表面处理装置
阅读说明：本技术 表面处理装置 (Surface treatment device ) 是由 内海雅之 竹内雅治 于 2019-12-25 设计创作，主要内容包括：本发明提供表面处理装置,减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时,该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后,在与液面(H)碰撞时,该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹,因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此,减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此,蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。(A honeycomb member (60) is provided vertically below a transfer hook (16), the honeycomb member (60) is formed by connecting a plurality of cylindrical members each having a hexagonal hole, and when the treatment liquid (Q) falls in the vertical direction (the direction of an arrow (α)), the treatment liquid (Q) passes through the through-hole of the honeycomb member, and then, when the treatment liquid (Q) collides with a liquid surface (H), a part of the treatment liquid (Q) is rebounded, and the rebounded treatment liquid (Q) rebounds in an oblique direction and collides with the inner wall of the through-hole of the honeycomb member (60), thereby reducing the amount of the treatment liquid (Q) that reappears on the upper surface of the through-hole, and the honeycomb member (60) achieves a function of preventing the scattering.)
技术领域
本发明涉及浇流式的表面处理装置，特别涉及防止液体向相邻的处理室的飞溅。
背景技术
在专利文献1的图10中公开有在工件的下部设置飞散防止件的浇流式的表面处理装置。
专利文献1：日本特开2014-88600号公报
作为专利文献1的飞散防止件，公开有海绵、过滤器、纤维状材料(东洋软垫公 司(TOYO CUSHION)制作的化纤锁(商标))(专利文献1的段落0085)，但这样 不能实现足够的飞散防止效果。这是因为，在这些材料之中，都是使与上述飞散防止 件的表面碰撞的液滴直接反弹。在产生该反弹时，液体有可能混合到相邻的处理室中。
为了解决该问题，考虑有增大处理室间的距离或使设置于处理室之间的间隔件的下表面与液滴的反弹面相比足够高的方式，但其结果会导致装置整体大型化。
发明内容
本发明解决上述问题，其目的在于，提供液体不会混合到相邻的处理室中，并且可以实现小型化的浇流式的表面处理装置。
1)本发明是表面处理装置，其具有：第1处理室，其供被处理物以沿铅垂方向 被保持的状态搬入；第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1处理液 从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇 流；第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的 状态搬入；第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从被搬入 的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；区分 壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分壁，具有能够供所述被 处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬入开口部；以及混入减少机构，其在第1 处理室或所述第2处理室中设置于所述区分壁附近，减少从所述被处理物下部落下的 处理液在着地面被反弹并且被反弹的所述处理液从所述搬入开口部混入相邻的处理 室内的情况，所述混入减少机构是由多个纵长的单独筒状部件以开口部朝向铅垂方向 的方式配置而成的形状。
