回收利用硅锭切割废料的处理方法

文档序号:862749 发布日期:2021-03-16 浏览:3次 >En<

阅读说明:本技术 回收利用硅锭切割废料的处理方法 (Treatment method for recycling silicon ingot cutting waste ) 是由 罗昀 于 2019-06-13 设计创作,主要内容包括:本发明涉及一种用于纯化在用金刚石线切割锭而产生的废料中包含的硅微粒的处理方法,包括:a)提供由所述废料产生的污染浆料,所述污染浆料由包含硅微粒、有机物和金属污染物的含水混合物形成;b)向污染浆料中加入稀过氧化氢溶液,以形成第一混合物并搅拌第一混合物;c)进行第一混合物的固/液分离,以便一方面获得第一纯化浆料,另一方面获得载有有机物和金属污染物的第一液体。(The present invention relates to a treatment method for purifying silicon microparticles contained in scrap generated by cutting an ingot with a diamond wire, comprising: a) providing a contaminated slurry produced from the waste material, the contaminated slurry being formed from an aqueous mixture comprising silicon particulates, organics, and metal contaminants; b) adding a dilute hydrogen peroxide solution to the contaminated slurry to form a first mixture and stirring the first mixture; c) a solid/liquid separation of the first mixture is carried out so as to obtain, on the one hand, a first purified slurry and, on the other hand, a first liquid loaded with organic matter and metal contaminants.)

回收利用硅锭切割废料的处理方法

技术领域

本发明涉及用于光伏产业的硅生产线。具体地,本发明涉及一种用于回收利用由切割硅锭(“截口”)产生的废料的处理方法。

背景技术

目前,用于半导体或光伏产业的硅晶片主要使用金刚石线切割方法由硅锭制成。这些方法已经逐渐取代了浆料锯切,因为它们以较低的生产成本提供了更好质量的晶片。

金刚石线的宽度与切割晶片的厚度具有相同的数量级,然而这些锯切方法产生大量的硅废料:高达晶锭总质量的40%至50%。该废物的形式为非常细的粉末(表面被氧化的硅微粒),并混有液体添加剂、金属污染物和有机或无机物。

从该混合物中适当提取并纯化的硅粉对于在包括光伏、能量存储、陶瓷合成等的不同行业中的再利用具有很大价值。特别地,该硅粉末的有效纯化必须实现以下三个目的:

·减少有机物:

这些物质来自锯切方法中使用的有机(液体)添加剂或来自例如金刚石线或锯片中包含的聚合物。硅粉中有机物残留物的存在降低了其再利用的可能性;事实上,在大多数情况下,硅必须经历高温处理,在此期间有机物将易于产生SiC颗粒,这对大多数应用是不利的。

·减少金属污染物:

这些污染物主要来自金属性质的金刚石线。它们可以以不同的形式存在:离子、原子、颗粒物,并且发现其分散在混合物中或结合到硅微粒的表面。硅粉末中金属污染物残留物的存在将不利地影响所开发器件的性能,特别是在半导体和光伏应用中。

·减少氧化硅:

硅微粒的表面包括一层氧化硅,其在某些情况下可能阻碍硅的再利用。

现有技术中提出了几种用于提取和纯化从切割废料(“截口”)获得的硅微粒的方法,特别是在文献WO 2012125942、WO 2010003456和CN 103373731中描述的方法。

文献WO 2012125942提出了一种使用臭氧去除有机物、使用盐酸溶解金属污染物和使用氢氟酸去除氧化硅层的方法。该方法的主要缺点在于,臭氧由于其在水中的低溶解度而效率有限,以及使用浓酸。

文献WO 2010003456也使用浓酸,其容易污染环境并产生高工艺成本。

文献CN 103373731提出了一种基于用强氧化剂氧化硅粉末,然后用有机溶剂提取氧化粉末的方法。该方法的缺点在于使用污染环境的化学物质如有机溶剂和酸对硅粉末进行脱氧。在该方法期间部分硅的损失(由于其氧化)也是显著的。

根据常规实施的硅清洁方法(RCA清洁),其它方法提供了用强碱和用强酸的连续处理顺序。不幸的是,这些对硅晶片非常有效的清洁在硅微粒分散在污染的含水混合物中的情况下不能达到所需的纯化水平。

