阅读说明：本技术 一种巨量转移滚轴转印转移技术 (Mass transfer roller transfer printing transfer technology ) 是由 李志� 于 2021-09-15 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种巨量转移滚轴转印转移技术,包括以下步骤：S1：通过卷转移系统控制PDMS压辊与待转移器件接触,通过基板侧面安装的显微镜与接收器实时反馈对准度；S2：控制PDMS压辊在供体基板上的Micro LED上移动,通过优化供体基板与PDMS压辊之间夹紧力,将Micro LED准确的转移至PDMS压辊表面；S3：将带有Micro LED的PDMS压辊转移至接收器基板上TFT相对应的位置,通过在基板侧面的显微镜,确定TFT与Micro LED精确对准。本发明通过卷转移系统控制PDMS压辊在供体基板上吸附Micro LED,在转移至接收器基板上,通过控制PDMS压辊与接收器基板的压力,将吸附的Micro LED粘附至接收器基板上TFT相应的位置,有效的提升了Micro LED的转移良品率,提高了产品的质量。(The invention discloses a transfer technology of a massive transfer roller, which comprises the following steps: s1: the PDMS compression roller is controlled to be contacted with a device to be transferred through a roll transfer system, and the alignment degree is fed back in real time through a microscope and a receiver which are arranged on the side surface of the substrate; s2: controlling the PDMS compression roller to move on the Micro LED on the donor substrate, and accurately transferring the Micro LED to the surface of the PDMS compression roller by optimizing the clamping force between the donor substrate and the PDMS compression roller; s3: and transferring the PDMS compression roller with the Micro LED to a position corresponding to the TFT on the receiver substrate, and determining that the TFT is accurately aligned with the Micro LED through a microscope on the side surface of the substrate. According to the invention, the PDMS compression roller is controlled by the roll transfer system to adsorb the Micro LED on the donor substrate, and the adsorbed Micro LED is adhered to the corresponding position of the TFT on the receiver substrate by controlling the pressure of the PDMS compression roller and the receiver substrate when the Micro LED is transferred to the receiver substrate, so that the transfer yield of the Micro LED is effectively improved, and the product quality is improved.)

一种巨量转移滚轴转印转移技术

技术领域

本发明涉及一种转印转移技术，特别涉及一种巨量转移滚轴转印转移技术，属于LED技术领域。

背景技术

Micro-LED最早由堪萨斯州立大学洪兴教授和德州理工大学Jingyu Lin教授在2000年首先发明的。

传统的LED在封装环节，主要采用真空吸取的方式进行转移，但由于真空管在物理极限下只能做到大约80μm，而MicroLED的尺寸基本小于50μm，所以真空吸附的方式在MicroLED时代不再适用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种巨量转移滚轴转印转移技术，以解决上述背景技术中提出的传统的LED在封装环节，主要采用真空吸取的方式进行转移。但由于真空管在物理极限下只能做到大约80μm，而MicroLED的尺寸基本小于50μm，所以真空吸附的方式在MicroLED时代不再适用的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：包括以下步骤：

S1：通过卷转移系统控制PDMS压辊与待转移器件接触，通过基板侧面安装的显微镜与接收器实时反馈对准度；

S2：控制PDMS压辊在供体基板上的Micro LED上移动，通过优化供体基板与PDMS压辊之间夹紧力，将Micro LED准确的转移至PDMS压辊表面；

S3：将带有Micro LED的PDMS压辊转移至接收器基板上TFT相对应的位置，通过在基板侧面的显微镜，确定TFT与Micro LED精确对准；

S4：通过卷转移系统继续控制PDMS压辊在接收器基板上移动，PDMS压辊表面的Micro LED精准的嵌设至TFT中，完成Micro LED的转移。

作为本发明的一种优选技术方案，所述PDMS压辊与接收器基板之间界面粘附力大小取决于PDMS压辊的速度和PDMS压辊的半径。

作为本发明的一种优选技术方案，所述PDMS压辊为微柱结构的阵列压模，相邻的微柱之间相互接触。

作为本发明的一种优选技术方案，所述卷转移系统包括PDMS压辊驱动模块、PDMS压辊速度控制模块、PDMS压辊与基板夹紧力控制模块和PDMS压辊方向矫正模块；

所述PDMS压辊驱动模块：用于驱动PDMS压辊移动；

所述PDMS压辊速度控制模块：用于控制PDMS压辊移动的速度；

所述PDMS压辊与基板夹紧力控制模块：用于控制PDMS压辊与基板夹紧力，可以将Micro LED准确地转移到PDMS压模上；

所述PDMS压辊方向矫正模块：确保PDMS压辊与接收器基板精确对准。

作为本发明的一种优选技术方案，所述PDMS压辊与接收器基板压力恒定。

作为本发明的一种优选技术方案，所述PDMS压辊的转移速度为5000LEDs/sec。

作为本发明的一种优选技术方案，包括主基板，所述主基板的顶端分别设有供体基板、接收器基板，所述供体基板的顶端固定设有Micro LED，所述接收器基板的顶端固定设有TFT，所述主基板的顶端滚动连接有PDMS压模，所述PDMS压模与Micro LED吸附连接，所述主基板的侧面固定安装有两个显微镜，所述主基板与PDMS压模之间的有夹紧力，且所述夹紧力恒定。