在穿过所述开口部的处理液被着地面反弹时，所述处理液与纵长的单独筒状部件的内壁碰撞，向所述着地面落下。由此，能够提供液体不会向相邻的处理室混入并且 能够小型化的浇流式的表面处理装置。
2)在本发明的表面处理装置中，由多个所述纵长的单独筒状部件配置而成的形状是近似蜂巢形状。因此，所述处理液与所述近似蜂巢形状的纵长的单独筒状部件的 内壁碰撞而向所述着地面落下。
3)在本发明的表面处理装置中，所述近似蜂巢形状是蜂巢形状。因此，所述处 理液与所述蜂巢形状的纵长的单独筒状部件的内壁碰撞，向所述着地面落下。
4)在本发明的表面处理装置中，该表面处理装置还具有第1处理液回收机构， 该第1处理液回收机构回收从所述被处理物的下部落下的第1处理液，并将该第1 处理液提供给所述第1处理液浇流机构，
此外，该表面处理装置还具有第2处理液回收机构，该第2处理液回收机构回收 从所述被处理物的下部落下的第2处理液，并将该第2处理液提供给所述第2处理液 浇流机构。因此，能够减少在回收使用的处理液中混合有不同的处理液的情况。
5)在本发明的表面处理装置中，该表面处理装置在所述第1处理室内的所述被 处理物的下方具有第1处理液贮留部，该第1处理液贮留部贮留从所述被处理物的下 部落下的第1处理液，在该第1处理液贮留部中，液面是露出的，在所述液面与所述 混入减少机构的下表面之间设置有间隙。能够减少来自所述第1处理液的表面的飞散 量。
6)在本发明的表面处理装置中，所述第1处理液浇流机构抽吸贮留于所述第1 处理液贮留部的第1处理液，而用所述第1处理液进行浇流。因此，能够减少在回收 使用的第1处理液中混合有所述第2处理液的情况。
7)在本发明的表面处理装置中，该表面处理装置还具有空气流量控制机构，该 空气流量控制机构对气流进行控制使得在着地面被反弹的处理液沿所述铅垂方向返 回。由此，能够减少来自所述着面的反弹。
8)在本发明的表面处理装置中，所述被处理物呈片状，所述空气流量控制机构 朝向片状的所述被处理物具有沿着搬入方向的横长的开口，从所述开口抽吸空气。因 此，能够利用气流减少来自所述着地面的反弹。
9)本发明是表面处理装置，其具有：第1处理室，其供片状的被处理物以沿铅 垂方向被保持的状态搬入；第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1 处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面 区域浇流；第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被 保持的状态搬入；第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从 被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流； 区分壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分壁，具有能够供所 述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬入开口部；以及混入减少机构，其在 所述第1处理室或所述第2处理室中设置于所述区分壁附近，减少从所述被处理物的 下部落下的处理液在着地面被反弹并且被反弹的所述处理液从所述搬入开口部混入 相邻的处理室内的情况，所述混入减少机构通过将空气控制为沿所述片状的被处理物 的2个平面在铅垂方向上流动，来减少在所述着地面被反弹的处理液的量。
因此，能够利用沿所述片状的被处理物的2个平面的向铅垂方向的气流，减少在所述所述着地面跳起的处理液的量。由此，能够提供液体不会向相邻的处理室混合并 且能够小型化的浇流式的表面处理装置。
10)在本发明的表面处理装置中，所述空气流量控制机构具有沿所述片状的被处理物的2个平面而在所述片状的被处理物的下部附近设置的缝隙状的引导部。利用该 引导部能够提高空气的吸入速度。
11)在本发明的表面处理装置中，所述混入减少机构具有沿所述片状的被处理物的2个平面而在所述片状的被处理物的下部附近设置的缝隙状的引导部。因此，能够 提高沿所述片状的被处理物的2个平面在铅垂方向上流动的空气的速度。
12)在本发明的表面处理装置中，该表面处理装置具有对所述混入减少机构的开口部与所述被处理物之间的距离进行调整的高度调整机构。因此能够根据所述被处理 物的大小，对所述混入减少机构的开口部与所述被处理物之间的距离进行调整。
13)本发明是表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置具有：第1处理室， 其供被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；第1处理液浇流机构，其设置于所述 第1处理室，使第1处理液从所述搬入的被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的 被处理物的表面区域浇流；第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物 以沿铅垂方向被保持的状态搬入；第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室， 使第2处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物 的表面区域浇流；区分壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分 壁，具有能够供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬入开口部；以及混 入减少机构，其在所述第1处理室或所述第2处理室中设置于所述区分壁附近，减少 从所述被处理物的下部落下的处理液在着地面被反弹并且被反弹的所述处理液从所 述搬入开口部混入相邻的处理室内的情况，所述混入减少机构是所述着地面的形状随 着靠近所述搬入开口部而在铅垂方向上升高的反弹方向变换部。
