具体实施方式

图1～图5B示出本发明的第一实施方式。该实施方式例示了将本发明的缸体装置应用于连杆式夹紧装置的情况。利用图1～图5B来说明第一实施方式的缸体装置的结构。

壳体1安装于工作台等固定台T。壳体1具有壳体主体2和固定在壳体主体2的下端部的下端壁3。在壳体主体2的内部形成有缸孔4。

活塞5以能够沿上下方向移动的方式呈气密状地插入到上述缸孔4中。活塞5具有活塞主体6和从活塞主体6延伸的输出杆7。

夹紧臂8的左端部能够转动地与上述输出杆7的上端部连结。枢轴支承部2b从壳体主体2的右上部向上方突出设置，连杆构件9的下端部能够转动地与该枢轴支承部2b的上端部连结，并且，夹紧臂8的长边方向的中途部能够转动地与连杆构件9的上端部连结。

在上述活塞主体6的下侧形成有锁定室10，并且，在上述活塞主体6的上侧形成有释放室11。作为锁定用的压力流体的压力油向上述锁定室10供给或从上述锁定室10排出，作为释放用的压力流体的压力油向上述释放室11供给或从上述释放室11排出。省略了压力油向锁定室10的供给排出路径及压力油向释放室11的供给排出路径的图示。

对上述活塞5的工作状态进行检测的第一检测阀12及第二检测阀13分别设置于壳体主体2的侧壁的上侧及下端壁3的中央部。使第一检测阀12与第二检测阀13串联地连通的空气通路14及空气通路15分别形成于壳体主体2的侧壁及下端壁3。

按第一检测阀12、第二检测阀13的顺序向各检测阀12、13供给作为检测用流体的空气(压缩空气)的空气供给路径16形成于壳体主体2的侧壁。该空气供给路径16的空气供给口16a与形成于固定台T的空气供给路径17连通。另外，将从空气供给路径17供给到各检测阀12、13的空气排出的空气排出路径18形成于下端壁3。该空气排出路径18的空气排出口18a与形成于固定台T的空气排出路径19连通。

如图4A及图4B所示，上述第一检测阀12如以下那样构成。

在壳体主体2的侧壁的上侧沿横向形成有第一安装孔21。该第一安装孔21从壳体主体2的外周面侧起依次具有设置有内螺纹部22a的大径孔22、中径孔23及小径孔24。利用与内螺纹部22a螺合的第一阀壳27，将环状按压构件26固定于上述内螺纹部22a与中径孔23之间的台阶部25。在该第一阀壳27的内部形成有阀室28，空气供给路径16与该阀室28连通。另外，将第一阀芯29插入到上述阀室28中。该第一阀芯29的杆部30经由密封构件31能够进退地插入到中径孔23中。在小径孔24中插入作为按压上述杆部30的前端的操作构件的卡合球32。设置于上述第一阀芯29的阀主体33的凸缘部34的与杆部30相反一侧的面为阀面34a，在第一阀壳27的内侧嵌入作为阀座构件的环状的密封构件35。另外，所述空气通路14与阀室28连通。作为安装在第一阀壳27的底面与上述阀主体33之间的施力部件的压缩弹簧36沿使阀面34a远离密封构件35的阀座35a的方向对第一阀芯29进行施力。

如图5A及图5B所示，上述第二检测阀13如以下那样构成。

在壳体1的下端壁3的中央部沿上下方向形成有第二安装孔41。该第二安装孔41从下端壁3的下表面侧起依次具有设置有内螺纹部42a的大径孔42、中径孔43及小径孔44。利用与内螺纹部42a螺合的第二阀壳47，将环状按压构件46固定于上述内螺纹部42a与中径孔43之间的台阶部45。在该第二阀壳47的内部形成有阀室48，所述空气通路15与该阀室48连通。另外，将第二阀芯49插入到上述阀室48中。该第二阀芯49的杆部50经由密封构件51能够进退地插入到中径孔43中。杆部50的前端部向所述锁定室10内突出。设置于上述第二阀芯49的阀主体52的凸缘部53的与杆部50相反一侧的面为阀面53a，在第二阀壳47的内侧嵌入作为阀座构件的环状的密封构件54。另外，所述空气排出路径18与阀室48连通。作为安装在第二阀壳47的底面与上述阀主体52之间的施力部件的压缩弹簧55沿使阀面53a远离密封构件54的阀座54a的方向对第二阀芯49进行施力。