本发明的主题

本发明旨在克服所有或部分的上述缺点。本发明涉及一种通过用金刚石线锯切(而无磨料)来回收利用硅锭切割废料(“截口”)的处理方法。

发明内容

本发明涉及一种用于纯化废料中包含的硅微粒的处理方法,所述废料在无磨料的情况下用金刚石线切割锭而产生,所述方法包括:

a)提供由所述废料产生的污染浆料,所述污染浆料由包含硅微粒、有机物和金属污染物的含水混合物形成;

b)向所述污染浆料中加入稀过氧化氢溶液,以形成第一混合物并搅拌所述第一混合物,所述第一混合物由污染浆料、过氧化氢和水组成;

c)进行第一混合物的固/液分离,以便一方面获得第一纯化浆料,另一方面获得载有有机物和金属污染物的第一液体。

根据本发明的其他有利和非限制性特征,这些特征可单独采用或以任何技术上可行的组合采用:

·在步骤a)中,通过选自沉降、离心、旋流分离或过滤的固/液分离技术从废料中获得污染浆料,且以重量百分比计,污染浆料包含约50%的固体物质和50%的液体物质;

·在步骤b)中,稀过氧化氢溶液具有1%至35%的质量浓度;

·步骤b)包括向第一混合物中加入纯水,以使所述第一混合物包含重量百分比为5%至10%的固体物质;

·步骤b)在20℃至95℃的温度下进行10分钟至5小时;

·步骤c)的固/液分离通过选自过滤、沉降、离心或旋流分离的技术进行,并且其中,以重量百分比计,第一纯化浆料包含至少40%的固体物质;

·该处理方法包括在步骤c)之后的步骤c′),在步骤c′)过程中进行以下处理:

ο向第一纯化浆料中加入纯水以形成第二混合物;

ο进行第二混合物的固/液分离,以一方面获得第二纯化浆料,另一方面获得含有有机物和金属污染物的第二液体。

·对第二混合物施加搅拌;

·步骤c′)重复一至五次;

·该处理方法包括在步骤c)之后的步骤c″),在步骤c″)过程中进行以下处理:

ο提供以滤饼形式保持的第一纯化浆料,

ο使重量百分比为0.1%至1%的稀氢氟酸溶液循环通过滤饼;

ο使纯水循环通过滤饼,从而能够漂洗所述滤饼并除去氢氟酸;

ο获得第三纯化浆料。

·该处理方法包括在步骤c′之后的步骤c″),在步骤c″)过程中进行以下处理:

ο提供以滤饼形式保持的第二纯化浆料,

ο使重量百分比为0.1%至1%的稀氢氟酸溶液循环通过滤饼;

ο使纯水循环通过滤饼,从而能够漂洗所述滤饼并除去氢氟酸;

ο获得第三纯化浆料;

·该处理方法包括步骤d):在惰性气氛下干燥纯化浆料,以获得纯化的硅微粒。

附图说明

结合附图,通过以下详细描述,本发明的其它特征和优点将变得清楚,其中:

-图1示出了本发明的处理方法的步骤;

-图2a、2b和2c图示了本发明的用于纯化硅微粒的处理方法;

-图3a、3b、3c和3d示出了在本发明的处理方法的步骤序列期间的滤饼的截面图。

具体实施方式

本发明涉及一种用于纯化废料中包含的硅微粒的处理方法,所述废料在无磨料的情况下用金刚石线切割锭产生(图1)。如前所述,该废物中的硅处于非常细的粉末(表面至少部分氧化的硅微粒)的形式,并与液体添加剂、金属污染物和有机或无机物混合。这种废物主要含有液体物质;硅(构成大部分固体物质)的重量百分比为2%至5%。

本发明的处理方法包括步骤a),该步骤是提供由锯切废料产生的污染浆料,该污染浆料由硅微粒、有机物和金属污染物在含水混合物中形成。通常,硅微粒具有约10nm至5微米的尺寸分布,通常集中于1微米。

在本发明的其余部分中,我们将使用术语“浆料”来限定包含在水溶液中混合的大于40%(重量百分比)的固体物质(主要由硅微粒组成)的物质。与本发明中的浆料相关的所有比例以重量百分比给出。

