具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1是本发明实施例中一种多层薄膜结构的声表面波滤波器，如图1所示，所述多层薄膜结构的声表面波滤波器，包括压电层4和所述压电层4上方梳状设置的金属指条5，在所述压电层4下方设置有功能层3，在所述功能层3下方设置有高声速层2，在所述高声速层2下方设置有支撑衬底1。

在本发明实施例中，为了高温度稳定性和高Q目的，本发明多层薄膜结构的声表面波滤波器中的支撑衬底1由复合薄膜作为衬底，利用复合薄膜中各层温度互补特性及不同声阻抗特性来提高温度稳定性和减小体波能量损耗，同时通过对谐振器指条加权来抑制横向模，进一步减小声表面波能量损耗，提升谐振器Q值。

具体的，在一些实施例中，所述支撑衬底1为硅材料构成。选择硅材料作为支撑底座，其具备散热快、成本低，易于集成等优点。

所述高声速层2材料可采用金属、蓝宝石、氧化铝、氮化硅(SiN)和氮化铝(AlN)。

所述功能层3材料可采用二氧化硅(SiO₂)、氮氧化硅(SiON)、氟氧化硅(SiOF)、五氧化二钽(Ta₂O₅)。

所述压电层4材料可采用钽酸锂和铌酸锂。

本发明中利用声通道中不同薄膜层的温度互补特性以及不同声阻抗特性来提高温度稳定性并降低体波能量损耗；因此本发明将压电层4、功能层3和高声速层2的总厚度控制在一个声波长以内，其中所述高声速层2中所采用的材料的声速高于其他层，所以被称为高声速层。

在一些实施例中，由于材料硅的声速高于压电材料的声速，所以所述高声速层2的也可以采用硅，同样的，所述支撑衬底也可以采用硅作为衬底材料。

由于横向模会来带来大量的声表面波能量损耗，所以也需要进一步抑制横向模，本发明通过对滤波器中金属指条加权来抑制横向模，从而进一步减少声表面波能量损耗，提升整个滤波器的Q值。

图2是本发明实施例中的金属指条倾斜加权结构图，如图2所示，在本实施例中，所述金属指条5中的其中一个末端连接有接电端口6；所述接电端口6作为一种主干汇流条，能够引导给声通道7；所述声通道7是由叉指构成的声表面波传播通道，一般在上下两侧的汇流条之间(图2中仅展示了一根汇流条)；本实施例中将金属指条5倾斜一定角度，即通过一定的方式使得金属指条可以左右倾斜，一般可以保证在0～10°左右；并且保证这些金属指条5之间相互平行，同时汇流条之间仍然水平且相互平行，从而保证汇流条之间所形成的区域(覆盖了所有金属指条5的区域)，即声通道7仍然保持水平状态。

图3是本发明实施例中的声通道倾斜加权结构图，如图3所示，在本实施例中，本实施例中金属指条5保持正常的竖直状态，此时将声通道7倾斜一定角度，在这个过程中可以将汇流条6倾斜一定角度，其实质是将除金属指条5以外的多层薄膜进行倾斜，以保证金属指条5仍然处于竖直状态，其他层级结构维持倾斜状态，从而使得声通道7处于倾斜状态。

可以理解的是，假设在一种常规状态下，所述滤波器的俯视图中，金属指条5是竖直向下的状态，声通道7呈现出矩形形状(或类矩形形状)；本发明上述实施例中通过对金属指条5或者声通道7进行倾斜，让所述金属指条5呈现出左右倾斜的状态或者所述声通道7呈现为平行四边形的状态；从而使得金属指条与声通道7呈现一定的夹角，有效抑制滤波器中的横向模；当然上述举例只是一种较为特殊的声通道结构，其他非规则的声通道的倾斜方式可以参考矩形声通道结构的倾斜方式做适应性调整。

在一些优选实施例中，不管是金属指条的倾斜还是声通道的倾斜，其倾斜角度都设置在0～20°之间，这种角度下不仅能够有效抑制横向模，还能保证结构的稳定性。

在一些可行的实施例中，本实施例将声通道倾斜和金属指条倾斜同时进行，即将声通道倾斜一定角度，同时将金属指条也倾斜一定角度，本实施例较前两种实施例在制备上更加任意，能够满足更多的需求。

图4是本发明实施例中的间隔式活塞式加权结构图，如图4所示，图4是金属指条5的俯视图，在本实施例中，将梳齿状的金属指条5中间隔的金属指条5的末端加宽或者加厚处理，从而增大金属指条4的截面积。

图5是本发明实施例中的间隔式活塞式加权结构图，如图5所示，图5仍然是金属指条5的俯视图，在本实施例中，将梳齿状的金属指条中所有的金属指条5的末端加宽或者加厚处理，从而增大金属指条5的截面积。

在本发明实施例中，所述加宽处理指的是将金属指条5末端的宽度增加，即相对于而言减少了指条末端与相邻指条末端的指条间隔；所述加厚处理指的是在金属指条5末端的厚度增加，即使得所述指条末端呈向上凸起。

可以理解的是，本发明中的金属指条5还可以与其他结构形成换能器等结构，本领域技术人员可以根据实际情况进行充分的理解和应用。

在一些实施例中，所述倾斜加权和所述活塞式加权可以同时设置，举个例子，所述金属指条4可以倾斜设置，同时所述金属指条4的末端进行了加宽处理或者加厚处理，以上倾斜加权和所述活塞式加权的具体实施方式可以随机组合，本发明就不再一一例举。

本发明采用薄膜结构的高性能滤波器，由支撑衬底、高声速层、功能层、压电层和金属指条组成，首先利用压电复合薄膜结构抑制体波散射，其次通过对金属指条进行加权设计，进一步减小表面波的杂波损耗，从而实现低损耗、高矩形度和高温度稳定性的声表面波滤波器，满足未来通讯密集频谱的滤波器需求。

本发明的上述实施例仅仅是为说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化和变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本发明的技术方案所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“外”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋转”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。