阅读说明：本技术 八氟环戊烯的制造方法 (Process for producing octafluorocyclopentene ) 是由 杉本达也 于 2018-06-01 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种使1-氯七氟环戊烯与碱金属氟化物接触而制造八氟环戊烯的方法。该制造方法包括：将1-氯七氟环戊烯加热到40℃以上且55℃以下的原料加热工序；以及将包含非质子性极性溶剂和碱金属氟化物的悬浊液维持在85℃以上的同时,将加热的1-氯七氟环戊烯供给到悬浊液,进行氟化,得到八氟环戊烯的氟化工序。(The present invention provides a method for producing octafluorocyclopentene by bringing 1-chloroheptafluorocyclopentene into contact with an alkali metal fluoride. The manufacturing method comprises the following steps: a raw material heating step of heating 1-chloroheptafluorocyclopentene to a temperature of 40 ℃ to 55 ℃; and a fluorination step in which a suspension containing an aprotic polar solvent and an alkali metal fluoride is maintained at 85 ℃ or higher, and the heated 1-chloroheptafluorocyclopentene is supplied to the suspension and fluorinated to obtain octafluorocyclopentene.)

八氟环戊烯的制造方法

技术领域

本发明涉及八氟环戊烯的制造方法。本发明特别涉及将1-氯七氟环戊烯氟化，制造1,2,3,3,4,4,5,5-八氟环戊烯的制造方法。

背景技术

1,2,3,3,4,4,5,5-八氟环戊烯(以下，也称为“八氟环戊烯”)作为在半导体装置的制造工序中进行的蚀刻和化学气相生长法(CVD：Chemical Vapour Depos ition)等中的等离子体反应用的气体、或含氟医药中间体和光致变色分子材料等的原料是有用的。尤其是，高纯度化的八氟环戊烯能够特别适宜地用作可以在半导体装置的制造工序中使用的等离子蚀刻气体和CVD用气体等。

近年来，提出了几种八氟环戊烯的制造方法。例如，在专利文献1中有如下记载：利用无水氟化氢，将六氯环戊二烯进行氟化，得到包含2个以上氯原子的化合物的混合物，该混合物包含1,2-二氯六氟环戊烯、1,2,3-三氯五氟环戊烯和1,2,3,5-四氯四氟环戊烯，将该混合物在N,N-二甲基甲酰胺溶剂下利用氟化钾进行氟化，以收率93.1％得到八氟环戊烯。

在专利文献2中有如下记载：将1,2-二氯六氟环戊烯用作原料，在N,N-二甲基甲酰胺溶剂下，将氟化钾用作氟化剂，一边调节原料的滴加速度与作为生成物的八氟环戊烯的抽取速度，一边进行反应，以收率87.8％得到八氟环戊烯。

在专利文献3中，将八氯环戊烯用作起始原料，利用无水氟化氢在气相中进行氟化，得到1-氯七氟环戊烯、1,2-二氯六氟环戊烯、三氯五氟环戊烯、四氯四氟环戊烯和五氯三氟环戊烯的混合物，将该混合物利用氟化钾进行氟化，以收率90％得到八氟环戊烯。

在专利文献4中，在N,N-二甲基甲酰胺溶剂下，利用氟化钾将以1-氯七氟环戊烯作为主成分的原料进行氟化，以收率87％得到八氟环戊烯。

在专利文献5中有如下记载：通过将1-氯七氟环戊烯用作原料，将氟化钾用作氟化剂，在N,N-二甲基甲酰胺和作为非极性溶剂的苯的混合溶剂下进行加热回流，以收率72％得到八氟环戊烯。

在非专利文献1中，将八氯环戊烯用作原料，在N-甲基吡咯烷酮溶剂下，将氟化钾用作氟化剂，进行氟化，以收率72％得到八氟环戊烯。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第1997/043233号；

