阅读说明：本技术 更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法 (Vehicle for replacing photoresist bottle, computer system and replacing method ) 是由 于之跃 王希鸣 陈裕凯 吴立仁 杨谨漪 邱惠琪 于 2019-07-12 设计创作，主要内容包括：本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器,配置以接收一请求信号,以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮,配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂,配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。(The present disclosure describes a vehicle, a computer system and a method for replacing photoresist bottles. The exemplary vehicle includes a processor configured to receive a request signal to replace a first photoresist canister. The processor is also configured to communicate an instruction based on the request signal. The vehicle also includes a plurality of wheels configured to move the vehicle from the first location to a second location and from the second location to the first location. The vehicle further includes a robot configured to load the first photoresist canister into a first container at a first location; loading a second photoresist canister into a second container; removing a cap from the second photoresist canister and a sleeve from the first photoresist canister; coupling the sleeve of the first photoresist canister to the second photoresist canister; and unloading the second photoresist canister from the second container.)

更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法

技术领域

本公开实施例涉及一种车辆及电脑系统，特别涉及一种更换光刻胶瓶罐的车辆及电脑系统。

背景技术

光刻胶(Photoresist，PR)为半导体工业中重要的元素。光刻胶使用在半导体制造过程的各个阶段，以在晶圆上形成图案。光刻胶瓶罐(例如含有使用于半导体制造的光刻胶的瓶罐)已被手动更换，以再填充/更换光刻胶。然而，光刻胶瓶罐的手动更换可为耗费时间且昂贵的，且可容易受到人为错误及损坏的影响。

发明内容

本公开实施例提供一种车辆，用于更换光刻胶瓶罐，包括一处理器、多个车轮以及一机械手臂。处理器配置以：接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的一第一地点、以及基于请求信号而传递一指令。车轮配置以从第一地点移动车辆至一第二地点，且从第二地点移动车辆至第一地点。机械手臂配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中、在第二地点装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中、从第二光刻胶瓶罐移除一盖部，且从第一光刻胶瓶罐移除一套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐、以及在第一地点从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。

本公开实施例提供一种电脑系统，用于更换一光刻胶瓶罐，包括一存储器以及一处理器。存储器配置以存储更换光刻胶瓶罐的一程序及数据。处理器配置以：接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的一第一地点、发送一车辆至第一地点、以及控制车辆以：装载第一光刻胶瓶罐至车辆上、运输第一光刻胶瓶罐至一第二光刻胶瓶罐所在的一第二地点、装载第二光刻胶瓶罐至车辆上、移除第二光刻胶瓶罐的一盖部及第一光刻胶瓶罐的一套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐上、以及运输第二光刻胶瓶罐至第一地点。

本公开实施例提供一种更换方法，用于使用一车辆以更换一光刻胶瓶罐，包括：接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的一第一地点、移动至第一地点、装载第一光刻胶瓶罐、运输第一光刻胶瓶罐至关联于一第二光刻胶瓶罐的一第二地点、装载第二光刻胶瓶罐、从第二光刻胶瓶罐移除一盖部，且从第一光刻胶瓶罐移除一套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐、以及运输第二光刻胶瓶罐至第一地点。

附图说明

根据以下的详细说明并配合说明书附图可最好地了解本公开的形式。应注意的是，根据产业中的一般作业，各种特征未按比例绘制。事实上，可任意增加或减少各种特征的尺寸，以清楚说明和讨论。

图1示出根据一些实施例的示例性的光刻胶更换系统。

图2A示出根据一些实施例的示例性的夹钳结构的俯视图。

图2B示出根据一些实施例的在光刻胶更换过程的操作中的示例性的夹钳结构的俯视图。

图3A示出根据一些实施例的在光刻胶更换过程的操作中的示例性的光刻胶更换系统。

图3B示出根据一些实施例的在光刻胶更换过程的另一操作中的示例性的光刻胶更换系统。

图4示出根据一些实施例的光刻胶更换过程的示例性的处理流程。

图5为用来实施各种实施例的示例电脑系统的视图。

附图标记说明：

100 系统

101 车辆本体

102 机械手臂

103-1 第一连接部

103-2 第二连接部

103-3 第三连接部

103-4 第四连接部

104 手臂基部

105-1 第一臂部

105-2 第二臂部

106 手臂顶部

107 抓握部

107-1、107-2 夹钳结构

108、108-1、108-2 车轮

109、109-1、109-2 可转动台座

110 成像装置

111 支承台座

112 支承柱

113 通信网络

114 通信网络

115、115-1、115-2 可转动基部

116 身份感应装置

120 车辆

121 垂直中央线

130 中央控制器

140-1 平板电脑、接收装置

140-2 手机、接收装置

200 示意图

201-1、202-1 夹钳基部

201-2、202-2 夹钳

207 线

208 轮毂结构

209 线

220 元件、盖部/套筒

250 俯视图

300 视图

301-1 盖部

301-2 套筒

302-1、302-2 容器

303-1、303-2 盖子

304-1、304-2 容器本体

305-1、305-2 光刻胶瓶罐

306-1、306-2 ***开口

307 软管

308-1、308-2 碰撞防止部

309-1、309-2 载体***部

310 重物

350 视图

400 方法

401、402、403、404、405 操作

500 电脑系统

502 输入/输出接口

503 输入/输出装置

504 处理器

506 总线

508 主要存储器、初级存储器

510 次级存储装置、次级存储器

512 硬盘驱动机

514 可移除存储装置

518、522 可移除存储单元

520 接口

524 通信接口、网络接口

526 通信路径

528 远程装置、远程网络、远程实体、元件

x、x1、y、y1、z 轴

具体实施方式

以下的公开内容提供许多不同的实施例或范例以实施本公开的不同特征。以下的公开内容叙述各个构件及其排列方式的特定范例，以简化说明。这些特定的范例并非用以限定。另外，本公开的不同范例可能重复使用相同的参考符号及/或标记。这些重复为了简化与清晰的目的，除非另有指明，否则并非用以限定所讨论的不同实施例及/或结构之间有特定的关系。

在半导体制造中，光刻胶为形成各种图案/特征的重要的元素。光刻胶保存在光刻胶瓶罐中，光刻胶瓶罐分布在制造设施的不同的地点。当光刻胶瓶罐的光刻胶为少的或空的时，可手动地更换/再填充光刻胶瓶罐。光刻胶瓶罐的更换/再填充可包括手动运输空的光刻胶瓶罐至特定地点(例如仓库)，以再填充/更换光刻胶瓶罐。光刻胶瓶罐的运输及再填充/更换可容易受到光刻胶瓶罐损坏、光刻胶溢出、及人为错误的影响；此过程亦可为耗费时间且昂贵的。

