分离卤代硅烷的方法

文档序号:1729310 发布日期:2019-12-20 浏览:37次 >En<

阅读说明:本技术 分离卤代硅烷的方法 (Method for separating halosilanes ) 是由 S·蓬努斯瓦迈 N·R·科塔 S·布萨拉普 P·古普塔 于 2015-09-01 设计创作,主要内容包括:公开了分离卤代硅烷的方法,其涉及使用具有将塔分成用于产生三个产物馏分的部分的隔板的蒸馏塔。还公开了使用这样的塔的通过卤代硅烷的歧化生产硅烷的方法和系统和生产多晶硅的方法。(A process for separating halosilanes is disclosed that involves the use of a distillation column having a partition dividing the column into portions for producing three product fractions. Also disclosed are methods and systems for producing silane by disproportionation of halosilanes and methods for producing polycrystalline silicon using such columns.)

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