阅读说明：本技术 一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构 (Amplifying telescopic mechanism for improving motion stroke of air cylinder ) 是由 贾波 牛海涛 郭光灿 马龙峰 张明亮 于 2020-04-28 设计创作，主要内容包括：一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构,涉及硅片陶瓷盘的取料输送装置技术领域,包括上层机架、中间机架和底层机架,中间机架位于底层机架和上层机架之间,底层机架上平行设有2条直线导轨,中间机架通过底层机架上的直线导轨在底层机架上滑动；中间机架包括对称设置的两条滑轨,两条滑轨之间通过位于滑轨一端的连接板固定连接,气缸的伸出轴与连接板连接,上层机架通过其底部设置的轴承与滑轨配合实现上层机架在中间机架上的滑动。本发明有益效果：本发明以钢丝为行程放大机构,结构简单,运动行程大,解决了抛光生产过程中对载体陶瓷盘进行取料困难的问题,实现了陶瓷盘取料机构的轻便化,为其它抛光设备取料提供了有效的解决方案。(An amplifying telescopic mechanism for improving the motion stroke of an air cylinder relates to the technical field of a material taking and conveying device of a silicon wafer ceramic disc and comprises an upper layer rack, a middle rack and a bottom layer rack, wherein the middle rack is positioned between the bottom layer rack and the upper layer rack, 2 linear guide rails are arranged on the bottom layer rack in parallel, and the middle rack slides on the bottom layer rack through the linear guide rails on the bottom layer rack; the middle rack comprises two slide rails which are symmetrically arranged, the two slide rails are fixedly connected through a connecting plate positioned at one end of each slide rail, an extending shaft of the air cylinder is connected with the connecting plate, and the upper rack is matched with the slide rails through bearings arranged at the bottom of the upper rack to realize the sliding of the upper rack on the middle rack. The invention has the beneficial effects that: the ceramic disc material taking mechanism takes the steel wire as the stroke amplifying mechanism, has simple structure and large movement stroke, solves the problem of difficult material taking of the carrier ceramic disc in the polishing production process, realizes the portability of the ceramic disc material taking mechanism, and provides an effective solution for material taking of other polishing equipment.)

一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构

技术领域

本发明属于硅片陶瓷盘的取料输送装置技术领域，具体涉及一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构。

背景技术

目前，在半导体行业中，半导体硅片抛光用氧化铝陶瓷盘在硅片的加工抛光过程中起着重要的作用，陶瓷盘在载体盘小车中分12层存放，每层间距大约为25mm，为了使陶瓷盘能够在狭小的空间中安全取出，需要采用气缸装置伸进载体盘小车内拉出陶瓷盘。但市场上的气缸普遍较为单一，使用行程较为固定，常常因气缸运动行程小而选用大气缸，气缸的使用会有局限性。为了满足设备大行程的使用要求往往只能选择大气缸来设计，这样设计出的设备尺寸大、笨重且占空间。因此，提供一种设计合理、结构简单紧凑、性能安全可靠、装置运动行程大于输入气缸行程两倍以上、应用效果非常显著的放大行程的装置机构。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构，增加气缸的移动范围，解决目前抛光生产过程中对载体陶瓷盘进行取料困难的问题，以方便载体陶瓷盘的安全取出。

本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构，包括上层机架、中间机架和底层机架，中间机架位于底层机架和上层机架之间，底层机架上平行设有2条直线导轨，中间机架通过底层机架上的直线导轨在底层机架上滑动；中间机架包括对称设置的两条滑轨，两条滑轨之间通过位于滑轨一端的连接板固定连接，气缸的伸出轴与连接板连接，上层机架通过其底部设置的轴承与滑轨配合实现上层机架在中间机架上的滑动，底层机架的后端两侧分别设置一个后端竖直固定圆柱，前端两侧分别设置一个前端竖直固定圆柱，上层机架的两侧分别设置一个水平固定圆柱，中间机架的后端两侧分别设置一个第一滑轮，前端两侧分别设置一个第二滑轮，所述的放大伸缩机构还包括第一钢丝和第二钢丝，所述第一钢丝中间绕过第二滑轮，两端分别与后端竖直固定圆柱和水平固定圆柱相连接，所述第二钢丝中间绕过第一滑轮，两端分别与前端竖直固定圆柱和水平固定圆柱相连接，且第一钢丝和第二钢丝的绕向相反。