本公开的实施例叙述自动地运输光刻胶瓶罐及以填满的光刻胶瓶罐更换空的光刻胶瓶罐的系统及方法。此系统包括中央控制器、车辆、及多个接收装置。中央控制器控制并与车辆及接收装置的操作通信。此车辆通过中央控制器所控制，而可自动地从制造地点运输空的光刻胶瓶罐至更换光刻胶瓶罐的地点(例如仓库)、以空的光刻胶瓶罐的套筒(socket)更换满的光刻胶瓶罐的盖部、及运输满的光刻胶瓶罐回到制造地点。其中的益处包括可自动化光刻胶瓶罐的运输及更换/再填充，使得光刻胶瓶罐的运输及更换/再填充较不容易受到通过人为操作所造成的不确定性/错误的影响。被容器所保护且通过车辆而运输，光刻胶瓶罐较不容易受到损坏/溢出/泄漏的影响，且此运送可耗费较少时间。再者，可使用自动化的装置装载及卸载光刻胶瓶罐至车辆，而具有改善稳定性、降低光刻胶瓶罐损坏/溢出/泄漏的几率的优点。再者，通过使用机械手臂，套筒更换过程为较可信赖的且可预测的。因此，光刻胶瓶罐的装载、运输、及更换需要较少的劳动力。

图1示出根据一些实施例的可自动地运输及更换光刻胶瓶罐的示例性的系统100。系统100可包括车辆120、中央控制器130、接收装置140-1及140-2、及通信网络113及114。根据一些实施例，中央控制器130可与车辆120通信，并控制车辆120移动至第一地点(例如空的光刻胶瓶罐所在的地点)、装载空的光刻胶瓶罐至车辆120上、运输装载的空的光刻胶瓶罐至第二地点(例如满的光刻胶瓶罐所在的地点)、装载满的光刻胶瓶罐至车辆120上、从满的光刻胶瓶罐取下盖部并从空的光刻胶瓶罐取下套筒、及放置套筒至满的光刻胶瓶罐上。根据一些实施例，中央控制器130亦可与车辆120通信，并控制车辆120卸载空的光刻胶瓶罐(例如在第二地点)、运输满的光刻胶瓶罐回到第一地点、及卸载满的光刻胶瓶罐。为了便于叙述，“空的光刻胶瓶罐”可代表待更换的任何光刻胶瓶罐，“满的光刻胶瓶罐”可代表更换空的光刻胶瓶罐的任何其他光刻胶瓶罐，且“套筒”可代表在其内固定有软管的盖部/套筒(例如空的光刻胶瓶罐的盖部/套筒)。软管可为穿过套筒的弹性管件，用于从光刻胶瓶罐输送光刻胶至例如制造平台。中央控制器130可定位于任何适合的地点。举例来说，中央控制器130可在制造设施内部或外部、或可安装在一或多个车辆120上。

在一些实施例中，车辆120包括车辆本体101、多个车轮108、机械手臂102、多个可转动台座109、连接可转动台座109及车辆本体101的多个可转动基部115、支承柱112、身份(identification，ID)感应装置116、支承台座111、及成像装置110。车辆120可通过各种形式的电源(例如直流电流(DC current)、交流电流(AC current)、电池等)所供电。为了说明的目的，表示有两个车轮108-1及108-2、两个可转动台座109-1及109-2、及两个可转动基部115-1及115-2。多个车轮108可设计以转动并运载车辆本体101至在制造设施中的不同的地点。多个可转动台座109可在相同的水平平面(例如x-y平面)中维持稳定。在一些实施例中，多个可转动台座109水平地对齐于相同的水平平面。举例来说，可转动基部115-1及可转动台座109-1可分别地相同于或相似于可转动基部115-2及可转动台座109-2，且可转动台座109-1及109-2的顶表面可水平地对齐此水平平面(例如具有对地面的相同高度)。多个可转动台座109可固定放置在其上的光刻胶瓶罐的水平及垂直位置，并确保光刻胶瓶罐至少大致上位于对地面相同的高度。光刻胶瓶罐可设置于成像装置110以足够的分辨率捕捉光刻胶瓶罐的影像的范围内，以进一步处理及识别。机械手臂120可转动以夹持在盖部/套筒上，而不碰触光刻胶瓶罐。在一些实施例中，可转动基部115-1及115-2可各自连接至可分别地驱动可转动台座109-1及109-2的马达，以在相同的水平平面中顺时针及/或逆时针地转动，使得当机械手臂102夹持在放置在可转动台座109上的光刻胶瓶罐的盖部/套筒上时，对应的可转动基部115可驱动可转动台座109以顺时针及/或逆时针地转动，以使机械手臂102更容易地旋动盖部/套筒。

身份感应装置116可包括可检测及验证放置在可转动台座109上的正确的光刻胶瓶罐的任何适合装置。举例来说，光刻胶瓶罐及/或容器(支持光刻胶瓶罐的容器)可包括无线射频识别(radio frequency ID，RFID)标签。身份感应装置116可包括读取器(无线射频识别读取器)。身份感应装置116可检测放置在可转动台座109上的满的光刻胶瓶罐匹配于空的光刻胶瓶罐，使得盖部/套筒的更换可在两个光刻胶瓶罐之间操作。匹配于空的光刻胶瓶罐的满的光刻胶瓶罐可为可更换空的光刻胶瓶罐的任何适合的光刻胶瓶罐。满的光刻胶瓶罐可填充有对于空的光刻胶瓶罐为相同类型或不同类型的光刻胶。满的光刻胶瓶罐可具有对于空的光刻胶瓶罐为相同尺寸或不同尺寸。在一些实施例中，系统100(例如中央控制器130、车辆120、及/或接收装置140)记录可更换光刻胶瓶罐的光刻胶瓶罐及任何其他光刻胶瓶罐(例如匹配的光刻胶瓶罐)。

根据一些实施例，成像装置110可装设/放置在支承台座111上，以记录及监测空的光刻胶瓶罐的软管及套筒为适当地放置在匹配的满的光刻胶瓶罐中。成像装置110可为用在图案识别及/或影像识别过程的可记录影像的任何适合的装置。举例来说，软管的一末端可连接有具有可检测的形状/尺寸(例如可使用识别功能检测的形状/尺寸)的重物(例如足够重以浸入至光刻胶中的物体)，使得当重物沉没至光刻胶中时，连接有重物的软管的末端亦可浸入至光刻胶中，以容许抽出用在制造过程的足够的光刻胶。同时，成像装置110可记录重物的位置，且可基于重物的记录的实时位置而施行影像识别，以确保连接有重物的软管的末端适当地定位在光刻胶的表面下。在一些实施例中，连接有重物的软管可拉直且大致上面对上方。成像装置110亦可记录盖部及套筒的实时位置，且可施行影像识别以确保盖部及套筒被适当地取下或放置在适合的光刻胶瓶罐上。在一些实施例中，成像装置110可包括双电荷耦合装置(charged-coupled device，CCD)相机，且影像识别可包括三维(three-dimensional，3D)定位过程。举例来说，系统100(例如车辆120、中央控制器130、及/或接收装置140)可识别重物的位置及/或比较此位置(例如沿x-y平面及z轴)与存储的位置，以判断重物及套筒是否已经被适当地放置(例如在光刻胶的底部及/或光刻胶的表面下)。

