具体实施方式

在下文中，将参看附图更详细地描述具体实施例。然而，本发明可用不同形式体现，且不应解释为限于本文中所阐述的实施例。确切地说，提供这些实施例使得本公开将是透彻且完整的，且这些实施例将把本发明的范围完整地传达给所属领域的技术人员。在每一可能的情况下，相似的附图标号在描述和附图中用以指代相同或类似元件。在附图中，出于说明清楚起见而放大层和区的尺寸。附图中的相似附图标号标示相似的元件，且因此将省略其描述。

图1是说明根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备的示意性横截面图。

参考图1，根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备100(下文称为超薄玻璃处理设备100)可包含：载物台110，用于支撑超薄玻璃10；粘合剂提供部件120，用于将粘合剂20提供到由载物台110支撑的超薄玻璃10上；以及非接触式按压部件130，包含多孔板131，所述多孔板131具有多个孔隙131a且通过将气体注入到多个孔隙131a的至少一部分将按压力提供到在其间提供粘合剂20时层压的多个超薄玻璃10上。

在超薄玻璃层压体50通过在多个超薄玻璃10之间提供粘合剂20来形成时，载物台110可支撑超薄玻璃(UTG)10且固定安置于最下部层处的超薄玻璃10。举例来说，载物台110可以吸附固定方式在其多孔表面上支撑超薄玻璃10。此处，孔隙可具有等于或小于超薄玻璃10的厚度T的宽度(或直径)，使得超薄玻璃10在超薄玻璃10的一部分通过吸附力抽吸到孔隙中时不弯曲(bent/curved)。此处，当孔隙的大小不恒定时，最大孔隙可具有等于或小于超薄玻璃10的厚度的宽度。

此处，转移部件(未示出)可通过支撑超薄玻璃10的彼此相对的两个表面的任何一个表面来将超薄玻璃10转移到载物台110上。举例来说，转移部件120可通过以吸附固定方式支撑超薄玻璃10来转移超薄玻璃10，且包含转移机器人。此处，类似于载物台110，转移部件(未示出)的用于吸附固定的孔隙可具有等于或小于超薄玻璃10的厚度的宽度(或直径)。此处，转移部件(未示出)可转移(或提供)安置于最下部层处且接触载物台110的超薄玻璃10，将超薄玻璃10提供到安置于超薄玻璃10上的粘合剂薄片20上，或将超薄玻璃10转移到载物台110上以使得暴露面向载物台110的表面。此外，安置于最下部层处的超薄玻璃10可支撑于载物台110上且通过使用除转移部件120之外的另一装置通过移动载物台110来设置在处理位置处。

图2是根据示范性实施例的用于解释粘合剂提供部件的粘合剂的提供的概念图，图2的(a)是说明第一粘合剂的提供的视图，且图2的(b)是说明第二粘合剂的提供的视图。

参考图2，粘合剂提供部件120可将粘合剂20提供到由载物台110支撑的超薄玻璃10上，接触载物台110上的向上暴露的超薄玻璃10以提供粘合剂20，且通过粘合剂20粘合多个超薄玻璃10。此处，粘合剂提供部件120可将具有粘度的液化粘合剂20施加和提供到超薄玻璃10上，或将如树脂的液化粘合剂20印刷到超薄玻璃10上。此处，粘合剂20可通过如紫外(ultra-violet；UV)的光来光固化且在固化时具有提高的粘合力。

举例来说，在用具有预定波长的光照射时，粘合剂20可快速地固化，且具有预定波长的光可以是具有特定波长带的UV或可见光。此处，粘合剂20可以是光固化粘合剂或紫外线粘合剂，其通过具有254纳米或365纳米的波长带的UV固化，且光起始剂可含于粘合剂20中。

此处，粘合剂提供部件120可将第一粘合剂21提供到超薄玻璃10的边缘部分且将不同于第一粘合剂21的第二粘合剂22提供到超薄玻璃10的中心部分。此处，第一粘合剂21和第二粘合剂22可在粘度、材料(或组合物)、密度以及材料状态(例如，液体、凝胶或固体)中的至少一种上不同。举例来说，第一粘合剂21和第二粘合剂22可具有不同粘度，且因此具有不同材料和/或密度。此外，第一粘合剂21可由具有第一波长的光固化，且第二粘合剂22可由具有不同于第一波长的第二波长的光固化。

粘合剂提供部件120可通过区分超薄玻璃10的边缘部分和中心部分来提供粘合剂20。也就是说，用于限制或防止粘合剂20(即，第二粘合剂和/或第一粘合剂)从超薄玻璃10偏离和泄漏的围坝部分或密封部分可形成于超薄玻璃10的边缘部分处，且用于在由围坝部分或密封部分包围的空间中扩散以稳定地将多个超薄玻璃10彼此粘合的粘合剂20(即，第二粘合剂)可形成于超薄玻璃10的中心部分处。此处，第一粘合剂21可以是用于形成围坝部分或密封部分的粘合剂20。第一粘合剂可呈具有粘度的液相且施加在超薄玻璃10的边缘部分上。具有高粘度的粘合剂20可用于有效地形成围坝部分或密封部分。此外，第二粘合剂22可以是通过按压非接触式按压部件130在由围坝部分或密封部分包围的空间中扩散的粘合剂20。举例来说，第二粘合剂22可呈具有粘度的液相且施加到超薄玻璃10的中心部分上，且具有低粘度的粘合剂20可用于在多个超薄玻璃10之间有效地扩散。

举例来说，第一粘合剂21和第二粘合剂22可印刷在超薄玻璃10上。第一粘合剂21可通过第一粘合剂释放部件121沿着(或围绕)超薄玻璃10的边缘部分印刷，且第二粘合剂22可通过第二粘合剂释放部件122印刷在由围坝部分或密封部分包围的空间(即，超薄玻璃的中心部分)中。

非接触式按压部件130可以非接触式方式将按压力提供到用其间的粘合剂20层压的多个超薄玻璃10上，且允许彼此面向(或彼此邻近)的多个超薄玻璃10彼此靠近，使得粘合剂20在多个超薄玻璃10之间均一地扩散。举例来说，非接触式按压部件130可安置于载物台110上以缓慢地按压暴露于载物台110上的上部超薄玻璃10，使得液化粘合剂20在多个超薄玻璃10之间均一地扩散。

此处，非接触式按压部件130可包含具有多个孔隙131a的多孔板131且将气体(例如，空气)注入到多个孔隙131a的至少一部分。此处，孔隙131a可包含不规则地形成的孔隙或规则地布置以形成路径的穿孔。此处，当孔隙131a是不规则地形成的孔隙时，两个或大于两个孔隙可彼此连通以形成气体流动通过的沟道。举例来说，由于两个或大于两个孔隙131a彼此连通，故可形成多孔板131的连接(或连通)彼此相对的第一表面和第二表面的沟道。

由于按压力通过将气体注入到多个孔隙131a的至少一部分来提供到多个超薄玻璃10上，故多个超薄玻璃10可以非接触式方式粘合，且超薄玻璃10的表面的污染和破裂(或损害)可被防止。

