具体实施方式

以下，对优选的实施方式进行说明。不过，以下的实施方式只是例示，本发明并不限定于以下的实施方式。此外，在各图中，实质上具有相同的功能的部件有时按相同的附图标记参照。

(板状部件)

图1是表示利用本发明的板状部件的制造方法制造的板状部件的一个例子的示意的正面截面图。图1所示的板状部件是具有彼此相对的第一主面1a和第二主面1b的矩形板状的波长转换部件1。另外，波长转换部件1的形状并不限定于矩形板状。

波长转换部件1是荧光体颗粒2分散于无机基质3中而构成的。荧光体颗粒2通过激发光A的入射而出射荧光。因此，当激发光A向波长转换部件1入射时，从波长转换部件1出射激发光和荧光的合成光B。

荧光体颗粒2只要是通过激发光的入射而出射荧光即可，没有特别限定。作为荧光体颗粒2的具体例子，例如能够列举选自氧化物荧光体、氮化物荧光体、氧氮化物荧光体、氯化物荧光体、氧氯化物荧光体、硫化物荧光体、氧硫化物荧光体、卤化物荧光体、硫族化合物荧光体、氯酸盐荧光体、卤磷酸盐化合物荧光体和石榴石类化合物荧光体的1种以上等。在使用蓝色光作为激发光的情况下，例如能够使用作为荧光出射绿色光、黄色光或红色光的荧光体。

荧光体颗粒2的平均粒径优选为1μm～50μm，更优选为5μm～30μm。当荧光体颗粒2的平均粒径过小时，有时发光强度会下降。另一方面，当荧光体颗粒2的平均粒径过大时，有时发光颜色会不均匀。

波长转换部件1中的荧光体颗粒2的含有量优选为1体积％以上，1.5体积％以上，特别优选为2体积％以上，并且优选70体积％以下，50体积％以下，特别优选为30体积％以下。当荧光体颗粒2的含有量过少时，为了得到所期望的发光颜色需要将波长转换部件1形成得厚，其结果是，存在由于得到的波长转换部件的内部散乱增加，光提取效率下降的情况。另一方面，当荧光体颗粒2的含有量过多时，为了得到所期望的发光颜色需要将波长转换部件1形成得薄，因此存在波长转换部件1的机械强度下降的情况。

无机基质3中使用的无机材料只要是能够作为荧光体颗粒2的分散介质使用的就没有特别限定，例如能够使用玻璃。作为无机基质3中使用的玻璃，例如能够使用硼硅酸盐类玻璃、磷酸盐类玻璃、锡磷酸盐类玻璃、铋酸盐类玻璃等。作为硼硅酸盐类玻璃，能够列举按质量％，含有30％～85％的SiO₂、0％～30％的Al₂O₃、0％～50％的B₂O₃、0％～10％的Li₂O+Na₂O+K₂O和0％～50％的MgO+CaO+SrO+BaO的玻璃。作为锡磷酸盐类玻璃，能够列举按摩尔％含有30％～90％的SnO、1％～70％的P₂O₅的玻璃。

参照图1，作为利用本发明的板状部件的制造方法制造的板状部件的一个例子表示了波长转换部件，不过板状部件并不限定于波长转换部件。作为利用本发明的制造方法来制造的板状部件，除波长转换部件以外，例如能够列举由玻璃板或陶瓷板等无机材料构成的脆性材料基板或者板状的半导体元件等。

[板状部件的制造方法]

以下，说明本发明的一个实施方式的板状部件的制造方法的一个例子。另外，本实施方式中的板状部件是上述的板状的波长转换部件。

(层叠体的制作工序)

图2是表示本发明的一个实施方式的板状部件的制造方法中使用的、形成有第一分割槽和第二分割槽的板状部件的母材的示意的平面图。图3中的(a)和图3中的(b)是用于说明本发明的一个实施方式的板状部件的制造方法中的层叠体的制作工序的示意的正面截面图。图4是本发明的一个实施方式的板状部件的制造方法中使用的支承膜的示意的放大正面截面图。图5是本发明的一个实施方式的板状部件的制造方法中使用的粘附膜的示意的放大正面截面图。

