阅读说明：本技术 一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器 (Electric pumping deep ultraviolet AlGaN semiconductor laser ) 是由 曾涵宇 于 2019-07-30 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器,其结构包括机体、激光器,激光器设有支撑脚、按键板、光束调节器,本发明的有益效果是：能够通过旋转器在旋转过程中带动推动齿推动收线器上的转轮进行转动,从而带动转杆对拉绳进行缠绕收缩,在拉绳收缩的过程中通过拉绳拉动皮筋向四周拉绳,从而扩大皮筋的直径,皮筋外圈被遮光网遮挡,从而能够保证光束只能够通过光束孔进行照射,以此能够根据需要的光点直径进行刻度板上的刻度对准,从而将光点直径精确到某个数值,使激光器在进行光刻工作时调节切割槽的宽度,从而缩小光刻时产生的误差,同时通过缩小光点直径能够更进一步精确光刻的长度,提高激光器在进行光刻时的精确度。(The invention discloses an electric pumping deep ultraviolet AlGaN semiconductor laser, which structurally comprises a machine body and a laser, wherein the laser is provided with supporting legs, a key board and a light beam regulator, and the electric pumping deep ultraviolet AlGaN semiconductor laser has the beneficial effects that: can drive the runner that promotes on the tooth promotion spooler through the circulator in rotatory in-process and rotate, thereby drive the bull stick and carry out the winding shrink to the stay cord, stay cord drawing rubber band is to stay cord all around at the in-process that the stay cord is shrink, thereby enlarge the diameter of rubber band, the rubber band outer lane is sheltered from by the shading net, thereby can guarantee that the light beam can only shine through the beam hole, with this spot diameter that can be as required carry out the scale alignment on the scale plate, thereby be accurate to certain numerical value with the spot diameter, make the laser instrument adjust the width of cutting groove when carrying out the photoetching work, thereby reduce the error that produces when the photoetching, simultaneously through reducing the length that the spot diameter can further accurate photoetching, improve the accuracy of laser instrument when carrying out the photoetching.)

一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体地说是一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器。

背景技术

半导体是一种绝缘体至导体之间的材料，具有可控性，在科技和经济高速发展的今天，半导体具有不可忽视的重要性，现如今大部分的电子产品都和半导体有着极为密切的关连，当紫外线被应用于半导体上时，能够用于拉曼光谱、表面污染检视、光刻和激光记录等，用途广泛。

针对目前的电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器，针对以下存在的问题制定了相对的方案：

因为现有的电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器在进行使用时，激光器的位置和角度的静态对齐限度与光束有着密切关系，光点的直径也影响着激光器的工作效果，尤其在利用激光器进行光刻时，光点的直径影响了光刻的长度偏差，而激光器在光束的直径调节上尚有不足，无法根据需要进行光点直径的精确调节。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器。

本发明采用如下技术方案来实现：一种电泵浦深紫外半导体激光器,其结构包括机体、激光器，所述机体通过螺栓连接于激光器底部，所述激光器通过螺栓连接于机体上表面，所述机体设有控制面板，所述控制面板通过螺栓连接于机体外表面；所述激光器设有支撑脚、按键板、光束调节器，所述支撑脚通过螺栓连接于机体与激光器之间，所述按键板通过螺栓连接于激光器外表面上，所述光束调节器通过螺栓连接于激光器外表面。

作为优化，所述光束调节器设有刻度板、旋转器、收线器、直径收缩器，所述刻度板嵌设于旋转器两端，旋转器嵌设于刻度板之间，所述收线器嵌设于旋转器内部，所述直径收缩器嵌设于旋转器内部，所述刻度板为圆环形板状结构，所述刻度板为金属材质，所述刻度板为2个，所述旋转器为中空圆形管状结构，所述收线器为6个。

作为优化，所述刻度板设有刻度、滑槽，所述刻度均匀分布于刻度板外表面上，所述滑槽嵌设于刻度板底部，所述刻度为2排，所述滑槽为圆环形结构T型凹槽，所述滑槽为2个，所述滑槽分别嵌设于两个刻度板上。