另外，作为带节流部的检测阀，上述第二检测阀13进一步如以下那样构成。在阀主体52的与杆部50相反一侧的端部中央形成有节流部安装孔52a，节流构件56固定于该安装孔52a。在该节流构件56形成有作为节流通路的孔56a，该孔56a与形成在阀主体52内的节流部连通路径52b连通。另外，孔56a向空气通路15侧的阀室48内开口，上述连通路径52b向空气排出路径18侧的阀室48内开口。

上述结构的缸体装置如以下那样动作。

在图1所示的释放状态下，从锁定室10排出压力油，并且向释放室11供给压力油。由此，利用释放室11的压力油使活塞5向下方移动，活塞主体6的下端部从下方被壳体1的下端壁3承接。

在该释放状态下，第一检测阀12的压缩弹簧36经由第一阀芯29的杆部30使卡合球32向输出杆7侧移动。因此，第一阀芯29的阀面34a从密封构件35的阀座35a分离，第一检测阀12开阀。

另外，活塞5的活塞主体6抵抗第二检测阀13的压缩弹簧55的施力而使第二阀芯49的杆部50向下方移动。因此，第二阀芯49的阀面53a与密封构件54的阀座54a密封卡合，第二检测阀13闭阀。此时，由于第二检测阀13具有形成有作为节流通路的孔56a的节流构件56，因此，从节流通路漏出的空气按空气供给路径17、空气供给路径16、第一检测阀12、空气通路14、空气通路15、第二检测阀13、空气排出路径18、空气排出路径19的顺序流动。例如若将上游侧的第一检测阀12闭阀时的空气供给路径17的压力设为0.2MPa，则在第一检测阀12开阀、第二检测阀13闭阀的上述情况下，空气供给路径17的压力成为例如比0.2MPa低的0.15～0.05MPa。通过利用压力传感器(未图示)对该压力进行检测，从而对活塞5的工作状态为释放状态这一情况进行检测。压力传感器工作的阈值例如被设为0.15MPa。

在从图1所示的释放状态向图3所示的锁定状态进行切换时，从释放室11排出压力油，并且向锁定室10供给压力油。于是，利用锁定室10的压力油，活塞5开始上升，如图2所示，活塞主体6的下端部从壳体1的下端壁3分离。于是，第二检测阀13的压缩弹簧55使第二阀芯49向上方移动，由此，第二阀芯49的阀面53a从密封构件54的阀座54a分离，第二检测阀13开阀。结果，成为第一检测阀12开阀、第二检测阀13开阀的状态，空气供给路径17的压力下降，该压力例如成为0MPa。通过利用压力传感器(未图示)对该压力进行检测，从而对活塞5的工作状态为释放状态与锁定状态之间的切换中途状态这一情况进行检测。

在活塞5上升时，如图3所示，夹紧臂8的前端部按压夹紧对象物W。由此，活塞5的上升停止并成为锁定状态。此时，从活塞主体6突出设置的输出杆7的大径部7a经由卡合球32使第一检测阀12的第一阀芯29向左方移动，第一阀芯29的阀面34a与密封构件35的阀座35a密封卡合，第一检测阀12闭阀。结果，成为第一检测阀12闭阀、第二检测阀13开阀的状态，来自空气供给路径17的空气被第一检测阀12阻断，空气供给路径17的压力例如成为0.2MPa。通过利用压力传感器(未图示)对该压力进行检测，从而对活塞5的工作状态为锁定状态这一情况进行检测。

此外，由于输出杆7在大径部7a与小径部7b之间具有锥形面部7c，因此，第一阀芯29向左方的移动顺畅。另外，上述例示的0.15MPa、0MPa、0.2MPa这样的压力可以由能够设定多个阈值的一个压力传感器自动地进行检测。

此外，在上述实施方式中，构成为：通过在一个压力传感器中设定两个阈值(将第一阈值设为0.15MPa、将第二阈值设为0.2MPa)，从而对活塞5的工作状态进行检测。代替该情况，也可以构成为：在一个流路具备两个压力传感器，通过针对各压力传感器设定一个阈值，从而对活塞5的工作状态进行检测。