支承柱112可为具有足够硬度及强度的任何适合的支承结构，以提供适合的位置/角度给身份感应装置116及成像装置110。支承台座111可为可将成像装置110稳定地定位在其上的任何适合的结构。在一些实施例中，成像装置110根据支承台座111的移动而移动。在一些实施例中，身份感应装置116沿支承柱112而装设，且身份感应装置116沿垂直轴(例如z轴)上的位置可自动地/手动地调整。在一些实施例中，支承柱112可顺时针及/或逆时针地转动，以调整身份感器装置116的位置。因此，可调整(例如垂直地及/或水平地)身份感应装置116的位置，使得身份感应装置116可放置在预期的角度/高度，以更精准地检测及验证放置在可转动台座109上的光刻胶瓶罐的身份(例如身份号码及或无线射频识别)。在一些实施例中，支承柱112可驱动支承台座111以顺时针及/或逆时针地转动，使得成像装置110的方位可调整，且成像装置110可面对预期的光刻胶瓶罐(例如正在更换盖部/套筒的光刻胶瓶罐)。在一些实施例中，支承柱112亦可沿垂直轴(例如z轴)延伸，使得成像装置110的高度可调整，以容许成像装置110记录不同高度的特征。举例来说，不同高度的光刻胶瓶罐可放置在可转动台座109-1及109-2上，且成像装置110的位置及/或方位可自动地调整，以监测瓶罐的盖部/套筒的更换。亦即，可基于放置在可转动台座109上的光刻胶瓶罐而调整成像装置110的位置及/或方位。

机械手臂102可包括手臂基部104、第一连接部103-1、第一臂部105-1、第二连接部103-2、第二臂部105-2、第三连接部103-3、手臂顶部106、第四连接部103-4、及抓握部107。抓握部107可包括转动地连接在一起的多个夹钳结构。

手臂基部104可固定在车辆本体101上，以对附接至手臂基部104的结构/物体提供支承。手臂基部104可承受施加在机械手臂102上的力/重量。如图1所示，第一臂部105-1可经由第一连接部103-1连接至手臂基部104，第二臂部105-2可经由第二连接部103-2连接至第一臂部105-1，手臂顶部106可经由第三连接部103-3连接至第二臂部105-2，且抓握部107可经由第四连接部103-4连接至手臂顶部106。第一臂部105-1及第二臂部105-2可为可在各种方向上移动的任何适合的形状，且可由足够硬度及强度的适合的材料所制成。在一些实施例中，每一第一臂部105-1及第二臂部105-2具有柱状，且包括金属材料(例如不锈钢)。第一连接部103-1、第二连接部103-2及第三连接部103-3可共同地连接至位于两侧上的臂部，且容许连接的臂部水平地及/或垂直地移动(例如分别为x方向及z方向)。手臂顶部106可为可连接至抓握部107并可悬挂抓握部107的任何适合的形状，使得抓握部107的夹钳结构可在相同平面中彼此对齐，用于夹持至盖部/套筒上。在一些实施例中，手臂顶部106具有“L”形，手臂顶部106的一末端连接至第三连接部103-3，且手臂顶部106的另一末端连接至第四连接部103-4。抓握部107的夹钳结构可因此悬挂至第四连接部103-4，且可在水平平面(例如x平面)中转动。在一些实施例中，每一第一连接部103-1、第二连接部103-2、第三连接部103-3及第四连接部103-4包括枢轴连接部，且由具有足够硬度及强度的材料(例如不锈钢)所制成。

抓握部107可包括转动地连接在一起的多个夹钳结构。为了说明的目的，表示有两个夹钳结构107-1及107-2。在本公开中，用语“转动地连接”可指每一夹钳结构的一末端装设在一起，以容许夹钳结构的其他末端转动及抓握在光刻胶瓶罐的盖部/套筒上。转动地连接的夹钳结构可悬挂于第四连接部103-4，且可围绕垂直中央线121(例如沿z轴)转动。在一些实施例中，转动地连接的夹钳结构定位在相同的水平平面中，且可在此水平平面中转动，以抓握在预期的盖部/套筒上。在一些实施例中，第四连接部103-4包括当抓握部107夹持盖部/套筒时，容许抓握部107垂直地延伸或缩回(例如调整抓握部107沿z轴的位置)的弹簧结构。可因此水平地及垂直地调整夹钳结构的位置。抓握部107可由具有足够硬度及强度的适合的材料所制成，以承受通过被夹钳的物体所施加的反作用力(reaction force)。在一些实施例中，抓握部107可由金属(例如不锈钢)及/或增强的塑胶(reinforced plastics)所制成。

车辆120亦可包括控制车辆120的各种操作的控制单元(未表示)。举例来说，控制单元可控制在车辆120及中央控制器130之间的通信、光刻胶瓶罐的自动装载及卸载、机械手臂102的移动、可转动基部115的转动、身份感应装置116对身份信号的检测、被感测的身份信号的传递及处理、成像装置110对盖部/套筒的更换的记录、及/或被记录的影像的传递或处理。控制单元可包括适合的软件及硬件，例如存储在存储器中的电脑程序、及处理器及相关的电路系统，以执行各种的操作。在一些实施例中，车辆120存储制造设施的地图，且车辆120安装有适合的定位系统，使得车辆120可在制造设施内沿指定路线移动。举例来说，车辆120的控制单元可包括全球定位系统(global positioning system，GPS)接收器、具有基于蓝牙(Bluetooth-based)的室内定位系统的接收装置/程序、及/或具有基于无线网络(WiFi-based)的室内定位系统的接收装置/程序，以根据室内地图在制造设施内导航。制造设施可包括用在室内定位系统的对应的装置，例如用在室内定位功能的分布在各种地点的蓝牙信标(Bluetooth beacons)及/或无线网络存取点(WiFi access points)。控制单元可安排在车辆120的任何适合的地点。在一些实施例中，控制单元定位在车辆本体101中。

中央控制器130可包括控制车辆120的整体操作的任何适合的电脑系统及接收装置140。接收装置140(例如平板电脑140-1及手机140-2)可包括任何适合的便携式装置，且可使用以与中央控制器130通信。在一些实施例中，每一接收装置140包括处理器及相关的电路系统，以处理及响应通过中央控制器130所传递的通知/命令。举例来说，中央控制器130可从车辆120接收实时数据，且传递包括车辆120的实时状态的通知至接收装置140-1及/或140-2。车辆120可经由通信网络113与中央控制器130通信，且接收装置140可经由通信网络114与中央控制器130通信。每一通信网络113及114可为适合的有线的或无线的通信装置。在一些实施例中，通信网络113及114包括无线网络。下方叙述在车辆120、中央控制器130、及接收装置140中的电脑/处理器的详细说明。

