阅读说明：本技术 再生液处理方法与再生液处理装置 () 是由 李再强 黄文涛 张伟奇 汪前程 于 2019-08-29 设计创作，主要内容包括：本发明公开一种再生液处理方法与再生液处理装置,其中,所述再生液处理方法包括以下步骤,检测蚀刻槽内工作液的酸度,当所述工作液的酸度低于预设浓度后,向所述工作液中加入再生液,制备得到蚀刻液。可以理解的,本发明能够保证工作液的蚀刻速率,提高蚀刻线的产能。()