专利文献2：日本特开平9-95458号公报；

专利文献3：日本特开2006-151998号公报；

专利文献4：日本特开2001-247493号公报；

专利文献5：美国专利第3567788号说明书。

非专利文献

非专利文献1：John T.Maynard,“Journal of Organic Chemistry”,1963,vol.28,p.112-115。

发明内容

发明要解决的问题

在此，关于近年来可适宜地用于上述那样的用途的八氟环戊烯的制造方法，实现高收率的必要性正在提高。然而，在上述那样的迄今已提出的各种制造方法中，无法充分提高八氟环戊烯的收率。

因此，本发明的目的在于提供一种能充分提高八氟环戊烯的收率的制造方法。

用于解决问题的方案

于是，首先，本发明人着眼于为了将1-氯七氟环戊烯进行氟化而使1-氯七氟环戊烯与碱金属氟化物接触的氟化工序。更具体而言，当进行该氟化工序时，本发明人按照专利文献2和专利文献3记载的方法，尝试如下方式：一边将作为原料的1-氯七氟环戊烯供给到反应器内，一边使作为氟化剂的碱金属氟化物与其进行反应，将得到的八氟环戊烯从反应器中抽出。其结果是发现了：将作为原料的1-氯七氟环戊烯持续地供给到反应器内时，会有反应器内(反应内容物)的温度缓慢降低的倾向。更具体地，本发明人查明：当内温降低至小于约85℃时，碳-氯键向碳-氟键的转换速度变得非常慢，由此会导致目标生成物的八氟环戊烯的收率降低。

本发明人推定：反应器内的1-氯七氟环戊烯和碱金属氟化物的反应中的温度即内温降低的一个原因为1-氯七氟环戊烯的沸点较低，为56℃。在此，例如在专利文献1和2中用作原料的1,2-二氯六氟环戊烯的沸点为90℃，氯原子数比1,2-二氯六氟环戊烯多的化合物的沸点超过90℃。另外，包含多种这些化合物的混合物的沸点也超过90℃。因此可以认为：如果在设想为专利文献1和2所公开那样的在液相中的氟化工序的情况下，作为原料的1-氯七氟环戊烯与反应溶剂和碱金属氟化物的悬浊液接触，则与现有技术中那样将1,2-二氯六氟环戊烯用作原料的情况相比，汽化热等的影响大，降低内温的效果强。而且，如上所述，由于当内温降低时氟化工序中的氟化反应的速度变得非常慢，因此，在反应体系中会大量残留未反应的1-氯七氟环戊烯，容易与作为目标生成物的八氟环戊烯一起从反应器中被抽出。因此，会有八氟环戊烯的收率降低的风险。

另外，作为用于抑制由于内温降低而导致的氟化反应速度降低的对策，可以考虑放慢作为原料的1-氯七氟环戊烯向反应器的供给速度。然而，如果原料供给速度放慢，则氟化工序所需的时间会变得非常长，导致生产性降低，因此这并不是现实的对策。

此外，作为另一对策，可以考虑提高内温的初始设定值。然而，设想如果向反应器供给作为原料的1-氯七氟环戊烯，则仍然会像如上述那样引起由于1-氯七氟环戊烯的低沸点导致的内温降低，以至使八氟环戊烯的收率降低。

此外，作为另一对策，也可以考虑通过在氟化工序中加热反应器来调节内温。然而，配合内温的变动来调节反应器的加热温度，将内温一直控制在所期望的值是非常困难而不现实的。

鉴于以上的状况，本发明人新发现，通过使作为原料的1-氯七氟环戊烯升温后供给到反应体系，能有效地抑制内温降低，完成了本发明。

本发明的目的在于有利地解决上述问题，本发明的八氟环戊烯的制造方法的特征在于，其是使1-氯七氟环戊烯与碱金属氟化物接触来得到八氟环戊烯的制造方法，包含下述工序：将1-氯七氟环戊烯加热到40℃以上且55℃以下的原料加热工序；将包含非质子性极性溶剂和碱金属氟化物的悬浊液维持在85℃以上的同时，将加热的1-氯七氟环戊烯供给到上述悬浊液，进行氟化，得到八氟环戊烯的氟化工序；以及将上述氟化工序中生成的上述八氟环戊烯回收的回收工序。根据该制造方法，能充分提高八氟环戊烯的收率。

