具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1、2所示，现有的，天车1上通常设有光电传感器，当天车1需要将前置式晶圆传送盒2放置到顶置缓冲器4上时，天车1通过走行部11在轨道上行走移动到指定的顶置缓冲器4位置，然后先通过光电传感器(sensor，通常为一个单束光电传感器)对顶置缓冲器4上是否已有前置式晶圆传送盒2进行确认，具体的，光电传感器会发送光束到顶置缓冲器4下方的二重搬入检出用反射板3，通过光束是否被反射板3反射回来以判断顶置缓冲器1上是否存在物体，其中，二重搬入指的是对已存在物体的顶置缓冲器4上继续存放新的物体。

如图3、4所示，在某些情况下，当顶置缓冲器4上存在较小物体2a无法遮挡光电传感器发出的光束时，容易造成漏检测，即存在检测范围小的问题；在另一些情况下，当顶置缓冲器4上的前置式晶圆传送盒为FOSE类型的晶圆传送盒2b时，由于FOSE类型的晶圆传送盒2b本身是透明的，因此光电传感器发出的光束可以穿透过去并通过反射板4反射反射光，致使反馈得到错误的检测结果，即也会引起误检测。

图6、7示出了本发明一实施例中的顶置缓冲器二重搬入检测系统，包括：天车1、第一感测单元5、驱动装置、控制单元(未示出)以及天车控制系统(未示出)，第一感测单元5用于扫描生成水平范围511的检测数据，如图5所示，第一感测单元5采用的是可以实现水平扫描的传感器，其具有一个可检测到的水平检测区域51，通常为一个平面的扇形区域，在该可检测区域内，可以根据实际所需要监控的范围设定实际所需检测的水平范围511(形状设定可以通过参数进行修改)，作为示例，第一感测单元5可以选用障碍物扫描传感器；驱动装置设置在天车1上，与第一感测单元5连接，用于对第一感测单元5进行竖直范围52移动；控制单元，分别与驱动装置以及第一感测单元5连接；天车控制系统分别与天车1以及控制单元连接，用于在天车1移动到对应的顶置缓冲器4位置时向控制单元发送检测指令以及驱动指令，控制单元根据驱动指令控制驱动装置对第一感测单元5进行竖直范围52移动，以及根据检测指令控制第一感测单元5在移动过程中扫描生成顶置缓冲器4内各水平范围的检测数据，并将顶置缓冲器4内各水平范围的检测数据发送给天车控制系统，天车控制系统根据顶置缓冲器4内各水平范围的检测数据判断顶置缓冲器4内是否有存在障碍物。

本发明的顶置缓冲器二重搬入检测系统通过使用可以扫描生成水平范围的检测数据的第一感测单元，结合一个驱动装置带动第一感测单元进行竖直范围移动，使得第一感测单元在移动过程中扫描生成顶置缓冲器内各水平范围的检测数据，根据水平方向和竖直方向两个维度检测，得到立体空间范围的检测结果，精准判断出障碍物的存在与否，本发明的系统适用于对包括传统前置式晶圆传送盒2、较小障碍物物体2a、FOSE类型的晶圆传送盒2b等各类物品的检测，检测精度高，避免了漏检以及误检。

在其中一个实施例中，如图7、8所示，驱动装置采用丝杠机构，丝杠机构通常包括丝杠6、设置在丝杠6上的滑块7、连接丝杠6的马达8；第一感测单元5设置在丝杠机构的滑块7上，具体的，第一感测单元5可以通过但不仅限于连接板(未示出)固定设置于丝杠机构的滑块7上；控制单元通过对丝杠机构的马达8进行驱动以实现滑块7带动第一感测单元5进行竖直范围移动，如图8所示，具体的，当马达8在控制单元的驱动下正转，丝杠6正转带动滑块7向上同时第一感测单元5也向上，当马达8在控制单元的驱动下反转，丝杠6反转带动滑块7向下同时第一感测单元5也向下。

在其中一个实施例中，竖直范围52的限定可以通过一对感测单元来完成，作为示例，在驱动装置上设置第二感测单元91，第二感测单元91连接控制单元，用于在第一感测单元5移动到竖直范围52的上限时输出第一感测信号；在驱动装置上设置第三感测单元92，第三感测单元92连接控制单元，用于在第一感测单元5移动到竖直范围52的下限时输出第二感测信号；控制单元用于根据第一感测信号以及第二感测信号控制第一感测单元5仅在由第二感测单元91和第三感测单元92所限定出的竖直范围内移动，移动方向可以是从下往上或者从下往上，在此不做限制，只要能够在移动过程中检测到各竖直范围内相应水平范围511的检测数据即可。

作为示例，第二感测单元91和第三感测单元92均可以采用激光传感器，本示例中，例如可以采用U型传感器，相应的，只需要在第一感测单元5或者滑块7的相应位置上设置可在移动过程中穿过U型传感器的阻断片9即可，当第一感测单元5或者滑块7上的阻断片9在移动过程中到达第二感测单元91的U型传感器中时，第二感测单元91发出第一感测信号到控制单元，控制单元通过接收到的第一感测信号判断第一感测单元5到达竖直范围52的移动上限，同样的，当控制单元接收到第二感测信号时判断第一感测单元5到达竖直范围52的移动下限。