有利地,在步骤a)中,污染浆料包含约50%的固体物质和50%的液体物质。术语“约”在此是指重量百分比的值处于+/-10%(绝对值:即约50%的重量百分比可以在40%至60%之间变化),或甚至处于+/-5%(绝对值)。可通过选自过滤(例如真空过滤)或切向过滤、沉降、离心或旋流分离的已知固/液分离方法从切割废料(基本上由液体物质组成,硅的重量百分比为2%至5%)获得污染浆料。因此,得到的污染浆料具有超过40%的固体物质(重量百分比)。

然后,本发明的处理方法包括步骤b),在该步骤b)期间将稀过氧化氢溶液(H2O2)加入到污染浆料中,从而形成第一混合物。“稀溶液”是指由过氧化氢和水组成的溶液。稀过氧化氢溶液可以具有1%至35%的过氧化氢的质量浓度,其余百分比是水。注意,没有加入其它酸性或碱性产物来形成第一混合物。因此,第一混合物由污染浆料、过氧化氢和水组成。

第一混合物中稀溶液和污染浆料的各自比例取决于H2O2浓度。例如,对于35%的H2O2浓度,相对于一体积的污染浆料,第一混合物优选包括一体积的稀H2O2溶液;对于10%的H2O2浓度,相对于一体积的污染浆料,第一混合物优选包括三体积的稀溶液。

步骤b)还包括搅拌该第一混合物,以使稀H2O2溶液在硅微粒1和其它有机物3或金属污染物4的中间的分布均匀。

由污染浆料产生的硅微粒1在其表面上主要包括一层氧化硅2;此外,它们全部或部分地被由有机物3的长链形成的层“覆盖”(图2a)。通过有机物3的氧化反应,过氧化氢将诱导长有机链3分裂,这促使其与硅微粒1的表面上分离。结果,经有机层3结合至硅微粒1的金属污染物4也将分离(图2b)。注意,该氧化反应还产生气态形式的二氧化碳(CO2)。

有利地,第一混合物包括约5%至10%的固体物质和其余百分比的液体物质(以重量百分比计):该液体稠度促使硅微粒1和其它有机物3或金属污染物4在第一混合物中悬浮。注意,术语“约”如前所述定义。

当低浓度H2O2的溶液与污染浆料混合时,直接实现第一混合物的这种稠度。在溶液具有较高H2O2浓度(例如10%至35%)的情况下,加入的稀H2O2溶液的体积不足以达到第一混合物中5%至10%的固体物质;加入纯水以获得第一混合物的所需稠度。“纯水”是指去离子水或超纯水,其分别具有几百kΩ.cm的电阻率和大于18.2MΩ.cm的电阻率。

然后,搅拌第一混合物使得可以使第一混合物中悬浮的硅微粒1和其它有机物3或金属污染物4的分布均匀;搅拌还可以提高使有机链3分裂的氧化反应的效率。

步骤b)可在20℃至95℃的温度下进行10分钟至5小时。

在步骤b)结束时,第一含水混合物包括均匀悬浮液中的颗粒,包括硅微粒1、主要为断裂链形式的有机物3和金属污染物4。

然后,本发明的处理方法包括步骤c),对第一混合物进行固/液分离,以便一方面获得第一纯化浆料,另一方面获得载有有机物和金属污染物的第一液体。第一纯化浆料由至少40%的固体物质组成(图2c)。第一液体可作为液体流出物进行排放和处理。

由于有机链分裂,有机层的碎片与硅微粒分离(步骤b)),并且在步骤c)中,由于它们的尺寸减小和/或它们溶解于水,它们与液体部分(第一液体)一起排放,因此与固体材料(第一纯化浆料)分离。

申请人已经能够观察到,在用于固/液分离的步骤c)之后,至少90%的最初存在于污染浆料中的有机物被排放到第一液体中。在该步骤c)之后,最初以约1%至3%(重量百分比)存在于污染浆料中的金属污染物(全部加在一起)也大大降低,这特别是由于它们与有机物的初始结合。

步骤c)的固/液分离技术可以选自沉降、离心、旋流分离、过滤或其他合适的已知技术。

有利地,该处理方法包括漂洗步骤c′),在该步骤中,将纯水加入到第一纯化浆液中以形成第二混合物(图1)。对于一体积的第一浆料,第二混合物优选包括至少十体积的水。提供搅拌以使第二混合物均匀。

