一种硅片转弯换向装置
阅读说明:本技术 一种硅片转弯换向装置 (Silicon chip turning reversing device ) 是由 金磊 于 2021-08-31 设计创作,主要内容包括:本发明涉及硅片运输设备技术领域,具体涉及一种硅片转弯换向装置。本发明包括机架,机架上对称设置有输送跑道,机架上位于输送跑道一侧均设置有升降机构,升降机构一侧均设置有接收跑道,接收跑道一侧均设置有相互垂直的换向跑道,机架上位于两个换向跑道之间设置有出料跑道。本发明结构合理、简单,操作便捷,将存放硅片的花篮放置在输送跑道上,通过输送跑道将花篮运输至升降机构上,升降机构对花篮进行升降并将花篮移动至接收跑道上,之后花篮输送至换向跑道上,改变花篮的移动的方向,最后换向跑道将花篮输送至出料跑道上。通过升降以及纵向的设计,能够使得比较窄的厂房也能够进行换向的工作,大大的提高硅片换向的便捷性。(The invention relates to the technical field of silicon wafer transportation equipment, in particular to a silicon wafer turning and reversing device. The automatic feeding device comprises a rack, conveying runways are symmetrically arranged on the rack, lifting mechanisms are arranged on one sides of the conveying runways on the rack, receiving runways are arranged on one sides of the lifting mechanisms, mutually perpendicular reversing runways are arranged on one sides of the receiving runways, and a discharging runway is arranged between the two reversing runways on the rack. The silicon wafer conveying device is reasonable and simple in structure and convenient and fast to operate, the flower basket for storing silicon wafers is placed on the conveying runway, the flower basket is conveyed to the lifting mechanism through the conveying runway, the lifting mechanism lifts the flower basket and moves the flower basket to the receiving runway, then the flower basket is conveyed to the reversing runway, the moving direction of the flower basket is changed, and finally the flower basket is conveyed to the discharging runway through the reversing runway. Through lifting and longitudinal design, the reversing work can be carried out on a narrow workshop, and the convenience of silicon wafer reversing is greatly improved.)
技术领域
本发明涉及硅片运输设备技术领域,具体涉及一种硅片转弯换向装置。
背景技术
硅片是生产光伏产品的主要材料,同时硅片还是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,被广泛应用于航空航天、工业、农业和国防等领域。硅片在生产制造时,常常需要对硅片进行转弯换向,现有的通常进行横向幻想,无法在较窄的场地进行,使得对硅片转弯换向的限制较大,不便于较小的车间进行生产制造硅片。
上述问题是本领域亟需解决的问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种硅片转弯换向装置,从而能够对硅片进行转弯换向,同时适用于较小的车间进行生产。
为了解决上述技术问题,本发明提供的方案是:一种硅片转弯换向装置,包括机架,所述机架上对称设置有输送跑道,所述机架上位于所述输送跑道一侧均设置有升降机构,所述升降机构一侧均设置有接收跑道,所述接收跑道一侧均设置有相互垂直的换向跑道,所述机架上位于两个所述换向跑道之间设置有出料跑道。
作为本发明的进一步改进,所述升降机构包括行程机构,所述行程机构上滑动设置有放置架。
作为本发明的进一步改进,所述放置架底部内部两侧对称设置有导向板,所述导向板之间设置有驱动跑道。
作为本发明的进一步改进,所述放置架顶部设置有气缸,所述气缸输出端设置有挤压块,所述放置架顶部位于所述气缸一侧设置有传感器。
作为本发明的进一步改进,所述换向跑道包括连接跑道,所述连接跑道内部位于所述接收跑道一侧处设置有换向机构;所述换向机构包括设置在所述机架上的底板,所述底板上设置有驱动装置,所述驱动装置上对称设置有与所述连接跑道相互垂直的安装板,所述安装板上设置有为所述连接跑道让位的避让槽,所述安装板侧面上均设置有滚轴,所述滚轴上缠绕设置有输送带。
作为本发明的进一步改进,所述换向机构一侧设置有接收板。
作为本发明的进一步改进,所述驱动装置包括驱动电机,所述底板上设置有轴承座,所述驱动电机上设置有与所述轴承座连接的轴,所述轴上设置有凸轮,所述凸轮上设置有连接座。
作为本发明的进一步改进,所述底板上设置有行程传感器,所述轴一端上设置有与所述行程传感器匹配的感应片。
作为本发明的进一步改进,所述出料跑道包括相互垂直设置的第一跑道和第二跑道,所述第二跑道底部连接设置有顶升气缸。
本发明的有益效果:
本发明结构合理、简单,操作便捷,将存放硅片的花篮放置在输送跑道上,通过输送跑道将花篮运输至升降机构上,升降机构对花篮进行升降并将花篮移动至接收跑道上,接收跑道将花篮输送至换向跑道上,通过换向跑道改变花篮的移动的方向,之后换向跑道将花篮输送至出料跑道上,出料跑道将两边换向跑道输送过来的花篮进行收集输送至后续的处理设备中。通过升降以及纵向的设计,能够使得比较窄的厂房也能够进行换向的工作,大大的提高硅片换向的便捷性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明内部的结构示意;
图3是本发明升降机构的结构示图;
图4是图2中A部的放大示意图;
图5是本发明换向机构的结构示图;
图6是本发明驱动装置的结构示图;
图7是本发明出料跑道的结构示图。
附图标记:1、机架;2、输送跑道;3、升降机构;301、行程机构;302、放置架;303、导向板;304、驱动跑道;305、气缸;306、挤压块;307、传感器;4、接收跑道;5、换向跑道;501、连接跑道;502、换向机构;5021、底板;5022、驱动装置;50221、驱动电机;50222、轴承座;50223、轴;50224、凸轮;50225、连接座;50226、行程传感器;50227、感应片;5023、安装板;5024、滚轴;5025、避让槽;5026、输送带;6、出料跑道;601、第一跑道;602、第二跑道;603、顶升气缸;7、接收板。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施,但所举实施例不作为对本发明的限定。
参照图1所示,为本发明的一实施例,包括机架1,机架1上对称设置有输送跑道2,机架1上位于输送跑道2一侧均设置有升降机构3,升降机构3一侧均设置有接收跑道4,接收跑道4一侧均设置有相互垂直的换向跑道5,机架1上位于两个换向跑道5之间设置有出料跑道6。将存放硅片的花篮放置在输送跑道2上,通过输送跑道2将花篮运输至升降机构3上,升降机构3对花篮进行升降并将花篮移动至接收跑道4上,接收跑道4将花篮输送至换向跑道5上,通过换向跑道5改变花篮的移动的方向,之后换向跑道5将花篮输送至出料跑道6上,出料跑道6将两边换向跑道5输送过来的花篮进行收集输送至后续的处理设备中。
本实施例中,升降机构3包括行程机构301,行程机构301上滑动设置有放置架302,放置架302底部内部两侧对称设置有导向板303,导向板303之间设置有驱动跑道304,放置架302顶部设置有气缸305,气缸305输出端设置有挤压块306,放置架302顶部位于气缸305一侧设置有传感器307,由于输送跑道2是上下层进行设计的,进而需要放置架302在行程机构301上进行升降,放置架302升降至对应的输送跑道2的高度,输送跑道2上的花篮通过导向板303的导向移动至放置架302中,传感器307感应到花篮后,气缸305驱动挤压块306对花篮进行挤压固定,之后放置架302进行升降移动,最后放置架302升降至与接收跑道4同一高度处,通过驱动跑道304将花篮移动至接收跑道4上。
本实施例中,换向跑道5包括连接跑道501,连接跑道501内部位于接收跑道4一侧处设置有换向机构502;换向机构502包括设置在机架1上的底板5021,底板5021上设置有驱动装置5022,驱动装置5022上对称设置有与连接跑道501相互垂直的安装板5023,安装板5023上设置有为连接跑道501让位的避让槽5025,安装板5023侧面上均设置有滚轴5024,滚轴5024上缠绕设置有输送带5026。接收跑道4的高度是高于换向跑道5的,当花篮将要移动至换向跑道5上时,驱动装置5022驱动安装板5023上升,由于设置有避让槽5025,使得安装板5023能够上升至与接收跑道4同一高度,还能够提高输送带5026与花篮的接触面积,进而提高花篮移动至换向跑道5上的稳定性,当花篮完全移动至输送带2056上时,驱动装置5022驱动安装板5023下降至低于连接跑道501的高度,使得花篮在连接跑道501上进行移动。
本实施例中,为了避免花篮从换向机构502上脱落,从而在换向机构502一侧设置有接收板7,能够对花篮进行接收,避免危险的发生。
本实施例中,驱动装置5022包括驱动电机50221,底板5021上设置有轴承座50222,驱动电机50221上设置有与轴承座50222连接的轴50223,轴50223上设置有凸轮50224,凸轮50224上设置有连接座50225。安装板5023安装在连接座50225上,驱动电机50221驱动轴50223进行旋转,带动凸轮50224进行旋转,进而使得连接座50225能够进行持续的上下运动。
本实施例中,为了使得安装座50225能够精准地进行连续的上下运动,从而在底板5021上设置有行程传感器50226,轴50223一端上设置有与行程传感器50226匹配的感应片50227。当行程传感器50226感应到感应片50227时,驱动电机50221将进行反向旋转,从而使得安装座50225精准地进行连续的上下运动。
本实施例中,出料跑道6包括相互垂直设置的第一跑道601和第二跑道602,第二跑道602底部连接设置有顶升气缸603。顶升气缸603驱动第二跑道602上升,使得花篮在第二跑道602上输送,之后顶升气缸603驱动第二跑道602下降,使得花篮转换至第一跑道601上进行输送,从而将花篮输送至下移处理设备中。
在实际工作时,为了提高生产的效率,从而在机架1的上层和下层分别设置有输送跑道2,同时每层上均设置有两个输送跑道2,同时还对应输送跑道2的数量设置有两个升降机构3、接收跑道4以及换向跑道5,从而提高运输的效率,将花篮放置在输送跑道2上,升降机构3上升至与对应的输送跑道2同一高度处,之后花篮输送至升降机构3上,通过挤压块306对花篮进行挤压固定,之后升降机构3下降至与接收跑道4同一高度处,通过驱动跑道304将花篮输送至接收跑道4上,当花篮即将输送至换向跑道5上时,驱动装置5022驱动安装板5023上升,使得输送带2056上升至与接收跑道4同一高度处,使得花篮完全移动至输送带2056上,之后驱动装置5022驱动安装板5023下降至低于连接跑道501的高度,使得花篮在连接跑道501上进行移动,最后将花篮输送至出料跑道6上,从而将花篮输送至下移处理设备中,从而能够对硅片进行转弯换向,同时适用于较小的车间进行生产。
以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例,本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换,均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。
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