此处，非接触式按压部件130可同时将按压力提供到超薄玻璃10的整个表面(或前表面)，同时将按压超薄玻璃10的按压表面(或表面)，且以通过同时按压整个超薄玻璃10粘合多个超薄玻璃10的整个表面粘合方法来粘合多个超薄玻璃10。因此，相较于当超薄玻璃10的部分表面通过使用滚轮或类似物来依序按压时的情况，粘合多个超薄玻璃10的节拍时间(tact time)可进一步减少。

此处，多孔板131的平面面积(或水平面积)可等于或大于超薄玻璃10的平面面积。也就是说，多孔板131可具有等于或大于超薄玻璃10的平面面积。因此，多孔板131可通过将按压力(即，气体压力)提供到超薄玻璃10的整个表面来按压超薄玻璃10且通过整个表面粘合方法来粘合多个超薄玻璃10。举例来说，气体可通过允许多个孔隙131a的分布区域在多孔板131的整个平面面积中与超薄玻璃10的平面面积相同来注入到超薄玻璃10的整个表面。通过这，气体压力(或大气压)可提供到超薄玻璃10的整个表面且按压超薄玻璃10。当由多孔板131的每一区域的孔隙131a引起的气体压力分布通过选择性地控制多个孔隙131a的内压来调整时，提供抽吸空气(或气体)的抽吸力的负压可形成于多个孔隙131a的一部分中。

由于超薄玻璃10具有等于或小于约150微米的极小厚度，故当执行如将超薄玻璃10切割成预定大小或预定形状的切割工艺或微调超薄玻璃10的边缘表面的边缘工艺的工艺时，超薄玻璃10的处置难以引起超薄玻璃10的左/右摇动，由此产生损害，例如，易于破裂。

因此，在示范性实施例中，由于超薄玻璃层压体50通过经由粘合剂20层压多个超薄玻璃10来形成，故其厚度可增加超过150微米以在如边缘工艺的切割工艺的工艺期间容易地执行处置。因此，可执行稳定处置以允许精确工艺且防止超薄玻璃10在处理期间受损。此外，可一次处理多个超薄玻璃10，因此可处理在大小或类似物上具有极好工艺均一性的超薄玻璃10，且可减小切割工艺的数目以缩短用于处理超薄玻璃10的节拍时间。

根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可还包含用于测量粘合剂20的高度和层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度中的至少一个的高度测量部件140。

高度测量部件140可测量粘合剂20的高度和/或层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度，以及粘合剂20的高度和/或在多个点处层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度。高度测量部件140可测量提供(或施加)在超薄玻璃10上的粘合剂20的高度、两个或大于两个点处的粘合剂20的左右侧和/或前后侧的高度以及四个或大于四个点处的粘合剂20的前后和左右侧的高度。此处，通过非接触式按压部件130提供到多个超薄玻璃10上的按压力可通过使用粘合剂20的所测量高度(例如，平均高度)来确定，且可确定允许粘合剂20在多个超薄玻璃10之间均一地扩散的恰当按压力。此外，提供在超薄玻璃10上的粘合剂20的平坦度(或水平度)可通过使用在两个或大于两个点处测量的粘合剂20的高度来测量，多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压可根据粘合剂20的所测量平坦度来调整，且按压力(或气体压力)可针对超薄玻璃10的每一区域而改变。举例来说，由于针对多孔板131的每一区域选择性地控制孔隙131a的内压，故可调整由超薄玻璃10的每一区域的孔隙131a引起的气体压力(或按压力)。此处，相对高气体压力可提供到具有粘合剂20的相对高高度的区域，且相对低气体压力可提供到具有粘合剂20的相对低高度的区域。

此外，高度测量部件140可测量多个点处的超薄玻璃10的高度，和安置于(最)上部部分处且层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度。此处，超薄玻璃10的左右平坦度和/或前后平坦度可通过使用在两个或大于两个点处测量的超薄玻璃10的高度来测量，且超薄玻璃10的高度可测量于四个或大于四个点处以测量(或调整)所有前后和左右侧的平坦度。可根据超薄玻璃10的所测量平坦度针对超薄玻璃10的每一区域来调整由孔隙131a引起的气体压力，且由于选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压，故可调整由孔隙131a引起的针对超薄玻璃10的每一区域提供的气体压力。举例来说，相对高气体压力可提供到具有超薄玻璃10的相对高高度的点(或区域)，且相对低气体压力可提供到具有超薄玻璃10的相对低高度的点。通过这，多个超薄玻璃10在其中彼此粘合和层压的超薄玻璃层压体50的平坦度可维持在预定水平下。

此处，高度测量部件140可测量仅安放在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度和安置于按压和粘合的多个超薄玻璃10的(最)上部部分处的超薄玻璃10的高度。当测量仅安放在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度时，由于控制由孔隙131a引起的针对超薄玻璃10的每一区域提供的气体压力，故气体压力(分布)或按压力可提供到仅安放在粘合剂20上的超薄玻璃10。此外，当测量安置于按压和粘合的多个超薄玻璃10的上部部分处的超薄玻璃10的高度时，由于控制由孔隙131a引起的针对超薄玻璃10的每一区域提供的气体压力，故气体压力或按压力可提供到待随后层压的超薄玻璃10。

此外，高度测量部件140可用于通过使用初始超薄玻璃10a确定多孔板131的每一区域的相对压力变量分布的工艺，且其详细描述将详细地描述于确定相对压力变量分布的工艺中。

此外，施加到多个超薄玻璃10上的按压力可通过测量粘合剂20的高度和/或层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度来确定。此处，可根据粘合剂20的平坦度和/或通过使用粘合剂20的所测量高度和/或层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的所测量高度测量的超薄玻璃10的平坦度来改变针对超薄玻璃10的每一区域提供的按压力。此处，根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可还包含用于存储通过使用通过高度测量部件140测量的粘合剂20的高度和层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度中的至少一个所确定的按压力(分布)的按压力存储部件(未示出)。可按压安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10，且多个超薄玻璃10可通过根据存储于按压力存储部件(未示出)中的按压力(分布)将按压力提供到多个超薄玻璃10上来粘合到彼此。

根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可还包含用于选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压的控制部件150。

控制部件150可选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压，通过这，调整(或调节)多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压分布，且调整由孔隙131a引起的针对超薄玻璃10的每一区域提供的气体压力。因此，可根据通过使用高度测量部件140测量的所施加粘合剂20的高度和/或所层压超薄玻璃10的表面高度来控制和/或补偿由孔隙131a引起的气体压力分布(或按压力)。

