阅读说明：本技术 改进的安瓿汽化器和器皿 (Improved ampoule vaporizer and vessel ) 是由 D·J·埃尔德里奇 J·托马斯 J·M·克利里 S·L·巴特尔 J·格雷格 T·查特顿 于 2018-12-13 设计创作，主要内容包括：本发明是针对一种汽化器或安瓿组合件,所述组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置,它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。(The present invention is directed to a vaporizer or ampoule assembly having an improved vaporizer dish body and support tray assembly configuration therein which together increase vaporizable material utilization and uniformity.)

改进的安瓿汽化器和器皿

技术领域

本发明大体上涉及汽化器，所述汽化器适用于使固体前驱体挥发以向例如气相沉积室或离子植入机等前驱体蒸汽利用处理系统且更具体地说向定位于汽化器器皿内的支撑托盘组合件提供前驱体蒸汽。

背景技术

在使用固相前驱体以供应用于蒸汽利用应用的前驱体蒸汽的过程中，已使用广泛多种汽化器。此类汽化器可包括限定封闭内部体积的器皿和盖，固相前驱体可存储于所述封闭内部体积中并随后经受挥发条件来实现固相前驱体的升华或汽化来产生前驱体蒸汽。出于此类目的，汽化器器皿或器皿主体可由导热材料制成，并经加热以引起支撑托盘上的前驱体的挥发，和/或经加热载体气体可流过器皿以产生引起夹带来自固态源前驱体材料的前驱体蒸汽的质量转移梯度。

由于市场需要前驱体材料的更均匀递送以及与约50％利用率的当前水平相比更高的利用率水平，制造商必须用取决于应用而大小不同的器皿主体和托盘组合件组合进行应对来解决这些需求。然而，简单地增加安瓿或汽化器的大小对于用户来说可能导致安装和再填充的挑战，这可能无法通过具有更多前驱体材料可用的益处来补偿。因此，半导体行业中需要在较长的时间周期中改进前驱体递送均匀性。

发明内容

行业中的新应用需要高价值前驱体的较高递送率和更完全的利用。对汽化器性能的增加需求已经显现出使用传统器皿主体和支撑托盘组合件的当前汽化器设计中的缺点。将有利的是改进利用具有支撑托盘的汽化器器皿主体的当前前驱体汽化系统而对最终用户基本上不增加材料、能量和劳动成本。

在汽化器或安瓿系统的一个实例实施例中，提供一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件，所述汽化器组合件包含：多器皿主体组合件，其包含至少第一和第二纵向附接的器皿主体，所述器皿主体具有共同纵向轴线且界定所述多器皿主体组合件的内部体积，所述器皿主体中的每一个具有由侧壁和器皿主体边沿开口界定的内部体积，所述器皿主体中的每一个具有所述器皿主体的内径且具有内部侧壁表面。所述汽化器系统还包含：基座部件，其安置于所述第一器皿主体下方且封闭所述第一器皿主体的底部开口；以及盖部件，其安置于所述第二器皿主体的所述边沿开口上，所述第二器皿主体安置于所述第一器皿主体的所述边沿开口上。所述系统进一步包含气体入口和气体出口，其经布置成与所述多器皿主体组合件的所述内部体积流体连通，所述气体入口适于将第一气体供应到所述多器皿主体组合件的所述内部体积。所述系统还包含多个通风支撑托盘，其具有托盘圆周侧壁，所述托盘圆周侧壁安置于所述内部体积内且与所述多器皿主体组合件的内径接触，所述多个通风支撑托盘包含第一组托盘，所述第一组托盘安置于所述第一器皿主体内且在安置于所述第二器皿主体内的第二组托盘下方，其中所述第一组托盘中的每一个具有大于所述第二组托盘的第二托盘侧壁高度的第一托盘侧壁高度，所述多个所述支撑托盘适于支撑在所述气体入口与所述气体出口之间延伸的流动路径中的可汽化的源材料。