此外，在本发明的八氟环戊烯的制造方法中，优选上述非质子性极性溶剂为N,N-二甲基甲酰胺或N,N-二甲基乙酰胺。如果非质子性极性溶剂为N,N-二甲基甲酰胺或N,N-二甲基乙酰胺，则能进一步提高八氟环戊烯的收率。

此外，在本发明的八氟环戊烯的制造方法中，优选上述碱金属氟化物为氟化钾或氟化铯。如果碱金属氟化物为氟化钾或氟化铯，则能进一步提高八氟环戊烯的制造效率和收率。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行详细说明。本发明的八氟环戊烯的制造方法(以下，也称为“本发明的制造方法”等)并无特殊限定，能在具备反应器和蒸馏塔、或者具备反应器和精馏塔的制造装置中很好地实施。

本发明的制造方法的特征在于，包含以下工序：将1-氯七氟环戊烯加热到40℃以上且55℃以下的原料加热工序；将包含非质子性极性溶剂及碱金属氟化物的悬浊液维持在85℃以上的同时，将加热的1-氯七氟环戊烯供给到悬浊液，进行氟化，得到八氟环戊烯的氟化工序；以及将在该氟化工序中生成的八氟环戊烯回收的回收工序。而且，在本发明的制造方法中，对悬浊液供给在原料加热工序中升温到上述规定温度范围的原料，进而将氟化工序中悬浊液的温度维持在85℃以上，因此能以高收率制造八氟环戊烯。

以下，对在本发明的制造方法中可使用的原料、溶剂和碱金属氟化物等各种要素进行详述，在此基础上，对本发明的制造方法可包含的各种工序的一个例子进行说明。

[原料]

在本发明的制造方法中，将1-氯七氟环戊烯用作原料。1-氯七氟环戊烯的制备方法遵循已知的方法。例如，根据美国专利第3567788号，在二甲基亚砜溶剂下，利用无水氟化钾将1,2-二氯六氟环戊烯进行氟化，以收率74％得到1-氯七氟环戊烯。此外，根据日本特开2001-240568号公报，将1,2-二氯六氟环戊烯、1,2,3-三氯五氟环戊烯、1,2,4-三氯五氟环戊烯、1,2,3,4-四氯四氟环戊烯和1,2,3,3,4-五氯环戊烯等多氯氟环戊烯作为原料，在N,N-二甲基甲酰胺与甲苯这样的芳香族烃的混合溶剂下，用氟化钾进行氟化，以最高收率89.1％得到1-氯七氟环戊烯。此外，根据日本特开2001-261594号公报，通过将1,1-二氯八氟环戊烷用作原料，在以铜、锡、铋等过渡金属作为主成分的钯合金催化剂下进行氢还原，以最高收率95.6％得到1-氯七氟环戊烯。

[溶剂]

在本发明的制造方法中使用的溶剂包含非质子性极性溶剂。另外，只要不损害本发明的制造方法的效果，在溶剂中也可任意地包含其它溶剂。

-非质子性极性溶剂-

作为非质子性极性溶剂，能优选使用酰胺系溶剂。作为酰胺系溶剂，没有特殊限定，能举出：N-甲基甲酰胺(沸点：197℃)、N,N-二甲基甲酰胺(沸点：153℃)、N,N-二乙基甲酰胺(沸点：177℃)、乙酰胺(沸点：222℃)、N,N-二甲基乙酰胺(沸点：165℃)、N,N-二乙基乙酰胺(沸点：185℃)、N-甲基吡咯烷酮(沸点：202℃)、N,N-二甲基咪唑烷酮(沸点：225℃)。在它们之中，从能进一步提高八氟环戊烯的收率的观点出发，优选N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺以及N,N-二乙基乙酰胺这样的直链状酰胺系溶剂，更优选在工业上容易获得的N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺。另外，在本说明书中，各种溶剂的“沸点”是指1个大气压下的沸点。