作为示例，控制单元可以根据第一感测信号以及第二感测信号控制第一感测单元5从竖直范围的下限位置(第三感测单元92所在位置)启动扫描，当移动到竖直范围的上限位置(第二感测单元91所在位置)时结束扫描，然后归位至下限位置等待下一次检测。作为变化例，也可以是从竖直范围的上限位置(第二感测单元91所在位置)启动扫描，当移动到竖直范围的下限位置(第三感测单元92所在位置)时结束扫描，然后归位至上限位置等待下一次检测，当然，还可以将控制单元设计成不归位的循环扫描检测方式，即，前一次如果为由上至下的移动扫描，那么下一次就采用由下至上的移动扫描，这种交替的扫描方式，可以有效缩短第一感测单元5的移动周期,值得注意的是,采用该种扫描方式时,前一次扫描结束后一直到天车移动到下一顶置缓冲器之间的这段时间内不会扫描，只有待天车移动到下一顶置缓冲器的时候才开始下一次扫描,以避免天车在走行的过程中也一直进行扫描导致检测结果不准确。

作为示例，竖直范围52至少包括顶置缓冲器4上的障碍物的下边缘41到天车1移载部12的上边缘121所在区域范围，通常前置式晶圆传送盒2或者FOSE型晶圆传送盒2b底部与顶置缓冲器4底座的上表面是在同一水平面上的，天车1将晶圆传送盒放在顶置缓冲器的底座上时，是移载部12带着晶圆传送盒先伸出来然后放到顶置缓冲器4的底座上，为了给移载部12和晶圆传送盒足够的动作区间，因此竖直范围设定为顶置缓冲器4上的障碍物的下边缘(或者顶置缓冲器4的底座的上表面)到天车1移载部12的上边缘所在区域范围，也即晶圆传送盒底部到移载部12上边缘这部分区域范围，值得注意的是，当顶置缓冲器上不存在障碍物时，待检测的竖直范围52中所指的障碍物的下边缘41位置实际也就是顶置缓冲器4的底座的上表面位置，因此，可以理解，所谓竖直范围52中的障碍物的下边缘41其实是一个虚拟的位置表示，仅为了体现空间内可能存在障碍物的最低点，而不是必然指代某一具体障碍物的下边缘；水平范围511至少包括顶置缓冲器4上的障碍物所在的区域范围，例如，障碍物的最左侧面至最右侧所在的水平区域范围，扫描的水平范围511信息可以通过相应软件进行设定，具体的通过对位置坐标(X/Y)进行设定以实现区分。由上述竖直范围52和水平范围511所限制出的一个立体扫描空间的检测方式较传统的光电传感器检测具有更高的检测精度。

如图9所示，本发明还提供了一种顶置缓冲器二重搬入检测方法，可以通过但不限于通过上述顶置缓冲器二重输入检测系统来实现，所述顶置缓冲器二重搬入检测方法包括：

S1、控制天车1移动到对应的顶置缓冲器4位置；

S2、触发立体空间障碍物检测，具体的，触发第一感测单元5，控制驱动装置对第一感测单元5进行竖直范围移动，使第一感测单元5在移动过程中扫描生成顶置缓冲器4内各水平范围的检测数据，驱动装置设置在天车1上，第一感测单元5与驱动装置连接；

S3、根据顶置缓冲器4内各水平范围的检测数据判断顶置缓冲器4内是否存在障碍物。

作为示例，当存在障碍物时，跳转到步骤S4；当不存在障碍物时，跳转到步骤S6；

S4、根据顶置缓冲器内各水平范围的检测数据判断障碍物的种类，具体的，天车控制系统对每个水平面所检测到的障碍物形状及大小进行竖直方向的合成，从而判断障碍物的种类，例如晶圆传送盒或者其他影响天车放货的物体，并根据障碍物的不同种类进行相应的报警提醒；

S5、等待操作人员现场查看解除报警，然后返回步骤S1；

S6、天车1放货；

S7、天车1离开，获取下一个晶圆传送盒后返回步骤S1执行下一次放货。

在其中一个示例中，在控制天车1移动到对应的顶置缓冲器4位置之前还包括如下步骤：

S0、设定检测区域以及触发条件，检测区域包括第一感测单元5可扫描的水平范围以及第一感测单元5所需移动的竖直范围，其中，水平范围511的检测范围至少包括顶置缓冲器4上的障碍物所在的水平范围，竖直范围52至少包括顶置缓冲器4上的障碍物的下边缘到天车1移载部12的上边缘所在的区域范围，触发条件包括天车1移动到对应的顶置缓冲器4。

在其中一个实施例中，步骤S2中，触发第一感测单元5后，第一感测单元5从顶置缓冲器4上的障碍物的下边缘位置启动扫描，当在驱动装置的控制下移动到天车1移载部12的上边缘位置时结束扫描。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。