本发明所述中间机架通过其底部设置的轴承与底层支架上的直线滑轨配合实现滑动。

本发明的有益效果是：本发明钢丝式气缸行程放大伸缩机构以钢丝为行程放大机构，结构简单，运动行程大，适合用于轻载的伸缩平台；解决了抛光生产过程中对载体陶瓷盘进行取料困难的问题，实现了陶瓷盘取料机构的轻便化，为其它抛光设备取料提供了有效的解决方案。

附图说明

图1为本发明立体结构示意图。

图中标记：1、上层机架，2、第一滑轮，3、第一钢丝，4、中间机架，5、底层机架，6、气缸，7、第二滑轮，8、轴承，9、第二钢丝，10、挡钩，11、后端竖直固定圆柱，12、连接板，13、水平固定圆柱，14、前端竖直固定圆柱，15、直线导轨，16、滑轨。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式（实施例）进行描述，使本领域的技术人员能够更好地理解本发明。

如图1所示，一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构，包括上层机架1、中间机架4和底层机架5，中间机架4位于底层机架5和上层机架1之间，底层机架5上平行设有2条直线导轨15，中间机架4通过底层机架5上的直线导轨15在底层机架5上滑动；中间机架4包括对称设置的两条滑轨16，两条滑轨16之间通过位于滑轨一端的连接板12固定连接，气缸6的伸出轴与连接板12连接，上层机架1通过其底部设置的轴承8与滑轨16配合实现上层机架1在中间机架4上的滑动，底层机架5的后端两侧分别设置一个后端竖直固定圆柱11，前端两侧分别设置一个前端竖直固定圆柱14，上层机架1的两侧分别设置一个水平固定圆柱13，中间机架4的后端两侧分别设置一个第一滑轮2，前端两侧分别设置一个第二滑轮7，所述的放大伸缩机构还包括第一钢丝3和第二钢丝9，所述第一钢丝3中间绕过第二滑轮7，两端分别与后端竖直固定圆柱11和水平固定圆柱13相连接，所述第二钢丝9中间绕过第一滑轮2，两端分别与前端竖直固定圆柱14和水平固定圆柱13相连接，且第一钢丝3和第二钢丝9的绕向相反。

所述中间机架4通过其底部设置的轴承与底层支架5上的直线滑轨15配合实现滑动。

本发明中的气缸行程放大伸缩机构包括三层结构，其最底层为固定的机架和气缸安装端板，主要用于固定气缸和静直线导轨。中间层为两边结构对称的动固定架，两侧对称固定四个滑轮，中间机架上面固定有直线导轨，底部固定滑块轴承。最上层为底部固定有滑块轴承的滑动伸缩机架。气缸的伸出轴与连接板连接，连接板连接中间层两侧机架，并带动机架的伸缩。最上层滑动机架通过中间层机架前后滑轮上钢丝的拉动而运动，中间层机架运动的同时通过滑轮和钢丝带动最上层机架的伸出和缩回。

如附图1所示，一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构，包括上层机架1、中间机架4、底层机架5、第一钢丝3、第二钢丝9、第一滑轮2、第二滑轮7、气缸6、轴承8、挡钩10、竖直固定圆柱11、连接板12和钢丝水平固定圆柱13。所述的中间机架4装在底层机架5的上面，上层机架1装在中间机架4的上面，所述第一滑轮2可转动地安装在所述的中间机架4的两侧的后端，所述的第二滑轮7可转动地安装在所述的中间机架4的两侧的前端；所述第一钢丝3中间绕过所述的第二滑轮7，两端分别与底层机架5上的后端竖直固定圆柱11和上层机架1上的水平固定圆柱13相连接，所述的第二钢丝9中间绕过第一滑轮2，两端分别与底层机架5上的前端竖直固定圆柱14和上层机架1上的水平固定圆柱13相连接，所述的第一钢丝3和第二钢丝9的绕向相反；所述气缸6的活塞杆与中间机架4通过连接板12相连接，且气缸6可推动中间机架4伸缩移动。所述底层机架5与中间机架4之间设有滑动导轨轴承组件，所述的中间机架4与上层机架1之间也设有滑动导轨轴承组件。

当所述的气缸6向前移动较小的位移时，中间机架4也跟着向前移动，由于第一钢丝3和第二钢丝9的拉动作用，上层机架1上的挡钩10会向前移动较大的位移。

本发明的钢丝式气缸行程放大伸缩机构以钢丝为行程放大机构，结构简单，运动行程大，适合用于轻载的伸缩平台。解决了抛光生产过程中对载体陶瓷盘进行取料困难的问题，实现了陶瓷盘取料机构的轻便化，为其它抛光设备取料提供了有效的解决方案。