首先，准备图2所示那样的矩形板状的波长转换部件的母材11。波长转换部件的母材11具有彼此相对的第一主面11a和第二主面11b(参照图3中的(a))。波长转换部件的母材11是在无机基质中分散有荧光体颗粒而构成的。波长转换部件的母材11能够由与上述的波长转换部件1相同的材料构成。另外，板状部件的母材除波长转换部件的母材11以外，例如也可以为由玻璃板或陶瓷板等无机材料构成的脆性材料基板或者板状的半导体元件等。

接着，如图2所示那样，在波长转换部件的母材11的第一主面11a形成分割槽。具体而言，形成相互交叉的第一分割槽12a和第二分割槽13a。在本实施方式中，第一分割槽12a与第二分割槽13a正交。

此处，令与波长转换部件的母材11的第一主面11a平行地延伸，且相互正交的方向为x方向和y方向。令与x方向和y方向正交的方向为z方向。在本实施方式中，多个第一分割槽12a沿y方向延伸，在x方向上排列。另一方面，多个第二分割槽13a沿x方向延伸，在y方向上排列。另外，第一分割槽12a和第二分割槽13a并不一定正交。此外，也可以仅设置第一分割槽12a和第二分割槽13a中的一个分割槽。或者，也可以进一步设置与第一分割槽12a和第二分割槽13不同的其它分割槽。

在本实施方式中，第一分割槽12a和第二分割槽13a的图案呈栅格状形成。不过，分割槽的图案没有特别限定，能够适当地选择与最终制造的板状部件的形状对应的图案。

第一分割槽12a和第二分割槽13a的深度没有特别限定，分别优选在波长转换部件的母材11的厚度的0.1％～10％的范围，更优选在0.5％～5％的范围。当分割槽的深度过浅时，有时利用分割槽进行的切割难以进行。当分割槽的深度过深时，有时形成分割槽时的负载过大，使得裂纹在不希望的方向上伸展，不能在与第一主面11a垂直方向上进行切割。

第一分割槽12a和第二分割槽13a的宽度分别优选为0.001mm以上，进一步优选为0.002mm以上，此外优选为0.010mm以下，进一步优选为0.005mm以下。当宽度过大时，在被切割时有时会成为缺损部。当宽度过小时，利用分割槽进行的切割有时会难以进行。

第一分割槽12a和第二分割槽13a优选通过划线形成。作为形成第一分割槽12a和第二分割槽13a的具体的方法，能够根据无机基质的材质适当地选择，在无机基质为玻璃的情况下，优选通过使用了钻石颗粒等的划线针等来形成。此外，也可以根据无机基质的材质，通过激光的照射来形成第一分割槽12a和第二分割槽13a。

接着，如图3中的(a)所示那样，在波长转换部件的母材11的第二主面11b侧粘贴支承膜14。如图4所示，支承膜14包括支承层14a和设置在支承层14a上的粘附层14b。

在本实施方式中，支承层14a由聚乙烯膜构成。不过，作为支承层14a，没有特别限定，能够由适当的树脂膜构成。此外，在本实施方式中，粘附层14b由紫外线固化树脂构成。作为紫外线固化树脂，能够使用丙烯酸树脂、环氧树脂、聚氨酯树脂等。不过，粘附层14b也可以由其它树脂等构成，没有特别限定。在本实施方式中，通过在波长转换部件的母材11的第二主面11b粘贴支承膜14的粘附层14b，能够支承膜14粘贴于波长转换部件的母材11。

接着，如图3中的(b)所示那样，以覆盖波长转换部件的母材11的第一主面11a的方式粘贴粘附膜17。在本实施方式中，在第一主面11a的整个面粘贴粘附膜17。在本发明中，只要在第一主面11a的一部分粘贴粘附膜17即可，并不一定在第一主面11a的整个面粘贴。不过，如后所述，从进一步抑制波长转换部件1的形状不良的观点出发，优选在第一主面11a的整个面粘贴粘附膜17。