图2A示出根据一些实施例的示例性的抓握部的示意图200。表示在图2A中的抓握部可相同于或相似于示出在图1中的抓握部107。在一些实施例中，抓握部包括两个夹钳结构107-1及107-2。两个夹钳结构107-1及107-2可各自包括夹钳基部(201-1及202-1)及一对夹钳(201-2及202-2)。夹钳基部及其夹钳可各自为任何适合的形状，用于夹持各种尺寸的盖部/套筒。在一些实施例中，夹钳具有尖头(prongs)的形状。在一些实施例中，夹钳基部及夹钳由足够硬度及强度的适合的材料所制成，用于抓握及移动被夹持的物体。举例来说，夹钳基部及夹钳可由金属(例如不锈钢)所制成。两个夹钳结构107-1及107-2可在夹钳基部的一末端形成刚性连接。而在另一末端的两对夹钳201-2及202-2可暴露至相反方向上的点，以夹持至物体上。为了便于叙述，图2A示出在x1-y1平面中，此平面通过连接的夹钳结构所形成。x1轴称为纵方向，且y1轴称为横向。为了范例的目的，夹钳结构沿x1轴刚性地连接。

在一些实施例中，夹钳结构107-1及107-2经由在一末端的轮毂(hub)结构208而连接。轮毂结构208可包括具有足够硬度及强度的适合的材料，以连接夹钳结构107-1及107-2成一体。轮毂结构208可经由第四连接部(例如图1中的103-4)连接至手臂顶部(例如图1中的106)。在一些实施例中，至少一夹钳结构107-1及107-2包括位于相对于夹钳的夹钳基部的一末端的连接部，用于连接其他夹钳结构。在一些实施例中，两个夹钳结构107-1及107-2被焊接在一起。在一些实施例中，两个夹钳结构107-1及107-2为相似的或相同的夹钳结构。在一些实施例中，抓握部包括刚性地彼此连接的两个以上的夹钳结构，且夹钳可指向各种不同的方向。

夹钳结构107-1及107-2可围绕在x1-y1平面中的图1的垂直中央线121(在x1-y1平面中，在抓握部的中心点处沿着垂直方向/z轴观察为一点)转动，使得预期的一对夹钳可面对并接近将***作的盖部/套筒。在一些实施例中，两个夹钳结构107-1及107-2沿线207(图2A的线207)一体地移动/转动，线207横跨沿x1轴的夹钳结构107-1及107-2的中心点。在一些实施例中，两个夹钳结构107-1及107-2沿线209一体地移动/转动，线209横跨沿y1轴的夹钳结构107-1及107-2的中心点。在一些实施例中，夹钳结构107-1及107-2沿x1轴及沿y1轴的中心的各自重叠于垂直中心线121。

在一些实施例中，夹钳基部(例如201-1及202-1)刚性地一起连接，且夹钳(例如201-2及202-2)可沿y1方向(通过双头箭头所指出)横向地移动。中央控制器(例如图1中的130)及/或车辆(例如图1中的120)可控制夹钳的移动，以加宽或缩小在两个尖头之间的间距，使得在夹钳接触盖部/套筒之前，预期的盖部/套筒可被放置在此间距中。

图2B示出根据一些实施例的夹钳结构107-2夹持至盖部/套筒上的俯视图250。元件220可代表光刻胶瓶罐的盖部或套筒。盖部/套筒220可为不同的尺寸，且夹钳202-2可沿y1轴移动，以调整为盖部/套筒220的尺寸。因此，夹钳结构107-2可在盖部/套筒220的外侧壁上接触并紧密地固定/耦接盖部/套筒220。再者，中央控制器及/或车辆可控制夹钳结构107-2，以在x1-y1平面中转动盖部/套筒220，且盖部/套筒220可转动以打开或关闭光刻胶瓶罐。

图3A及图3B是根据一些实施例的在更换光刻胶瓶罐的盖部/套筒的操作中的示例性的车辆的视图300及350。相较于在图1中所示出的车辆120，图3A及图3B中的车辆各自还包括位在容器302中的两个光刻胶瓶罐(例如305-1及305-2)，装载在可转动台阶109-1及109-2上。在一些实施例中，容器302为系统(例如表示在图1中的系统100)的一部分。为了说明的目的，位在容器302-2中且在可转动台阶109-2上的光刻胶瓶罐305-2代表空的光刻胶瓶罐，且位在容器302-1中且在可转动台阶109-1上的光刻胶瓶罐305-1代表满的光刻胶瓶罐。光刻胶瓶罐305-2可包括套筒301-2，套筒301-2具有***的软管307。重物310可附接至软管307的一末端，以容许软管适当地浸入光刻胶中。光刻胶瓶罐305-1可包括盖部301-1。如图3A及图3B所示，每一光刻胶瓶罐(例如305-1及305-2)放置在各自的容器中(例如302-1及302-2)，且容器装载至各自的可转动台座(例如109-1及109-2)上。每一容器可包括盖子(例如303-1及303-2)、容器本体(例如304-1及304-2)、及碰撞防止部(例如308-1及308-2)。每一容器可还包括载体***部(carrier-insertion portion)(例如309-1及309-2)，固定/附接在容器的底部，其中载体***部可包括多个***开口(例如306-1及306-2)。为了说明的目的，表示有两个***开口。

在制造期间，光刻胶瓶罐(例如305-1或305-2)可固定在对应的容器(例如302-1或302-2)中，且光刻胶可经由软管307从光刻胶瓶罐抽出。盖子(例如303-1或303-2)可维持关闭的，以固定光刻胶瓶罐在容器中的位置或方位，且碰撞防止部(例如308-1或308-2)可进一步缓冲通过光刻胶瓶罐所造成的任何冲击，且避免在光刻胶瓶罐及容器的部分之间的任何碰撞。当在光刻胶瓶罐305-2中的光刻胶为少的时候，可传递信号至中央控制器，请求更换光刻胶瓶罐305-2。在一些实施例中，信号可包括光刻胶瓶罐305-2的地点(例如第一地点)、时间、容器302-2/光刻胶瓶罐305-2的身份号码、及剩余的光刻胶的大约百分比。亦可手动地传递(例如通过操作光刻胶瓶罐305-2的技术人员)此请求至接收装置(例如相同于或相似于图1中表示的接收装置140)或通过容器302-2自动地传递。在一些实施例中，容器302-2包括可自动地检测在光刻胶瓶罐305-2中的剩余的光刻胶的光刻胶检测机构，例如基于光刻胶瓶罐305-2的重量。在一些实施例中，容器302-2包括可与车辆及/或中央控制器通信的集成电路(integrated circuit，IC)。

