一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置
阅读说明：本技术 一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置 (Positioning and picking device of photoresist gluing nozzle ) 是由 郑霞 于 2021-07-16 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置,包括支撑板、第二固定块、转轴、滑杆、定位板,所述支撑板的下端设置有导向杆,所述导向杆的下端固定安装有底板,所述底板的下端固定安装有支撑杆,所述支撑杆的外侧固定安装有吸盘,所述支撑板的外侧设置有气缸,所述气缸的驱动杆与支撑板滑动连接,所述驱动杆的外侧套接有连接座,所述连接座的外侧固定安装有连接板,所述连接板的内部开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的外侧固定安装有螺纹套,所述螺纹套的外侧固定安装有限位板。本发明涉及一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置,具有精准定位以及涂胶喷嘴拆卸便捷的特点。(The invention discloses a positioning and picking device of a photoresist gluing nozzle, which comprises a supporting plate, a second fixing block, a rotating shaft, a sliding rod and a positioning plate, wherein a guide rod is arranged at the lower end of the supporting plate, a bottom plate is fixedly arranged at the lower end of the guide rod, a supporting rod is fixedly arranged at the lower end of the bottom plate, a sucker is fixedly arranged on the outer side of the supporting rod, an air cylinder is arranged on the outer side of the supporting plate, a driving rod of the air cylinder is connected with the supporting plate in a sliding mode, a connecting seat is sleeved on the outer side of the driving rod, a connecting plate is fixedly arranged on the outer side of the connecting seat, a sliding groove is formed in the connecting plate, a sliding block is connected in the sliding mode inside the sliding groove, a threaded sleeve is fixedly arranged on the outer side of the sliding block, and a limiting plate is fixedly arranged on the outer side of the threaded sleeve. The invention relates to a positioning and picking device of a photoresist coating nozzle, which has the characteristics of accurate positioning and convenient disassembly of the coating nozzle.)
技术领域
本发明属于半导体匀胶显影设备
技术领域
，具体为一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置。背景技术
目前，半导体晶圆生产过程中，一个匀胶显影设备需要在一个匀胶单元中集成多种光刻胶的喷嘴系统，达到一机多用，降低成本的需要。但是一般的胶嘴更换由于胶种众多，光刻胶供应管路大小不同，就需要自动定位更换。但是目前拾取装置存在一些问题：1、拾取机构是通常是由气缸带动其移动，移动过程中会出现晃动的情况会导致移动不够不精准；2、对于涂胶喷嘴的安装和拆卸方式较为繁琐，影响工作效率。
发明内容
：本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置，解决了背景技术中提到的问题。