所述反弹方向变换部的所述着地面的形状随着靠近所述搬入开口部而在铅垂方向上变高。因此，能够使所述反弹的方向为从所述所述搬入开口部远离的方向。由此， 能够提供液体不会向相邻的处理室混合并且能够小型化的浇流式的表面处理装置。
14)本发明是表面处理方法，在该方法中，当将被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入第1处理室时，使第1处理液从搬入的被处理物的上部向沿所述铅垂方向被 保持的被处理物的表面区域浇流，在被所述第1处理液浇流后的被处理物以沿铅垂方 向被保持的状态搬入到与所述第1处理室相邻的第2处理室中时，使第2处理液从搬 入的被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流，其中，在 所述第1处理室与所述第2处理室之间设置有能够使所述被处理物以沿铅垂方向被保 持的状态搬入的搬入开口部，在所述第1处理室或所述第2处理室中，在区分壁附近， 以开口部朝向铅垂方向的方式配置有多个纵长的单独筒状部件，以减少从所述被处理 物的下部落下的处理液在着地面被反弹并且被反弹的所述处理液从所述搬入开口部 混入相邻的处理室内的情况。
因此，能够提供液体不会向相邻处理室混合并且能够小型化的浇流式的表面处理装置。
15)本发明的表面处理装置具有：处理室，其供被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；处理液浇流机构，其设置于所述处理室，使处理液从被搬入的所述被处理 物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；区分壁，其是设置于 所述处理室的区分壁，具有能够供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入的搬 入开口部；以及混入减少机构，其在所述处理室中设置于所述区分壁附近，减少处理 液从所述搬入开口部向处理室的外部的混入，该处理液是，从所述被处理物的下部落 下的处理液在着地面被反弹而从所述搬入开口部向处理室的外部反弹的处理液，所述 混入减少机构是将多个纵长的单独筒状部件以开口部朝向铅垂方向的方式配置而成 的形状。
由此，能够提供液体不会向相邻的处理室混合并且能够小型化的浇流式的表面处理装置。
在本说明书中，“近似蜂巢形状”是指多个多边或圆形的单独筒状部件以开口部朝向铅垂方向的方式配置而成的形状。另外，“蜂巢构造”是指上述近似蜂巢构造中 的单独筒状部件为六边形的结构。
对于“从上部向下部浇流”，只要结果为成为从上部向下部的浇流状态即可，包 含直接向所述被处理物、或隔着对所述被处理物进行保持的保持部间接地进行浇流的 情况。
通过实施方式和附图来明确本发明的特征、其他目的、用途、效果等。
附图说明
图1是从上方观察表面处理装置300的配置图。
图2是从α方向观察表面处理装置300的侧视图。
图3是构成表面处理装置300的一部分的无电解镀铜槽200的图1的β-β线剖 视图。
图4是示出从上方观察无电解镀铜槽200的状态的图。
图5是示出液体喷出部4的结构的图。
图6是示出从液体喷出部4的喷出口6喷出的处理液Q的流动的图。
图7是示出将变流部件40设置于液体喷出部4的改良例的图。
图8是与变流部件40碰撞前后的处理液Q的液流的剖视图。
图9是示出用于对搬运机构18的移动动作进行控制的连接关系的图。
图10是示出第3水洗槽312与无电解镀铜槽200之间的导轨14的截面的图。
图11示出蜂巢部件60的详细情况(立体图、主要部位放大图)。
图12是用于对液滴与反弹的关系进行说明的图。
图13是示出飞散防止效果的确认实验的条件的图。
图14是示出飞散防止效果的确认实验的结果的图。
图15是示出反弹方向变换部的一例的图。
图16是第3实施方式的主视图。
图17是示出从图16箭头α方向观察到的板状工件10与托盘80的位置关系的图。
图18是示出托盘80的详细情况的图。
图19是示出从图16的箭头δ1观察到的板状工件10与托盘80的位置关系的图。
图20是对设置有引导部120的实施方式进行说明的图。
标号说明
60：蜂巢部件；61：贯通孔；79：反弹方向变换部；80：托盘。
具体实施方式
(1.第1实施方式)
1.1表面处理装置300的结构
首先，使用图1和图2，对本发明的表面处理装置300的结构进行说明。另外， 图1是从上方观察表面处理装置300的配置图。图2是从α方向观察图1所示的表面 处理装置300的侧视图。另外，在图1中，省略了图2所示的搬运用挂钩16和搬运 机构18。