此处，控制部件150可独立地控制多个孔隙131a中的每一个的内压，且由于分组多个孔隙131a当中的两个或大于两个孔隙131a，故可独立地控制每一群组的内压。举例来说，控制部件150可通过控制提供到连接到多个孔隙131a以供应气体的气体供应管132a中的每一个的气体阀132b和/或提供到连接到多个孔隙131a以用于在多个孔隙131a中形成真空(压力)的真空管中的每一个的真空阀133b来选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。此处，当独立地控制多个孔隙131a中的每一个的内压时，多个气体供应管132a和/或多个真空管133a可分别连接到多个孔隙131a，且气体阀132b和/或真空阀133b可提供到气体供应管132a和/或真空管133a中的每一个。此外，当分组多个孔隙131a当中的两个或大于两个孔隙131a时，由于分别根据多个所分组孔隙131a来分组连接到多个孔隙131a的多个气体供应管132a和/或多个真空管133a，故气体阀132b和/或真空阀133b可提供到气体供应管132a和/或真空管133a的每一群组。

根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备100可还包含用于存储多孔板131的每一区域的对表面按压的相对压力变量分布的压力变量分布存储部件155。

压力变量分布存储部件155可存储多孔板131的每一区域的通过多孔板131表面按压超薄玻璃10的相对压力变量分布。通过这，气体可注入到孔隙131a的至少一部分，且按压力可通过根据多孔板131的每一区域的所存储相对压力变量分布来控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压而提供到整个超薄玻璃10。此处，能够将均一按压力提供到超薄玻璃10的整个表面的多孔板131的每一区域的相对压力变量分布可存储于压力变量分布存储部件155中。此处，通过补偿(或控制)多孔板131的每一区域的孔隙131a的相对压力变量获得的多孔板131的每一区域的孔隙131a的相对压力变量分布可更新且存储于压力变量分布存储部件155中以便根据通过高度测量部件140测量的粘合剂20的高度和/或层压在粘合剂20上的超薄玻璃10的高度来平坦化超薄玻璃层压体50。

举例来说，多孔板131的每一区域的相对压力变量分布可作为图表或映射存储在压力变量分布存储部件155中。多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压可通过根据图表或映射将相对压力变量反映到每一区域或每一孔隙131a来形成。

此外，控制部件150可根据存储于压力变量分布存储部件155中的多孔板131的每一区域的相对压力变量分布来选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。此外，控制部件150可根据多孔板131的每一区域的相对压力变量分布来选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压以将均一按压力提供到超薄玻璃10的整个表面。此外，当粘合剂20和/或层压在粘合剂20上的超薄玻璃10倾斜而非平坦化时，超薄玻璃层压体50可通过提供超薄玻璃10的每一区域不同的按压力来平坦化。

图3是说明根据示范性实施例的包含多个单元板的多孔板的透视图。

参考图3，多孔板131可包含各自包含其中的孔隙131的多个单元板131b。一个孔隙131a或多个孔隙131a可形成于单元板131b中的每一个中。当一个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，一个气体供应管132a和/或一个真空管133a可连接到每一单元板131b以易于独立地控制每一孔隙131a的内压。此外，当多个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，多个孔隙131a可针对每一单元板131b而分组，且气体供应管132a和/或真空管133a可连接到每一单元板131b以易于独立地控制每一群组的每一所分组孔隙131a的内压。通过这，可控制每一单元板131b的孔隙131a的内压，且因此可控制(或调整)多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。

此处，控制部件150可独立地控制多个单元板131b中的每一个的孔隙131a的内压，且由于独立地控制每一单元板131b，故当一个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，可独立地控制每一孔隙131a的内压。此外，当多个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，控制部件150可控制每一群组的针对每一单元板131b分组的孔隙131a。此处，多个单元板131b的数目可等于或大于在其处测量粘合剂20的高度和/或超薄玻璃10的高度的多个点的数目。通过这，每一单元板131b的孔隙131a的内压可以与多个点处的高度差异匹配的形式确定，且多个超薄玻璃10可在超薄玻璃层压体50的平坦度维持在预定水平下时被层压和粘合。

非接触式按压部件130可还包含以下中的至少一个：气体供应源132，连接到将气体提供到孔隙131a的至少一部分的多孔板；以及真空泵133，与多孔板131连接以在多个孔隙131a当中的孔隙131a的其余部分中形成负压。气体供应源132可与多孔板131连接且通过气体供应管132a将气体供应到孔隙131a的至少一部分。此处，气体供应管132a可连接到所有多个孔隙131a，提供到气体供应管132a的气体阀132b可个别地由控制部件150控制以将气体选择性地提供到多个孔隙131a，且气体可供应到多个孔隙131a当中的孔隙131a的至少一部分。此处，气体阀132b可调整提供到孔隙131a的气体量，且孔隙131a的内压(或注入压力)可根据提供到孔隙131a的气体量来确定。

真空泵133可通过真空管133a与多孔板131连接，且抽吸(或吸收)空气(或气体)以在多个孔隙131a当中的孔隙131a的其余部分中形成负压(或真空压力)。此处，真空管133a可连接到所有多个孔隙131a，且负压可不在气体的注入(即，正压)在所有多个孔隙131a中必要时形成于所有多个孔隙131a中。也就是说，由于提供到每一真空管133a的真空阀133b个别地由控制部件150控制，故负压可选择性地形成于多个孔隙131a中，且负压可形成于多个孔隙131a当中的孔隙131a的其余部分中。此处，由于由气体注入引起的按压力有必要提供到多个超薄玻璃10上，故绝对需要多个孔隙131a当中的注入气体的孔隙131a，但不需要多个孔隙131a当中的在其中形成负压的孔隙131a。此处，真空阀133b可调整形成于孔隙131a中的真空压力(或负压)的强度，且孔隙131a的内压(或抽吸力)可根据形成于孔隙131a中的真空压力来确定。

气体压力分布(即，多孔板的每一区域的相对压力变量分布)是重要的，使得在维持平坦化状态而非倾斜时按压平坦化且提供在粘合剂20上的超薄玻璃10，或通过按压平坦化倾斜和层压的超薄玻璃10。此处，当通过使用从孔隙131a注入的气体的仅强度(即，正压)来调整气体压力分布时，但安置于局部部分(或部分区域)处的孔隙131a的注入压力减小，或到安置于局部部分处的孔隙131a的气体供应被阻挡(或阻止)，甚至对应于局部部分的超薄玻璃10的(局部)部分可接收按压力作为从围绕其的孔隙131a注入的气体的注入压力的效果。由于这，可不执行按压和推动超薄玻璃10的一部分以及抽吸(或吸收)和牵拉超薄玻璃10的另一部分的特征。因此，可不执行在维持超薄玻璃10的平坦度时按压超薄玻璃10或在平坦化倾斜的超薄玻璃10时按压超薄玻璃10的特征。

然而，当负压通过真空泵133形成于安置于局部部分处的孔隙131a中时，从孔隙131a注入的气体的注入压力(即，正压)的效果可由负压抵消以将用于抽吸和牵拉的抽吸力提供到对应于局部部分的超薄玻璃10的(局部)部分。通过这，可按压和推动超薄玻璃10的一部分(即，对应于局部部分的超薄玻璃的一部分的另一部分)，且可抽吸和牵拉超薄玻璃10的另一部分(即，对应于局部部分的超薄玻璃的一部分)。因此，可在通过调整超薄玻璃10的每一部分处的按压力和抽吸力来维持超薄玻璃10的平坦度时按压超薄玻璃10，或可在平坦化倾斜的超薄玻璃10时按压超薄玻璃10。