图6A及图6B示出带节流部的所述第二检测阀13的变形例。本变形例的第二检测阀57(带节流部的检测阀)与所述第二检测阀13的不同点如下所述。

在本变形例中，以使第二阀芯49沿上下方向贯通的方式形成有作为节流通路的孔58。当第二阀芯49的阀面53a与密封构件54的阀座54a密封卡合时，利用上述孔58形成供少量的空气流动的较小的流路。此外，既可以在第二阀芯49形成一个孔58，也可以形成多个孔58。另外，代替该情况，如图13A及图13B所示，也可以在第二阀芯49的阀面53a形成作为节流通路的槽70。在该情况下，与上述孔58的情况同样地，既可以在第二阀芯49的阀面53a形成一个槽70，也可以形成多个槽70。而且，也可以是，在图13A及图13B中，代替将槽70形成于阀面53a这一情况而将槽70形成于阀座54a。与形成于阀面53a的情况同样地，形成于阀座54a的槽70既可以为一个，也可以为多个。

图7～图12示出本发明的第二实施方式。

构成第二实施方式的缸体装置的活塞59在内部具有杆孔59a，杆构件60被插入到该杆孔59a中。活塞59具有活塞主体61和从活塞主体61延伸的输出杆62。作为安装在上述杆孔59a的顶面与形成于杆构件60的中途部的凸缘部60a之间的施力部件的压缩弹簧63向下方对杆构件60进行施力。另外，作为杆构件60的操作构件的环状构件86嵌入到杆孔59a的下端部。

对上述活塞59的工作状态进行检测的第一检测阀64及第二检测阀65设置于构成壳体1的下端壁3(壳体1的下端部)。使第一检测阀64与第二检测阀65串联地连通的空气通路66形成于下端壁3。

按第一检测阀64、第二检测阀65的顺序向各检测阀64、65供给作为检测用流体的空气(压缩空气)的空气供给路径67及空气供给路径68分别形成于壳体主体2的侧壁的下部及下端壁3。空气供给路径67的空气供给口67a与形成于固定台T的空气供给路径17连通。另外，将从空气供给路径67、68供给到各检测阀64、65的空气排出的空气排出路径69形成于下端壁3。该空气排出路径69的空气排出口69a与形成于固定台T的空气排出路径19连通。

如图10～图12所示，上述第一检测阀64如以下那样构成。

在下端壁3沿上下方向形成有第一安装孔71。该第一安装孔71从下端壁3的下表面侧起依次具有设置有内螺纹部72a的大径孔72、中径孔73及小径孔74。筒状按压构件76与第一阀壳77螺合。利用与内螺纹部72a螺合的第一阀壳77，将筒状按压构件76固定于上述内螺纹部72a与中径孔73之间的台阶部75。在第一阀壳77及筒状按压构件76的内部形成有阀室78，空气供给路径68与该阀室78连通。另外，在上述阀室78中插入第一阀芯79。该第一阀芯79的杆部80经由密封构件81能够进退地插入到中径孔73中。如图11及图12所示，杆部80的前端部向锁定室10内突出。被嵌入到上述第一阀芯79的阀主体82的外周槽82a的O型环83的外周面为阀面83a，在筒状按压构件76的内周壁设置有作为阀座部的凸部84。另外，所述空气通路66与阀室78连通。作为安装在第一阀壳77的底面与上述阀主体82之间的施力部件的压缩弹簧85沿使阀面83a从凸部84的阀座84a远离的方向对第一阀芯79进行施力。

如图10～图12所示，上述第二检测阀65如以下那样构成。

在下端壁3沿上下方向形成有第二安装孔91。该第二安装孔91从下端壁3的下表面侧起依次具有设置有内螺纹部92a的大径孔92、中径孔93及小径孔94。筒状按压构件96与第一阀壳97螺合。利用与内螺纹部92a螺合的第二阀壳97，将筒状按压构件96固定于上述内螺纹部92a与中径孔93之间的台阶部95。在第二阀壳97及筒状按压构件96的内部形成有阀室98，空气通路66与该阀室98连通。另外，在上述阀室98中插入第二阀芯99。该第二阀芯99的杆部100经由密封构件101能够进退地插入到中径孔93中。如图12所示，杆部100的前端部向锁定室10内突出。被嵌入到上述第二阀芯99的阀主体102的外周槽102a的O型环103的外周面为阀面103a，在筒状按压构件96的内周壁设置有作为阀座部的凸部104。另外，所述空气排出路径69与阀室98连通。作为安装在第二阀壳97的底面与上述阀主体102之间的施力部件的压缩弹簧105沿使阀面103a朝向凸部104的阀座104a的方向对第二阀芯99进行施力。