当接收请求时，中央控制器可传递车辆至光刻胶瓶罐305-2的地点。根据一些实施例，车辆可沿存储的室内地图并选择一指定路线，以到达此地点。在一些实施例中，在光刻胶瓶罐305-2装载至可转动台座109-2上后，可通知中央控制器。在一些实施例中，车辆可接近光刻胶瓶罐305-2并决定在车辆及光刻胶瓶罐305-2之间的最佳距离，且机械手臂102可将夹钳结构(例如107-1或107-2)自动地***至***开口306-2中，以装载/抬起/升起容器302-2至可转动台座109-2上，且车辆可传递关于光刻胶瓶罐305-2的装载的车辆状态更新至中央控制器。在一些实施例中，在容器302-2放置在可转动台座109-2上后，身份感应装置116检测容器302-2的身份号码并传递关于光刻胶瓶罐305-2的车辆状态更新(包括容器302-2的身份号码)至中央控制器。随后，中央控制器可验证容器302-2的身份号码是否匹配此请求并发送车辆至光刻胶瓶罐305-1所存储的地点(例如第二地点)。在一些实施例中，车辆包括，例如命令按钮及/或小型键盘(keypad)，其中可通过按压命令按钮及/或键入小型键盘输入第二地点。再者，车辆可与中央控制器通信，以更新车辆的状态，例如光刻胶瓶罐305-2的装载及光刻胶瓶罐305-2至第二地点的运输。

在车辆到达第二地点后，光刻胶瓶罐305-1(例如光刻胶为满的且容纳在容器302-1中)可以相似于上述的方式(手动或自动的装载)装载至可转动台座109-1上。在一些实施例中，光刻胶瓶罐305-1及305-2基本上分别地固定至可转动台座109-1及109-2上，以容许套筒301-2及盖部301-1的转动。举例来说，可转动台座109-1及109-2各自可包括特征/图案(例如按扣(snaps)及/或勾部(hooks))，以限制容器302-1及302-2的移动。在另外的范例中，在可转动台座(例如109-1或109-2)及对应的载体***部(例如309-1或309-2)的底部之间的磨擦力可足够大，以有效地限制对应的容器(例如302-1或302-2)的移动及滑动。在一些实施例中，身份感应装置116可验证容器302-1的身份号码，以确保光刻胶瓶罐305-1匹配光刻胶瓶罐305-1。在一些实施例中，当检测到光刻胶瓶罐305-1不匹配于光刻胶瓶罐305-2，中央控制器命令(例如传递指示至)车辆，以卸载容器302-1，并找寻匹配的光刻胶瓶罐。在一些实施例中，当没有寻找到匹配的光刻胶瓶罐时，车辆通知中央控制器，且中央控制器传递通知至一或多个接收装置，以请求额外的协助(例如从技术人员)，以寻找匹配的光刻胶瓶罐。在一些实施例中，当没有寻找到匹配的光刻胶瓶罐时，可传递状态更新至中央控制器，报告匹配的光刻胶瓶罐的存量不足，且中央控制器自动地请求订购(ordering)额外的匹配的光刻胶瓶罐。在一些实施例中，第二地点为存储空的及/或满的光刻胶瓶罐的仓库。

如图3A及图3B所示，车辆可首先从满的光刻胶瓶罐移除盖部(例如从光刻胶瓶罐305-1移除盖部301-1)，且随后从空的光刻胶瓶罐移除套筒(例如从光刻胶瓶罐305-2移除套筒301-2)，以避免机械手臂102及软管307之间的纠缠(entanglement)或接触。基于相似的理由，车辆可将夹钳结构(例如夹钳结构107-1)指向光刻胶瓶罐305-1的盖部301-1，并夹持至在盖部301-1的外侧壁上。当夹钳结构中的夹钳(例如在图2A中的201-2)调整至盖部301-1的尺寸，并紧密地夹持至盖部301-1的外侧壁上，可转动基部115-1可驱动可转动台座旋动(例如顺时针地)，使得盖部301-1及光刻胶瓶罐305-1之间的相对移动可为逆时针的，且盖部301-1可从光刻胶瓶罐305-1取下。再者，套筒301-2可从光刻胶瓶罐305-2取下。如图3B所示，在一些实施例中，抓握结构107在运载被移除的盖部301-1时移除套筒301-2。在本公开中，假设在盖部/套筒及光刻胶瓶罐之间的顺时针的相对移动可固定/耦接盖部/套筒至光刻胶瓶罐上，且在盖部/套筒及光刻胶瓶罐之间的逆时针的相对移动可从光刻胶瓶罐移除盖部/套筒。

再者，机械手臂102可升起套筒301-2、盖部301-1、及软管307，以避免软管307及光刻胶瓶罐(例如305-1及305-2)之间的接触，且放置软管307至光刻胶瓶罐305-1中。在软管307适当地放置在光刻胶瓶罐305-1中后，可转动基部115-1可首先驱动可转动基座109-1顺时针地转动，使得套筒301-2及光刻胶瓶罐305-1之间的相对移动为逆时针的，容许套筒301-2匹配于光刻胶瓶罐305-1的螺纹。在套筒301-2匹配于光刻胶瓶罐305-1的螺纹后，可转动基部115-1可驱动可转动台座109-1逆时针地转动，使得套筒301-2及光刻胶瓶罐305-1之间的相对移动为顺时针的，容许套筒301-2旋入(screw)至光刻胶瓶罐305-1的螺纹中。夹钳结构107-1可持续旋入套筒301-2并固定/耦接套筒301-2至光刻胶瓶罐305-1上。同时，可转动基部115-1可保持逆时针转动，以容许套筒301-2紧密地固定/耦接至光刻胶瓶罐305-1上。可选地，在套筒301-2旋入至光刻胶瓶罐305-1上后，夹钳结构107-1的夹钳可横向地(例如沿在图2A及图2B中的y1轴)移动，以释放套筒301-2。可选地，在释放套筒301-2后，机械手臂102可转动抓握部107并移动夹钳结构107-1及盖部301-1朝向光刻胶瓶罐305-2。机械手臂102可进一步旋入盖部301-1至光刻胶瓶罐305-2上。旋入盖部301-1至光刻胶瓶罐305-2上的操作过程可相似于套筒301-2的操作，且于此不再重复叙述。