图4是用于解释根据示范性实施例的由处理部件执行的切割工艺的概念图，图4的(a)是说明通过使用切割轮来切割超薄玻璃层压体的视图，且图4的(b)是说明分离成具有预定大小的层压体单元的超薄玻璃层压体的视图。

参考图4，超薄玻璃处理设备100可还包含用于处理其中层压多个超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50的处理部件。

处理部件可处理其中层压多个超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50，且可执行工艺，如将超薄玻璃层压体50切割成预定大小或形状的切割工艺和/或微调边缘表面的边缘工艺。此处，切割工艺可通过必要预定大小来切割超薄玻璃层压体50以分离(或划分)成层压体单元5。举例来说，处理部件可包含切割轮161。在切割工艺中，超薄玻璃层压体50可通过使用安装有由金刚石磨料制成的切割轮161的计算机数字控制(computer numericalcontrol；CNC)切割单元来切割(或分离)成各自具有预定大小的层压体单元5。此处，处理部件可通过使用激光的激光切割方法来切割超薄玻璃层压体50。

此外，边缘工艺可去除超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5的边缘表面上的碎片(chipping)。举例来说，可通过使用抛光轮来去除超薄玻璃层压体50和/或形状经过处理的层压体单元5的边缘表面处存在的微碎片。此处，可将具有极好耐久性的软布用作抛光轮的表面材料。可对超薄玻璃层压体50的多个超薄玻璃10中的每一个和/或层压体单元5的边缘表面执行化学边缘抛光以便形成以“C”形倒圆的C角。在超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5牢固地安装到化学边缘愈合设备且接着定位成充分浸渍到填充有化学抛光溶液的边缘愈合浴中的状态下缓慢地旋转超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5的同时，可执行化学抛光以均匀地愈合整个边缘表面。通过这，超薄玻璃10可具有极好边缘强度和提高的弯曲强度，且多个超薄玻璃10中的每一个可容易地与超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5分离。

在示范性实施例中，由于超薄玻璃层压体50通过由粘合剂20层压多个超薄玻璃10来形成，故其厚度可增加超过150微米以在如边缘工艺的切割工艺的工艺期间容易地执行处置。因此，可执行稳定处置以允许精确工艺且防止超薄玻璃10在处理期间受损。此外，可一次处理多个超薄玻璃10，因此可处理在大小或类似物上具有极好工艺均一性的超薄玻璃10，且可减小切割工艺的数目以缩短用于处理超薄玻璃10的节拍时间。

此处，超薄玻璃10可具有10微米到150微米的厚度，且超薄玻璃层压体50可通过层压两个到五十个超薄玻璃10来形成。通常，玻璃具有脆性。当玻璃具有在其厚度超过150微米时的硬度时，玻璃可能不容易弯曲。因此，当强制弯曲玻璃时，玻璃可能破裂。因此，由于玻璃在维持产品性能时可不弯曲，故可不将玻璃应用于柔性显示器。因此，可通过用蚀刻剂蚀刻具有超过400微米的厚度的原始板玻璃来制造(或制备)具有在10微米到150微米的范围内的减小厚度的超薄玻璃10，且超薄玻璃10可具有在10微米到150微米的范围内的厚度。

近年来，需要将具有在1毫米到10毫米的范围内的弯曲半径(R)的超薄玻璃10应用于可折叠显示器，且根据示范性实施例的超薄玻璃10可具有在1毫米到10毫米的范围内的弯曲半径。此处，超薄玻璃10的柔性可通过弯曲半径来表征。弯曲半径(R)可测量为超薄玻璃10的弯曲位置处的内曲率，且通过超薄玻璃10的厚度(T)、杨氏模量以及弯曲强度来确定。此处，超薄玻璃10的极小厚度、低杨氏模量以及高弯曲强度可有助于超薄玻璃10的小弯曲半径和极好柔性。尽管超薄玻璃10可在150微米或小于150微米的厚度下具有柔性，但具有在100微米到150微米的范围内的厚度的超薄玻璃10可仅在可弯曲水平下进行弯曲，且可不在弯曲半径(R)在1毫米到10毫米的范围内的可折叠水平下进行弯曲。因此，超薄玻璃10可具有在10微米到100微米的范围内的厚度，使得超薄玻璃10在可折叠水平下进行弯曲。

可对超薄玻璃10进行化学强化以具有高弯曲强度和/或低杨氏模量。此处，化学强化可通过超薄玻璃10的表面和/或边缘的涂布来进行。举例来说，化学强化可通过在超薄玻璃10的表面上形成压缩应力层来强化超薄玻璃10的表面。也就是说，超薄玻璃10可在其表面上包含通过化学强化形成的压缩应力层。压缩应力层可通过超薄玻璃的表面处的离子交换来形成于超薄玻璃10的表面上，且当超薄玻璃10弯曲时，压缩应力可对应于拉伸应力。因此，可提高超薄玻璃10的弯曲强度，可容易地进行超薄玻璃10的处置和处理，可减小超薄玻璃10的弯曲半径，且可提高超薄玻璃10的柔性。

此处，具有含有碱金属(例如，Li、Na、K等)和/或铝(Al)的组合物的超薄玻璃10可在特定厚度(例如，约100微米或小于100微米的厚度)下获得高机械强度以及极好柔性和弯曲属性。可形成压缩应力层，且可通过使用碱金属氧化物(例如，K₂O、Na₂O以及Li₂O)作为玻璃处理改性剂来对超薄玻璃10进行化学强化，以产生Na⁺/Li⁺、Na⁺/K⁺以及Li⁺/K⁺与超薄玻璃10中存在的钠(Na)和锂(Li)的离子交换。

举例来说，化学强化可通过将超薄玻璃10浸渍到含有用于与超薄玻璃10中的碱金属离子交换的单价离子的盐浴中来进行，且盐浴的单价离子的直径可大于超薄玻璃10中的碱金属离子的直径。因此，可产生在离子交换之后作用于超薄玻璃10的表面的压缩应力，且通过这，可提高超薄玻璃10的弯曲强度和柔性。由化学强化产生的压缩应力(compressivestress；CS)可提高超薄玻璃10的耐刮擦性，使得超薄玻璃10不易刮擦，且离子交换层的深度(depth of an ion-exchange layer；DoL)可提高刮擦耐受性，使得超薄玻璃10即使在刮擦时也较少破裂。

最典型地用于化学强化中的盐包含含有熔融盐的Na⁺、含有熔融盐的K⁺或其混合物。频繁使用的盐可包含NaNO₃、KNO₃、NaCl、KCl、K₂SO₄、Na₂SO₄以及Na₂CO₃，且NaOH、KOH以及如其它钠盐、钾盐或铯盐的添加剂可用于进一步极好地控制化学强化的离子交换速度。