另外，作为带节流部的检测阀，上述第二检测阀65进一步如以下那样构成。在上述筒状按压构件96的凸部104的背面侧，形成有使空气通路66与阀室98连通的节流通路106。

上述结构的缸体装置如以下那样动作。

在图7所示的释放状态下，从锁定室10排出压力油，并且向释放室11供给压力油。由此，利用释放室11的压力油使活塞59向下方移动，活塞主体61的下端部从下方被壳体1的下端壁3承接。另外，利用压缩弹簧63的施力，将活塞59的内部的杆构件60压靠于下端壁3。

在该释放状态下，活塞59的活塞主体61抵抗第一检测阀64的压缩弹簧85的施力而使第一阀芯79的杆部80向下方移动。因此，构成第一阀芯79的O型环83的阀面83a与筒状按压构件76的凸部84的阀座84a密封卡合，第一检测阀64闭阀。另外，杆构件60抵抗第二检测阀65的压缩弹簧105的施力而使第二阀芯99的杆部100向下方移动。因此，构成第二阀芯99的O型环103的阀面103a从筒状按压构件96的凸部104的阀座104a分离，第二检测阀65开阀。

由于第一检测阀64闭阀，所以来自空气供给路径17的空气被第一检测阀64阻断，空气供给路径17的压力例如成为0.2MPa。通过利用压力传感器(未图示)对该压力进行检测，从而对活塞59的工作状态为释放状态这一情况进行检测。

在从图7所示的释放状态向图9所示的锁定状态进行切换时，从释放室11排出压力油，并且向锁定室10供给压力油。于是，利用锁定室10的压力油，活塞59开始上升，如图8所示，活塞主体61的下端部从壳体1的下端壁3分离。于是，第一检测阀64的压缩弹簧85使第一阀芯79向上方移动，由此，构成第一阀芯79的O型环83的阀面83a从上述阀座84a分离，第一检测阀64开阀。此时，由于活塞59的内部的杆构件60通过压缩弹簧63的施力而被压靠于下端壁3的状态保持不变，所以第二检测阀65开阀。结果，成为第一检测阀64开阀、第二检测阀65开阀的状态，空气供给路径17的压力下降，其压力例如成为0MPa。通过利用压力传感器(未图示)对该压力进行检测，从而对活塞59的工作状态为释放状态与锁定状态之间的切换中途状态这一情况进行检测。

在活塞59上升时，如图8所示，被嵌入到活塞主体61的杆孔59a的下端部的环状构件86从下方与形成于杆构件60的中途部的凸缘部60a的下表面抵碰。在活塞59进一步上升时，如图9所示，夹紧臂8的前端部按压夹紧对象物W。由此，活塞59的上升停止并成为锁定状态。此时，活塞主体61经由环状构件86抵抗压缩弹簧63的施力而使杆构件60向上方移动。因此，第二检测阀65的压缩弹簧105使第二阀芯99向上方移动，由此，构成第二阀芯99的O型环103的阀面103a与上述阀座104a密封卡合，第二检测阀65闭阀。由于第二检测阀65具有节流通路106，因此，少量的空气按空气供给路径17、空气供给路径67、空气供给路径68、第一检测阀64、空气通路66、第二检测阀65、空气排出路径69、空气排出路径19的顺序进行流动，空气供给路径17的压力例如成为比0.2MPa低的0.15MPa。通过利用压力传感器(未图示)对该压力进行检测，从而对活塞5的工作状态为锁定状态这一情况进行检测。

