具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的一个实施方式所涉及的机器人控制装置、机器人以及机器人控制方法进行说明。此外，并不通过本实施方式限定本发明。另外，以下，在全部附图中，对相同或者相当的要素标注相同的附图标记，省略其重复的说明。

(机器人10)

图1是表示本实施方式所涉及的机器人的整体结构的概略图。如图1所示，本实施方式所涉及的机器人10构成为用于保持基板S并对其进行搬运的水平多关节型机器人，与用于载置基板S的载置位置62邻接地配置。机器人10具备基台12、设置于该基台12的能够在上下方向上伸缩的升降轴14、设置于该升降轴14的上端的机器人臂20、以及设置于该机器人臂的前端的末端执行器25。另外，机器人10还具备用于对机器人臂20及末端执行器25的动作进行控制的机器人控制装置30。

(升降轴14及机器人臂20)

升降轴14由未图示的滚珠丝杠等构成为能够在上下方向上伸缩，该升降动作通过设置在基台12的内部的伺服马达14a(参照图2)进行。另外，升降轴14设置为能够相对于基台12而绕在铅垂方向上延伸的旋转轴L₁旋转，该旋转动作通过设置在基台12的内部的伺服马达14b(同上)进行。

机器人臂20具有分别由在水平方向上延伸的长条状的部件所构成的第1连杆22及第2连杆24。

第1连杆22的长边方向的基端安装于升降轴14的上端。第1连杆22与升降轴14一体地升降，并且与升降轴14一体地绕旋转轴L₁旋转。

第2连杆24的长边方向的基端以能够绕在铅垂方向上延伸的旋转轴L₂旋转的方式安装于第1连杆22的长边方向的前端。第2连杆24相对于第1连杆22的旋转动作通过设置在第1连杆22的内部的伺服马达24a(参照图2)进行。

(末端执行器25)

末端执行器25具备：腕部26，其长边方向的基端以能够绕在铅垂方向上延伸的旋转轴L₃旋转的方式安装于第2连杆24的长边方向的前端；和基体27，设置于腕部26的前端并与腕部26一体地动作。

腕部26相对于第2连杆24的旋转动作通过设置在第2连杆24的内部的伺服马达24a(参照图2)进行。

基体27具有与腕部26的前端(机器人臂的前端)连接的基端部分28(参照图3)、和从基端部分28分开并向前端侧延伸的2个前端部分29a、29b(同上)。前端部分29a从基端部分28的宽度方向的一端的前端侧向与厚度方向正交的平面内突出，前端部分29b从基端部分28的宽度方向的另一端的前端侧向与厚度方向正交的平面内突出。基体27由于具有基端部分28及前端部分29a、29b，而在其厚度方向上观察时是Y字状。

末端执行器25例如也可以具有设置于其基端部分28并能够在末端执行器25的中心轴线上往复运动的可动部件(未图示)、和分别设置于其前端部分29a、29b的固定部件(同上)。于是，末端执行器25例如也可以使上述可动部件向中心轴线的前端侧移动，用该可动部件和上述固定部件夹住基板S从而保持该基板S。

(机器人控制装置30)

图2是表示本实施方式所涉及的机器人的控制系统的框图。如图2所示，本实施方式所涉及的机器人控制装置30具备存储部32、和用于执行存储部32所储存的程序的处理部34。处理部34分别相对于伺服马达14a、14b、24a、26a连接。机器人控制装置30通过伺服马达14a、14b、24a、26a，能够对机器人10的动作进行伺服控制。

(载置位置62)

载置位置62设置于在水平面内在长边方向上延伸的板状部件60的前端。板状部件60形成为I字状，包括载置位置62在内的宽度方向的尺寸统一。板状部件60的宽度方向的尺寸比末端执行器25的2个前端部分29的间隔小。

(将基板S载置于载置位置62的作业的一个例子)

基于图3及图4，对将由末端执行器25保持的基板S载置于载置位置62的作业的一个例子进行说明。另外，也一并对本实施方式所涉及的机器人控制装置30所起到的效果进行说明。图3是表示本实施方式所涉及的机器人进行载置基板的第1动作的样子的概略图，(A)是末端执行器位于第1示教点时的图，(B)是末端执行器位于第2示教点时的图。

如图3的(A)所示，在末端执行器25位于比载置位置62靠上方的示教点T₁(第1示教点)时(换言之，在末端执行器25处于图3的(A)所示的位置及姿势时)，成为末端执行器25保持基板S而在载置位置62未载置基板S的第1状态。另外，如图3的(B)所示，在末端执行器25位于比载置位置62靠下方的示教点T₂(第2示教点)时(换言之，在末端执行器25处于图3的(B)所示的位置及姿势时)，成为末端执行器25不保持基板S而在载置位置62载置基板S的第2状态。