在相关实施例中，所述第一器皿主体具有大于所述第二器皿主体的纵向高度的纵向高度。在另一实施例中，所述第一器皿主体的第一纵向高度等于所述第二器皿主体的纵向高度。在又一相关实施例中，所述第二器皿主体包含下部基座边沿，所述下部基座边沿经配置以与所述第一器皿主体的上部边沿开口配合。在另一实施例中，所述第一托盘侧壁高度小于所述第二托盘侧壁高度。

在汽化器系统的相关实例实施例中，第一组支撑托盘的数目等于第二组支撑托盘的数目。在另一实例实施例中，第一组支撑托盘的数目大于第二组支撑托盘的数目。在又另一实例实施例中，第一组支撑托盘中的每一个的高度是第二组支撑托盘中的每一个的高度的约3倍到约4倍。在另一实例实施例中，汽化器组合件包含具有抗腐蚀涂层的支撑托盘，所述抗腐蚀涂层选自由以下各项组成的群组：金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物，以及分层堆放在一起的这些膜的组合。所述化学递送系统经配置以对体容器进行加热以使前驱体升华，因此将前驱体转换为蒸汽形式。所述化学递送系统还经配置以加热第一导管以维持前驱体处于蒸汽形式。

在相关实施例中，提供一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件，所述汽化器组合件包含：器皿主体，其具有由侧壁、器皿主体边沿开口和内部侧壁表面界定的内部体积。所述汽化器组合件还包含：基座部件，其安置于所述第一器皿主体下方且封闭所述第一器皿主体的底部开口；以及盖部件，其安置于所述器皿主体的所述边沿开口上；以及气体入口和气体出口，其经布置成与所述器皿主体的所述内部体积流体连通，所述气体入口适于将第一气体供应到所述器皿主体的所述内部体积。所述汽化器组合件进一步包含多个通风支撑托盘，其具有托盘圆周侧壁，所述托盘圆周侧壁安置于所述内部体积内且与所述器皿主体的内径接触，所述多个通风支撑托盘包含第一组托盘，所述第一组托盘安置于所述第一器皿主体内且在安置于所述器皿主体内的第二组托盘下方，其中所述第一组托盘中的每一个具有大于所述第二组托盘的第二托盘侧壁高度的第一托盘侧壁高度，所述多个所述支撑托盘适于支撑在所述气体入口与所述气体出口之间延伸的流动路径中的可汽化的源材料。

当结合附图阅读时，将从具体实施例的以下描述关于其构造和其操作方法两者连同其额外优点最好地理解本发明自身的各种实施例的新颖特征。

附图说明

图1A说明包含封围一或多个支撑托盘的外壳主体的现有技术汽化器器皿。

图1B和1C说明封围一或多个支撑托盘的汽化器器皿的实施例的俯视图和侧面剖视图。

图2A-2D说明根据本发明的实例实施例的汽化器器皿组合件的透视图、分解视图、侧视图和俯视图，所述汽化器器皿组合件包含在器皿主体或基座内的一组支撑托盘。

图3A-3C说明根据本发明的实例实施例的用于本文所描述的汽化器器皿中的任一者的支撑托盘的俯视图、侧视图和透视图。

图4A-4D说明根据本发明的实例实施例的汽化器器皿组合件的透视图、分解视图、侧视图和俯视图，所述汽化器器皿组合件包含在器皿主体或基座内的一组支撑托盘。

图5A-5C说明根据本发明的实例实施例的用于本文所描述的汽化器器皿中的任一者的支撑托盘的俯视图、侧视图和透视图。

具体实施方式

下文是涉及根据本发明的方法和设备的各种相关概念和其实施例的更详细描述。应了解，上文介绍且在下文更详细地论述的主题的各方面可以多个方式中的任一个实施，这是因为主题不限于任何特定实施方式。主要出于说明性目的提供了特定的实施方案和应用的实例。

