多环醇,在非稠合环上至少连接1个羟基的
一种由2-环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用
本发明涉及光刻胶技术领域,公开了一种由2-环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用,所述可降解型树脂单体的结构通式如下:其中R为烷基或杂烷基。可降解型树脂单体上含有叔丁基结构,在曝光时,光致产酸剂会产生酸,在酸的作用下,叔丁基结构会断开,导致聚合主链断开,形成小片段,能够改善光刻图形的边缘粗糙度,提高光刻胶的分辨率,断开后形成了具有良好碱溶性的羟基,有利于显影过程中的溶解,增加曝光后光刻胶在显影液中溶解速度,增大光刻胶的对比度。

2021-09-24

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