另外，可以相对于100体积％的作为非质子性极性溶剂的酰胺系溶剂，以30体积％以下的比例混合作为其他非质子性极性溶剂的二醇醚类来使用。另外，在本说明书中，“体积比例”是指在23℃的体积比例。作为这样的二醇醚，没有特殊限定，能举出：聚乙二醇的二烷基醚和聚丙二醇的二烷基醚等。具体而言，作为聚乙二醇的二烷基醚，可举出：二乙二醇二甲醚(沸点：162℃)、二乙二醇二***(沸点：188℃)、二乙二醇乙基甲基醚(沸点：179℃)、二乙二醇二丁醚(沸点：255℃)、三乙二醇二甲醚(沸点：216℃)、三乙二醇二***(沸点：>216℃)、四乙二醇二甲醚(沸点：276℃)、四乙二醇二***(沸点：>276℃)等。作为聚丙二醇的二烷基醚，能举出：二丙二醇二甲醚(沸点：175℃)、二丙二醇二***(沸点：>175℃)、三丙二醇二甲醚(沸点：>241℃)等。

非质子性极性溶剂的沸点优选为140℃以上，更优选为150℃以上。如果非质子性极性溶剂的沸点为上述下限值以上，则能进一步充分提高八氟环戊烯的收率，且能提高八氟环戊烯的制造效率。

相对于1g的作为原料的1-氯七氟环戊烯，非质子性极性溶剂的使用量优选为1.0ml以上，更优选为1.2ml以上，优选为1.5ml以下。如果将非质子性极性溶剂的使用量设为上述下限值以上，则悬浊液的粘度过度上升，能提高在氟化工序中为了使1-氯七氟环戊烯与碱金属氟化物在液相中接触而进行搅拌时的搅拌容易性，使它们的接触效率进一步提升，由此能提高氟化工序中的氟化反应效率。此外，如果将非质子性极性溶剂的使用量设为上述上限值以下，能使工业上的经济性提高。

另外，非质子性极性溶剂优选为在事前实施了干燥处理的非质子性极性溶剂。作为干燥方法，没有特殊限定，能遵循常规方法，例如可举出对使用的非质子性极性溶剂添加干燥剂并放置规定的时间，和/或使非质子性极性溶剂流过填充了干燥剂的柱子来进行回收等方法。

[碱金属氟化物]

碱金属氟化物在非质子性极性溶剂中溶解一部分，剩余的分散，构成悬浊液。然后，该悬浊液中的碱金属氟化物在本发明的制造方法中作为原料的氟化剂来发挥功能。作为碱金属氟化物，例如，可举出：氟化钠、氟化锂、氟化铷、氟化钾以及氟化铯。其中，从提高八氟环戊烯的制造效率和收率的观点出发，优选氟化钾和氟化铯。由于氟化钾在工业上较廉价，因而特别优选使用。它们能单独使用一种，或并用多种。此外，作为碱金属氟化物的形态，从反应性的观点出发，优选尽可能干燥的粉末状的碱金属氟化物，更优选经喷雾干燥的产品。相比于未经喷雾干燥处理的市售品的碱金属氟化物，碱金属氟化物的经喷雾干燥的产品有比表面积大的倾向，且富有分散性：。

作为碱金属氟化物的使用量，相对于作为原料的1-氯七氟环戊烯，优选为1.0摩尔当量以上且2.0摩尔当量以下的范围，更优选为1.1摩尔当量以上且1.5摩尔当量以下的范围。通过将碱金属氟化物的使用量设为上述下限值以上，能充分抑制在氟化工序中未反应的1-氯七氟环戊烯产生残留，能进一步提升八氟环戊烯的收率。并且，通过将碱金属氟化物的使用量设为上述上限值以下，能抑制氟化反应后的反应器内的固体成分量过度地多，能容易地从反应器内除去固体成分。