机器人控制装置30通过使机器人10进行末端执行器25从示教点T₁移动到示教点T₂的动作(以下称为“载置基板S的第1动作”)，能够将上述第1状态切换为上述第2状态。

这里，示教点T₁、T₂设定为当末端执行器25在载置基板S的第1动作的中途通过载置位置62时，载置位置62穿过末端执行器25的2个前端部分29a、29b之间。由此，本实施方式所涉及的机器人10能够通过简单的构造可靠地进行保持基板S并对其进行搬运的作业(这里为将已由末端执行器25保持的基板S载置于载置位置62的作业)。

此外，机器人控制装置30也可以通过预先示教而存储有载置位置62的位置信息，基于距载置位置62的距离D₁，导出示教点T₁。相同地，机器人控制装置30也可以通过预先示教而存储有载置位置62的位置信息，基于距载置位置62的距离D₂，导出示教点T₂。此外，距离D₁、D₂也可以彼此相等。

此外，机器人控制装置30也可以在使上述可动部件向中心轴线的前端侧移动，直到使末端执行器25处于示教点T₁，用该可动部件和上述固定部件夹住基板S从而使末端执行器25保持基板S。而且，机器人控制装置30也可以在使末端执行器25处于示教点T₁时，使上述可动部件向中心轴线的基端侧移动，用该可动部件和上述固定部件不夹住基板S从而使基板S搭载于末端执行器25上(即，也可以仅载置)。

图4是表示本实施方式所涉及的机器人正在进行载置基板的第1动作时的末端执行器的速度的曲线图。在图4中，横轴表示时间(t)，纵轴表示速度(m/s)。如图4所示，末端执行器25在时间t₁成为示教点T₁的位置及姿势，从该处朝向示教点T₂开始移动。然后，末端执行器25在以最高速度v_max移动时的时间t₂通过载置位置62，在时间t₃成为示教点T₂的位置及姿势。

机器人控制装置30在载置基板S的第1动作的中途不进行末端执行器25是否通过了载置位置62的判断，且不使末端执行器25停止。由此，本实施方式所涉及的机器人控制装置30能够迅速地进行保持基板S并进行搬运的作业。

并且，机器人控制装置30在载置基板S的第1动作的中途，在载置位置62及其附近不使末端执行器25减速。由此，本实施方式所涉及的机器人控制装置30能够更加迅速地进行保持基板S并进行搬运的作业(同上)。

(保持已载置于载置位置62的基板S的作业的一个例子)

主要基于图5及图6，对用末端执行器25保持已载置于载置位置62的基板S的作业的一个例子进行说明。另外，也一并对本实施方式所涉及的机器人控制装置30所起到的效果进行说明。图5是表示本实施方式所涉及的机器人进行保持基板的第1动作的样子的概略图，(A)是末端执行器位于第2示教点时的图，(B)是末端执行器位于第2示教点时的图。

如图5所示，机器人控制装置30通过使机器人10进行末端执行器25从示教点T₂移动到示教点T₁的动作(以下称为“保持基板S的第1动作”)，能够从上述第2状态切换为上述第1状态。

图6是表示本实施方式所涉及的机器人正在进行保持基板的第1动作时的末端执行器的速度的曲线图。在图6中，横轴表示时间(t)，纵轴表示速度(m/s)。如图6所示，末端执行器25在时间t₁′成为示教点T₂的位置及姿势，从该处朝向示教点T₁开始移动。然后，末端执行器25在以最高速度v_max移动时的时间t₂′通过载置位置62，在时间t₃′成为示教点T₁的位置及姿势。

机器人控制装置30在保持基板S的第1动作的中途不进行末端执行器25是否通过了载置位置62的判断，且不使末端执行器25停止。由此，本实施方式所涉及的机器人控制装置30能够迅速地进行保持基板S并进行搬运的作业(这里为用末端执行器25保持已载置于载置位置62的基板S的作业)。

并且，机器人控制装置30在保持基板S的第1动作的中途，在载置位置62及其附近不使末端执行器25减速。由此，本实施方式所涉及的机器人控制装置30能够更加迅速地进行保持基板S并进行搬运的作业(同上)。

(机器人控制方法)