此外，上述例示的0.2MPa、0MPa、0.15MPa这样的压力可以由能够设定多个阈值的一个压力传感器自动地进行检测。

图15～图19B示出本发明的第三实施方式。

该实施方式例示了将本发明的缸体装置应用于回转式夹紧装置的情况。被插入到构成第三实施方式的缸体装置的壳体1中的活塞150在下部具有杆孔150a，在该杆孔150a中插入杆构件113。活塞150具有活塞主体151和呈气密状地插入并固定于活塞主体151的筒孔151a的输出杆108。作为安装在上述杆孔150a的顶面与形成于杆构件113的中途部的凸缘部113a之间的施力部件的压缩弹簧114向下方对杆构件113进行施力。另外，以利用被嵌入到杆孔150a的下端部的环状构件115将杆构件113抬起的方式进行操作。

利用螺母110将夹紧臂109固定于输出杆108的前端侧部分。输出杆108的下端部被插入到形成于构成壳体1的下端壁3的支承孔3a中。另外，作为锁定用的压力流体的压力油经由锁定通路111a向设置于活塞主体151的上侧的锁定室111供给或从设置于活塞主体151的上侧的锁定室111排出。另外，作为释放用的压力流体的压力油通过释放通路112a而向设置在活塞主体151与下端壁3之间的释放室112供给或从设置在活塞主体151与下端壁3之间的释放室112排出。

在形成于输出杆108的凸缘部108a的基端侧、即输出杆108的下端部设置有输出杆回转机构116。该输出杆回转机构116如以下那样构成。

形成于输出杆108的外壁的至少一根引导槽117具有从上方连续地形成的直线状的直行槽117a和螺旋状的回转槽117b。在所述支承孔3a的周壁的上部形成有至少一个横孔118，被插入到该横孔118中的卡合球119与引导槽117嵌合。套筒120旋转自如地外嵌于卡合球119的外周。

对上述活塞150的工作状态进行检测的第一检测阀121及第二检测阀122分别设置于壳体主体2的侧壁的上侧及下端壁3。来自压缩空气的供给源的检测用流体的空气(压缩空气)通过空气通路123～128而向壳体1的外部(外界)排出。

图18A及图18B所示的第一检测阀121与图10～图12所示的第一检测阀64相似。第一检测阀121如以下那样构成。

利用与沿左右方向形成于壳体主体2的第一安装孔129的内螺纹部129a螺合的第一阀壳131，将筒状按压构件130固定于第一安装孔129。第一阀芯133的阀主体部133a呈气密状地插入到形成于第一阀壳131及筒状按压构件130的内部的阀室132中。空气通路124及空气通路125与该阀室132连通。杆部133b从该阀主体部133a向右方突出设置，该杆部133b的前端部向锁定室111内突出。阀室132和锁定室111被密封构件152隔离。在第一阀壳131与形成于第一阀芯133的左部的安装孔的底面之间安装有压缩弹簧135。压缩弹簧135沿使密封构件136的阀面136a从环状按压构件130内的凸部134的阀座134a远离的方向对第一阀芯133进行施力。

另外，在第一阀芯133内形成有连通路径137。该连通路径137使锁定室111与形成于第一阀芯133的左侧的第一液压室138连通。由此，被供给到锁定室111的压力油通过连通路径137而向第一液压室138供给。另外，阀主体部133a的承压面积(与该阀主体部133a的轴心垂直的断面的面积)被设定为比杆部133b的承压面积(与该杆部133b的轴心垂直的断面的面积)大。结果，利用锁定室111的压力油向左方推动第一阀芯133的力与第一液压室138的压力油向右方推动第一阀芯133的力的差力，使第一阀芯133以向锁定室111内突出的方式移动。

图19A及图19B所示的第二检测阀122与图10～图12所示的第二检测阀65相似。第二检测阀122如以下那样构成。

利用与沿上下方向形成于壳体1的下端壁3的第二安装孔139的内螺纹部139a螺合的第二阀壳141，将筒状按压构件140固定于第二安装孔139。空气通路126及空气排出路径127与第二检测阀122内的阀室142连通。另外，第二阀芯143的阀主体部143a呈气密状地插入到阀室142中。从该阀主体部143a向上方突出设置的杆部143b的前端部向释放室112内突出。在第二阀壳141的底面与形成于上述阀主体部143a的安装孔之间安装有压缩弹簧145。压缩弹簧145沿使密封构件146的阀面146a从环状按压构件140内的凸部144的阀座144a分离的方向对第二阀芯143进行施力。