此外，在本实施方式中，俯视时支承膜14的面积大于板状部件的母材11的第二主面11b的面积。而且，以从波长转换部件的母材11的第一主面11a到达支承膜14的方式粘贴粘附膜17。因此，能够使粘附膜17更为可靠地紧贴第一主面11a。

如图5所示，粘附膜17是其自身具有粘附性的膜。优选粘附膜17的、相对于板状部件等被粘附体的粘附力为1g/25mm以上。另外，粘附力的值能够基于JIS-Z-0237进行测定。在本实施方式中，粘附膜17由聚氯乙烯构成。不过，粘附膜17也可以由其它树脂构成。

此外，粘附膜17也可以如图6中以变形例所示那样，包括基材层17a和层叠于基材层17a上的粘附层17b。作为基材层17a，例如能够使用聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚氯乙烯等。此外，作为粘附层17b，没有特别限定，能够使用丙烯酸类粘接剂、橡胶类粘接剂等适当的粘接剂，粘附层17b也可以由紫外线固化树脂构成。

在本实施方式中，特别使用自粘性的膜作为粘附膜17。自粘性是指，不使用其它粘接剂，无需按压，就可利用薄膜的自重粘贴在被粘附体的性质。

粘附膜17的粘附力更优选为3g/25mm以上，5g/25mm以上，7g/25mm以上，9g/25mm以上，11g/25mm以上，特别是13g/25mm以上。在这种情况下，能够使粘附膜17更为可靠地紧贴于第一主面11a。

粘附膜17的厚度优选为0.01～1mm，0.05～0.5mm，特别是0.1～0.2mm。当粘附膜17的厚度过小时，粘附膜17的机械强度降低，存在可能在切割工序中破损，或波长转换部件的母材11的固定不充分的问题。另一方面，当粘附膜17的厚度过大时，切割精度降低，容易发生板状部件的形状不良。

不过，优选粘附膜17的粘附力低于支承膜14的粘附力。在这种情况下，能够更为容易地将粘附膜17从波长转换部件的母材11的第一主面11a剥离。

从更为容易地将粘附膜17从波长转换部件的母材11的第一主面11a剥离的观点出发，粘附膜17的粘附力优选为100g/25mm以下，50g/25m以下，特别优选为30g/25mm以下。此外，在将粘附膜17从波长转换部件的母材11剥离时，优选在波长转换部件的母材11的第一主面11a不产生胶渣。

如以上说明的那样，通过以覆盖波长转换部件的母材11的第一主面11a的方式粘贴粘附膜17，能够得到成为制造波长转换部件1时的中间体的层叠体10。

(切割工序)

图7中的(a)～图7中的(d)是用于说明本发明的一个实施方式的板状部件的制造方法中的切割工序的示意的正面截面图。

切割工序具有图7中的(a)和图7中的(b)所示的第一切割工序以及图7中的(c)和图7中的(d)所示的第二切割工序。在本实施方式的切割工序中，使用按压部件18和支承体19。按压部件18具有与波长转换部件的母材11的第一主面11a平行且呈直线状延伸的刀片18a。另一方面，支承体19具有狭缝19a。

首先，进行第一切割工序。如图7中的(a)所示，将支承体19以与粘附膜17接触的方式配置。此时，以从粘附膜17侧看时，狭缝19a与要切割的第一分割槽12a重叠的方式配置支承体19。另一方面，在与要切割的第一分割槽12a相对的位置，配置按压部件18。此时，按压部件18的刀片18a和支承体19的狭缝19a分别沿y方向呈直线状延伸。

接着，在如上述那样配置有支承体19的状态下，利用按压部件18的刀片18a从支承膜14侧按压波长转换部件的母材11。这样，通过利用支承体19和按压部件18夹持按压波长转换部件的母材11，如图7中的(b)所示那样，以第一分割槽12a为起点使裂纹在波长转换部件的母材11的厚度方向上伸展。由此，将波长转换部件的母材11沿第一分割槽12a割断。另外，此时形成切割面12b。

接着，使按压部件18和支承体19在x方向上移动，沿相邻的第一分割槽12a切割波长转换部件的母材11。通过反复该动作，沿着在x方向上排列的所有第一分割槽12a切割波长转换部件的母材11。