此处，超薄玻璃10可以是含有碳酸钠(Na₂CO₃)的钠钙玻璃，且超薄玻璃10的表面处的钠离子(Na⁺)的一部分可由钾离子(K⁺)取代，所述钾离子在玻璃转化温度(或软化温度)或更高温度下各自具有更大离子半径。也就是说，由于具有较大粒度的K+插入到超薄玻璃10的结构中的超薄玻璃10的内部空间(在其中使用Na+来插入)，使得完全填充小的内部空间，故超薄玻璃10的表面可进一步强烈地压缩以具有极好弹性和抗刮擦性。由于钾离子(K+)的颗粒大小大于钠离子(Na+)的颗粒大小以占据更大空间，故当超薄玻璃10冷却时，具有强压缩应力的层(即，压缩应力层)可形成于超薄玻璃10的表面上以具有防止刮擦的耐久性。此外，超薄玻璃10可以是含有玻璃(例如，碱金属硅酸盐玻璃、碱金属硼硅酸盐玻璃、碱金属铝硼硅酸盐玻璃、碱金属硼玻璃、碱金属锗酸盐玻璃、碱金属硼锗酸盐玻璃以及其组合)的碱金属且可含有碱金属以允许离子交换和化学强化。

超薄玻璃层压体50可通过层压两个到五十个超薄玻璃10来形成。可通过使用物理抛光方法按一片单元对具有150微米(0.15毫米)或大于150微米的厚度的玻璃执行如边缘处理的工艺，且可在玻璃的边缘处形成以“C”形倒圆的C角。然而，由于具有小于150微米的厚度的超薄玻璃10 100％破裂，故物理抛光方法可不应用于一片单元。为了防止超薄玻璃10在按一片处理时100％受损，可通过层压两片到五十片超薄玻璃10来形成具有150微米或大于150微米的厚度的超薄玻璃层压体50，且接着可对超薄玻璃层压体50执行如切割工艺或边缘工艺的工艺。当在形成超薄玻璃层压体50之后一次处理多个超薄玻璃10时，由于其厚度超过150微米，故可在如切割工艺或边缘工艺的工艺期间容易地执行处置。因此，可执行稳定处置以允许精确工艺且防止超薄玻璃10在处理期间受损。此外，由于一次处理多个超薄玻璃10，故可处理在大小或类似物上具有极好工艺均一性的超薄玻璃10，且可减小切割工艺的数目以缩短用于处理超薄玻璃10的节拍时间。

图5是表示根据另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法的流程图。

在下文中，将参考图5更详细地描述根据另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法，且将省略与在根据示范性实施例的超薄玻璃处理设备中所描述的特征重复的特征。

根据另一示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可包含：在载物台110上支撑第一超薄玻璃11的工艺S100；将粘合剂20提供到由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上的工艺S200；将第二超薄玻璃12提供到粘合剂20上的工艺S300；以及通过将气体注入到多孔板131的多个孔隙131a的至少一部分来将按压力提供到第二超薄玻璃12上的工艺S400。

首先，在工艺S100中，将第一超薄玻璃11支撑在载物台110上。第一超薄玻璃11可支撑在载物台110上，且当第二超薄玻璃12通过粘合剂20层压在第一超薄玻璃11上时，第一超薄玻璃11可固定而不在形成超薄玻璃层压体50时移动。举例来说，载物台110可在其多孔表面上吸附和固定第一超薄玻璃11。

其后，在工艺S200中，将粘合剂20提供于由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上。粘合剂20可提供于由载物台110支撑的第一超薄玻璃11上，且第二超薄玻璃12可通过粘合剂20与第一超薄玻璃11粘合。此处，粘合剂提供部件120可用于将具有粘度的液化粘合剂20施加和提供到第一超薄玻璃11上，或将如树脂的液化粘合剂20印刷到第一超薄玻璃11上。此处，粘合剂20可通过如紫外(UV)的光来光固化且在固化时具有提高的粘合力。

其后，在工艺S300中，将第二超薄玻璃12提供在粘合剂20上。由于第二超薄玻璃12提供在粘合剂20上，故第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12可通过粘合剂20彼此粘合。此处，第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12可以是相同的超薄玻璃10且根据层压次序来区分。

此外，在工艺S400中，通过将气体(例如，空气)注入到多孔板131的多个孔隙131a的至少一部分来将按压力提供到第二超薄玻璃12上。按压力可提供到第二超薄玻璃12上，且通过允许彼此面对的第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12彼此靠近，粘合剂20可在第一超薄玻璃11与第二超薄玻璃12之间均一地扩散。举例来说，通过缓慢按压暴露于载物台110上的第二超薄玻璃12，液化粘合剂20可在第一超薄玻璃11与第二超薄玻璃12之间均一地扩散。此处，多孔板131可具有多个孔隙131a，且孔隙131a可包含不规则地形成的孔隙或规则地布置以形成路径的穿孔。此处，多孔板131可将气体注入到多个孔隙131a的至少一部分。由于按压力通过将气体注入到多个孔隙131a的至少一部分来提供到安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10上，故多个超薄玻璃10可以非接触式方式粘合，且可防止安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10的表面的污染和损害。

也就是说，由于按压力通过将气体注入到多孔板131以非接触式方式提供到第二超薄玻璃12上，故第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12可在防止第二超薄玻璃12的表面上的污染和损害的同时粘合到彼此。

第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12可通过粘合剂薄片20彼此层压，以形成在其中层压两片到五十片超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50。可通过使用物理抛光方法以一片单元的形式对具有150微米(0.15毫米)或大于150微米的厚度的玻璃执行如边缘工艺的工艺，且可在玻璃的边缘处形成以“C”形倒圆的C角。然而，由于当执行以上工艺时，具有小于150微米的厚度的第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12 100％受损，故物理抛光方法可不应用于一片单元。为了防止第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12在按一片处理时100％受损，可在通过在第一超薄玻璃11上层压一片到四十九片第二超薄玻璃12来形成具有150微米或大于150微米的厚度的超薄玻璃层压体50之后执行如切割工艺或边缘工艺的工艺。当在形成超薄玻璃层压体50之后一次处理第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12时，由于超薄玻璃层压体50具有超过150微米的厚度，故可在如切割工艺或边缘工艺的工艺中容易地处置超薄玻璃层压体50。因此，可执行稳定处置以允许精确工艺且防止超薄玻璃11在处理期间受损。此外，由于一次处理第一超薄玻璃11或第二超薄玻璃12(即，多个超薄玻璃)，故可处理在大小或类似物上具有极好工艺均一性的超薄玻璃10，且如切割工艺的工艺的数目可减小以缩短用于处理多个超薄玻璃10的节拍时间。

此处，可形成在其中层压三片或更多片超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50。举例来说，为了形成在其中层压三片超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50，第三超薄玻璃13可进一步层压在第二超薄玻璃12上，且为了形成在其中层压n片超薄玻璃10的超薄玻璃层压体50，(n-2)片超薄玻璃可进一步层压在第二超薄玻璃12上直到第n个超薄玻璃10n。此处，由于粘合剂20提供在安置于(最)上部部分处的所暴露超薄玻璃10的表面(例如，第二超薄玻璃的表面)上，故可进一步层压第(n-2)片超薄玻璃。第一超薄玻璃11、第二超薄玻璃12以及第三超薄玻璃13可基于层的数目而进行区分，且安置于n层处的超薄玻璃10可以是第n个超薄玻璃10n。