为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：
一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置，包括支撑板、第二固定块、转轴、滑杆、定位板，所述支撑板的下端设置有导向杆，所述导向杆的下端固定安装有底板，所述底板的下端固定安装有支撑杆，所述支撑杆的外侧固定安装有吸盘，所述支撑板的外侧设置有气缸，所述气缸的驱动杆与支撑板滑动连接，所述驱动杆的外侧套接有连接座，所述连接座的外侧固定安装有连接板，所述连接板的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的外侧固定安装有螺纹套，所述螺纹套的外侧固定安装有限位板，所述限位板的外侧固定安装有限位块，所述限位块的外侧固定安装有凸块。
作为优选，所述连接板的外侧固定安装有第一固定块，所述第一固定块的外侧固定安装有转动座，所述转动座的内部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧通过螺纹连接有螺纹套，所述螺纹杆的外侧接触连接有第二固定块，所述第二固定块与连接板固定连接，所述第二固定块的外侧设置有电机，所述电机的转轴与第二固定块转动连接，所述转轴的外侧套接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧通过螺纹连接有定位螺钉，所述定位螺钉的尾端与螺纹杆卡接。
作为优选，所述导向杆的外侧滑动套接有导向套，所述导向套与电机接触，所述导向套的内部设置有滚珠，所述滚珠与导向杆滑动连接，所述导向套的外侧与连接板固定连接，所述导向套的内部开设有卡槽，所述卡槽的内部卡接有卡块，所述卡块的外侧固定安装有密封垫，所述密封垫为一种橡胶材质制成，所述密封垫分别与导向套和导向杆接触，所述密封垫的数量为四个，四个所述密封垫分别设置与导向套的上下两端。
作为优选，所述底板的内部开设有通孔，所述通孔的内部滑动连接有滑杆，所述滑杆的外侧固定安装有固定环，所述固定环与底板接触，所述滑杆的外侧固定安装有定位板，所述定位板的内部开设有定位槽，所述定位槽的内部卡接有定位块，所述定位块的外侧固定安装有涂胶喷嘴，所述涂胶喷嘴的外侧固定安装有固定板，所述固定板为一种弹性钢片材质制成，所述固定板的内部开设有固定槽，所述固定板的内部开设有限位槽，所述固定槽与限位槽连通。
作为优选，所述连接座的外侧通过螺纹连接有限位螺钉，所述限位螺钉的尾端与驱动杆卡接。
作为优选，所述第二固定块的内部开设有转动槽，所述转动槽的内部转动连接有转轴。
作为优选，所述滑杆的外侧套接有弹簧，所述弹簧的两端分别与底板和定位板接触。
作为优选，所述支撑杆的数量为四个，四个所述支撑杆的外侧都设置有吸盘。
本发明的有益效果是：本发明涉及一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置，具有精准定位以及涂胶喷嘴拆卸便捷的特点，在具体的使用中，与传统的光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置相比较而言，本光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置具有以下两个有益效果：
首先，通过设计滚珠和导向杆的滑动连接，可对气缸的驱动杆的移动起到一个导向效果，从而使得气缸的驱动杆带动螺纹套的移动更加精准，且通过设计密封垫，可对导向套起到一个密封效果，可防止灰尘进入导向套内，通过可拆卸的密封垫便于向滚珠添加润滑油，减小滚珠和导向杆的摩擦力，使得导向效果更好；
其次，通过设计凸块和限位槽的卡接，可将限位板和固定板进行固定，从而达到对涂胶喷嘴进行拾取的效果，当需要对涂胶喷嘴进行拆卸时，只需向外侧拉动固定板，使得凸块和限位槽分离，即可直接将涂胶喷嘴取下，使得拆卸方式更加便捷，且通过弹簧的作用，当限位板的下压力作用于固定板时，会带动定位板向下移动，使得定位板会下压弹簧，通过弹簧的伸缩作用，可对下压力起到一个缓冲的效果，可有效防止涂胶喷嘴受力过大被损坏。
附图说明
：为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的涂胶喷嘴拾取方式示意图；
图3为本发明图1的连接板结构仰视图；
图4为本发明图1的A部结构放大图；
图5为本发明图1的B部结构放大图；
图6为本发明图1的C部结构放大图。
图中：1、支撑板；2、气缸；3、驱动杆；4、连接座；5、限位螺钉；6、连接板；7、滑槽；8、滑块；9、螺纹套；10、第一固定块；11、转动座；12、螺纹杆；13、第二固定块；14、转动槽；15、电机；16、转轴；17、定位螺钉；18、导向套；19、滚珠；20、导向杆；21、底板；22、密封垫；23、卡块；24、卡槽；25、限位板；26、限位块；27、凸块；28、支撑杆；29、吸盘；30、通孔；31、滑杆；32、固定环；33、弹簧；34、定位板；35、定位槽；36、定位块；37、涂胶喷嘴；38、固定板；39、固定槽；40、限位槽。
