端10A进行的控制和子终端10B进行的控制之间切换的主/子切换开关。在该情况下，本地/远程切换开关不用于在接通的设定和断开的设定之间进行选择，用于在本地终端进行的控制和远程终端进行的控制之间进行选择，主/子切换开关也同样地用于对由主终端10A进行的控制和由子终端10B进行的控制进行选择。在通过本地/远程切换开关选择了本地终端的情况下，进行主/子切换开关选择出的主终端10A或子终端10B进行的控制。

(关于控制装置20)

控制装置20基于从终端10接收到的信息(信号)来控制基板处理装置30。另外，使各终端10显示通过基板处理装置30的各种传感器测定出的信息等。由此，基板处理装置30的用户能够通过远程终端10D从办公室等监视基板处理装置30的各种状态，如针对基板的处理状况以及基板处理装置30的各部有无异常等。

在基板处理装置30发生了异常的情况下，控制装置20将能够对基板处理装置30进行控制的终端10仅限制为设置于本地的终端10(主终端10A、子终端10B以及手持终端10C中的任一方)。由此，在基板处理装置30正常地动作的情况下，用户能够从现场和办公室等对基板处理装置30进行监视和操作。而且，在基板处理装置30发生了异常的情况下，能够限制为用户仅能够在现场对基板处理装置30进行操作，能够从现场以及办公室等对基板处理装置30进行监视。因此，例如能够减少正在现场进行恢复作业的用户被其他用户的远程操作干扰的情况等。另外，能够防止不确认现场的状况就进行远程操作。

另外，控制装置20可以使主终端10A、子终端10B以及远程终端10D显示相同的显示画面。在该情况下，控制装置20可以对主终端10A、子终端10B以及远程终端10D发送相同的视频信号。

另外，控制装置20可以使手持终端10C显示用于控制能够通过手持终端10C进行操作的各设备的显示画面、以及用于通知由各种传感器测定出的与相应的各设备有关的信息的显示画面。

(关于基板处理装置30)

基板处理装置30为对FPD用的基板进行各种处理的装置。此外，FPD例如可以包括液晶显示器(Liquid Crystal Display：LCD)、电致发光(Electro Luminescence：EL)、等离子体显示面板(Plasma Display Panel；PDP)等。此外，FPD例如可以使用于电视、监视器、智能手机以及平板终端。此外，作为FPD用的基板的材料，可以使用玻璃或合成树脂等。

基板处理装置30例如可以对基板进行蚀刻处理、利用CVD(Chemical VaporDeposition：化学气相沉积)法进行的成膜处理等，以在基板上形成薄膜晶体管(Thin FilmTransistor：TFT)等。在该情况下，基板处理装置30例如可以通过在基板G上一边将栅电极、栅极绝缘膜、半导体层等图案化一边依次进行层叠来形成TFT。此外，基板处理装置30可以设置于确保了空气清洁度的清洁室内。

<硬件结构>

《控制装置20》

图2A是表示实施方式所涉及的控制装置20的硬件结构例的图。此外，在终端10具有计算机的情况下，该计算机的硬件结构可以与图2A的控制装置20的硬件结构相同。

图2A的控制装置20具有通过总线B彼此连接的驱动装置200、辅助存储装置202、存储装置203、CPU 204以及接口装置205等。

用于实现通过控制装置20进行的处理的程序可以由记录介质201提供。在该情况下，当将记录有程序的记录介质201设置于驱动装置200时，经由驱动装置200将程序从记录介质201安装至辅助存储装置202。无需一定通过记录介质201来进行程序的安装，也可以经由网络从其它计算机下载程序并进行安装。辅助存储装置202保存所安装的程序并且保存需要的文件、数据等。

在存在程序的启动指示的情况下，存储装置203从辅助存储装置202读出程序并保存。CPU 204根据存储装置203中保存的程序来实现控制装置20所涉及的功能。接口装置205被用作用于连接网络的接口。