图6是用于解释根据另一示范性实施例的确定按压力的概念图，图6的(a)是说明通过根据粘合剂的高度非均一性来确定按压力的非均一多孔板的每一区域的气体压力分布的视图，且图6的(b)是说明通过非均一多孔板的每一区域的气体压力分布平坦粘合的第一超薄玻璃和第二超薄玻璃的视图。

参考图6，根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可还包含：测量粘合剂20的高度的工艺；以及确定由多孔板131引起的按压力的工艺。

可在工艺中测量粘合剂20的高度。可通过使用高度测量部件140来测量提供在超薄玻璃10上(例如，第一超薄玻璃上)的粘合剂20的高度。此处，可在多个点处测量粘合剂20的高度，可在两个或大于两个点处测量粘合剂20的左右侧和/或前后侧的高度，且可在四个或大于四个点处测量粘合剂20的前后和左右侧的高度。

此外，可在工艺中确定由多孔板131引起的按压力。通过非接触式按压部件130提供在安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10上(例如，第二超薄玻璃上)的由多孔板131引起的按压力可通过使用粘合剂20的所测量高度(例如，平均高度)来确定。也就是说，可确定允许粘合剂20在多个超薄玻璃10之间(例如，第一超薄玻璃与第二超薄玻璃之间)均一地扩散的恰当按压力。举例来说，当粘合剂20具有高的高度和大的量时，可提供低按压力以防止粘合剂20溢出且泄漏在超薄玻璃10上(例如，第一超薄玻璃上)。此外，当粘合剂20具有低的高度和少的量时，可提供低按压力以使得粘合剂20在超薄玻璃10上(例如，第一超薄玻璃上)均一地扩散。此处，由于当粘合剂20因为其少量而不从超薄玻璃10溢出和泄漏时，与粘合剂20的高度成正比地提供按压力，故可最大限度地减小多个超薄玻璃10之间的间隙。也就是说，由于当粘合剂20具有高的高度时提供高按压力，且当粘合剂20具有低的高度时提供低按压力，故可减小多个超薄玻璃10之间的间隙。

此外，提供在超薄玻璃10上的粘合剂20的平坦度可通过使用在两个或大于两个点处测量的粘合剂20的高度来测量，且由超薄玻璃10(例如，第二超薄玻璃)的每一区域的孔隙131a引起的气体压力可根据粘合剂20的所测量平坦度来调整。举例来说，如在图6的(a)中，针对多孔板131的每一区域选择性地控制孔隙131a的内压，由超薄玻璃10的每一区域的孔隙131a引起的气体压力可被调整。此处，相对高气体压力可提供到具有粘合剂20的相对高高度的区域，且相对低气体压力可提供到具有粘合剂20的相对低高度的区域。

如上文所描述，可通过测量多个点处的粘合剂20的高度将确定由多孔板131引起的按压力。此处，可根据所确定按压力稳定地粘合多个超薄玻璃10，且超薄玻璃层压体50可通过按压安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10来维持在预定水平下的平坦度。

根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可还包含确定多孔板131的每一区域的对表面按压的相对压力变量分布的工艺。

可在工艺中确定多孔板131的每一区域的对表面按压的相对压力变量分布。由于孔隙131a不规则地形成于多孔板131中，故多孔板131的每一区域的孔隙131a的密度可改变，且提供到安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10的每一区域(或部分)的按压力可改变。此外，由于多孔板131的孔隙131a彼此间隔开，故在孔隙131a之间产生在其中不形成孔隙131a的部分。归因于这部分，由于距最近孔隙131a的距离根据安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10的部分(或点)而改变，故所提供的按压力可根据安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10的一部分而改变。此外，由于产生多个孔隙131a之间的大小误差，故可改变提供到安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10的每一部分的按压力。虽然在多孔板131的每一区域的孔隙131a的密度改变时，相同内压提供到所有多个孔隙131a，或多个孔隙131a之间的间隔(距离)或大小误差，但按压力可不均一地提供到安置于(最)上部部分处的整个超薄玻璃10上。因此，当通过用相同气体压力(分布)按压安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10来按压多个超薄玻璃10时，可降低超薄玻璃层压体50的平坦度。因此，可确定多孔板131的每一区域的相对压力变量分布以将均一按压力提供到安置于(最)上部部分处的整个超薄玻璃10上。此外，可确定多孔板131的每一区域的相对压力变量分布，使得超薄玻璃层压体50的平坦度根据粘合剂20的所测量高度和/或超薄玻璃10的所测量高度来维持在预定水平下。举例来说，可确定多孔板131的每一区域的相对压力变量分布，使得高气体压力提供到具有粘合剂20的高测量高度和/或超薄玻璃10的高测量高度的部分(或区域)，且低气体压力提供到具有粘合剂20的低测量高度和/或超薄玻璃10的低测量高度的部分(或区域)。

根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可还包含选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压的工艺。

也就是说，可在工艺中选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。除了将所有多个孔隙131a调整为具有相同内压的工艺之外，可根据多孔板131的每一区域的相对压力变量分布来选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。举例来说，孔隙131a的内压可针对在其处安置每一孔隙131a的每一区域而改变(或区分)。此处，可根据多孔板131的每一区域的相对压力变量分布来选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。此处，多孔板131的每一区域的相对压力变量分布可以是多孔板131的每一区域的所确定相对压力变量分布或多孔板131的每一区域的所校正(或更新)相对压力变量分布。

举例来说，可通过控制部件150选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。因此，可控制(或调整)多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压分布，且可调整针对安置于(最)上部部分处的超薄玻璃10的每一区域提供的由孔隙131a引起的气体压力。因此，可根据通过使用高度测量部件140测量的所施加粘合剂20的高度和/或所层压超薄玻璃10的表面高度来控制和/或补偿由孔隙131a引起的气体压力分布。

此处，可独立地控制多个孔隙131a中的每一个的内压，或由于分组多个孔隙131a当中的两个或大于两个孔隙131a，故可独立地控制每一群组的内压。举例来说，可通过控制连接到多个孔隙131a且提供到气体供应管132a以供应气体的气体阀132b和/或连接到多个孔隙131a且提供到真空管133a以用于在多个孔隙131a中形成真空(压力)的真空阀133b来选择性地控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。此处，当独立地控制多个孔隙131a中的每一个的内压时，多个气体供应管132a和/或多个真空管133a可分别连接到多个孔隙131a，且气体阀132b和/或真空阀133b可提供到气体供应管132a和/或真空管133a中的每一个。此外，当分组多个孔隙131a当中的两个或大于两个孔隙131a时，由于分别根据多个所分组孔隙131a来分组连接到多个孔隙131a的多个气体供应管132a和/或多个真空管133a，故气体阀132b和/或真空阀133b可提供到多个气体供应管132a和/或多个真空管133a的每一群组。