主要基于图7，对用于对上述实施方式所涉及的机器人10的动作进行控制的机器人控制方法的一个例子进行说明。图7是本实施方式所涉及的机器人控制方法的流程图。

如图7所示，本实施方式所涉及的机器人控制方法具备使末端执行器25位于示教点T₁和T₂中的任一个的步骤S1(第1步骤)。

另外，本实施方式所涉及的机器人控制方法还具备步骤S2(第2步骤)，该步骤S2在进行步骤S1后，通过使机器人10进行末端执行器25从示教点T₁和T₂中的任意一个移动到任意另一个的第1动作(换言之，末端执行器25载置基板S的第1动作、或者末端执行器25保持基板S的第1动作)，在上述第1状态(即，末端执行器25保持基板S而在载置位置62未载置基板S的第1状态)与上述第2状态(即，末端执行器25不保持基板S而在载置位置62载置基板S的第2状态)之间进行切换，在上述第1动作的中途，不进行末端执行器25是否通过了载置位置62的判断，且不使末端执行器25停止。

本实施方式所涉及的机器人控制方法所起到的效果与上述实施方式所涉及的机器人控制装置30所起到的效果相同，因此这里不重复其说明。

(变形例)

通过上述说明，对本领域技术人员而言，可清楚知道本发明的较多的改进或者其他的实施方式。因此，上述说明仅作为例示而进行解释，将执行本发明的最好的方式以向本领域技术人员提示的目的提供。能够以不脱离本发明的精神的方式，实质上变更其构造以及/或者功能的详情。

基于图8，对将已由末端执行器25保持的基板S载置于载置位置62的作业的变形例进行说明。图8是表示上述实施方式所涉及的机器人进行载置基板的第1动作的变形例的样子的概略图，(A)是末端执行器位于第1示教点时的图，(B)是末端执行器位于第2示教点时的图。

如图8所示，在本变形例中，上述实施方式所涉及的机器人10进行将已由末端执行器25保持的基板S载置于预定位器50的载置位置62′的作业。预定位器50是为了进行基板S的旋转位置的对位而设置。

预定位器50例如具备：转台60′，载置基板S；驱动部(未图示)，用于使转台60′旋转；传感器(同上)，对借助驱动部而正在旋转的状态的基板S的外缘部分进行检测；以及处理部(同上)，基于由传感器检测到的基板S的外缘部分对基板S的中心位置进行检测。即，在本变形例中，载置位置62′是转台60′的上表面。

如图8的(A)所示，在末端执行器25位于比载置位置62′靠上方的示教点T₁′(第1示教点)时(换言之，在末端执行器25处于图8的(A)所示的位置及姿势时)，成为末端执行器25保持基板S而在载置位置62′未载置基板S的第1状态。另外，如图8的(B)所示，在末端执行器25位于比载置位置62′靠下方的示教点T₂′(第2示教点)时(换言之，在末端执行器25处于图8的(B)所示的位置及姿势时)，成为末端执行器25不保持基板S而在载置位置62′载置基板S的第2状态。

于是，与上述实施方式相同地，机器人控制装置30通过使机器人10进行末端执行器25从示教点T₁′移动到示教点T₂′的动作(第1动作)，能够将上述第1状态切换为上述第2状态。

此外，机器人控制装置30也可以通过预先示教而存储有载置位置62′的位置信息，基于距载置位置62′的距离D₁′，导出示教点T₁′。相同地，机器人控制装置30也可以通过预先示教而存储有载置位置62′的位置信息，基于距载置位置62′的距离D₂′，导出示教点T₂′。

关于机器人控制装置30使机器人10进行末端执行器25从示教点T₂′移动到示教点T₁′的动作(第1动作)的情况，由于与上述实施方式相同，因此这里不重复其说明。

(其他变形例)

在上述实施方式中，对机器人控制装置30通过预先示教而存储有载置位置62的位置信息，基于距载置位置62的距离D₁导出示教点T₁，基于距载置位置62的距离D₂导出示教点T₂的情况进行了说明。但是，并不限定于该情况，机器人控制装置30也可以通过预先示教而存储有示教点T₁、T₂。或者，机器人控制装置30也可以通过预先示教而存储有示教点T₁和T₂中的任意一个，基于距载置位置62的距离导出任意另一个。即，机器人控制装置30也可以基于距载置位置62的距离，导出示教点T₁和T₂中的至少任一个。

在上述实施方式中，对机器人控制装置30在载置基板S的第1动作以及保持基板S的第1动作的中途，在载置位置62及其附近不使末端执行器25减速的情况进行了说明。但是，并不限定于该情况，机器人控制装置30只要在能够迅速地进行保持基板S并进行搬运的作业的范围内，则也可以在载置基板S的第1动作以及保持基板S的第1动作的中途，在载置位置62及其附近使末端执行器25减速。

在上述实施方式中，对末端执行器25通过用设置于其基端部分28并能够在末端执行器25的中心轴线上往复运动的可动部件(未图示)、和分别设置于其前端部分29a、29b的固定部件(同上)夹住基板S从而保持该基板S的情况进行了说明。但是，并不限定于该情况，末端执行器25也可以通过搭载或者吸附来保持基板S。