此外，作为记录介质201的一例，能够列举CD-ROM、DVD盘或USB存储器等便携式记录介质。另外，作为辅助存储装置202的一例，能够列举HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)或闪存等。记录介质201和辅助存储装置202均相当于计算机可读记录介质。

《基板处理装置30》

图2B是表示实施方式所涉及的基板处理装置30的一例的图。实施方式所涉及的基板处理装置30可以为结合有针对每个基板进行各种处理的多个工艺模块(工艺腔室、处理室)的组合设备。在图2B的例子中，基板处理装置30为具有多个工艺腔室的多腔室型。

在图2B的例子中，基板处理装置30具有作为各腔室的传递模块(搬送腔室)31、加载互锁真空模块(加载互锁真空腔室)32、工艺模块33A、工艺模块33B、工艺模块33C(在下文中，在无需进行区分的情况下，简称为“工艺模块33”)。(作为一例，能够将这些腔室中的任一腔室称作第一腔室，将任一其它腔室称作第二腔室。)

加载互锁真空模块32和各工艺模块33分别经由闸阀而与传递模块31连接。

加载互锁真空模块32为向传递模块31供给基板的装置。加载互锁真空模块32例如层叠为两层，在各层中设置有用于保持基板的支架和用于进行基板的位置调节的定位器等。另外，加载互锁真空模块32可以构成为能够将内部的压力在常压与真空之间切换，与用于搬送所载置的大量的基板G的承载件(搬送装置)之间进行基板的交接。在该情况下，可以在将加载互锁真空模块32控制为真空之后，将与同样被控制为真空的传递模块31之间的闸阀打开，以从加载互锁真空模块32向传递模块31供给基板。

传递模块31为用于向各工艺模块33供给基板的装置。在传递模块31例如可以搭载有能够旋转且能够向各工艺模块33侧滑动的搬送机构311(臂、机器人)。该搬送机构将从加载互锁真空模块32供给的基板供给至期望的工艺模块33。

工艺模块33为对基板进行各种处理的装置。工艺模块33例如可以产生等离子体，应用卤素系的蚀刻气体(例如氯系的蚀刻气体)来进行干蚀刻处理。

传递模块31可以使得各工艺模块33例如顺序地执行CVD(Chemical VaperDeposition：化学气相沉积)处理、PVD(Physical Vaper Deposition：物理气相沉积)处理等成膜处理以及蚀刻处理。在该情况下，传递模块31例如可以首先向工艺模块33A供给基板，对该基板执行第一处理。然后，传递模块31可以向工艺模块33B供给该基板，对该基板执行第二处理。然后，传递模块31可以向工艺模块33C供给该基板，对该基板执行第三处理。

另外，如图2B所示，在工艺模块33A、工艺模块33B、工艺模块33C以及加载互锁真空模块32的外部(外侧)分别设置有用于连接手持终端10C的端口301A(“第一端口”的一例。)、端口301B(“第二端口”的一例。)、端口301C以及端口301D(在下文中，在无需进行区分的情况下简称为“端口301”)。各端口301例如通过LAN等而与控制装置20连接。此外，第一端口和第二端口的例子不限于此，任一端口301都可以作为第一端口，作为第二端口。另外，也可以在传递模块31设置用于连接手持终端10C的端口。

<功能结构>

参照图3来说明实施方式所涉及的控制装置20的功能结构。图3是表示实施方式所涉及的控制装置20的功能结构的一例的图。

控制装置20具有异常探测部21、异常时切换部22、接受部23、切换部24以及控制部25。这些各部可以通过安装于控制装置20的一个以上的程序与控制装置20的CPU 204等硬件的协作来实现。另外，这些各部也能够通过一个或多个电路实现。在此，该电路例如可以通过由ASIC(Application Specific Integrated Circuit：专用集成电路)、DSP(digitalsignal processor：数字信号处理器)、FPGA(field programmable gate array：现场可编程门阵列)以及继电器构成的电路等实现。另外，例如也可以是，这些各部中的一部分(例如控制部25)通过安装于控制装置20的一个以上的程序与控制装置20的CPU 204等硬件的协作来实现，其它部分(例如异常探测部21、异常时切换部22、接受部23以及切换部24)由ASIC等电路实现。