此外，多孔板131可包含各自包含其中的孔隙131的多个单元板131b。一个孔隙131a或多个孔隙131a可形成于单元板131b中的每一个中。当一个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，一个气体供应管132a和/或一个真空管133a可连接到每一单元板131b以易于独立地控制每一孔隙131a的内压。此外，当多个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，多个孔隙131a可针对每一单元板131b而分组，且气体供应管132a和/或真空管133a可连接到每一单元板131b以易于独立地控制每一群组的每一所分组孔隙131a的内压。通过这，可控制每一单元板131b的孔隙131a的内压，且因此可控制(或调整)多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。

孔隙131a的内压的选择性地控制的工艺可通过独立地控制多个单元板131b中的每一个来执行。可独立地控制多个单元板131b中的每一个的孔隙131a的内压，且由于独立地控制单元板131b中的每一个，故当一个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，可独立地控制每一孔隙131a的内压。此外，当多个孔隙131a形成于每一单元板131b中时，可针对每一群组而控制针对每一单元板131b来分组的孔隙131a。此处，多个单元板131b的数目可等于或大于在其处测量粘合剂20的高度和/或超薄玻璃10的高度的多个点的数目。通过这，每一单元板131b的孔隙131a的内压可以与多个点处的高度差异匹配的形式确定，且多个超薄玻璃10可在超薄玻璃层压体50的平坦度维持在预定水平下时被层压和粘合。

图7是说明根据另一示范性实施例的确定多孔板的相对压力变量分布的工艺的视图，图7的(a)是说明其中初始超薄玻璃提供到安置成使得孔隙面向上的多孔板的状态的视图，图7的(b)是说明其中通过将气体注入到所有多个孔隙来浮置初始超薄玻璃的状态的视图，且图7的(c)是说明其中通过在多个孔隙的一部分中形成负压来平坦化浮置初始超薄玻璃的状态的视图。

参看图7，确定每一区域的相对压力变量分布的工艺可包含：将初始超薄玻璃10a提供到多孔板131上的工艺；通过将气体注入到多个孔隙131a当中的孔隙131a的至少一部分来浮置初始超薄玻璃10a的工艺；测量浮置初始超薄玻璃10a的平坦度的工艺；以及通过根据初始超薄玻璃10a的所测量平坦度控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压来平坦化浮置初始超薄玻璃10a的工艺。

在确定每一区域的相对压力变量分布的工艺中，初始超薄玻璃10a可在如图7的(a)中所说明的工艺中提供到多孔板131上。此处，多孔板131可安置成使得孔隙131a面向上。由于多孔板131安置成使得孔隙131a面向上，故初始超薄玻璃10a可提供到多个孔隙131a上，且在浮置初始超薄玻璃10a的同时可确定多孔板131的每一区域的相对压力变量分布。在多孔板131安置成使得孔隙131a面向上之后，初始超薄玻璃10a可提供到多孔板131的多个孔隙131a上，使得气体通过孔隙131a注入到初始超薄玻璃10a。

此外，可在工艺中通过将气体注入到多个孔隙131a当中的孔隙131a的至少一部分来浮置初始超薄玻璃10a。可通过将气体注入到多个孔隙131a的至少一部分来浮置初始超薄玻璃10a。此处，内压可形成于多个孔隙131a中，且孔隙131a中的每一个可形成多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压分布。此处，气体可在未确定多孔板131的每一区域的相对压力变量分布的开始时注入到所有多个孔隙131a。

其后，可在工艺中测量浮置以检查均一按压力是否提供在整个初始超薄玻璃10a上方的初始超薄玻璃10a的平坦度。可通过由高度测量部件140测量多个点的至少两个点处的初始超薄玻璃10a的高度来测量(或调整)浮置初始超薄玻璃10a的平坦度。此处，如在图7的(b)中，浮置初始超薄玻璃10a可不平坦化，且其中浮置初始超薄玻璃10a不平坦化的情况可表示按压力不均一地提供到整个初始超薄玻璃10a。在这种情况下，浮置初始超薄玻璃10a需要平坦化，使得均一按压力提供到整个初始超薄玻璃10a。

其后，浮置初始超薄玻璃10a可在工艺中通过根据初始超薄玻璃10a的所测量平坦度控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压来平坦化。可控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压，且通过这，浮置初始超薄玻璃10a可通过校正浮置初始超薄玻璃10a的平坦度来水平地平坦化。多孔板131的每一区域的相对压力变量分布可根据通过平坦化浮置初始超薄玻璃10a所获得的多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压分布来确定。

此处，平坦化浮置初始超薄玻璃10a的工艺可包含在多个孔隙131a的一部分中形成内压的工艺，所述内压不同于另一孔隙的内压。

不同于另一孔隙的的内压可形成于多个孔隙131a的一部分中，同时在工艺中平坦化浮置初始超薄玻璃10a。此处，如在图7的(c)中，负压可形成于多个孔隙131a的一部分中。举例来说，由于负压形成于对应于在浮置初始超薄玻璃10a中相对提升的部分的孔隙131a中以牵拉相对提升部分，故浮置初始超薄玻璃10a可平坦化。通过这，可校正浮置初始超薄玻璃10a的平坦度。此处，负压可通过连接到多孔板131的真空泵133形成于多个孔隙131a的一部分中。

虽然注入压力在其中浮置初始超薄玻璃10a倾斜的状态中在对应于相对提升部分的孔隙131a中减小，或气体供应停止，但相对提升部分可因为从围绕其的孔隙131a注入的气体的注入压力的效果而不降低到浮置初始超薄玻璃10a平坦化的高度。也就是说，当仅正压形成于多孔板131的多个孔隙131a中时，因为不提供消除正压以使得相对提升部分降低的力而可不牵拉相对提升部分，但孔隙131a的一部分的正压的强度减小。

然而，当负压通过真空泵133形成于多个孔隙131a的一部分中时，从围绕其的孔隙131a注入的气体的注入压力(即，正压)的效果可由负压取消，且相对提升部分可由抽吸力牵拉。因此，倾斜(或非平坦化)的浮置初始超薄玻璃10a可通过匹配多个孔隙131a中的每一个处的正压与负压且调整初始超薄玻璃10a的每一部分处的浮置力(或按压力)和抽吸力来平坦化。

图8是用于解释根据另一示范性实施例的根据第二超薄玻璃的高度来控制多孔板的每一区域的孔隙的内压的概念图，图8的(a)是说明控制用于校正超薄玻璃层压体的平坦度的多孔板的每一区域的孔隙的内压的视图，且图8的(b)是说明通过控制多孔板的每一区域的孔隙的内压来平坦化的超薄玻璃层压体的视图。

参考图8，根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可还包含：测量第二超薄玻璃12的高度的工艺；以及根据第二超薄玻璃12的所测量高度来控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压的工艺。