参考图式，图1A是一般类型的现有技术汽化器10的透视图。汽化器10包括由合适的导热材料制成的器皿主体12。器皿主体12包含一起形成器皿的内部体积的底层14和包围侧壁16。器皿主体12可具有促进载体气体均匀地流过其内部体积的任何形状。在一个实施例中，所述器皿具有以极紧密的容限(例如，介于1/1000到3/1000英寸(25.4μm到76.2μm)的范围内)加工的圆柱形形状。所述器皿包含盖18，其上安装载体气体入口阀20和气体出口阀40，所述载体气体入口阀经布置以在阀打开时将载体气体选择性地引入到器皿的内部体积中，所述气体出口阀用于分配来自汽化器器皿的汽化材料。汽化器器皿主体12可由各种材料构成，包含不锈钢、石墨、银、银合金、铜、铜合金、铝、铝合金、铅、钢板包镍、碳化硅涂布的石墨、热解碳涂布的石墨、氮化硼、陶瓷材料等等，以及此类类型的材料中的两个或更多个的组合、混合物和合金。

多个竖直堆叠的支撑托盘22定位于器皿主体12的内部体积中。所述堆叠支撑托盘可彼此分开且可从器皿主体装卸以用于清洁和再填充。内部中心载体气体下管23定位于器皿主体内，所述载体气体下管连接(焊接)到与入口阀20相关联的盖中的气体入口并将载体气体输送到内部体积的底部在竖直堆叠的托盘的阵列中的最低托盘下方。在图1A中，中心载体气体下管23通过每一托盘的圆柱形轴环，所述圆柱形轴环延伸穿过所述托盘的底层。在此实例中，在紧接于下管23的圆柱形轴环处包含密封O形环38，所述密封O形环定位于连续的托盘之间以确保下管与托盘的底层的接合点处的防漏密封。还可利用额外外部O形环以在每一托盘侧壁的顶部表面上在托盘之间进行密封。个别托盘22中的每一个具有底层和侧壁以形成用于放置并支撑源材料的托盘空腔。托盘优选地由非反应性导热材料制成，例如不锈钢、银、银合金、铜、铜合金、铝、铝合金、铅、钢板包镍、石墨、热解碳涂布的石墨、碳化硅涂布的石墨、氮化硼、陶瓷材料，以及前述各项中的两个或更多个的组合、混合物和复合物。

再次参考图1A，竖直堆叠的托盘配备有载体气体流过的多个隆起部或通过管30。托盘固持固体前驱体材料用于在其加热之后即刻挥发。可通过将热能输入到器皿主体来以传导方式加热安装于器皿主体中的托盘以使得安置于托盘中的前驱体材料充分地经加热以使前驱体材料挥发来实行加热。挥发的前驱体接着夹带于流过汽化器器皿的内部体积的载体气体中，并在分配操作中在此类载体气体中经由出口40被携带出器皿主体。作为以热能输入加热汽化器器皿10的补充或替代，载体气体自身可经加热到适当的温度以在载体气体与前驱体材料接触时实现或帮助托盘内的前驱体材料的挥发。

图1B和1C说明封围一或多个支撑托盘122的汽化器器皿110的另一实施例的侧面剖视图和俯视图。汽化器110包括由合适的导热材料制成的器皿主体112。器皿主体112包括一起形成器皿的内部体积的底层114和包围侧壁116。器皿主体112可具有促进载体气体均匀地流过其内部体积的任何形状。在一个实施例中，所述器皿具有以极紧密的容限(例如，介于1/1000到3/1000英寸(25.4μm到76.2μm)的范围内)加工的圆柱形形状。所述器皿包含配合于器皿主体112上方的盖118，且包含插入O形环138以改进盖118与主体112之间的密封。盖118包含安装于其上的载体气体入口阀120和气体出口阀140以及旁路阀150，载体气体入口阀经布置以当阀打开时将载体气体选择性引入器皿的内部体积中，所述气体出口阀用于从汽化器器皿分配汽化材料，所述旁路阀用于在安装之后的清扫连接干燥和移除残余化学品的用途以在使用之后移除容器。旁路阀也可用于在沉积期间在容器之间循环载体气体流以及晶片或脉冲之间的旁路。汽化器器皿主体112可由类似于上文所描述的器皿主体12的材料构成。