盖部/套筒更换操作可通过中央控制器(例如图1中的中央控制器130)及/或车辆所控制，且通过车辆的不同部分所执行。举例来说，当车辆检测两个匹配的光刻胶瓶罐(例如305-1及305-2)适当地放置在可转动台座(例如109-1及109-2)上时，车辆的控制单元可控制机械手臂102，以移除光刻胶瓶罐305-1的盖部301-1及光刻胶瓶罐305-2的套筒301-2。控制单元可经由成像装置110而监测此操作。在一范例中，控制单元可通过监测重物310的位置而经由成像装置110监测盖部/套筒的更换。在一些实施例中，成像装置110记录并传递重物310的实时影像至控制单元及/或中央控制器，且控制单元及/或中央控制器可施行影像识别处理，以判断重物310是否从光刻胶瓶罐305-2取出、接触光刻胶瓶罐305-1及305-2、或放置在光刻胶瓶罐305-1中。亦即，可以精准地监测及控制重物310的位置，以确保适当地施行盖部/套筒更换过程。在一些实施例中，重物310可碰触光刻胶瓶罐305-2的底部而被认为被适当地放置。在一些实施例中，成像装置110包括双电荷耦合装置相机，且控制单元及/或中央控制器沿x轴、y轴、及/或z轴交叉匹配(cross match)重物310的影像，以判断重物310的位置(例如三维定位方法)。

再者，在盖部/套筒更换过程期间，在夹钳结构(例如107-1及107-2)旋动盖部/套筒时，控制单元及/或中央控制器可施行扭矩控制。可通过控制单元及/或中央控制器判定并控制扭矩的时机(timing)及强度和施加在可转动基部(例如115-1及115-2)上的扭转方向。在一些实施例中，一些参数为预定的并存储在控制单元及/或中央控制器中，以使此操作过程能为较可预测的/可控制的。举例来说，在光刻胶瓶罐(例如305-1及305-2)之间的距离、光刻胶瓶罐的方位及容器(例如302-1及302-2)的尺寸可被预定并存储在控制单元及/或中央控制器中。因此，在操作期间，控制单元及/或中央控制器可更精准地控制及监测部件(parts)的放置及移动。

再者，在完成盖部/套筒更换过程后，车辆可卸载容器302-2及光刻胶瓶罐305-2及/或车辆可传递状态更新(例如包括完成盖部/套筒更换、时间、及容器的身份号码)至中央控制器。中央控制器亦可传递通知(例如包括状态更新)至一或多个接收装置。中央控制器可进一步传递车辆的下个目的地的地点至控制单元，或车辆可自动地返回第一地点。车辆可运输容器302-1及光刻胶瓶罐305-1至指定地点并在此地点卸载容器302-1及光刻胶瓶罐305-1。

为了说明的目的，表示有两个容器/光刻胶瓶罐，以叙述操作。在一些实施例中，用于盖部/套筒更换的两个以上的容器/光刻胶瓶罐可被装载至车辆上。在一些实施例中，车辆可运输至不同地点，以装载多于两个的容器/光刻胶瓶罐。在一些实施例中，可变化容器/光刻胶瓶罐的尺寸。尺寸的差异可以身份号码的形式存储在控制单元及/或中央控制器中。因此，当不同尺寸的容器/光刻胶瓶罐被装载至车辆上时，控制单元及/或中央控制器可经由例如身份感应装置116而检测此差异。可相应地调整机械手臂102的移动。

图4示出根据一些实施例的使用本公开所公开的系统的示例性的光刻胶瓶罐更换方法/过程400。在一些实施例中，可以不同的顺序施行方法400的操作。方法400的变化在本公开的范围内。

在操作401中，车辆接收指出光刻胶瓶罐的光刻胶为少(例如空的光刻胶瓶罐)的请求信号。车辆可基于请求信号而产生指令，并基于此指令而控制车辆的不同部件的操作。在一些实施例中，请求信号可从容纳光刻胶为少的光刻胶瓶罐的容器及/或从发现光刻胶瓶罐的光刻胶为少的的接收装置发送。在一些实施例中，请求信号发送至中央控制器，且中央控制器可进一步发送命令至车辆，以进行光刻胶瓶罐再填充/更换。请求信号可包括空的光刻胶瓶罐的详细信息，例如空的光刻胶瓶罐的地点(例如第一地点)、请求的时间、空的光刻胶瓶罐的身份号码等。在一些实施例中，光刻胶瓶罐的身份号码唯一地(uniquely)存储在系统中。身份号码可包括任何适合的标签/代码，例如一串数字/字元、无线射频识别、条码等。身份号码可反映容纳在光刻胶瓶罐中的光刻胶的类型、光刻胶瓶罐的尺寸等。身份号码可压印(imprinted)在光刻胶瓶罐及/或具有光刻胶瓶罐的容器上。在一些实施例中，可通过对应的扫描器/读取器(例如无线射频识别读取器、条码读取器等)扫描/读取身份号码。系统的细节可参考图1的叙述。

在操作402中，在接收到请求信号后，车辆移动至空的光刻胶瓶罐的地点，并装载空的光刻胶瓶罐至车辆上。在一些实施例中，发送至车辆的命令包括第一地点的坐标及空的光刻胶瓶罐的身份号码。在接收到命令后，车辆可通过根据坐标及室内地图选择一指定路线接近第一地点。在一些实施例中，中央控制器接收请求信号及命令(例如传递指示至)车辆，以移动至空的光刻胶瓶罐的地点。车辆的细节可参考图1的叙述。

在操作403中，车辆运输空的光刻胶瓶罐至更换光刻胶瓶罐的地点，并在此地点装载满的光刻胶瓶罐至车辆上。在一些实施例中，在抵达第一地点后，可手动地(例如通过技术人员)或自动地(例如通过车辆)装载空的光刻胶瓶罐及其对应的容器至车辆上。车辆可通过扫描在容器上及/或在空的光刻胶瓶罐上的身份号码而验证空的光刻胶瓶罐的身份。在一些实施例中，在装载容器及验证光刻胶瓶罐的身份号码后，车辆运输空的光刻胶瓶罐及其对应的容器至第二地点(例如仓库)，且满的光刻胶瓶罐及其对应的容器可手动地或自动地装载至车辆上。相似地，车辆可通过扫描在容器上及/或在满的光刻胶瓶罐上的身份号码而验证满的光刻胶瓶罐的身份。在一些实施例中，中央控制器命令(例如传递指示至)车辆，以运输空的光刻胶瓶罐，并装载满的光刻胶瓶罐。过程的细节可参考图3A及图3B的叙述。