接着，进行第二切割工序。如图7中的(c)所示，在第二切割工序中，将按压部件18的刀片18a和支承体19的狭缝19a分别以在x方向上呈直线状地延伸的方式配置。通过与第一切割工序同样地利用支承体19和按压部件18夹压板状部件的母材，如图7中的(d)所示那样，以第二分割槽13a为起点使裂纹在波长转换部件的母材11的厚度方向上伸展。由此，将波长转换部件的母材11沿第二分割槽13a切割。

接着，使按压部件18和支承体19在y方向上移动，沿相邻的第二分割槽13a切割波长转换部件的母材11。通过反复该动作，沿着在y方向上排列的所有第二分割槽13a切割波长转换部件的母材11。由此，波长转换部件的母材11被单片化成多个波长转换部件1。

接着，将粘附膜17从波长转换部件的母材11和支承膜14剥离。然后，向支承膜14照射UV光，由此使支承膜14的粘附层14b进行紫外线固化。然后，从支承膜14剥离被单片化了的波长转换部件1。通过以上处理，得到多个波长转换部件1。

本实施方式的特征在于，包括在波长转换部件的母材11粘贴有粘附膜17的状态下，沿着分割槽切割波长转换部件的母材11的切割工序。由此，能够抑制作为板状部件的波长转换部件1的形状不良，能够提高成品率。以下通过对本实施方式与比较例进行比较而对此进行说明。另外，比较例的制造方法在不使用粘附膜17方面与本实施方式不同。

作为波长转换部件的母材，准备在硼硅酸类玻璃基质(软化点850℃)中分散有YAG荧光体粉末的荧光体玻璃母板(50mm×50mm×0.2mm，荧光体浓度8.3体积％)。使用该波长转换部件的母材，利用本实施方式的制造方法和比较例的制造方法，分别制作2304个一边约为1mm的大致正方形的波长转换部件。在本实施方式和比较例中，比较形状不良的产生率。此处，使用下述的图8表示形状不良的例子。

图8是表示波长转换部件的形状不良的例的示意的平面图。另外，图8表示从支承膜14剥离多个波长转换部件1之前的状态。如图8所示那样，从波长转换部件1的第一主面1a侧看时，第二主面1b的外周边缘突出至比第一主面1a的外周边缘靠外侧的部分为毛刺C。毛刺C的部分的第一主面1a的外周边缘与第二主面1b的外周边缘的距离中最长的距离设为毛刺的尺寸D。毛刺的尺寸D为20μm以上时设为形状不良。

在利用比较例的制造方法制作波长转换部件1的情况下，形状不良的产生率为30％。与此相对，在利用本实施方式的制造方法制作波长转换部件的情况下(作为粘附膜，使用厚度约0.12mm，粘附力13g/25mm的聚氯乙烯膜)，形状不良的产生率为0％。如此可知，在本实施方式中，能够抑制作为板状部件的波长转换部件1的形状不良，能够提高成品率。认为这是基于以下的理由。

如图9中的(a)所示，在比较例中，除不使用粘附膜17以外与本实施方式同样地沿第一分割槽12a切割波长转换部件的母材11。在比较例的情况下，在第一切割工序，波长转换部件的母材11的单片体(短栅状的单片体)彼此在支承体19上相互挤压，由此变得容易活动，存在如图9中的(b)所示那样，在切割后产生波长转换部件的母材11的单片体的移位的情况。在这种情况下，在第一切割工序后，成为在第一主面11a产生凹凸的状态。当在该状态下，进行第二切割工序时，以第二分割槽13a为起点的裂纹的伸展方向容易从波长转换部件的母材11的厚度方向偏离。由此，在比较例中，容易产生毛刺引起的形状不良。