异常探测部21基于由基板处理装置30的各种传感器测定出的信息等，来探测基板处理装置30的各种异常。

在通过异常探测部21探测到异常的情况下，异常时切换部22将能够对基板处理装置30进行控制的终端10仅限制为设置于本地的终端10(主终端10A、子终端10B以及手持终端10C中的任一方)。

接受部23从用户接受开关40的接通和断开等操作。

切换部24能够响应于通过接受部23接受到的用户的操作而设为仅能够通过用户所指定的终端10来控制基板处理装置30。

控制部25使终端10显示基于由基板处理装置30的各种传感器测定出的信息等的显示画面。另外，控制部25根据来自通过异常时切换部22或切换部24决定出的终端10的指示，来控制基板处理装置30的各部。

<处理>

参照图4至图5B来说明实施方式所涉及的控制系统1的处理的一例。图4是表示实施方式所涉及的控制系统1的处理的一例的序列图。图5A是说明实施方式所涉及的主终端10A、子终端10B以及远程终端10D的显示画面的一例的图。图5B是说明实施方式所涉及的手持终端10C的显示画面的一例的图。

在步骤S1中，控制装置20的切换部24根据用户的指示，仅将从远程终端10D进行的操作设为有效(可输入)。在此，例如在用户将第一开关40A和第二开关40B设定成了断开并且将第三开关40C设定成了接通的情况下，控制装置20可以仅将从远程终端10D进行的操作设为有效。由此，能够仅从远程终端10D控制基板处理装置30。因此，例如能够减少由于分别处于不同场所的多个用户通过各终端10同时控制基板处理装置30而产生混乱的情况。

控制装置20可以使主终端10A、子终端10B以及远程终端10D显示如图5A所示的显示画面501。在图5A的例子中，在显示画面501中显示有用于控制基板处理装置30的各部的按钮502A至502D等。在仅将从远程终端10D进行的操作设为了有效的情况下，控制装置20仅在通过远程终端10D对按钮502A至502D等进行了操作的情况下使基板处理装置30执行与被按下的按钮相应的控制。

在仅从远程终端10D进行的操作设为了有效的情况下，在从主终端10A和子终端10B中的任一方通过远程终端10D对按钮502A至502D等进行了操作的情况下，控制装置20使该操作无效。

接着，控制装置20的异常探测部21探测基板处理装置30的异常(步骤S2)。在此，控制装置20的异常探测部21基于由基板处理装置30的各种传感器测定出的信息等，来探测基板处理装置30的各种异常。控制装置20的异常探测部21例如可以探测用于保持工艺模块33内的真空状态的泵的故障。另外，控制装置20的异常探测部21例如可以在传递模块31内的搬送机构311的动作期间探测用于进入传递模块31内的门为开状态。

控制装置20的异常探测部21在探测到异常的情况下，可以使基板处理装置30的各驱动部停止。另外，控制装置20的异常探测部21在探测到异常的情况下，也可以仅使基板处理装置30的各驱动部中的与发生了异常的部位有关的各驱动部停止。

另外，在通过异常探测部21探测到异常的情况下，控制装置20的控制部25也可以使主终端10A、子终端10B以及远程终端10D通知警报(警告)的显示画面和声音。由此，用户能够从办公室等移动至现场，来进行基板处理装置30的恢复。此外，该警报可以包括表示由异常探测部21探测到的异常的内容的信息。