如图1所示，在表面处理装置300中，沿作为被处理物的板状工件10(图2)的 搬运方向X依次设置有装载部302、第1水洗槽304、去污槽306、第2水洗槽308、 前处理槽310、第3水洗槽312、无电解镀铜槽200、水洗槽314、卸载部316，按照 该顺序进行无电解镀铜所需要的各工序。在各槽中，形成图2所示的搬运用挂钩16 的通路的缺口8(图1)设置为沿铅垂方向延伸。另外，后面对各工序的详细情况进 行叙述。
表面处理装置300还具有：搬运用挂钩16，其通过夹具15(图2)进行把持， 沿水平方向搬运被沿铅垂方向保持的板状工件10；以及搬运机构18，其将搬运用挂 钩16向各槽内搬运。另外，图2示出板状工件10通过装载部302而被安装于搬运用 挂钩16的状态。
在通过装载部302而安装好板状工件10之后，搬运机构18开始向水平方向X 的移动，由此，板状工件10经过各槽内(无电解镀铜槽200等)。之后，搬运机构 18最终在卸载部316停止，将实施电镀处理后的板状工件10从搬运用挂钩16卸下。
图3是构成表面处理装置300的一部分的无电解镀铜槽200(图1)的β-β剖视 图。图4是示出从上方观察图3所示的无电解镀铜槽200的状态的图。另外，在图4 中，省略搬运用挂钩16和搬运机构18。
图3所示的无电解镀铜槽200具有：槽体2，其载置于框架56之上；以及循环 泵50，其向液体喷出部4提供贮留于槽体2内的底部的处理液Q(无电解镀铜液)， 并使该处理液Q循环。
为了处理板状工件10，在无电解镀铜槽200等各槽的内部设置有具有喷出口6 的液体喷出部4。如图3所示，从液体喷出部4的喷出口6朝向板状工件10使处理 液Q相对于水平面向斜上方喷出。由此，在槽体2的内部，处理液Q(无电解镀铜 液)与被搬运用挂钩16把持的板状工件10的上部碰撞。其结果为，当处理液Q在 板状工件10上扩展而移动的期间，能够使处理液Q附着于板状工件10的表面。另 外，在下文对液体喷出部4的详细的构造进行叙述。
这样，板状工件10未浸渍于贮留的处理液Q之中，采用了使循环的处理液Q在 板状工件10上扩展的方式，从而相比于浸渍式的结构，能够减少表面处理装置300 整体所使用的处理液Q的总量。
搬运机构18由图3所示的导轨12、14、支承部件20以及搬运辊子22、24构成。 在支承部件20的底部安装有用于使搬运机构18在导轨12、14上移动的搬运辊子22、 24。搬运辊子22、24被电动机(未图示)驱动。另外，导轨12、14分别固定于框架 52、54上。由于以此方式沿水平方向搬运，因此不需要板状工件的升降动作，能够 使装置的高度较低，因此实现省空间化。
如图3所示，搬运用挂钩16固定于以横跨架设的方式安装在2条导轨12、14 上的支承部件20的下方。由此，能够减小板状工件10的振动，并减小支承搬运机构 18的构造体(导轨12、14、框架52、54等)的形变。
另外，在图4所示的导轨12、14上的规定位置埋入有多个磁铁21。搬运机构18 具有用于对导轨12、14上的磁铁21进行检测的磁传感器19。磁传感器19设置于支 承部件20的下方(导轨14侧的1个部位)。
由此，能够使在无电解镀铜槽200内移动的搬运用挂钩16停止于规定位置(例 如，图4所示的无电解镀铜槽200的中央位置)。
如图3所示，设置于各槽的循环泵50与槽体2的底部连接，槽体2与液体喷出 部4经由循环泵50连通(由虚线箭头示出)。由此，贮留于槽体2的底部的处理液Q 通过循环泵50而再次向液体喷出部4供给。
槽体2由侧壁2a、2b和底部2c构成，该侧壁2a、2b和该底部2c是通过对PVC (聚氯乙烯)等材料进行加工、粘接等而进行组装，成型为一体的部件的。在槽体2 中，下方的底部2c接受与板状工件10碰撞后的处理液。另外，在槽体2中，图1所 示的无电解镀铜槽200以外的各槽也使用相同形状的构造。即，各槽的构造相同，只 是各槽所使用的处理液(镀液、去污液、清洗水等)的种类不同。
另外，在图3所示的槽体2的侧壁2b上成型有沿铅垂方向延伸的缺口，即缝隙 8。由此，在对搬运用挂钩16进行搬运时，能够使板状工件10通过缝隙8。另外， 如果使缝隙8的下端8a过低，可能会使储存于槽体2的处理液Q溢出而向外部流出。
因此，需要将处理液Q的提供量调整为，使贮留于槽体2的处理液Q的液面H (图3)总是位于比缝隙8的下端8a靠下的位置。在该实施方式中，以使贮留于槽 体2的处理液Q的液面H(图3)位于比缝隙8的下端8a靠下的位置的方式，决定 使用的处理液Q的总量，并且经由循环泵50使槽体2与液体喷出部4连通。
[液体喷出部4的构造]
在图5中示出液体喷出部4的构造。图5是图3所示的液体喷出部4的放大图。
如图5所示，液体喷出部4被2个U字型的紧固件F2紧固安装在基座F1上， 该基座F1是将方管件固定设置于侧壁2a上而得到的。另外，在该实施方式中，对液 体喷出部4以能够手动进行旋转的适当的强度进行紧固。
如图4所示，液体喷出部4由在内部具有空间的作为管部件的圆管构成，其长度 方向的两端被密闭。另外，通过隔着规定间隔沿长度方向配置的多个孔构成喷出口6。 另外，在液体喷出部4上连结有贯通槽体的侧壁2a而连通的挠性管T1和配管T2。 配管T2与泵50的排出口相连。由此，能够使从泵50接受的处理液Q从喷出口6喷 出。