与此相对，在本实施方式中，如图3中的(b)所示那样，形成包括支承膜14、波长转换部件的母材11以及粘贴在支承膜14和波长转换部件的母材11上的粘附膜17的层叠体10。然后，进行第一切割工序。如图7中的(a)所示，第一切割工序在波长转换部件的母材11的第一主面11a上粘贴有粘附膜17的状态下进行，能够在切割时有效地固定第一分割槽12a周边和切割面12b周边。由此，在将波长转换部件的母材11沿第一分割槽12a切割而形成切割面12b时，在切割面12b周边，不易产生波长转换部件的母材11的单片体的位移。由此，能够抑制在第一切割工序后，在波长转换部件的母材11的第一主面11a产生凹凸。

在本实施方式中，以在波长转换部件的母材11的第一主面11a几乎未产生凹凸的状态，进行图7中的(c)和图7中的(d)所示的第二切割工序。由此，在沿第二分割槽13a切割波长转换部件的母材11时，能够使以第二分割槽13a为起点的裂纹更可靠地在波长转换部件的母材11的厚度方向上伸展。因此，能够有效地抑制形状不良的产生，能够有效地提高成品率。

进一步，在本实施方式中，在第一切割工序和第二切割工序，利用粘附膜17覆盖波长转换部件的母材11的第一主面11a。由此，能够不使支承体19与波长转换部件的母材11接触地利用支承体19和按压部件18夹持按压波长转换部件的母材11。因此，不易在单片化后的波长转换部件1的第一主面1a产生损伤。

因此，优选如本实施方式那样，在第一切割工序和第二切割工序，利用粘附膜17覆盖波长转换部件的母材11的整个面。由此，能够在夹持并按压波长转换部件的母材11时，更为可靠地保护第一主面11a。由此，在被单片化后的波长转换部件1的第一主面1a，更加不易产生损伤。进一步，在第一切割工序，能够进一步固定第一分割槽12a周边和切割面12b周边。由此，在波长转换部件的母材11的第二切割工序时，更加不易发生切割面12b周边的位移。因此，能够进一步抑制作为板状部件的波长转换部件1的形状不良的产生。

此外，在使用具有自粘性的粘附膜17的情况下，与波长转换部件的母材11粘接的部分具有在剪断方向(与波长转换部件的母材11的第一主面11a平行的方向)上不易活动的趋势。由此，在第一切割工序，能够更加可靠地固定第一分割槽12a周边和切割面12b周边。因此，能够更加可靠地抑制作为板状部件的波长转换部件1的形状不良的产生。

[层叠体]

如图3中的(b)所示，层叠体10包括波长转换部件的母材11、支承膜14和粘附膜17。层叠体10是制造上述的波长转换部件1时的中间体。不过，波长转换部件的母材11也可以为其它板状部件的母材。即，也可以是制造波长转换部件1以外的其它板状部件时的中间体。作为其它板状部件，例如，能够列举由玻璃板或陶瓷板等无机材料构成的脆性材料基板，或者板状的半导体元件等。在这种情况下，能够使用上述的板状部件的母材代替波长转换部件的母材11。

波长转换部件的母材11有着具有彼此相对的第一主面11a和第二主面11b的矩形板状的形状。在第一主面11a设置有第一分割槽12a和第二分割槽13a。在第二主面11b粘贴有支承膜14。此外，粘附膜17以覆盖第一主面11a的方式粘贴。在本实施方式中，粘附膜17以从第一主面11a到达支承膜14的方式粘贴。不过，在本发明中，只要在第一主面11a的一部分粘贴有粘附膜17即可，并不一定以到达支承膜14的方式粘贴。另外，能够使用与上述的制造方法中所用相同的支承膜14、波长转换部件的母材11和粘附膜17。

当通过切割这样的层叠体10来制造多个板状部件时，能够如上述的制造方法的栏中说明的那样，有效地抑制在所得到的板状部件即波长转换部件1产生形状不良，能够有效地提高成品率。

附图标记的说明

1…波长转换部件

1a…第一主面

1b…第二主面

2…荧光体颗粒

3…无机基质

10…层叠体

11…波长转换部件的母材

11a…第一主面

11b…第二主面

12a…第一分割槽

12b…切割面

13a…第二分割槽

14…支承膜

14a…支承层

14b…粘附层

17…粘附膜

17a…基材层

17b…粘附层

18…按压部件

18a…刀片

19…支承体

19a…狭缝