然后,步骤c′)包括对第二混合物进行固/液分离,以一方面获得第二纯化浆料,另一方面获得含有残余有机物和金属污染物的第二液体。第二纯化浆料由至少40%的固体物质组成。像第一液体一样,第二液体可以作为液体流出物进行排放和处理。

与第一浆料相比,将该第二纯化浆料另外漂洗一次。因此,其具有更高的纯度水平:在该步骤c′)之后,至少95%的最初存在于污染浆料中的有机物得以除去。在该步骤c′)之后,金属污染物的水平也得到改善。

有利地,步骤c′)重复一至五次,以实现最佳的纯度水平(典型地,与初始的污染浆料相比,有机物和金属污染物减少了至少一百倍),同时保持合理的成本(由步骤c′)的重复产生)。

本发明的处理方法有利地包括步骤d),在该步骤中,在惰性气氛下干燥纯化浆料(第一浆料或第二浆料),以获得纯化的硅微粒。

优选地,干燥在真空下于50℃至80℃的温度下加以搅拌进行。例如,可以使用装配有机械搅拌器的过滤干燥器类型的设备。

在上述处理方法结束时,实现了非常好的硅微粒的纯化水平(有机和金属),典型地:

·小于0.3%(按重量计)的碳;

·小于100ppm(按重量计)的金属污染物(总计)。

并且,该方法不使用现有技术的方法中使用的高污染产品,如碱和浓酸。

然而,硅微粒在其表面上保留氧化物层。

根据一个变型,本发明的处理方法包括步骤c″),其用于去除硅微粒上存在的全部或部分氧化物。步骤c″)可以在步骤c)之后或在步骤c′)之后进行(图1)。

该步骤首先包括提供第一纯化浆料11(或第二纯化浆料12),其保持为滤饼10的形式(图3a)。滤饼10可以特别地在压滤机下过滤之后获得(“压滤滤饼”):因此,第一纯化浆料11(或第二纯化浆料12)保持挤压在两个多孔膜20之间,呈现滤饼10的形式。

然后,步骤c″)包括使0.1%至1%(重量百分比)的稀氢氟酸(HF)溶液30循环通过滤饼10(图3b)。因此,HF溶液30将全部沿着其在两个膜20之间的路径与滤饼10的硅微粒接触,并侵蚀围绕硅微粒的氧化物层。例如,对于一体积的滤饼10,将循环两体积的0.5%HF溶液30。对于较低的HF浓度,将使用较大量的溶液体积30通过滤饼10。

然后,步骤c″)包括使纯水40循环通过滤饼10,从而能够漂洗所述滤饼10并除去氢氟酸(图3c)。实际上,纯水40将通过采用与HF溶液30基本相同的路径和间隙而循环通过滤饼10,从而确保所述滤饼10的有效漂洗。例如,对于一体积的滤饼,将十体积的纯水40循环通过滤饼10。在水出口膜处的pH测量可以检查漂洗的有效性:pH值为7是完全漂洗的目标。

步骤c″)结束于获得第三纯化浆料13(图3d),其由超过40%的固体物质组成。第三纯化浆料13由硅微粒形成,该硅微粒基本上没有其表面氧化物层。

根据该变型,该处理方法有利地包括干燥步骤d),在该步骤过程中,第三纯化浆料在惰性气氛下干燥,以防止在纯化的硅微粒上形成氧化物层。

该步骤之后还进行调质(conditioning),以便将干燥的硅粉末保持在惰性、非氧化气氛中。

在根据该变型的处理方法结束时,获得具有低氧化硅含量的纯化的硅微粒;其可以具有以下特征:

·小于1%(重量)的氧,

·小于0.3%(按重量计)的碳,

·小于50ppm(按重量计)的金属污染物(总计);注意,去除氧化物的步骤c″)可以降低金属污染物的水平,因为金属污染物经常结合到覆盖硅微粒的表面氧化物层中;因此,去除该层有利于金属颗粒的去除。

这些特性使得硅粉末与大多数应用、特别是光伏行业相容。

本发明的处理方法能够回收利用在锯切废料中以微粒形式包含的超过95%的硅。

当然,本发明不限于所描述的实施方式,并且在不脱离本发明的由权利要求限定的范围的情况下,可以添加变型。

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