如图6的A所示，喷出口6的喷出角度θ相对于水平面L朝向斜上方向(例如， 5°～85°的范围)设置。因此，从喷出口6喷出的处理液Q的液流沿抛物线移动。 顶点Z的位置由处理液Q的喷出流速V和喷出角度θ决定。另外，处理液Q的喷出 流速V取决于来自泵50的压力和喷出口6的大小。
在该实施方式中，将喷出角度θ设计为，在将液体喷出部4(半径r)配置于距 板状工件10为规定距离D的位置的条件下，以喷出流速V喷出的处理液Q在抛物 线的顶点Z与板状工件10碰撞。在图6的B所示的抛物线的顶点Z的位置，没有处 理液Q的铅垂方向的速度成分Vy，仅留下喷出时的水平方向的速度成分Vx，因此能 够减少气泡的产生。
此外，由于液流与板状工件10的表面垂直地碰撞，因此与板状工件10碰撞的处 理液Q在表面上呈同心圆状均匀扩展。另外，也可以在顶点附近碰撞，即在顶点的 前方或后方的规定距离的位置碰撞。
在不使处理液Q相对于水平面L向斜上方向喷出，而向水平方向或水平方的下 方喷出的情况下，处理液Q的铅垂方向的速度成分Vy持续增加，在合成速度V中该 沿垂直方向的速度成分Vy也相应增加。其结果为，与板状工件10碰撞的处理液Q 会向y方向飞散而容易产生气泡。
像以上那样，通过相对于水平面L朝向斜上方向喷出处理液，抑制在与工件碰撞时发生的泡沫的产生，从而能够防止处理液Q中的溶解氧量的增加。
此外，如图7所示，也可以为，以覆盖喷出口6的方式，将用于改变喷出的处理 液Q的流动朝向的变流部件40安装于液体喷出部4的外周。另外，将变流部件40 与喷出口6隔开间隔设置。
图7是示出被变流部件40改变喷出的处理液Q的朝向的状态的放大图，图8的 A是喷出的处理液Q(与变流部件40碰撞前)的γ1剖视图，图8的B是与变流部 件40碰撞后的处理液Q的γ2剖视图。
如果使用变流部件40，则从各喷出口6喷出的液流(图8的A所示的截面积) 与变流板碰撞，截面积变大(图8的B)。因此，在与板状工件10碰撞时，来自相邻 的各喷出口6的液流连结(图8的B)，从而能够实现与板状工件10的表面碰撞的处 理液Q的均匀化。
即，理想情况下，能够像从缝隙(长孔)喷出的液流那样实现均匀化。另外，为 了形成与从缝隙(长孔)喷出的液流相同的抛物线，需要使缝隙的宽度较细(为了在 喷出时得到相同的流速，需要使缝隙的面积与孔的总面积相同)，因此有容易发生杂 质堵塞的缺点。因此，使用孔来实现与缝隙相同的效果。
1.2表面处理装置300的各工序的内容
使用图9等，对在表面处理装置300中进行的各工序的内容进行说明。另外，在 该实施方式中，通过各槽的循环泵50使在表面处理装置300的各槽内所使用的处理 液Q一直进行循环。
图9是示出对搬运机构18的动作进行控制的控制部的连接关系的图。如图9所 示，磁传感器19(图4)与PLC 30连接，其检测到达配置在检测导轨14上的磁铁的 上部的情况。将磁传感器19所检测的信号提供给PLC 30。接收到信号的PLC 30使 电动机28打开/关闭，对搬运辊子22、24的动作(前进、后退、停止等)进行控制。
首先，在图1所示的装载部302中，通过作业人员或安装装置(未图示)将作为 镀膜处理对象的板状工件10安装于搬运用挂钩16(图2所示的状态)。
然后，在作业人员按下搬运开关(未图示)时，搬运用挂钩16沿导轨12、14 在第1水洗槽304内移动。即，PLC 30使电动机28打开，对搬运辊子22、24进行 前进驱动。
接下来，在第1水洗槽304中，通过使水与与板状工件10的正反两面碰撞来进 行水洗处理。搬运用挂钩16在第1水洗槽304中停止规定时间，然后向去污槽306 内移动。
例如，在PLC 30从磁传感器19接收表示已到达第1水洗槽304的中央的信号之 后，使电动机28停止1分钟。然后，使电动机28打开，对搬运辊子22、24进行前 进驱动。另外，在第2水洗槽308、第3水洗槽312、第4水洗槽314中也进行同样 的控制。
在去污槽306中，搬运用挂钩16停止规定时间(例如，5分钟)，使去污处理液 (溶胀液、树脂蚀刻液、中和液等)从正反两面与板状工件10碰撞。这里，去污处 理是去除在板状工件10开孔等时留下的加工时的污迹(树脂)的处理。
例如，PLC 30在从磁传感器19接收到表示已到达去污槽306的中央的信号之后，使电动机28停止5分钟。然后，使电动机28打开，对搬运辊子22、24进行前进驱 动。在以下的前处理槽310中也进行同样的控制。
接下来，在第2水洗槽308中，通过使水从正反两面与板状工件10碰撞来进行 水洗处理。搬运用挂钩16在第2水洗槽308中停止规定时间(例如，1分钟)，然后， 向前处理槽310内移动。
在前处理槽310中，搬运用挂钩16停止规定时间(例如，5分钟)，并使前处理 液从正反两面与板状工件10碰撞。
接下来，在第3水洗槽312中，通过使水从正反两面与板状工件10碰撞来进行 水洗处理。搬运用挂钩16在第3水洗槽312中停止规定时间(例如，1分钟)。
然后，在移动至无电解镀铜槽200(图3、图4)内之前，进行规定次数的以下 所示的往复移动。这是因为，当在板状工件10进行通孔等孔的开设情况下，在该孔 中存有空气(气泡)而有可能使使处理液Q无法附着在板状工件10上，因此在进行 无电解镀铜处理之前，需要切实地去除空气(气泡)。在图10中示出第3水洗槽312 与无电解镀铜槽200(图1)之间的导轨14的剖视图。如图10和图1所示，在导轨 14上设置有1个作为冲击产生部的凸部26。能够利用搬运辊子24越过该凸部26时 产生的冲击来去除处理液Q的水分。