在操作404中，车辆移除满的光刻胶瓶罐的盖部，并耦接空的光刻胶瓶罐的套筒至满的光刻胶瓶罐。在一些实施例中，车辆转动支承及固定光刻胶瓶罐的可转动台座，以促进盖部及套筒的移除及更换。在一些实施例中，移除满的光刻胶瓶罐的盖部，且从空的光刻胶瓶罐取出空的光刻胶瓶罐的套筒(例如与软管及重物一起)并放置至满的光刻胶瓶罐中。在一些实施例中，为了避免与软管接触及纠缠，从外侧壁夹持盖部及套筒。在一些实施例中，可使用车辆的成像装置，以通过施行重物的三维定位而监测套筒的实时放置。在适当地放置套筒、软管及重物至满的光刻胶瓶罐上之后，可旋动套筒，以固定套筒至满的光刻胶瓶罐上。在一些实施例中，更新在系统中的空的/满的光刻胶瓶罐的状态。在一些实施例中，中央控制器命令(例如传递指示至)车辆，以移除满的光刻胶瓶罐的盖部，并放置空的光刻胶瓶罐的套筒至满的光刻胶瓶罐上。过程的细节可参考图3A及图3B的叙述。

在操作405中，车辆运输满的光刻胶瓶罐回到第一地点。在一些实施例中，在完成套筒的更换后，车辆运输满的光刻胶瓶罐至装载空的光刻胶瓶罐的第一地点。随后，可手动地或自动地卸载满的光刻胶瓶罐。在一些实施例中，更新在系统中的空的/满的光刻胶瓶罐的状态。在一些实施例中，中央控制器命令(例如传递指示至)车辆，以运输满的光刻胶瓶罐回到第一地点。过程的细节可参考图3A及图3B的叙述。

通过使用所公开的设备及方法，空的光刻胶瓶罐的装载/卸载、运输及更换可为自动的，且需要较少的劳动力。自动的操作可降低在更换过程期间所损坏的光刻胶瓶罐的数量，且车辆及容器可降低光刻胶瓶罐的损坏及泄漏的几率。亦可改善更换过程的精确性。再者，更换空的光刻胶瓶罐耗费较少的时间。因此，更换空的光刻胶瓶罐可以成本更低。

图5示出根据一些实施例的可实施本公开的各种实施例的电脑系统500的范例。如上所述，可在车辆的控制单元、容器的集成电路、接收装置、及中央控制器中使用电脑系统。电脑系统500可为能施行于本文中所叙述的功能及操作的众所周知的电脑。举例来说，但并非限制，电脑系统500可以处理及发送信号。举例来说，可使用电脑系统500执行车辆的一或多个功能，其叙述在车辆的不同部件之间及在车辆及中央控制器之间的通信的示例性操作。

电脑系统500包括一或多个处理器(亦称为中央处理单元(central processingunit，CPU))，例如处理器504。处理器504连接至通信基础设施或总线(bus)506。电脑系统500亦包括经由输入/输出接口502而与通信基础设施或总线506通信的输入/输出装置503，例如监测器、键盘、指向设备(pointing device)等。电脑系统500可通过输入/输出装置503而接收指示，以实施本文中所叙述的功能及操作，例如车辆的功能及方法400。电脑系统500亦包括主要或初级存储器508，例如随机存取存储器(random access memory，RAM)。主要存储器508可包括一或多阶的快取(level of cache)。主要存储器508在其中存储有控制逻辑(例如电脑软件)及/或数据。在一些实施例中，控制逻辑(例如电脑软件)及/或数据可包括上述关于容器的一或多个功能。

电脑系统500亦可包括一或多个次级存储装置或存储器510。举例来说，次级存储器510可包括硬盘驱动机(hard disk drive)512及/或可移除存储装置514或可移除存储驱动机514。可移除存储驱动机514可为软碟驱动机(floppy disk drive)、磁带驱动机(magnetic tape drive)、光盘驱动机(compact disk drive)、光存储装置、磁带备份装置(tape backup device)、及/或任何其他存储装置/驱动机。

可移除存储驱动机514可与可移除存储单元518互相作用。可移除存储单元518包括电脑可用存储装置或电脑可读存储装置，在其上存储有电脑软件(控制逻辑)及/或数据。可移除存储单元518可为软碟、磁带、光盘、数字化多功能光盘(DVD)、光存储光盘(opticalstorage disk)、及/或任何其他电脑数据存储装置。可移除存储装置514以众所皆知的方式从可移除存储单元518读取及/或写入至可移除存储单元518。

根据一些实施例，次级存储器510可包括其他装置、工具(instrumentalities)或其他方法，以容许电脑程序及/或其他指示及/或数据被电脑系统500所存取。举例来说，这种装置、工具或其他方法可包括可移除存储单元522及接口520。可移除存储单元522及接口520的范例可包括程序卡匣(program cartridge)及卡匣接口(例如在电玩游戏装置中所见到的)、可移除存储器芯片(例如可抹除可程序化只读存储器(EPROM)或可程序化只读存储器(PROM))及关联的插槽、存储条(memory stick)及通用串行的总线端(USB port)、存储卡及关联的存储卡槽、及/或任何其他可移除存储单元及关联的接口。在一些实施例中，次级存储器510、可移除存储单元518、及/或可移除存储单元522可包括上述关于容器的一或多个功能。

电脑系统500可还包括通信接口524或网络接口524。通信接口524使电脑系统500能与远程装置、远程网络、远程实体等的任何结合(单独地或共同地引用参考符号528)通信及互相作用。举例来说，通信接口524可容许电脑系统500经由通信路径526与远程装置528通信，通信路径526可为有线及/或无线的，且通信路径526可包括区域网络(LANs)、广域网络(WANs)、网际网络等的任何结合。可通过通信路径526传递控制逻辑及/或数据至电脑系统500及从电脑系统500传递控制逻辑及/或数据。

可以在各式各样的配置及架构来实施前述的实施例中的功能/操作。因此，前述的实施例中的一些或全部的操作(例如车辆及中央控制器的功能、及方法400)可用硬件、软件或二者来施行。在一些实施例中，包括具有控制逻辑(软件)存储在其上的有形的(tangible)电脑可用或可读媒介的有形的装置或制品于此亦被称为电脑程序产品或程序存储装置。此包括但并不限制于电脑系统500、主要存储器508、次级存储器510及可移除存储单元518及522，还有体现(embodying)前述的任何组合的有形的制品。当通过一或多个数据处理装置(例如电脑系统500)所执行时，这种控制逻辑使得这样的数据处理装置如本文所述地操作。在一些实施例中，电脑系统500包括用在制造掩模(photomasks)及电路制造的硬件/设备。举例来说，硬件/设备可连接至或为电脑系统500的元件528(远程装置、网络、实体528)的一部分。

