阅读说明：本技术 一种管式pecvd工艺镀膜时间监测的预警装置 (Early warning device for monitoring coating time of tubular PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) process ) 是由 郭丽 赵科巍 张波 张云鹏 吕爱武 于 2019-12-03 设计创作，主要内容包括：本发明涉及管式PECVD工艺镀膜领域。一种管式PECVD工艺镀膜时间监测的预警装置,包括厚度传感器、PLC控制模块、报警装置、显示器,厚度传感器安装在镀膜机内部,通过PLC控制模块设置镀膜厚度和镀膜时间。本发明提供了一种管式PECVD工艺镀膜时间的监测装置,有效的做到能实时监测DLV录入值是否在范围之内。这对工艺配方起到了警示防错作用,减少操作员因误操作而造成镀膜时间异常而使产线不合格率上升。(The invention relates to the field of tubular PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) process coating. The utility model provides an early warning device of tubular PECVD technology coating film time monitoring, includes thickness sensor, PLC control module, alarm device, display, and thickness sensor installs inside the coating machine, sets up coating film thickness and coating film time through PLC control module. The invention provides a device for monitoring the film coating time of a tubular PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) process, which can effectively monitor whether a DLV (digital Living Vickers) input value is within a range in real time. The method plays a role in warning and preventing mistakes for the process formula, and reduces the increase of the reject ratio of the production line caused by abnormal coating time due to misoperation of an operator.)

一种管式PECVD工艺镀膜时间监测的预警装置

技术领域

本发明涉及管式PECVD工艺镀膜领域。

背景技术

现有的PECVD工艺镀膜沉积时间是通过DLV直接链接变化管理文件来执行的，每一个工艺炉管的沉积时间都对应一个DLV数值。目前这个文件在时间上输入是人为手动录入的。但这个录入的结果无上下限界定，这样的工艺在使用时会有以下问题：无DLV报错程序，即DLV无阈值范围。当DLV文件输入错误时如：手动输入值大于实际值，会造成整舟工艺颜色偏白；手动输入值小于实际值，会造成整舟工艺颜色偏暗。这样的结果达不到半成品标准的外观要求的的正蓝色为不合格品。无人机界面的交互提示、无预警的响应。这样发现异常不能够触发报警并立即终止该工艺。导致异常工艺步骤继续而产生大量的不合格品。无后续的相关DLV异常工艺监测记录。后续的工艺大历史记录可对各工艺状态进行实时观测，没有相关记录对查找分析异常带来了极大的不便。同时单纯的通过镀膜时间来实行监控，一旦记时异常或者气体流量异常，就可能导致镀膜失败。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：如何解决录入数据失误、计时系统出错导致镀膜失败的问题。

本发明所采用的技术方案是：一种管式PECVD工艺镀膜时间监测的预警装置，包括厚度传感器、PLC控制模块、报警装置、显示器，厚度传感器安装在镀膜机内部，通过PLC控制模块设置镀膜厚度和镀膜时间，镀膜开始后，PLC控制模块实时接收厚度传感器传来的实时镀膜厚度通过显示器显示出来，PLC控制模块实时计算已经镀膜时间通过显示器显示出来，当实时镀膜厚度达到设置镀膜厚度同时已经镀膜时间达到设置镀膜时间时PLC控制模块通过报警装置发出报警，提醒镀膜完成，自动关闭镀膜，如果实时镀膜时间达到设置镀膜时间，同时实时镀膜厚度与设置镀膜厚度的差值达到设置镀膜厚度的3%以上，PLC控制模块通过报警装置发出报警，提醒镀膜发生意外，同时自动关闭镀膜。

PLC控制模块记录每次镀膜时的设置镀膜厚度、设置镀膜时间、镀膜完成时时间、镀膜完成时厚度。

厚度传感器是一个平行板电容传感器，通过镀膜时，平行板电容传感器内部的镀膜厚度变化导致的电容器变化计算出镀膜厚度。

本发明的有益效果是：本发明提供了一种管式PECVD工艺镀膜时间的监测装置，有效的做到能实时监测DLV录入值是否在范围之内。这对工艺配方起到了警示防错作用，减少操作员因误操作而造成镀膜时间异常而使产线不合格率上升。同时本发明通过安装厚度传感器，实现镀膜时间外直接对镀膜厚度的监控，在镀膜发生问题时及时发现，避免镀膜失败。

具体实施方式

一种管式PECVD工艺镀膜时间监测的预警装置，包括厚度传感器、PLC控制模块、报警装置、显示器，厚度传感器安装在镀膜机内部， 首先操作员将镀膜厚度和镀膜时间通过人机交互界面录入PLC控制模块，PLC控制模块对从人机交互模块中收集到的镀膜厚度和镀膜时间进行分析评估，由其执行逻辑运算、计时和算术运算等操作的指令，并能通过数字式或模拟式的输入和输出信号，触发报警装置报警：当镀膜厚度或镀膜时间的值超出设定值范围时，触发蜂鸣器和发光二极管发出声光报警，并在LCD显示屏中显示出错信息以供操作员查看，PLC控制模块会发指令使后台主机工艺中止，直到操作员确认下一步是继续进行还是终止工艺操作的指令，再将该指令传给后台主机；当镀膜厚度和镀膜时间的值在设定值范围之内，工艺不受影响，后台主机继续进行原工艺。当实时镀膜厚度达到设置镀膜厚度同时已经镀膜时间达到设置镀膜时间时PLC控制模块通过报警装置发出报警，提醒镀膜完成，自动关闭镀膜，如果实时镀膜时间达到设置镀膜时间，同时实时镀膜厚度与设置镀膜厚度的差值达到设置镀膜厚度的3%以上，PLC控制模块通过报警装置发出报警，提醒镀膜发生意外，同时自动关闭镀膜。PLC控制模块记录每次镀膜时的设置镀膜厚度、设置镀膜时间、镀膜完成时时间、镀膜完成时厚度，当发生历史设置镀膜厚度与当前设置镀膜厚度差值大于设置镀膜厚度一倍时，或发生历史设置镀膜时间与当前设置镀膜时间差值大于设置镀膜时间一倍时，PLC控制模块通过报警装置发出报警，提醒镀膜设置失误。厚度传感器是一个平行板电容，通过镀膜时，平行板电容内部的镀膜厚度变化导致的电容器变化计算出镀膜厚度。