例如，PLC 30在从磁传感器19接收到表示图10所示的磁铁21到达中央(即， 搬运辊子24越过凸部26)的情况的信号之后，对电动机28进行控制以使得驱动搬 运辊子22、24后退规定距离(图10所示的Y1方向)。然后，对搬运辊子22、24进 行前进驱动直至再次检测到磁铁21(图10所示的Y2方向)。在重复进行规定次数(例 如，3次往复)的上述前后移动之后，停止于无电解镀铜槽200内的中央位置(图4)。 在无电解镀铜槽200中，搬运用挂钩16停止规定时间，使无电解镀铜液从正反两面 与板状工件10碰撞。
例如，PLC 30在从磁传感器19接收到表示已到达无电解镀铜槽200的中央的信 号之后，使电动机28停止5分钟。之后，使电动机28打开，对搬运辊子22、24进 行前进驱动。
接下来，在第4水洗槽314中，通过使水从正反两面与板状工件10碰撞来进行 水洗处理。搬运用挂钩16在第4水洗槽314中停止规定时间(例如，1分钟)，然后， 向卸载部316移动。
最后，使移动至卸载部316的搬运用挂钩16停止。例如，PLC 30在从磁传感器 19接收到表示已到达卸载部316的信号之后，使电动机28停止。然后，由作业人员 等将板状工件10从搬运用挂钩拆下。由此，结束无电解镀膜处理的一系列工序。
另外，在上述实施方式中，表面处理装置300采用了具有多个槽(图1所示的第 1水洗槽304、去污槽306、前处理槽310、无电解镀铜槽200等)的结构，但表面处 理装置300也可以采用具有这些槽中的至少1个槽的结构。
另外，在上述实施方式中，通过表面处理装置300对板状工件10进行了无电解 镀铜，但也可以对板状工件10进行其他的无电解镀膜(例如，无电解镀镍、无电解 镀锡、无电解镀金等)。
另外，不限定搬运机构18的结构。
1.3蜂巢部件
使用图11，对设置于搬运用挂钩16的铅锤下方的蜂巢部件60进行说明。蜂巢 部件60通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。处理液的液滴沿铅垂方向 (箭头α方向)落下，因此液滴通过贯通孔61(参照图12的A)。如图12的B所示， 通过贯通孔61后的液滴与液面H碰撞，因此液滴的形状被破坏，一部分被反弹。此 时，反弹的液滴的一部分沿倾斜方向反弹，因此与筒状部件的内壁碰撞。由此，减少 了向贯通孔61上面喷出的液滴的量。利用该内壁的反弹，蜂巢部件60实现飞散防止 功能。
使用图13对蜂巢部件60的飞散防止效果的确认实验进行说明。如图13的A所 示，在第1室74与第2室75之间设置具有开口部72的侧壁71。在第1室74中， 在距侧壁71为距离M的位置，从高度750mm以0.3L/min/N朝向第1室74的底板 供给水。
与第2室75的侧壁71相邻而设置托板76，收集从第1室74向第2室75飞溅 的水，并测量水量。在本实施方式中，托板76的长度D为180mm，宽度W为125mm， 高度H为60mm。
在图14中示出各种变更实验条件后的情况下的测量结果。在实验1～3中，像图13A那样在底面没有设置任何部件。在该情况下，如果使距离M＝180mm，并使开 口部72的下端的高度变为L1＝60mm、160mm、260mm，高度越高，飞溅量减少，飞 溅量分别变为330mL/30分钟、36mL/30分钟、7mL/30分钟左右。
另外，相比于实验1，实验4、5是从距离M＝100mm，并靠近侧壁71的位置提 供水的情况。在该情况下，在L1＝60mm、160mm时，飞溅量分别为330mL/30分 钟、32mL/30分钟。
根据实验1～5可知，虽然距侧壁71的距离稍许不同，飞溅量不变，但如果使间 隔件高度L1较高，则飞溅量减少。
如图13B所示，实验6是在第1室74的底面水被贮留至20mm的高度的情况， 其他与实验1相同。在该情况下，飞溅量为100mL/30分钟。这样，通过设置水面， 即使不使间隔高度L1变高，飞溅量也会减少为1/3以下。如图12的B所示，这考 虑因为是被水面反弹。
如图13C所示，实验7、8是以上表面的高度与开口部72的高度L1相等的方式 设置蜂巢部件HC1的情况。在本实施方式之中，作为蜂巢HC 1，采用L：530mm(间 距P:23mm)、W：350mm(单元尺寸CL：12mm)x高度H：55mm x厚度t：0.2mm (参照图11)的蜂巢部件。根据实验7、8可知，在间隔件高度L1：60mm时，距 离M：180mm、100mm均会使飞溅量为15mL/30分，减少至实验1的约1/20以下。
在实验7、8中，液滴被底面反弹。在该情况下，如图12C所示，与被水面反弹 的情况相同，被第1室74的底面反弹的液滴被破坏且该液滴的一部分被反弹。在该 情况下，被反弹的液滴的一部分被蜂巢部件60的内壁挡住。
实验9是设置了蜂巢部件HC2的情况。蜂巢HC2为，L：530mm(间距P:5.4mm)、 W：350mm(单元尺寸CL：3.3mm)、高度H55mm、厚度t：0.1mm。即，是贯通 孔61的大小比实验7、8小的情况。即使像这样使贯通孔61较小，相比于实验1， 飞溅量也减少为约1/4以下。根据发明者的理解，实验9的飞溅量较多是因为，相 比于蜂巢部件HC1，蜂巢部件HC2的厚度t的面积与贯通孔61的露出面的面积相 比是增加的，因此水滴没有进入贯通孔61而被上表面反弹。