具体实施方式
：
如图1-6所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
实施例：
一种光刻胶涂胶喷嘴的定位拾取装置，包括支撑板1、第二固定块13、转轴 16、滑杆 31、定位板34，所述支撑板1的下端设置有导向杆20，所述导向杆20的下端固定安装有底板21，所述底板21的下端固定安装有支撑杆28，所述支撑杆28的外侧固定安装有吸盘29，所述支撑板1的外侧设置有气缸2，所述气缸2的驱动杆3与支撑板1滑动连接，所述驱动杆3的外侧套接有连接座 4，所述连接座4的外侧固定安装有连接板 6，所述连接板6的内部开设有滑槽 7，所述滑槽7的内部滑动连接有滑块 8，所述滑块8的外侧固定安装有螺纹套 9，所述螺纹套9的外侧固定安装有限位板 25，所述限位板25的外侧固定安装有限位块26，所述限位块26的外侧固定安装有凸块27。
其中，所述连接板6的外侧固定安装有第一固定块10，所述第一固定块10的外侧固定安装有转动座11，所述转动座11的内部转动连接有螺纹杆12，所述螺纹杆12的外侧通过螺纹连接有螺纹套9，所述螺纹杆12的外侧接触连接有第二固定块13，所述第二固定块13与连接板6固定连接，所述第二固定块13的外侧设置有电机15，所述电机15的转轴16与第二固定块13转动连接，所述转轴16的外侧套接有螺纹杆12，所述螺纹杆12的外侧通过螺纹连接有定位螺钉17，所述定位螺钉17的尾端与螺纹杆12卡接。
其中，所述导向杆20的外侧滑动套接有导向套18，所述导向套18与电机15接触，所述导向套18的内部设置有滚珠19，所述滚珠19与导向杆20滑动连接，所述导向套18的外侧与连接板6固定连接，所述导向套18的内部开设有卡槽24，所述卡槽24的内部卡接有卡块23，所述卡块23的外侧固定安装有密封垫22，所述密封垫22为一种橡胶材质制成，所述密封垫22分别与导向套18和导向杆20接触，所述密封垫22的数量为四个，四个所述密封垫22分别设置与导向套18的上下两端。
其中，所述底板21的内部开设有通孔30，所述通孔30的内部滑动连接有滑杆 31，所述滑杆31的外侧固定安装有固定环 32，所述固定环32与底板21接触，所述滑杆31的外侧固定安装有定位板34，所述定位板34的内部开设有定位槽 35，所述定位槽35的内部卡接有定位块 36，所述定位块36的外侧固定安装有涂胶喷嘴37，所述涂胶喷嘴37的外侧固定安装有固定板38，所述固定板38为一种弹性钢片材质制成，所述固定板38的内部开设有固定槽39，所述固定板38的内部开设有限位槽 40，所述固定槽39与限位槽40连通。
其中，所述连接座4的外侧通过螺纹连接有限位螺钉5，所述限位螺钉5的尾端与驱动杆3卡接。
其中，所述第二固定块13的内部开设有转动槽14，所述转动槽14的内部转动连接有转轴16。
其中，所述滑杆31的外侧套接有弹簧33，所述弹簧33的两端分别与底板21和定位板34接触。
其中，所述支撑杆28的数量为四个，四个所述支撑杆28的外侧都设置有吸盘29。
本发明的使用状态为：使用时，通过电机15的作用，电机15的转轴16带动螺纹杆12转动，通过螺纹杆12和螺纹套9的螺纹连接，使得螺纹套9带动滑块8在滑槽7内水平移动，螺纹套9会带动限位板25移动，限位板25会带动限位块26移动，限位块26带动凸块27移动，通过定位槽35对涂胶喷嘴37的位置进行定位，使得螺纹套9移动到涂胶喷嘴37的上端，然后气缸2工作，气缸2的驱动杆3带动连接座4向下移动，连接座4带动连接板6移动，连接板6带动螺纹套9移动，螺纹套9带动限位板25移动，限位板25会带动限位块26移动，限位块26带动凸块27移动，连接板6移动的同时会带动导向套18移动，导向套18内的滚珠19会沿着导向杆20进行转动，可对气缸2的驱动杆3的移动起到一个导向效果，从而使得气缸2的驱动杆3带动螺纹套9的移动更加精准，限位板25向下移动时，会带动限位块26滑入固定槽39内，限位块26带动凸块27移动，使得凸块27与限位槽40卡接，即完成了对涂胶喷嘴37的拾取，并且当限位板25的下压力作用于固定板38时，下压力会带动定位板34向下移动，定位板34带动滑杆31向下滑动，使得定位板34会下压弹簧33，通过弹簧33的伸缩作用，可对下压力起到一个缓冲的效果，可有效防止涂胶喷嘴37受力过大被损坏。当需要对涂胶喷嘴37进行拆卸时，向外侧拉动固定板38，然后向下拉动固定板38，使得凸块27和限位槽40分离，使得限位块26沿着固定槽39滑动，并使限位块26和固定槽39分离，即可直接将涂胶喷嘴37取下，拆卸方式更加便捷。通过密封垫22的作用，可对导向套18起到一个密封效果，可防止灰尘进入导向套18内影响导向套18的使用，通过向外侧拉动密封垫22，密封垫22带动卡块23移动，使得卡块23和卡槽24分离，即可将密封垫22取下，可直接向导向套18内添加润滑油，减小滚珠19和导向杆20的摩擦力，使得导向效果更好。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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