另外，形成在第二阀芯143内的连通路径147使释放室112与形成在第二阀芯143的下侧的第二液压室148连通。由此，供给到释放室112的压力油通过连通路径147而向第二液压室148供给。另外，阀主体部143a的承压面积(与其轴心垂直的断面的面积)被设定为比杆部143b的承压面积(与其轴心垂直的断面的面积)大。结果，利用释放室112的压力油向下方推动第二阀芯143的力与第二液压室148的压力油向上方推动第二阀芯143的力的差力，使第二阀芯143以向释放室114内突出的方式移动。

另外，作为带节流部的检测阀，上述第二检测阀122进一步如以下那样构成。在上述筒状按压构件140的凸部144的背面侧形成有使空气通路126与空气通路127连通的节流通路149。

上述结构的缸体装置如以下那样动作。

在从图15所示的释放状态向图17所示的锁定状态进行切换时，从释放室112排出压力油，并且向锁定室111供给压力油。于是，利用锁定室111的压力油，活塞主体151使输出杆108向下方移动。首先，利用所述输出杆回转机构116使输出杆108一边沿顺时针方向回转一边下降。当活塞主体151一边回转一边下降了微量的距离时，利用由锁定室111的压力油产生的向左方的推压压力与由第一检测阀121的第一液压室138的压力油产生的向右方的推压压力的差力及压缩弹簧135向右方的施力，使第一阀芯133向右方移动，如图18B所示，第一检测阀121开阀。此时，如图19A所示，第二检测阀122也开阀。因此，来自压缩空气源的压缩空气从空气通路123通过空气通路128而向外界排出。此时，利用对空气通路123等的压力进行检测的开关，检测空气通路内的压力低于该开关的第一设定压力(第一阈值)这一情况。而且，当输出杆108一边回转一边下降时，如图16所示，夹紧臂109的前端部向夹紧对象物W的上方移动。此时，杆构件113的下端面与第二检测阀122的第二阀芯143的上端面抵接或者稍许隔开间隙地分离。接下来，当活塞主体151笔直地下降时，夹紧臂109从上方按压夹紧对象物W。由此，输出杆108的下降停止并成为锁定状态。此时，活塞主体151经由杆构件113向下方推动第二检测阀122的第二阀芯143，并且，该杆构件113抵抗压缩弹簧114的施力而被插入到输出杆108的杆孔150a内。由此，第二检测阀122的第二阀面146a与第二阀座144a抵接，第二检测阀122闭阀。因此，来自压缩空气供给源的压缩空气从空气通路123～127和节流路径149通过空气通路128而向外界排出。此时，利用上述开关，检测空气通路内的压力高于该开关的第一设定压力(第一阈值)且低于被设定为比第一设定值高的第二设定压力(第二阈值)这一情况。

在从图17所示的锁定状态向图15所示的释放状态进行切换时，从锁定室111排出压力油，并且向释放室112供给压力油。于是，利用释放室112的压力油使活塞主体151笔直地向上方上升，但输出杆108经由压缩弹簧114向下方推压杆构件113，将杆构件113留置在下端位置。若活塞主体151进一步上升而环状构件115抵接于杆构件113的凸缘部113a，则输出杆108经由环状构件115将杆构件113抬起。此时，利用由释放室112的压力油产生的向下方的推压压力与由第二液压室148的压力产生的向上方的推压压力的差力，使第二阀芯143上升，第二检测阀122开阀。接下来，利用输出杆回转机构116，使活塞150一边沿逆时针方向回转一边上升。当活塞主体151移动到比上限位置稍微靠下方的位置时，该活塞主体151与第一检测阀121的杆部133b抵接。之后，活塞主体151使第一阀芯133向左方移动，第一检测阀121闭阀。活塞主体151被壳体1的上壁承接，输出杆108的上升停止并成为释放状态。此时，利用上述开关，检测空气通路123内的压力高于该开关的第二设定压力这一情况。

由于上述第一检测阀121具备压缩弹簧135，所以在使第一液压室138的压力油通过锁定室111而排出时，压缩弹簧135向右方的施力维持使第一阀芯133向锁定室111内突出的状态。由于第二检测阀122也具备压缩弹簧145，所以与第一检测阀121的情况同样地，压缩弹簧145向上方的施力维持使第二阀芯143向释放室112内突出的状态。