通过设置上述的蜂巢部件60，能够提供即使高度降低至侧壁2b的开口部为止， 反弹也较少的表面处理装置。由此，即使是整体被小型化的表面处理装置，也能够减 少液体向相邻的处理室的混入。
1.4关于变形例
在上述实施方式中，采用蜂巢构造的蜂巢部件60来作为反弹阻止部，但不限定 于此，也可以采用像蜂巢部件60那样通过配置除多个6边形以外的多边或圆形的筒 状部件而成的蜂巢类似构造，即，可以采用以使开口部朝向铅垂方向的方式配置多个 纵长的单独筒状部件而得到的形状。这是因为，如果采用该构造，从单独筒状部件的 上表面进入的液滴穿过贯通孔而被底面等反弹而再一次从单独筒状部件的下表面进 入单独筒状部件的液滴会被单独筒状部件的内表面反弹，从而能够阻止液滴从单独筒 状部件的上表面飞出。
在实施方式中，如图3所示，对使处理液Q从液体喷出部4向板状工件10直接 喷出的表面处理装置进行了说明，但也可以采用使处理液Q向板状工件10间接喷出 的表面处理装置。即，只要是以下那样的的表面处理装置，则能够应用本发明。
提供表面处理装置，其具有：
搬运用挂钩，其对被处理物进行搬运；
槽体，其用于在内部使处理液附着于被所述搬运用挂钩搬运的所述被处理物；以及
搬运机构，其将所述搬运用挂钩搬运到所述槽体内，
其中，
所述槽体具有：
液体接受部，其用于接受与所述被处理物碰撞后的处理液；
液体滞留部，其设置于比所述液体接受部靠上方的位置，使用来与所述被处理物碰撞的所述处理液滞留；以及
液体流出部，其是用于使从所述液体滞留部溢出并流下的所述处理液朝向被处理物流出的液体流出部，构成为末端从所述液体滞留部或与所述液体接受部连结的连结 部突出。
另外，在本实施方式中，在各处理室中不同的处理液与被处理物碰撞。例如，在 第1处理液是镀液的情况下，如果该镀液与相邻的作为第2处理液的水混合，则在第 2处理室中没有特别的问题，但镀液相应地减少了混入第2处理室的量。反之，在第 1处理液是水的情况下，如果该水混入相邻的作为第2处理液的镀液，则在第2处理 室的镀液中混合有水。混合有水的镀液被抽出来再次向被处理物吹附，因此镀液的功 能相应的降低。
这样，在第1处理液混入有第2处理液侧的情况下和在第2处理液混入第1处理 液侧的情况下，都会出现问题。
另外，在本实施方式中，在板状工件10的下部设置处理液Q的液槽，但对此可 以采用任意方式。
2.(第2实施方式)
在图15中示出第2实施方式。在上述实施方式中，通过设置阻止在底面被反弹 的液滴向相邻的处理室飞溅的反弹阻止部，来防止向相邻的处理室的混入，但也可以 设置像图15所示那样的反弹方向变换部79，以使得液滴即使弹起，也向远离侧壁2b 的开口部的方向反弹。通过像这样对液滴的反弹方向进行控制，能够减少向相邻的处 理室的反弹量。该反弹方向变换部在图15中采用了随着靠近搬入开口部8而铅垂方 向的高度变高的曲线形状，但也可以采用直线形状。即，只要是随着靠近搬入开口部 8而沿铅垂方向变高的形状即可，可以采用任意结构。
3.(第3实施方式)
在图16中示出第3实施方式。在该实施方式中，设置有流量控制机构，该流量 控制机构通过使处理室内的空气从上向下流动，来减少在蜂巢部件60的表面反弹的 液滴的反弹量。流量控制机构通过像后述那样向下方吸引空气和液体，来减少飞溅量。
在本实施方式中，作为流量控制机构，在蜂巢部件60的下部设置图16所示那样 的形状的托盘80，来对气流进行控制。图17是从图16的箭头α方向观察的图。另 外，在图17中，为了便于理解，图示了没有框架54的结构。如图17所示，在板状 工件10的下部并且在缝隙8的附近，在两个部位设置托盘80。这是为了减少在缝隙 8的附近向相邻的处理室的飞溅。
使用图18对托盘80的形状进行说明。在图18中，为了便于说明，针对蜂巢部 件60，以虚线示出相对位置。在框82的端部连续形成有平面82a。从平面82a的内 端部沿x方向形成有斜面84。从斜面84的端部沿y方向形成有斜面85。另外，在纵 管状部件81的上表面镶嵌有一对盖81b，该一对盖81B形成沟槽81a。
在本实施方式中，沟槽81a的宽度d1为约2mm。对于该宽度的确定，只要使 纵管状部件81每单位时间能吸入的允许量(由内径决定)比托盘80每单位时间收集 的液体的量多即可。但是，如果使距离d1过大，则在吸引空气的流量(流量(Q)＝ 开口面积(A)＊流速(V))恒定的状态下，流速会降低，因此优选为5mm以下。
在图19中示出从图16箭头δ1方向观察的箭头方向视图。托盘80配置为，在 像这样从上方观察时，斜面84位于板状工件10的两侧，由2个斜面84的下端部形 成的沟槽的方向与板状工件10平行。
在斜面85的端部连结有纵管状部件81。如图16所示，连接成横管状部件88与 纵管状部件81的中途连通。
由此，穿过蜂巢部件60的贯通孔61后的液体经由斜面84、85，而汇集于纵管 状部件81。另外，在本实施方式中，利用设置于管93的末端的泵92，将空间94抽 吸为负压状态。
在处理室的上部设置有空气吸入口95。因此通过上述抽吸而从空气吸入口95吸入的空气从蜂巢部件60的贯通孔61经由斜面84、85而向纵管状部件81、横管状部 件88流动。并且，与收集到的液体一同从横管状部件88向空间94排出。
另外，如图19所示，托盘80配置为，斜面84位于板状工件10的两侧，由2 个斜面84的下端部形成的沟槽的方向与板状工件10平行。因此，在所述泵92进行 抽吸时，产生像图16那样的箭头δ2方向的气流。这样，通过在板状工件10的下部 产生箭头δ2方向的气流，会取得使厚度较薄的板状工件10的姿态稳定的效果。
