阅读说明：本技术 一种三面导向的液体静压超精密滑台 (Three-surface-oriented hydrostatic pressure ultra-precise sliding table ) 是由 谷秋梅 于 2019-12-13 设计创作，主要内容包括：本发明涉及一种三面导向的液体静压超精密移动滑台,其包括导轨座和滑台本体,滑台本体由上溜板组件、两件侧溜板组件和下溜板组件通过连接件连接安装固定而成。在上溜板、下溜板以及侧溜板的表面上均设置有多个矩形沉槽,在每个沉槽的中央安装有节流器,在沉槽的台肩上安装有O型密封圈用于实现节流器和各个溜板之间的连接密封,每个节流器的正后方都设有沉头通孔,其上安装有堵头,在各个溜板的两端设置有油孔与所有的节流器贯通,且每个油孔上安装有堵头,以在各个溜板组件上实现闭环油路系统。发明的优点是：结构合理,使用效果好,可以与超精密机床系统相配合,可以实现三面导向的零接触式精确直线运,实现精确的位置定位。(The invention relates to a three-surface-oriented hydrostatic ultra-precise movable sliding table which comprises a guide rail seat and a sliding table body, wherein the sliding table body is formed by connecting, installing and fixing an upper sliding plate assembly, two side sliding plate assemblies and a lower sliding plate assembly through connecting pieces. A plurality of rectangular sinking grooves are formed in the surfaces of the upper slide carriage, the lower slide carriage and the side slide carriages, a throttleer is installed in the center of each sinking groove, an O-shaped sealing ring is installed on a circular bead of each sinking groove and used for realizing connection and sealing between the throttleer and each slide carriage, a countersunk through hole is formed right behind each throttleer and provided with a plug, oil holes are formed in the two ends of each slide carriage and communicated with all the throttleers, and each oil hole is provided with a plug so as to realize a closed-loop oil circuit system on each slide carriage assembly. The invention has the advantages that: the three-side guide zero-contact type precise linear motion machine tool has the advantages of reasonable structure, good use effect, and capability of being matched with an ultra-precise machine tool system, realizing zero-contact type precise linear motion with three-side guide, and realizing precise position positioning.)

一种三面导向的液体静压超精密滑台

技术领域

本发明涉及一种超精密的移动定位装置，尤其涉及一种三面导向的液体静压超精密移动滑台。

背景技术

随着工业技术的迅速发展，对超精密移动滑台的设计和制造要求越来越高，随着伺服控制技术和传感技术的进步，在数控系统的控制下，机床可以执行亚微米级的精确运动。因此，对与机床配套的移动滑台的结构的要求也越来越高。现有的移动滑台，结构简单，使用效果差，不能满足现有的机床的使用要求。因此，应该提供一种新的技术方案解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是：针对以上不足，提供一种结构合理、使用效果好的三面导向的液体静压超精密滑台。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种三面导向的液体静压超精密滑台，包括导轨座和滑台本体，所述导轨座的横截面呈T型，其中间设有凹槽用于安装驱动装置和位置反馈装置，所述滑台本体由上溜板组件、两件侧溜板组件和下溜板组件通过连接件连接安装固定而成，

所述上溜板组件的上溜板的表面上设置有多个矩形沉槽，在每个沉槽的中央安装有上溜板节流器，在所述沉槽的台肩上设有上溜板O型密封圈用于实现上溜板节流器和上溜板的连接密封，每个上溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，所述沉头通孔上安装有堵头，在上溜板的四周侧面都设置了油孔与所有的上溜板节流器贯通，且每个油孔上安装了堵头，以在上溜板组件上实现闭环油路系统；

所述侧溜板组件的侧溜板的表面上也设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有侧溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装了侧溜板O型密封圈用于实现侧溜板节流器和侧溜板的连接密封，每个节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在侧溜板的两端设置有油孔与所有的侧溜板节流器贯通，且油孔上安装有堵头，以在侧溜板组件上实现闭环油路系统；

所述下溜板组件的下溜板上设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有下溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装有下溜板O型密封圈用于实现下溜板节流器和下溜板的连接密封，每个节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在下溜板的两端设置有油孔与所有的下溜板节流器贯通，且每个油孔上安装有堵头，以在下溜板组件上实现闭环油路系统。