多个竖直堆叠的支撑托盘122定位于器皿主体112的内部体积中。所述堆叠支撑托盘可彼此分开且可从器皿主体装卸以用于清洁和再填充。内部中心载体气体下管123定位在器皿主体内，所述下管连接(焊接)到与入口阀120相关联的盖中的气体入口且将载体气体输送到内部体积的底部在竖直堆叠的托盘的阵列中的最低托盘下方，且具有前驱体材料的气体向上穿过通风管且退出管142并通过出口140退出。在图1C中，中心载体气体下管123通过每一托盘的圆柱形轴环，所述圆柱形轴环延伸通过所述托盘的底层。在此实例中，在紧接于下管123的圆柱形轴环处包含圆柱形彩色或密封O形环124，其定位于连续托盘之间以确保下管与托盘的底层的接合点处的防漏密封。替代地，所述O形环将在载体气体下管与仅第一托盘之间进行密封，且下方的连续托盘在没有O形环的情况下充分地密封。利用额外外部O形环138在主体或基部凸缘与盖118之间进行密封。个别托盘122中的每一个具有底层和侧壁以形成用于放置和支撑源材料的托盘空腔。托盘优选地由非反应性导热材料制成，例如不锈钢、银、银合金、铜、铜合金、铝、铝合金、铅、钢板包镍、石墨、热解碳涂布的石墨、碳化硅涂布的石墨、氮化硼、陶瓷材料，以及前述各项中的两个或更多个的组合、混合物和复合物。

再次参考图1B和1C，竖直堆叠的托盘配备有多个载体气体流过的隆起部或通过管130。托盘固持固体前驱体材料用于在其加热之后即刻挥发。可通过将热能输入到器皿主体来以传导方式加热安装于器皿主体中的托盘以使得安置于托盘中的前驱体材料充分地经加热以使前驱体材料挥发来实行加热。挥发的前驱体接着夹带于流过汽化器器皿的内部体积的载体气体中，并在分配操作中在此类载体气体中经由出口40被携带出器皿主体。作为为此以及本文所描述的其它实施例通过热能输入加热汽化器器皿110的补充或替代，载体气体自身可经加热到适当的温度以在载体气体与前驱体材料接触时实现或帮助托盘内的前驱体材料的挥发。

甚至在现有技术中提供以便于半导体处理的前体材料的均匀和连续升华的各种配置的情况下，半导体组件制造商正面临提高半导体组件处理产出率和提高半导体组件产率且同时处理需要更多制造效率的快速改变的半导体组件设计的挑战。这些挑战都需要在安瓿或汽化器组件的使用期限中的增加的递送速率和改进的递送一致性。可改善半导体处理的总体安装基础的一个区域是通过可实施于当前设施中以解决这些制造、能耗和前驱体升华效率挑战中的一些的汽化器器皿设计来提供前驱体材料升华的改进的效率。提供可容易在现场使用的可改装或可配置的汽化器组件将是带给半导体制造商的实质优点和现有技术中的进步。