上述实施方式能够如以下那样变更。

在第一实施方式的缸体装置中，也可以相互置换第一检测阀12和第二检测阀13(带节流部的检测阀)。即，也可以是，在上游侧配置第二检测阀13(带节流部的检测阀)，并在其下游侧配置第一检测阀12(在第三实施方式中也同样如此)。

在第一实施方式的缸体装置中，也可以变更使各检测阀12、13彼此串联地连通的空气通路14、15的壳体1内的路径(在第三实施方式中也同样如此)。

在各实施方式中，也可以是，代替从空气供给路径16、67、124向各检测阀12、13、64、65、121、122供给空气并向空气排出路径18、69、127排出这一情况而从空气排出路径18、69、127侧向各检测阀12、13、64、65、121、122供给空气并向空气供给路径16、67、124侧排出。而且，若以第一实施方式的情况为例进行说明，则在各实施方式中，也可以是，代替空气从空气供给路径16依次通过检测阀12和检测阀13而从空气排出路径18排出这一情况而使空气从空气供给路径16依次通过检测阀13和检测阀12而从空气排出路径18排出。

在构成第一实施方式的缸体装置的第二检测阀13(带节流部的检测阀)中，也可以将第二阀芯49和节流构件56一体地形成、即由一个材料形成。

对于上述第二检测阀13(带节流部的检测阀)而言，在该检测阀13中具有节流通路(孔56a)。如图14所示，也可以代替在检测阀13中设置节流通路这一情况，通过在检测阀13的外部、例如壳体1安装检测阀用的节流构件107，并在该节流构件107形成节流通路107a，从而设为具有节流通路的带节流部的检测阀。

在第一实施方式的缸体装置中，也可以省略卡合球32，利用输出杆7的大径部7a直接推压第一检测阀12的第一阀芯29的杆部30。

在第一实施方式的缸体装置中，也可以代替第一检测阀12而使用构成第二实施方式的缸体装置的第一检测阀64。另外，在第二实施方式的缸体装置中，也可以代替第一检测阀64而使用构成第一实施方式的缸体装置的第一检测阀12。

构成第二实施方式的缸体装置的第二检测阀65为在没有外力作用时闭阀的常闭(NC)的带节流部的检测阀。也可以是，将该第二检测阀65变更为在没有外力作用时开阀的常开(NO)的带节流部的检测阀，且在第一实施方式的缸体装置中，代替第二检测阀13而使用该变更后的常开(NO)的带节流部的检测阀。

在所述实施方式中，为了检测活塞的锁定状态、释放状态，在任一实施方式中，均使用了两个检测阀。也可以是，除了活塞的锁定状态、释放状态的检测之外，为了检测活塞的超行程而进一步追加检测阀。即，也可以设为具备三个以上的检测阀的缸体装置。

也可以是，将构成第一实施方式及第二实施方式的缸体装置的第一检测阀12(64)及第二检测阀13(65)(弹簧推进式的检测阀)分别置换为构成第三实施方式的缸体装置的第一检测阀121及第二检测阀122(液压推进式的检测阀)。

对于锁定及释放用的压力流体而言，代替压力油，也可以为压缩空气、压缩氮气等压缩气体。

本发明的缸体装置并不限定于连杆式夹紧装置及回转式夹紧装置，也可以是其他形式的夹紧装置。而且，并不限定于夹紧装置，也可以为其他致动器、例如由电动马达和滚珠丝杠轴、齿轮等驱动的往复运动装置等。

以上，对本发明的实施方式及变形例进行了说明。此外，当然可以在本领域技术人员能够设想的范围进行各种变更。

附图标记说明

1：壳体、5：活塞、12：第一检测阀(检测阀)、13：第二检测阀(带节流部的检测阀)、14：空气通路、15：空气通路、48：阀室、49：第二阀芯(阀芯)、50：杆部、52：阀主体、53a：阀面、54a：阀座、55：压缩弹簧(施力部件)、56：节流构件、56a：孔(节流通路)、57：第二检测阀(带节流部的检测阀)、58：孔(节流通路)、59：活塞、64：第一检测阀(检测阀)、65：第二检测阀(带节流部的检测阀)、66：空气通路、70：槽(节流通路)、106：节流通路、107：节流构件、107a：节流通路、121：第一检测阀(检测阀)、122：第二检测阀(带节流部的检测阀)、125：空气通路、126：空气通路、149：节流通路、150：活塞。