接着，控制装置20的异常时切换部22将来自远程终端10D的输入设为无效(不可)(步骤S3)，仅将从本地的终端10(主终端10A、子终端10B以及手持终端10C中的任一方)进行的操作设为有效(步骤S4)。由此，例如能够减少在基板处理装置30发生了异常时由于通过来自办公室等的远程操作使基板处理装置30进行动作而阻碍恢复作业。

在此，在探测基板处理装置30的异常的期间，控制装置20可以通过将第三开关40C强制性地设定为断开来将针对第三开关40C的操作设为无效，并且进行控制使得用户无法将第三开关40C设定为接通。由此，例如在用户将第一开关40A设定成了接通的情况下，能够仅从主终端10A控制基板处理装置30。另外，在用户将第二开关40B设定成了接通的情况下，能够仅从子终端10B控制基板处理装置30。

在此，控制装置20例如还可以使远程终端10D显示表示本地的终端10对基板处理装置30进行控制的结果的信息。由此，用户即使在无法从远程终端10D操作基板处理装置30的情况下，也能够从远程终端10D监视主终端10A和子终端10B中的任一方的操作结果。在该情况下，控制装置20例如可以使远程终端10D显示与主终端10A及子终端10B相同的显示画面，由此使远程终端10D显示本地的终端10的操作结果。另外，也可以设为能够从远程终端10D监视手持终端10C的操作结果。

接着，将基板处理装置30与手持终端10C连接(步骤S5)。在此，将基板处理装置30的端口301与连接有手持终端10C的线缆连接。

此外，例如在主终端10A和子终端10B设置于无法一边看着工艺模块33内一边进行操作的位置的情况下，用户带着手持终端10C移动至工艺模块33的附近。然后，用户将手持终端10C连接至设置于工艺模块33的外侧的端口301。

接着，基板处理装置30向控制装置20发送与手持终端10C进行了连接这一情况的通知(连接通知)(步骤S6)。在此，连接有手持终端10C的基板处理装置30的端口301可以将包括该端口301的识别信息(端口ID)和表示与手持终端10C进行了连接的意思的信息的连接通知发送至控制装置20。

接着，控制装置20的切换部24针对基板处理装置30的各部中的与连接有手持终端10C的端口301相应的各部，仅将从手持终端10C进行的操作设为有效(步骤S7)。由此，例如能够减少正在工艺模块33的附近进行恢复作业的用户被远离工艺模块33的位置的其它用户进行的操作干扰等情况。另外，由此，用户例如能够一边看着工艺模块33内一边通过手持终端10C来对工艺模块33内的各部以及与工艺模块33有关的传递模块31内的各部等进行操作。因此，用户例如能够一边目视确认工艺模块33内的泵的故障状况以及传递模块31内的进入门的开状态一边进行操作。

在此，就控制装置20而言，例如在设置于工艺模块33A的外侧的端口301A连接有手持终端10C的情况下，控制装置20例如可以针对工艺模块33A以及传递模块31内的各部仅将从手持终端10C进行的操作设为有效。此外，在端口301A连接有手持终端10C的情况下，控制装置20例如还可以针对加载互锁真空模块32内的各部仅将从手持终端10C进行的操作设为有效。工艺模块33B、工艺模块33C等也同样。

另外，就控制装置20而言，例如在设置于加载互锁真空模块32的外侧的端口301D连接有手持终端10C的情况下，控制装置20例如可以针对加载互锁真空模块32和传递模块31内的各部仅将从手持终端10C进行的操作设为有效。

在此，控制装置20可以使手持终端10C显示如图5B那样的显示画面511。在图5B的例子中，在显示画面511中显示有用于控制基板处理装置30的各部中的、与连接有手持终端10C的端口301相应的各部的按钮512A至512F等。在图5B中表示与用斜线表示的按钮512E对应的模块以及与按钮512F对应的模块不可操作。例如，在与图5B的按钮512D对应的“P/C-1”为工艺模块33A的情况下，图5B表示在工艺模块33A的端口301A连接有手持终端10C的状态，意味着“P/C-1”可控制，但其它工艺模块即“P/C-2”和“P/C-3”不可控制。在此，通过按下与“P/C-1”对应的按钮512D，迁移到用于控制“P/C-1”的各部的下级的菜单画面，能够进行与“P/C-1”有关的各种操作。