现参看为半导体制造商解决前驱体材料的改进利用率和效率以及最终产品产率的本发明的各种实施例中的一或多个，提供可改装到当前设施中存在的当前标准汽化器器皿中的汽化器组合件。现在参看图2A-2D，图示了根据本发明的实例实施例的用于汽化和递送汽化源材料的汽化器器皿组合件200的透视图、分解视图、侧视图和俯视图，所述汽化器器皿组合件在器皿主体或基座组合件212内部包含一组支撑托盘222。器皿组合件200包含具有内部体积的器皿主体212，所述内部体积由侧壁216、器皿主体边沿开口217和内部侧壁表面界定。所述汽化器组合件还包含安置于第一器皿主体212下方且封闭第一器皿主体212的底部开口的基座部件214和安置于器皿主体的边沿开口217上的盖部件218，以及布置成与器皿主体212的内部体积成流体连通的气体入口220和气体出口240，气体入口220经配置以将第一气体供应到器皿主体212的内部体积。

在一个实例实施例中，器皿主体具有以极紧密的容限(例如，介于1/1000到3/1000英寸(25.4μm到76.2μm)的范围内)加工的圆柱形形状。器皿包含配合于器皿主体212上方的盖218，且包含插入O形环238以改进盖218与主体212之间的密封。盖218包含安装五金件，例如螺栓218A，以及用于移动器皿的具有相关联螺钉218C的手柄218B。盖218进一步包含安装于其上的载体气体入口阀220(和载体阀组合件220A)和气体出口阀240以及旁路阀250，所述载体气体入口阀经布置以当阀打开时将载体气体选择性引入到器皿的内部体积，所述气体出口阀用于从汽化器器皿分配汽化材料，所述旁路阀用于在安装之后的清扫连接干燥和移除残余化学品的用途以在使用之后移除容器。旁路阀也可用于在沉积期间在容器之间循环载体气体流以及晶片之间的旁路。汽化器器皿主体212可由类似于上文所描述的器皿主体12和112的材料构成。

在此实例实施例中，汽化器组合件200进一步包含多个通风支撑托盘222，其中托盘圆周侧壁216安置于内部体积内且与器皿主体212的内径接触，多个通风支撑托盘222包含第一组托盘222A，其安置于第一器皿主体212内且在安置于器皿主体212内的第二组托盘222B下方。在此实例实施例中，托盘222A和222B具有大约相同的侧壁高度，所述多个支撑托盘适于支撑在气体入口与气体出口之间延伸的流动路径中的可汽化的源材料。在另一实施例中，第一组托盘222A具有第一托盘侧壁高度，其大于第二组托盘222B的第二托盘侧壁高度。由于增加的侧壁高度(具有用于前驱体材料的较大容器体积)所致的安置于第一组托盘222A内的增加的前驱体材料促进了在载体气体通过中心载体管且向上通过托盘222时的更均匀的利用率。图2C和2D说明具体来说用于运载支撑托盘222的器皿主体的具有相关联尺寸的器皿组合件200的侧视图和俯视图。

现在参看图3A-3C，说明根据本发明的实例实施例的用于本文所描述的汽化器器皿中的任一者的支撑托盘222A的俯视图、侧视图和透视图。在此实例实施例中，支撑托盘222A包含支撑前驱体材料的底层面板226A(和侧壁227A)且包含多个通过管223A(或者孔或长形的狭槽，这取决于汽化器系统)以促进载体气体向上流动通过器皿或安瓿中的各种托盘模块。在此实例实施例中，侧壁227A具有约1.170英寸的高度，且通过管223A具有高出底层面板226A约0.965英寸的高度，恰好在托盘222A的水平平面的表面下方。在各种实施例中通过管223A从支撑托盘的底层226A向上延伸，并界定与托盘底层226A中的对应开口或孔连通的中心通路225A。在其它实施例中，通过管223A以相同方式从托盘的底层226A向上延伸，但也在托盘222A下方向下延伸，如图3B中图示，以使得中心通路225A也可在托盘的底层的上方和下方由通过管封闭，例如作为其中心孔隙。通过管可具有实现被气流穿过的例如圆柱形或锥形形状的任何形状或配置。在相关实施例中，器皿主体和托盘使用除中心开口以外的例如沿着且向下穿过支撑托盘和器皿主体的周边的中心或主要气流结构。