在本实施方式中，在蜂巢部件60的下部设置托盘80，但也可以是蜂巢部件60 以外的部件。另外，也可以不设置蜂巢部件60而设置托盘80。在该情况下，通过所 述吸入的气流也能够防止液滴的反弹。
另外，也可以采用托盘80以外的形状来作为流量控制机构。即，只要是能够通 过使处理室内的空气从上向下流动来减少在蜂巢部件60的表面跳起的液滴的反弹量 的流量控制机构即可，可以采用任意结构。
在本实施方式中，利用泵92的抽吸，使处理室内的控制风速为0.2m/s～0.5m/s。通过采用这种程度的风速，能够使板状工件10的姿态稳定，并且能够减少蜂巢部件 60的表面的反弹。
在本实施方式中，蜂巢部件60的下部的托盘80的形状倾斜。因此，穿过蜂巢部 件60后的液滴倾斜着反弹，因此防止了反弹后的液滴穿过贯通孔61。
在本实施方式中，由一对盖81b形成沟槽81a，但也可以采用一部分形成为沟槽81a的形状的管等其他的方式。
在图20的A中示出设置有吸入空气的引导部120的实施方式。图20的B、C 分别示出图20的A的A-A线剖视图、B-B线剖视图。引导部120由盖121a、121b 构成。图20D示出盖121a的立体图。
盖121a具有侧面122、斜面部123以及半圆部125。在侧面122上设置有多个贯 通孔122a。盖121b和盖121a呈对称形状。
如果使盖121a、121b位于托盘80，则斜面84、85与斜面部123被贴合保持， 纵管状部件81的一部分被半圆部125封闭。另外，将蜂巢部件60分为2个，从该蜂 巢部件60之间到纵管部件81上形成隔有侧面122的距离为d1的间隙。由此，能够 使吸入口靠近板状工件10，因此能够提高抽吸力。另外，能够使吸入口较窄，因此 能够提高板状工件10下部的空气的流速。由此，能够减小液滴的反弹。
另外，能够通过设置贯通孔122a来解决因盖121a、121b使液滴在托盘80内积 存的问题。贯通孔122a的位置和个数只要根据积存于托盘80的液体的量来设计即 可。
在图20中，采用了具有侧面122的盖121a、121b，但如果另行设置进行保持的 机构，斜面部123也不是必须的。此外，也可以没有侧面122。在该情况下，利用仅 由半圆部125构成的盖能够使吸入口变窄，因此能够提高板状工件10下部的空气的 流速。
另外，还考虑因板状工件10的形状导致该板状工件10与托盘80的距离变动的 情况。在该情况下，如图20B所示，只要将托盘80构成为沿高度方向滑动自如即可。 对于该高度调整，可以在托盘80的下部设置具有与纵管部件81的内径大致相同的外 径的管部83，也可以设置成波纹构造。作为将托盘80的高度保持为滑动自如的机构， 只要采用公知的机构即可。
另外，处理室内的控制风速不限定于上述范围。
另外，上述空气吸入口95和泵92只要设置于各处理室即可。
由此，在处理室内几乎没有向图17箭头R方向的气流(向开口部8方向的气流)， 从而气流几乎沿铅垂方向，因此会使板状工件10的姿态稳定。
另外，框架52的下端面位于比处理液Q靠下侧的位置。因此，空气向空间94 的流通是经由纵管状部件81和横管状部件88进行的。
在本实施方式中，对处理液Q的情况进行了说明，进行水洗的水洗槽(参照图1) 也能够采用同样的结构。
另外，托盘80的形状不限定于上述情况。
在本实施方式中，为了减少反弹，采用流量控制机构，但也可以仅为了使姿态稳定而采用流量控制机构。
在该情况下，能够将实施方式3的装置作为具有像以下那样的发明思想的装置来把握。
表面处理装置的特征在于，该表面处理装置具有：
第1处理室，其供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；
第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1处理液从所述搬入的被 处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；
第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的 状态搬入；
第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从所述搬入的被 处理物的上部向沿着所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；
区分壁，其是设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间的区分壁，具有使所 述被处理物能够以被沿铅垂方向保持的状态搬入的搬入开口部；以及
混入减少机构，其在所述第1的处理室或所述第2处理室内设置于所述区分壁附近，减少从所述被处理物的下部落下的处理液在着地面被反弹，且所述反弹的处理液 从所述搬入开口部混入相邻的处理室内的情况，
所述混入减少机构具有空气流量控制机构，该空气流量控制机构将将空气控制为沿着所述片状的被处理物的2个平面在铅垂方向上流动。
在该发明中，像图20那样，通过设置引导部120，使空气的流速变快，因此还 会实现使板状工件10稳定的效果。
以上，将本发明作为优选的实施方式进行了说明，但其不对本发明进行限定，仅用于进行说明，只要不脱离本发明的范围和主旨，则能够在附加的权利要求的范围内 进行变更。