本发明公开了一种多晶硅棒材料的高洁净度退火方法,包括多晶硅棒脱脂清洗、多晶硅棒纯水一次浸泡、多晶硅棒混酸刻蚀、多晶硅棒纯水二次浸泡、多晶硅棒氮气吹干、退火炉清洗、多晶硅棒退火;该多晶硅棒材料表面油脂含量低,且材料体相金属含量低,具有很好的机械加工效果,能够满足芯片制造工艺,并在多晶硅棒脱脂清洗过程中制备了一种脱脂粉,将明胶溶解加入中间体6,在1-羟基苯并三唑的作用下,中间体6上的羧基与明胶表面的氨基发生脱水缩合,与中间体4继续反应,再用氯乙酸钠进行处理,制得脱脂粉,该脱脂粉能够将自身表面活性分子渗透到油脂中,与多晶硅棒表面隔开,并将油脂乳化分散到水中,达到脱脂效果。