可在工艺中测量第二超薄玻璃12的高度。可通过高度测量部件140在多个点处测量第二超薄玻璃12的高度。举例来说，可通过使用在两个或大于两个点中测量的第二超薄玻璃12的高度来测量第二超薄玻璃12的左右平坦度和/或前后平坦度。此外，可在四个或大于四个点处测量第二超薄玻璃12的高度以测量所有前后和左右侧的平坦度。此处，在其处测量第二超薄玻璃12的高度的多个点的数目可等于在其处测量粘合剂20的高度的多个点的数目。

此外，可在工艺中根据第二超薄玻璃12的所测量高度来控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。可根据多个点处的第二超薄玻璃12的所测量高度来测量第二超薄玻璃12的平坦度，且可根据第二超薄玻璃12的所测量平坦度来控制(或调整)多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。也就是说，可根据通过反映第二超薄玻璃12的平坦度来校正的多孔板131的每一区域的相对压力变量分布来控制多孔板131的每一区域的孔隙131a的内压。举例来说，如在图8中，可在层压第三超薄玻璃13时施加多孔板131的每一区域的所校正相对压力变量分布。相对高气体压力可在第二超薄玻璃12在其处具有相对高高度的点(或区域)处提供到第三超薄玻璃13上，且相对低气体压力可在第二超薄玻璃12在其处具有相对低高度的点处提供到第三超薄玻璃13上。通过这，在其中粘合和层压多个超薄玻璃10(例如，第一超薄玻璃、第二超薄玻璃以及第三超薄玻璃)的超薄玻璃层压体50的平坦度可维持在预定水平下。

根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可还包含处理在其中层压第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的超薄玻璃层压体50的工艺。

此外，可在工艺中处理在其中层压第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的超薄玻璃层压体50。可处理在其中层压第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12的超薄玻璃层压体50，且可执行工艺，如将超薄玻璃层压体切割成预定大小或形状的切割工艺和/或微调边缘表面的边缘工艺。

也就是说，处理超薄玻璃层压体50的工艺可包含：将超薄玻璃层压体50切割成预定大小的工艺；以及抛光超薄玻璃层压体50的边缘表面的工艺。

超薄玻璃层压体50可在工艺中切割成预定大小。超薄玻璃层压体50可切割成必要预定大小且分离(或划分)成层压体单元5。举例来说，超薄玻璃层压体50可通过使用安装有由金刚石磨料制成的切割轮161的计算机数字控制切割单元来切割(或分离)成具有预定大小的层压体单元5。此处，可通过使用激光的激光切割方法来切割超薄玻璃层压体50。

此外，可在工艺中抛光超薄玻璃层压体50的边缘表面。可执行抛光超薄玻璃层压体50的边缘表面的边缘工艺以去除超薄玻璃层压体50和/或层压体单元5的边缘表面处的碎片。举例来说，可通过使用抛光轮来去除超薄玻璃层压体50和/或形状经过处理的层压体单元5的边缘表面处存在的微碎片。此处，可将具有极好耐久性的软布用作抛光轮的表面材料。此外，可执行用于形成以“C”形倒圆的C角的化学边缘抛光以获得极好边缘强度。

根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的方法可还包含将第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12中的每一个与经过处理的层压体单元5分离的工艺。

可在工艺中将第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12中的每一个与经过处理的层压体单元5分离。第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12中的每一个可通过每一片件与经过处理的层压体单元5分离，且第一超薄玻璃11和第二超薄玻璃12(即，多个超薄玻璃)中的每一个可在通过使用如特殊化学溶液(例如，丙酮类化学品或碱洗涤液体)或去离子(DI)水的溶液进行处理而使粘合剂20熔融之后由手分离。

如上文所描述，根据示范性实施例，可通过将气体注入到多孔板以提供用于以非接触式方式粘合多个超薄玻璃的按压力来防止超薄玻璃的表面的污染和损害。此外，由于多个超薄玻璃通过同时将按压力提供到超薄玻璃的整个按压表面的整个表面粘合方法来粘合，粘合的节拍时间可相较于通过使用滚轮或类似物依序按压每一表面的情况进一步减小。此外，由于多孔板的每一区域的孔隙的内压通过由高度测量部件测量所施加粘合剂的高度和/或所层压超薄玻璃的表面的高度来控制，按压力可针对超薄玻璃的每一区域而不同地调整，且超薄玻璃层压体的平坦度可维持在预定水平下。此外，均一按压力可根据多孔板的状态通过将多孔板的每一区域的相对压力变量分布施加到多孔板的多个孔隙来施加到超薄玻璃的整个表面。此外，由于多孔板包含多个单元板，且多个单元板中的每一个独立地受控制，故可容易地控制多孔板的每一区域的孔隙的内压。此外，由于真空泵连接到多孔板，故多孔板的每一区域的孔隙的内压可受控制，且负压可形成于孔隙的一部分中。因此，均一按压力可进一步有效地提供到超薄玻璃的整个表面，且多个超薄玻璃可平坦粘合而非倾斜粘合。

在以上描述中，表述“在…上”可包含直接接触的情况和安置成面向上部部分或下部部分而非直接接触的情况，且还可表示安置成部分地面向上部部分或下部部分以及安置成面向整个上部部分或整个下部部分的情况，以及直接接触顶部表面或底部表面或面向同时与其间隔开的情况。因此，表述“在载物台上”可表示载物台的表面(顶部表面或底部表面)或提供于载物台的表面上的超薄玻璃的表面。

根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备可通过多孔板来注入气体以用非接触式方式提供用于粘合多个超薄玻璃(UTG)的按压力，由此防止超薄玻璃的表面受污染和破裂(或损害)。此外，由于多个超薄玻璃通过同时将按压力提供到超薄玻璃的整个按压表面(或表面)的整个表面粘合方法来粘合，故粘合的节拍时间可相较于通过使用滚轮或类似物依序按压每一表面的情况进一步减小。

此外，由于多孔板的每一区域的孔隙的内压通过由高度测量部件测量所施加粘合剂的高度和/或所层压超薄玻璃的表面的高度来控制(或校正)，故按压力可针对超薄玻璃的每一区域而不同地调整，且超薄玻璃层压体的平坦度可维持在预定水平下。

此外，均一按压力可根据多孔板的状态(例如，与特性相关的因素)通过将多孔板的每一区域的相对压力变量分布施加到多孔板的多个孔隙来施加到超薄玻璃的整个表面。

此外，由于多孔板包含多个单元板，且多个单元板中的每一个独立地受控制，故可容易地控制多孔板的每一区域的孔隙的内压。

此外，由于真空泵连接到多孔板，故多孔板的每一区域的孔隙的内压可受控制(或调整)，且负压可形成于孔隙的一部分中。因此，均一按压力可进一步有效地提供到超薄玻璃的整个表面，且多个超薄玻璃可平坦粘合而非倾斜粘合。

虽然已描述本发明的示范性实施例，但应了解，本发明不应限于这些示范性实施例，而所属领域的普通技术人员可在如由所附权利要求要求的本发明的精神和范围内做出各种改变和修改。因此，本发明的实际保护范围将通过所附权利要求的技术范围确定。