现在参看图4A-4D，图示了根据本发明的实例实施例的汽化器器皿400的透视图、分解视图、侧视图和俯视图，所述汽化器器皿包含在器皿主体或基座内的一组支撑托盘222A和222B。组合件400包含多器皿主体组合件410，其分别包含至少第一和第二纵向附接的器皿主体412和422，所述器皿主体具有共同纵向轴线且界定所述多器皿主体组合件的内部体积。所述器皿主体中的每一个分别具有内部体积416和426，所述内部体积分别由侧壁和器皿主体边沿开口417和427界定，所述器皿主体中的每一个具有器皿主体的内径且具有内部侧壁表面。在此实例实施例中，器皿主体412和422各自具有以极紧密的容限(例如，介于1/1000到3/1000英寸(25.4μm到76.2μm)的范围内)加工的圆柱形形状。

汽化器系统400还包含安置于第一器皿主体412下方且封闭第一器皿主体412的底部开口的基座部件414以及安置于第二器皿主体422的边沿开口427上的盖部件418，第二器皿主体422具有安置于第一器皿主体412的边沿开口417上的底部边沿422A。配合于器皿主体212上方的盖418还包含插入O形环238以改进盖418与主体412之间的密封。盖418还包含安装五金件，例如螺栓418A(且可包含用于移动器皿400的具有相关联螺钉的手柄)。系统400进一步包含经布置成与多器皿主体组合件的内部体积流体连通的用于从汽化器器皿分配汽化材料的气体入口420(和载体阀组合件420A)和气体出口440，气体入口420经配置以将第一气体供应到多器皿主体组合件410的内部体积。盖418进一步包含旁路阀250，用于在安装之后的清扫连接干燥和移除残余化学品的用途以在使用之后移除容器。旁路阀也可用于在沉积期间在容器之间循环载体气体流以及晶片之间的旁路。汽化器器皿主体412和422可由类似于上文描述的器皿主体12、112和212的材料构成。

系统400包含多个通风支撑托盘222A和222B，其中托盘圆周侧壁安置于内部体积内且与多器皿主体组合件410的内径接触，所述多个通风支撑托盘包含第一组托盘222B，所述第一组托盘安置在第一器皿主体412内且在安置于第二器皿主体422内的第二组托盘222A下方，其中第一组托盘222B中的每一个具有第一托盘侧壁高度，其大于第二组托盘222A的第二托盘侧壁高度，所述多个支撑托盘经设计以支撑在气体入口420与气体出口440之间延伸的流动路径中的可汽化的源材料。在此实例实施例中，支撑托盘222B有意地设计成较深或具有较高托盘侧壁以便支撑比托盘222A更多的可汽化材料，以便促进更均匀的汽化材料且进而在正制造的衬底上具有更均匀的材料沉积。另外，托盘222B中的额外材料也增加了在必须断开生产线以对器皿组合件410中的支撑托盘添加更多可汽化的材料之前的每次制造运行的制造时间。通过此多器皿主体组合件410和不同大小的支撑托盘，利用率水平已经从约50％的传统利用率水平增加到90％。在此实例实施例中，五个较大支撑托盘222B与较小支撑托盘222A一起使用。在其它实施例中，比率是具有的较大托盘222B多于较小托盘222A，例如四个到六个较大托盘222B与两个到四个较小托盘222A。