在上述实施方式中，对基体27在其厚度方向上观察时是Y字状的情况进行了说明。但是，并不限定于该情况，基体27也可以在其厚度方向上观察时是四边形状。此外，在基体27是这样的四边形状的情况下，例如，示教点T₁、T₂也可以设定为在载置基板S的第1动作以及保持基板S的第1动作的中途，在末端执行器25通过载置位置62时，基体27的前端与板状部件60的前端邻接。此外，基体27在其厚度方向上观察时也可以是四边形以外的多边形状，也可以是圆形状，也可以是其他形状。

在上述实施方式中，对机器人10构成为具有3个关节轴的水平多关节型机器人的情况进行了说明。但是，并不限定于该情况，机器人10也可以具有1个、2个、或者4个以上的关节轴(即，至少1个关节轴)。另外，机器人10例如也可以构成为垂直多关节型机器人，也可以构成为其他机器人。

在上述实施方式中，对基板S为圆板状的情况进行了说明。但是，并不限定于该情况，基板S在其厚度方向上观察时也可以为矩形状，也可以为其他形状。

本发明所涉及的机器人控制装置是用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制的机器人控制装置，其特征在于，上述机器人具备具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于上述机器人臂的前端并用于保持上述基板的末端执行器，并且被与用于载置上述基板的载置位置邻接地配置，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠上方的第1示教点时，成为上述末端执行器保持上述基板而在上述载置位置未载置上述基板的第1状态，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠下方的第2示教点时，成为上述末端执行器不保持上述基板而在上述载置位置载置上述基板的第2状态，通过使上述机器人进行上述末端执行器从上述第1示教点及上述第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，能够在上述第1状态与上述第2状态之间进行切换，在上述第1动作的中途，不进行上述末端执行器是否通过了上述载置位置的判断，且不使上述末端执行器停止。

根据上述结构，本发明所涉及的机器人控制装置在上述第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。其结果是，本发明所涉及的机器人控制装置能够迅速地进行保持基板并进行搬运的作业。

也可以在上述第1动作的中途，在上述载置位置及其附近不使上述末端执行器减速。

根据上述结构，本发明所涉及的机器人控制装置能够更加迅速地进行保持基板并进行搬运的作业。

例如，也可以通过预先示教而存储有上述载置位置的位置信息，基于距上述载置位置的距离，导出上述第1示教点及上述第2示教点中的至少任一个。

本发明所涉及的机器人的特征在于具有具备上述任一项所述的结构的机器人控制装置、上述机器人臂以及上述末端执行器。

根据上述结构，本发明所涉及的机器人具有具备上述任一项所述的结构的机器人控制装置，因此能够迅速地进行保持基板并进行搬运的作业。

上述末端执行器也可以具有与上述机器人臂的前端连接的基端部分、和从上述基端部分分开并向前端侧延伸的2个前端部分，上述第1示教点及上述第2示教点也可以设定为当上述末端执行器在上述第1动作的中途通过上述载置位置时，上述载置位置穿过上述2个前端部分之间。

根据上述结构，本发明所涉及的机器人能够通过简单的构造可靠地进行保持基板并进行搬运的作业。

本发明所涉及的机器人控制方法是用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制的机器人控制方法，其特征在于，上述机器人具备具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于上述机器人臂的前端并用于保持上述基板的末端执行器，并且被与用于载置上述基板的载置位置邻接地配置，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠上方的第1示教点时，成为上述末端执行器保持上述基板而在上述载置位置未载置上述基板的第1状态，在上述末端执行器位于比上述载置位置靠下方的第2示教点时，成为上述末端执行器不保持上述基板而在上述载置位置载置上述基板的第2状态，上述机器人控制方法具备：第1步骤，使上述末端执行器位于上述第1示教点及上述第2示教点中的任一个；和第2步骤，在进行上述第1步骤后，通过使上述机器人进行上述末端执行器从上述第1示教点及上述第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，在上述第1状态与上述第2状态之间进行切换，在上述第1动作的中途，不进行上述末端执行器是否通过了上述载置位置的判断，且不使上述末端执行器停止。

根据上述结构，本发明所涉及的机器人控制方法在上述第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。其结果是，本发明所涉及的机器人控制方法能够迅速地进行保持基板并进行搬运的作业。

附图标记说明

10…机器人；12...基台；14...升降轴；20...机器人臂；22...第1连杆；24...第2连杆；25...末端执行器；26...腕部；27...基体；28...基端部分；29...前端部分；30...机器人控制装置；32...存储部；34...处理部；60...板状部件；62...载置位置；D...距离；L...旋转轴；S...基板；T...示教点