本公开的实施例叙述自动地运输光刻胶瓶罐及以满的光刻胶瓶罐更换空的光刻胶瓶罐的系统及方法。此系统包括中央控制器、车辆、多个接收装置。中央控制器控制并与车辆及接收装置的操作通信。通过中央控制器所控制的车辆可自动地从制造地点运输空的光刻胶瓶罐至光刻胶瓶罐更换的地点(例如仓库)、以空的光刻胶瓶罐的套筒更换满的光刻胶瓶罐的盖部、及运输满的光刻胶瓶罐回到制造地点。其中的益处包括可自动化光刻胶瓶罐的运输及更换/再填充，使得光刻胶瓶罐的运输及更换/再填充为较不容易受到通过人为操作所造成的不确定性/错误的影响。通过容器所保护及通过车辆所运输，光刻胶瓶罐较不容易受到损坏/溢出/泄漏的影响，且此运送可耗费较少时间。再者，可使用自动的装置装载及卸载光刻胶瓶罐至车辆，具有更高的稳定性、降低光刻胶瓶罐损坏/溢出/泄漏的几率。再者，通过使用机械手臂，套筒更换过程为较可信赖的且可预测的。因此，光刻胶瓶罐的装载、运输、及更换需要较少的劳动力。

在一些实施例中，提供有使用车辆更换光刻胶瓶罐的更换方法。此方法包括接收用在更换第一光刻胶瓶罐的请求信号。此请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的第一地点。此方法亦包括移动至第一地点、装载第一光刻胶瓶罐、运输第一光刻胶瓶罐至关联于第二光刻胶瓶罐的第二地点、及装载第二光刻胶瓶罐。此方法还包括从第二光刻胶瓶罐移除盖部并从第一光刻胶瓶罐移除套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐、及运输第二光刻胶瓶罐至第一地点。

在一些实施例中，移动至第一地点的操作包括在制造设施的存储的地图上定位第一地点。在一些实施例中，装载第一光刻胶瓶罐的操作包括以机械手臂装载第一光刻胶瓶罐至第一容器中、及以机械手臂抬起第一容器至车辆的第一可转动台座上。装载第二光刻胶瓶罐的操作包括以机械手臂装载第二光刻胶瓶罐至第二容器中、及以机械手臂抬起第二容器至车辆的第二可转动台座上。在一些实施例中，从第二光刻胶瓶罐移除盖部，且从第一光刻胶瓶罐移除套筒的操作包括：夹持至盖部的外侧壁及套筒的外侧壁上、分别地沿盖部及套筒固定至第二光刻胶瓶罐及第一光刻胶瓶罐的方向而分别地转动第一可转动台座及第二可转动台座。在一些实施例中，耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐的操作包括：夹持至套筒的外侧壁上、沿套筒耦接至第二光刻胶瓶罐的方向而转动第二可转动台座，以容许套筒匹配第二可转动台座的螺纹、及沿相反于套筒耦接至第二光刻胶瓶罐的方向的方向而转动第二可转动台座。在一些实施例中，此方法还包括基于附接至经由套筒而***的软管的重物的实时位置而监测套筒的位置。在一些实施例中，监测实时位置的操作包括沿水平平面及垂直方向交叉匹配重物的位置的三维定位过程。在一些实施例中，此方法还包括验证第一光刻胶瓶罐的身份是否与第二光刻胶瓶罐的身份匹配。

在一些实施例中，通过本公开所提供的更换光刻胶瓶罐的车辆包括处理器，配置以接收请求信号，以更换第一光刻胶瓶罐。请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的第一地点。处理器亦配置以传递基于请求信号的指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至第一容器中、在第二地点装载第二光刻胶瓶罐至第二容器中、从第二光刻胶瓶罐移除盖部及从第一光刻胶瓶罐移除套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐、及在第一地点从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。

在一些实施例中，此车辆还包括：第一可转动台座及第二可转动台座，用于分别地固定第一容器及第二容器至第一可转动台座及第二可转动台座上，且沿水平平面转动第一容器及第二容器。在一些实施例中，机械手臂包括抓握部，用于通过夹持至盖部及套筒的分别的外侧壁而从第二光刻胶瓶罐移除盖部，且从第一光刻胶瓶罐移除套筒。在一些实施例中，抓握部更配置以通过耦接至在第一容器及第二容器的分别的底表面的载体***部并抬起第一容器及第二容器而装载及卸载第一容器及第二容器。在一些实施例中，此车辆还包括车辆本体，用于连接第一可转动台座、第二可转动台座、机械手臂及车轮。在一些实施例中，此车辆还包括固定在车辆本体上的成像装置，用于监测第一容器及第二容器的装载及卸载。在一些实施例中，抓握部包括连接至钳基部的夹钳结构及面向不同侧向方向的夹钳。

在一些实施例中，用在更换光刻胶瓶罐的电脑系统包括存储器及处理器。存储器配置以存储用在更换光刻胶瓶罐的程序及数据。处理器配置以接收用在更换第一光刻胶瓶罐的请求信号。请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的第一地点。处理器更配置以发送车辆至第一地点并控制车辆装载第一光刻胶瓶罐至车辆上、运输第一光刻胶瓶罐至第二光刻胶瓶罐所在的第二地点、及装载第二光刻胶瓶罐至车辆上。处理器更配置以移除第二光刻胶瓶罐的盖部并移除第一光刻胶瓶罐的套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐上、及运输第二光刻胶瓶罐至第一地点。

在一些实施例中，处理器更配置以：控制车辆，以通过***车辆的机械手臂至第一容器中及抬起第一容器至车辆的第一可转动台座上而装载第一光刻胶瓶罐至车辆上、及控制车辆，以通过***车辆的机械手臂至第二容器中及抬起第二容器至车辆的第二可转动台座上而装载第二光刻胶瓶罐至车辆上。在一些实施例中，存储器更配置以存储包括第一地点及第二地点的地图、及处理器更配置以在地图上定位第一地点及第二地点，且控制车辆，以根据地图而接近第一地点及第二地点。在一些实施例中，移除第二光刻胶瓶罐的盖部及第一光刻胶瓶罐的套筒的操作包括：夹持至盖部的外侧壁及套筒的外侧壁上、分别地沿盖部及套筒耦接至第二光刻胶瓶罐及第一光刻胶瓶罐的方向而分别地转动车辆的第一可转动台座及第二可转动台座。在一些实施例中，处理器更配置以控制车辆，以通过监测附接至经由套筒而***的软管的重物的实时位置而监测套筒的位置。

应注意的是，实施方式部分而非本公开的摘要，旨在用于解释权利要求。本公开的摘要部分可能阐述一或多个但非为全部经想到的示例性实施例，且因此，不旨在限制所附加的权利要求。

前述公开概述了数个实施例的特征，使得本领域中具有知识者可优选地了解本公开的形式。本领域中具有知识者将注意到，他们可轻易地使用本公开作为设计或修改其他过程及结构的基础，以实现相同的目的及/或实现于此所介绍的实施例的相同优点。本领域中具有知识者亦将认识到，如此的相等的构造不脱离本公开的构思及范围，且在不脱离所附权利要求的构思及范围的情况下，他们可进行各种改变、替换及变更。