接着，对本发明的制造方法可包含的各种工序的一个例子进行说明。例如，能优选实施本发明的制造方法的制造装置可以是在附带搅拌机、原料供应泵的反应器的上部安装精馏塔，从而制成的装置。进而，可在精馏塔的抽出口设置收集作为反应生成物的八氟环戊烯的接收器。此外，可在精馏塔的上部安装用于进行回流的冷却管，使-20℃～0℃的温度范围的制冷剂进行循环。并且，制造装置可具备原料罐，其经由原料供应泵与反应器连通、可以通过油浴和加热器等加热机构进行加热。以下，作为通过该结构的制造装置来实施本发明的制造方法的例子，对各种工序的一个例子进行说明。

<准备工序>

首先，在准备工序中，例如，向反应器内加入碱金属氟化物和非质子性极性溶剂，将反应器进行加热，在该反应器内制备使碱金属氟化物悬浊在非质子性极性溶剂中的悬浊液。然后，优选直到开始供给作为原料的1-氯七氟环戊烯的时间点为止，使反应器内的悬浊液的温度为115℃以上。另外，优选使开始供给原料的时间点的悬浊液的温度为130℃以下。通过使开始供给原料的时间点的悬浊液的温度为上述下限值以上，能促进后续的氟化工序的氟化反应，缩短氟化反应时间。此外，通过使开始供给原料的时间点的悬浊液的温度为上述上限值以下，能抑制由于作为原料的1-氯七氟环戊烯的低沸点而导致1-氯七氟环戊烯在安装于反应器的上部的精馏塔的塔顶部发生浓缩，使八氟环戊烯的收率提升。

<原料加热工序>

在原料加热工序中，将作为原料的1-氯七氟环戊烯加热到40℃以上且55℃以下。以下，将通过原料加热工序进行了加热的原料的温度称为“原料温度”。进而，优选该原料温度为45℃以上且55℃以下的范围。如果原料温度为上述下限值以上，则在氟化工序中将原料供给到悬浊液的情况下，能抑制由于作为原料的1-氯七氟环戊烯的低沸点(56℃)而导致悬浊液的温度降低、氟化反应速度过度地降低，使氟化反应效率提升，并使作为反应生成物的八氟环戊烯的收率提升。并且，如果原料温度为上述上限值以下，则能抑制作为原料的1-氯七氟环戊烯发生汽化，能通过泵等运送手段以稳定的速度向反应器供给。另外，原料加热工序可在原料供给工序之前开始，并继续进行直到供给全部需要量的原料。

<原料供给工序>

在原料加热工序与氟化工序之间，能任意地实施一边将原料加热，一边将原料向进行氟化工序的反应器内运送的原料供给工序。在原料供给工序中，一边对在原料加热工序中被加热到上述规定的温度范围的原料进行加热，一边将其供给到悬浊液。在此，优选原料供给工序的加热温度(以下，也称为“供给时加热温度”)为上述原料温度以上，更优选比原料温度高4℃以上。并且，供给时加热温度通常为65℃以下，优选为60℃以下。另外，上述“原料温度”与“供给时加热温度”在以下方面上不同：“原料温度”为原料自身的温度，与此相比，“供给时加热温度”为原料供给工序中使用的原料供给管等所安装的加热器等加热设备的设定温度。而且，通过在原料加热工序的后段实施伴随对原料加热的原料供给工序，能将在原料加热工序中升温到原料温度的原料在不冷却的情况下供给到悬浊液。由此，能使作为下一步工序的氟化工序的氟化效率进一步提升。

<氟化工序～回收工序>

在氟化工序中，将在上述准备工序中得到的反应器内的悬浊液维持在85℃以上的同时，将加热的1-氯七氟环戊烯供给到该悬浊液，进行氟化，得到八氟环戊烯。在本发明的制造方法中，由于在本工序中与在上述的原料加热工序中均将悬浊液维持在85℃以上，因此能有效地抑制由于1-氯七氟环戊烯的低沸点所导致的氟化工序中的悬浊液的温度降低。并且，在氟化工序中，由于悬浊液的温度维持在85℃以上，因此能促进1-氯七氟环戊烯的氟化。由此，能抑制未反应的1-氯七氟环戊烯与作为反应生成物的八氟环戊烯一起被回收，使八氟环戊烯的收率提升。