进一步的技术方案是：

所述上溜板节流器、侧溜板节流器以及下溜板节流器均是通过螺纹旋钮在相应位置的沉槽中央的沉孔中。

所述上溜板的表面上设置有8个矩形沉槽，所述侧溜板和下溜板的表面上设置有4个矩形沉槽。

所述侧溜板组件还在侧溜板上下油孔端口处设置了8个密封环形槽，槽内安装有侧板O型密封圈，用于侧溜板和上溜板组件、下溜板组件安装固定后的油路密封闭环。

由于上述技术方案的应用，本发明与现有技术相比具有如下优点：

1、本发明的三面导向的液体静压超精密滑台，与超精密机床系统相配合，通过驱动装置和位置反馈装置的作用，可以实现三面导向的零接触式精确直线运，实现精确的位置定位。

2、本发明的三面导向的液体静压超精密滑台，节流器的后方设置沉头通孔和堵头结构，便于后期进行节流器的堵塞维护。

3、本发明的三面导向的液体静压超精密滑台，在上、下溜板以及侧溜板组件上均设置有进油口和堵头，以实现闭环的油路系统，以保证精密滑台的润滑效果和运行需求。

附图说明

附图1为本发明主视图。

附图2为本发明俯视图。

附图3为上溜板组件结构示意图。

附图4为附图3背面结构示意图。

附图5为附图4A-A向结构示意图。

附图6为附图4B-B向结构示意图。

附图7为侧溜板组件结构示意图。

附图8为附图7背面结构示意图。

附图9为附图7A-A向结构示意图。

附图10为下溜板组件结构示意图。

附图11为附图10背面结构示意图。

附图12为附图10A-A向结构示意图。

以上附图中，1、导轨座，2、滑台本体，3、上溜板组件，3-1、上溜板，3-2、上溜板O型密封圈，3-3、上溜板节流器，3-4、堵头，4、侧溜板组件，4-1、侧溜板，4-2、侧溜板O型密封圈，4-3、侧溜板节流器，5、下溜板组件，5-1、下溜板，5-2、下溜板O型密封圈，5-3、下溜板节流器。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

实施例一：

如图所示，作为本发明的第一个实施例，本发明的一种三面导向的液体静压超精密滑台，包括导轨座1和滑台本体2，所述导轨座1的横截面呈T型，其中间设有凹槽用于安装驱动装置和位置反馈装置，所述滑台本体2由上溜板组件、两件侧溜板组件和下溜板组件通过连接件连接安装固定而成，

所述上溜板组件的上溜板的表面上设置有多个矩形沉槽，在每个沉槽的中央安装有上溜板节流器，在所述沉槽的台肩上设有上溜板O型密封圈用于实现上溜板节流器和上溜板的连接密封，每个上溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，所述沉头通孔上安装有堵头，在上溜板的四周侧面都设置了油孔与所有的上溜板节流器贯通，且每个油孔上安装了堵头，以在上溜板组件上实现闭环油路系统；

所述侧溜板组件的侧溜板的表面上也设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有侧溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装了侧溜板O型密封圈用于实现侧溜板节流器和侧溜板的连接密封，每个节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在侧溜板的两端设置有油孔与所有的侧溜板节流器贯通，且油孔上安装有堵头，以在侧溜板组件上实现闭环油路系统；

所述下溜板组件的下溜板上设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有下溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装有下溜板O型密封圈用于实现下溜板节流器和下溜板的连接密封，每个节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在下溜板的两端设置有油孔与所有的下溜板节流器贯通，且每个油孔上安装有堵头，以在下溜板组件上实现闭环油路系统。

优选的，作为本发明的第二个实施例，本实施例是对实施例一的进一步限定，所述上溜板节流器3-3、侧溜板节流器4-3以及下溜板节流器5-3均是通过螺纹旋钮在相应位置的沉槽中央的沉孔中。

优选的，作为本发明的第三个实施例，本实施例是对实施例一的进一步限定，所述上溜板3-1的表面上设置有8个矩形沉槽，所述侧溜板4-1和下溜板5-1的表面上设置有4个矩形沉槽。

优选的，作为本发明的第四个实施例，本实施例是对实施例一的进一步限定，所述侧溜板组件4还在侧溜板4-1上下油孔端口处设置了8个密封环形槽，槽内安装有侧板O型密封圈4-4，用于侧溜板4-1和上溜板组件3、下溜板组件5安装固定后的油路密封闭环。

本发明的一种三面导向的液体静压超精密滑台，在节流器的后方均设置沉头通孔和堵头结构，便于后期进行节流器的堵塞维护。在上、下溜板以及侧溜板组件上均设置有进油口和堵头，以实现闭环的油路系统，以保证精密滑台的润滑效果和运行需求。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进或替换，这些改进或替换也应视为本发明的保护范围。