作为本发明的一种优选技术方案，所述PDMS压模的长度与主基板的长度相匹配。

作为本发明的一种优选技术方案，所述主基板与供体基板和接收器基板之间吸附连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述Micro LED与接收器基板位置对正。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明一种巨量转移滚轴转印转移技术，通过卷转移系统控制PDMS压辊在供体基板上吸附Micro LED，在转移至接收器基板上，通过控制PDMS压辊与接收器基板的压力，将吸附的Micro LED粘附至接收器基板上TFT相应的位置，有效的提升了Micro LED的转移良品率，提高了产品的质量。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明的内部结构示意图。

图中：1、主基板；2、供体基板；3、PDMS压模；4、显微镜；5、接收器基板；6、MicroLED；7、TFT。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-2，本发明提供了一种巨量转移滚轴转印转移技术的技术方案：

根据图1所示，包括以下步骤：

S1：通过卷转移系统控制PDMS压辊与待转移器件接触，通过基板侧面安装的显微镜与接收器实时反馈对准度；

S2：控制PDMS压辊在供体基板上的Micro LED上移动，通过优化供体基板与PDMS压辊之间夹紧力，将Micro LED准确的转移至PDMS压辊表面；

S3：将带有Micro LED的PDMS压辊转移至接收器基板上TFT相对应的位置，通过在基板侧面的显微镜，确定TFT与Micro LED精确对准；

S4：通过卷转移系统继续控制PDMS压辊在接收器基板上移动，PDMS压辊表面的Micro LED精准的嵌设至TFT中，完成Micro LED的转移。

通过卷转移系统控制PDMS压辊在供体基板上吸附Micro LED，在转移至接收器基板上，通过控制PDMS压辊与接收器基板的压力，将吸附的Micro LED粘附至接收器基板上TFT相应的位置，有效的提升了Micro LED的转移良品率，提高了产品的质量。

根据图1所示，所述PDMS压辊与接收器基板之间界面粘附力大小取决于PDMS压辊的速度和PDMS压辊的半径，为了进一步扩大滚轮转印附着力控制，引入了成角度的立柱以通过缩回方向控制转移，所述PDMS压辊为微柱结构的阵列压模，以适应不同的接收基板，相邻的微柱之间相互接触，所述卷转移系统包括PDMS压辊驱动模块、PDMS压辊速度控制模块、PDMS压辊与基板夹紧力控制模块和PDMS压辊方向矫正模块；所述PDMS压辊驱动模块：用于驱动PDMS压辊移动；所述PDMS压辊速度控制模块：用于控制PDMS压辊移动的速度；所述PDMS压辊与基板夹紧力控制模块：用于控制PDMS压辊与基板夹紧力，可以将Micro LED准确地转移到PDMS压模上；所述PDMS压辊方向矫正模块：确保PDMS压辊与接收器基板精确对准，所述PDMS压辊与接收器基板压力恒定，通过控制PDMS压辊与接收器基板压力，有效的放置损坏Micro LED，所述PDMS压辊的转移速度为5000LEDs/sec。

包括主基板1，主基板1的顶端分别设有供体基板2、接收器基板5，供体基板2的顶端固定设有Micro LED6，接收器基板5的顶端固定设有TFT，主基板1的顶端滚动连接有PDMS压模3，PDMS压模3与Micro LED6吸附连接，主基板1的侧面固定安装有两个显微镜4，通过卷转移系统控制PDMS压辊在供体基板上吸附Micro LED，在转移至接收器基板上，通过控制PDMS压辊3与接收器基板5的压力，将吸附的Micro LED6粘附至接收器基板5上TFT7相应的位置，有效的提升了Micro LED6的转移良品率，提高了产品的质量。

根据图2所示，主基板1与PDMS压模3之间的有夹紧力，且夹紧力恒定，确保PDMS压模3移动稳定，PDMS压模3为阵列压模，以适应不同的接收器基板5，PDMS压模3的长度与主基板的长度相匹配，主基板1与供体基板2和接收器基板5之间吸附连接，Micro LED6与接收器基板5位置对正。

在本发明的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。