在氟化工序中，具体而言，首先，使用泵等将作为原料的1-氯七氟环戊烯供给到反应器内。作为1-氯七氟环戊烯的供给速度，优选为0.4～0.7g/分的范围。如果供给速度为上述下限值以上，则能缩短氟化工序所需的时间，使八氟环戊烯的制造效率进一步提升。并且，如果供给速度为上述上限值以下，则能有效地抑制由于添加1-氯七氟环戊烯所导致的反应器内的温度降低，有效地抑制氟化工序中氟化反应速度的降低。由此，能使八氟环戊烯的收率进一步提升。

然后，作为原料的1-氯七氟环戊烯的供给开始后，从精馏塔的塔顶温度达到26～27℃起大约30分钟以后，开始生成物的抽出，将其收集到冷却的接收器(回收工序)。以这样的方式，能够在回收工序中回收在氟化工序中生成的八氟环戊烯。从开始抽出生成物至氟化工序的反应时间结束的期间，继续进行生成物的抽出，可以根据精馏塔塔顶部的温度、回流情况，缓慢升高反应器的加热温度。以这样的方式，可以从氟化工序开始后经过规定时间的时间点起，同时进行氟化工序与回收工序。

氟化工序的反应时间(所需时间)根据使用的反应器的尺寸、反应实施的规模而定，优选为6～30小时，更优选为7～15小时。如果反应时间过短，则1-氯七氟环戊烯的转化率差，导致八氟环戊烯的收率降低，另一方面，如果反应时间过长，则会产生能源成本的浪费。

<纯化工序>

在回收工序后，也可任意地实施纯化工序。在纯化工序中，对收集到接收器的八氟环戊烯进行蒸馏纯化等纯化处理。以这样的方式能进一步提高在氟化工序中得到的生成物的纯度。

[实施例]

以下，通过实施例对本发明进一步详细说明，但是，本发明并不限定于以下的实施例的范围。另外，压力是指表压。并且，在实施例、比较例中，在准备工序中加入的溶剂的体积在23℃进行测定。此外，在实施例、比较例中得到的八氟环戊烯的收率作为通过基于下述条件的气相色谱分析而测定的八氟环戊烯的收量相对于作为原料的1-氯七氟环戊烯的添加量的比率而算出。

<气相色谱分析>

对在实施例、比较例中得到的反应生成物，进行基于以下条件的气相色谱分析(GC分析)，分析反应生成物中的八氟环戊烯的含量。

装置：HP-6890(Agilent Corporation制)

柱：GL Science Inc.制Inter Cap-1、长度60m、内径0.25mm、膜厚1.5μm。

柱温：在40℃保持10分钟，接着，以20℃/分钟进行升温，其后，在240℃保持10分钟。

进样温度：200℃

载气：氮

分流比：100/1

检测器：FID(Flame Ionization Detector)检测器

(实施例1)

<准备工序>

向带有搅拌机、精馏塔(TOKA SEIKI Co.,Ltd.制，柱长：30cm，填充剂：HelipackNo.1)、液体进料泵(YAMAZEN制，QT-150)的容量500ml的玻璃反应器中，加入作为碱金属氟化物的喷雾干燥氟化钾(33.9g)、150ml作为非质子性极性溶剂的干燥N,N-二甲基甲酰胺，浸渍在油浴中，加热到120℃，搅拌内容物，得到悬浊液。利用热电偶监控悬浊液的温度和精馏塔塔顶部的温度，该热电偶以能测定反应器内的悬浊液的温度、及精馏塔塔顶部的温度的方式进行安装。并且，在精馏塔的冷凝管内使-10℃的制冷剂进行流动循环。