在相关实施例中，第一器皿主体412具有大于第二器皿主体422的纵向高度的纵向高度。在另一实施例中，第一器皿主体412的第一纵向高度等于第二器皿主体422的纵向高度。在又一相关实施例中，第二器皿主体422包含下部基座边沿，其经配置以与第一器皿主体的上部边沿开口配合。在另一实施例中，托盘222B的第一托盘侧壁高度小于托盘222A的第二托盘侧壁高度。在汽化器系统的相关实例实施例中，第一组支撑托盘222A的数目等于第二组支撑托盘222B的数目。在另一实例实施例中，第一组支撑托盘222A的数目大于第二组支撑托盘222B的数目。在又另一实例实施例中，第一组支撑托盘222B中的每一个的高度是第二组支撑托盘222A中的每一个的高度的约3倍到约4倍。在另一实例实施例中，汽化器组合件包含具有抗腐蚀涂层的支撑托盘，所述抗腐蚀涂层选自由以下各项组成的群组：金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物，以及分层堆放在一起的这些膜的组合。

现在参看图5A-5C，说明根据本发明的实例实施例的用于本文所描述的汽化器器皿中的任一者的支撑托盘的俯视图、侧视图和透视图。在此实例实施例中，支撑托盘222B包含支撑前驱体材料的底层面板226B(和侧壁227B)且包含多个通过管223B(或者孔或长形的狭槽，这取决于汽化器系统)以促进载体气体向上流动通过器皿或安瓿中的各种托盘模块。在此实例实施例中，侧壁227B具有约2.355英寸的高度，且通过管223B具有高出底层面板226B约2.150英寸的高度，恰好在托盘222B的水平平面的表面下方。在各种实施例中通过管223B从支撑托盘的底层226B向上延伸，并界定与托盘底层226B中的对应开口或孔连通的中心通路225B。在其它实施例中，通过管223B以相同方式从托盘的底层226B向上延伸，但也在托盘222A下方向下延伸，如图3B中图示，以使得中心通路225B也可在托盘的底层的上方和下方由通过管封闭，例如作为其中心孔隙。通过管可具有实现被气流穿过的例如圆柱形或锥形形状的任何形状或配置。在相关实施例中，器皿主体和托盘使用除中心开口以外的例如沿着且向下穿过支撑托盘和器皿主体的周边的中心或主要气流结构。

通过管232A和232B以任何合适的方式紧固到托盘的底层，例如通过焊接、钎焊、机械扣件附接、压入配合、型锻等。在替代方案中，通过管可作为托盘底层的部分一体成型。在具体实施例中，通过管中的每一个的高度与托盘侧壁的高度近似相同，但是预期其它实施例，其中通过管中的每一个的高度大于或小于此类侧壁。相应托盘的侧壁可具有充足的高度，以使得托盘可堆叠以在汽化器的器皿的内部体积中形成竖直地延伸的堆叠阵列。

本文所描述的各种支撑托盘组合件可经受施加于在给定应用中使用的标准汽化器组合件的标准汽化器温度，这取决于例如CVD设备或离子植入系统等下游流体利用设备的操作条件，以及所提供的源材料的蒸汽压力和量。在利用可升华的固体源试剂的各种具体实施例中，可利用介于从约20℃到约300℃的范围内的汽化器温度(当前应用可受高于300℃的高纯度阀的可用性限制)。在具体实施例中，涉及金属卤化物固体源试剂的本发明的实施方案可例如利用介于从约100℃到约200℃的范围内的温度。源试剂材料可呈任何合适形式，包括固体形式、液体形式、半固体形式、或含有溶解或分散于合适的溶剂介质中的源试剂材料的溶液。对于用于升华的额外化学物质、托盘模块配置、气流和安瓿组合件配置，参考以全文引用的方式并入的克利里(Cleary)等的第8,821,640号美国专利和鲍姆(Baum)等在2015年10月29日发布且名为“固体汽化器(SOLID VAPORIZER)”的WO 2015/164029。

已在上文出于说明其细节和使得所属领域的普通技术人员能够制作并使用本发明的目的而描述本发明的各种实施例。所公开实施例的细节和特征并不希望是限制性的，这是因为许多变化和修改将易于对所属领域的技术人员显而易见。因此，本发明的范围希望被广泛地解释，并包含所附权利要求书和其法律等效物的范围和精神内的所有变化和修改。