另外，控制装置20可以使主终端10A、子终端10B以及远程终端10D显示表示连接有手持终端10C的端口301的信息。另外，控制装置20可以使主终端10A、子终端10B以及远程终端10D显示表示基板处理装置30的各部中的与连接有手持终端10C的端口301相应的、被设为仅从手持终端10C进行的操作有效的各部的信息。由此，用户能够从手持终端10C以外的各终端10掌握连接有手持终端10C的部位、以及无法从主终端10A等进行操作的各部。

接着，控制装置20的切换部24针对基板处理装置30的各部中的、除了与连接有手持终端10C的端口301相应的各部以外的各部，例如在图5B中被标注了斜线的按钮“P/C-2”和“P/C-3”，仅将从主终端10A和子终端10B中的任一方进行的操作设为有效(步骤S8)。

(关于手持终端10C被切断了的情况)

此外，在手持终端10C被切断了的情况下，控制装置20的切换部24使从各终端10进行的控制返回连接手持终端10C之前的状态。在该情况下，在通过从端口301拔掉手持终端10C的线缆等而解除(切断)了手持终端10C与基板处理装置30的连接的情况下，向控制装置20发送将该端口301与手持终端10C切断了这一情况的通知(切断通知)。在此，该切断通知可以包括该端口301的识别信息(端口ID)以及表示与手持终端10C之间切断了的意思的信息。而且，控制装置20还针对与该端口301相应的各部，仅将从本地的终端10即主终端10A和子终端10B中的任一方进行的操作设为有效。

(关于基板处理装置30恢复的情况)

此外，在基板处理装置30恢复了的情况下，可以使从各终端10进行的控制恢复为发生异常之前的状态。在该情况下，在通过异常探测部21未探测到异常的情况下，控制装置20的异常时切换部22可以使将第三开关40C强制性地设定为断开的功能停止(解除)。由此，在基板处理装置30恢复了的情况下，当用户将第一开关40A和第二开关40B设定为断开并将第三开关40C设定为接通时，能够仅将从远程终端10D进行的操作设为有效(可输入)。

另外，在通过异常探测部21未探测到异常的情况下，控制装置20可以使将第三开关40C强制性地设定为断开的功能停止，并且通过使与第三开关40C相对应的通知装置(例如旋转灯)动作等来向用户通知能够将第三开关40C设定为接通了(操作有效)。而且，在用户将第三开关40C设定成了接通的情况下，控制装置20可以使该通知装置的动作停止。由此，例如能够减少在恢复后用户忘记将第三开关40C设定为接通就直接离开现场的清洁室。在该情况下，该通知装置例如可以设置于主终端10A的壳体上。

<变形例>

终端10和控制装置20的各功能部例如可以通过由一个以上的计算机提供的云计算来实现。另外，可以将终端10、控制装置20以及基板处理装置30中的多个装置设为一体的装置。在该情况下，例如控制装置20和基板处理装置30可以构成为一体的装置。另外，例如主终端10A或子终端10B(以下还称作“主终端10A等”。)与控制装置20可以构成为一体的装置。另外，例如主终端10A等、控制装置20以及基板处理装置30可以构成为一体的装置。

另外，可以通过多个装置来实现终端10、控制装置20以及基板处理装置30的各装置。在该情况下，例如可以将控制装置20的各功能部中的异常探测部21和异常时切换部22设为与其它功能部分体的装置。

本公开也可以是对上述实施方式中列举的结构等组合其它构成要素等所得到的其它实施方式，另外，本公开不限定为在此所示的任何结构。关于该点，在不脱离本公开的主旨的范围内能够进行变更，能够根据其应用方式来恰当地决定。