<原料加热工序～原料供给工序>

另一方面，向带有阀门的不锈钢容器中加入作为原料的1-氯七氟环戊烯，将该不锈钢容器浸渍在油浴中，以容器内的原料的温度成为45℃的方式进行加热(原料温度)。用管罩加热器(tube cover heater)卷住加入了原料的不锈钢容器、泵、连接到反应器的管，加热到50℃(供给时加热温度)。

<氟化工序～回收工序>

然后，在反应器内的悬浊液的温度成为117℃时，开始向反应器内供给作为原料的1-氯七氟环戊烯。将原料的供给开始速度设为0.62g/分，在原料供给期间中，一边微调节供给速度，一边历经2.9小时供给原料。原料的总供给量为114.9g。其间，反应器内的悬浊液的温度最低为93.1℃。从原料的送液开始约1.2小时后，以回流比60开始抽出生成物(精馏塔塔顶的温度：26.5℃)。之后，继续以120℃的加热和回流比60进行生成物的抽出，一边观察精馏塔塔顶的温度、回流情况，一边将油浴的温度逐步地升温为130℃、140℃。从原料的供给开始7.7小时后，精馏塔塔顶温度开始下降，因此将油浴的温度降低到120℃，在精馏塔的分馏器连接抽吸器，以-0.09MPa的压力对体系内进行减压，回收滞留物。回收的粗生成物的总量为100.8g，根据气相色谱分析的结果得到在粗生成物中作为目标生成物的八氟环戊烯的含量。然后，算出得到的目标生成物的收量相对于原料供给量的比率。结果示于表1。

(实施例2)

将原料加热工序的原料温度变更为55℃，将原料供给工序的供给时加热温度变更为60℃。并且，原料供给时间、总供给量、回收工序的开始时间、氟化工序的反应时间如表1所示进行变更，除此以外，进行与实施例1相同的操作。另外，开始供给原料时的悬浊液的温度、氟化工序中的悬浊液的最低温度以及回收工序开始时的精馏塔塔顶温度分别如表1所示。并且，经过回收工序回收的粗生成物的总量为102.0g。然后，与实施例1同样地算出目标生成物的收率，其结果示于表1。

(实施例3)

将原料加热工序的原料温度变更为45℃，将原料供给工序的供给时加热温度变更为55℃。并且，原料供给时间、总供给量、回收工序的开始时间、氟化工序的反应时间如表1所示进行变更，除此以外，进行与实施例1相同的操作。另外，开始供给原料时的悬浊液的温度、氟化工序中的悬浊液的最低温度以及回收工序开始时的精馏塔塔顶温度分别如表1所示。并且，经过回收工序回收的粗生成物的总量为101.4g。然后，与实施例1同样地算出目标生成物的收率，其结果示于表1。

(比较例1)

不进行原料加热工序，也不进行原料供给工序的加热，除此以外，进行与实施例1相同的操作。另外，开始供给原料时的悬浊液的温度、原料的总供给量以及氟化工序的悬浊液的最低温度分别如表1所示。从生成物的抽出开始约2小时后，精馏塔塔顶部的温度上升到30.7℃，不得不使抽出暂时中断。经过回收工序回收的粗生成物的总量为101.4g。然后，与实施例1同样地算出目标生成物的收率，其结果示于表1。

表1中，“KF”表示氟化钾，“DMF”表示N,N-二甲基甲酰胺。

[表1]

根据表1可知：在实施了将原料加热到40℃以上且55℃以下的原料加热工序、以及将包含非质子性极性溶剂和碱金属氟化物的悬浊液维持在85℃以上的同时将加热的原料供给到悬浊液进行氟化而得到八氟环戊烯的氟化工序的实施例1～3中，能充分提高八氟环戊烯的收率。

另一方面可知：在未实施将原料加热到40℃以上且55℃以下的原料加热工序的比较例1中，不能充分地提高收率。

[产业上的利用可能性]

根据本发明，可以提供能充分提高八氟环戊烯的收率的制造方法。