作为优化，所述旋转器设有防滑齿条、滑条、推动齿，所述防滑齿条分布于旋转器外表面上，所述滑条焊接于旋转器上下表面上，所述推动齿均匀分布于旋转器内壁上，所述防护齿条为若干个。

作为优化，所述滑条设有卡条，所述卡条焊接于滑条上，所述卡条嵌设于滑槽中，所述卡条为圆环形结构，所述卡条为2条，所述卡条为金属材质。

作为优化，所述收线器设有转轮、收线杆，所述转轮焊接于收线杆两端，所述收线杆焊接于旋转器内壁上，所述转轮为2个，所述转轮为金属材质，所述转轮上设有4个板翼，所述转轮为金属材质，所述收线杆为中空管状结构，所述收线杆为金属材质。

作为优化，所述收线杆设有避让槽、转杆，所述避让槽嵌设于收线杆外表面上，所述转杆焊接于转轮之间，所述转杆为圆形杆状结构，所述转杆为6个。

作为优化，所述直径收缩器设有拉绳、遮光网、皮筋、光束孔，所述拉绳连接于避让槽与皮筋之间，所述遮光网通过缝合连接于皮筋与收线器之间，所述皮筋通过缝合连接于遮光网中间部分，所述光束孔嵌设于皮筋中心部分，所述拉绳为棉麻材质，所述拉绳韧度强，弹性为0，所述遮光网遮光率为80％-100％，所述皮筋弹性强，所述光束孔为圆形结构。

有益效果

本发明一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器进行工作时：

通过设有一种光束调节器，所述光束调节器设有刻度板、旋转器、收线器、直径收缩器，通过转动旋转器对准刻度板，从而带动收线器进行工作，进而拉动直径收缩器进行光点直径的调节；

通过设有一种旋转器，所述旋转器设有防滑齿条、滑条、推动齿，在转动旋转器时，通过手指接触防滑齿条，从而转动旋转器，旋转器带动滑条进行转动，同时带动推动槽进行转动，推动齿在转动的过程中推动收线器进行工作；

通过设有一种刻度板，所述刻度板设有刻度、滑槽，当旋转器进行转动时需要对准刻度板上的刻度，同时滑条在刻度板上的滑槽中进行转动，滑条通过卡条的卡固作用，使得滑条能够在滑槽中进行圆周轨迹转动；

通过设有一种收线器，所述收线器设有转轮、收线杆，当推动齿转动时带动收线器上下两端的转轮进行转动，转轮在转动的过程中带动转杆转动，当转杆转动时收线杆不动，通过收线杆上的避让槽对拉绳进行控制，从而拉动直径收缩器进行工作；

通过设有一种直径收缩器，所述直径收缩器设有拉绳、遮光网、皮筋、光束孔，当拉绳进行拉动时，将会带动皮筋进行拉动，皮筋通过根拉绳的拉力向四周拉动，从而带动遮光网进行收缩，带动皮筋中间的光束孔进行扩大，从而扩大光束孔的直径，使得光点直径能够进行调节。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：能够通过旋转器在旋转过程中带动推动齿推动收线器上的转轮进行转动，从而带动转杆对拉绳进行缠绕收缩，在拉绳收缩的过程中通过拉绳拉动皮筋向四周拉绳，从而扩大皮筋的直径，皮筋外圈被遮光网遮挡，从而能够保证光束只能够通过光束孔进行照射，以此能够根据需要的光点直径进行刻度板上的刻度对准，从而将光点直径精确到某个数值，使激光器在进行光刻工作时调节切割槽的宽度，从而缩小光刻时产生的误差，同时通过缩小光点直径能够更进一步精确光刻的长度，提高激光器在进行光刻时的精确度。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器的结构示意图。

图2为本发明光束调节器的放大结构示意图。

图3为本发明刻度板的放大结构示意图。

图4为本发明旋转器与直径收缩器相配合状态下的结构示意图。

图5为本发明直径收缩器的俯视结构示意图。

图6为本发明旋转器的放大俯视结构示意图。

图7为本发明滑条的放大结构示意图。

图8为本发明收线器的侧面结构示意图。

图9为本发明收线杆的内部结构示意图。

图中：机体1、激光器2、控制面板10、支撑脚20、按键板21、光束调节器22、刻度板220、旋转器221、收线器222、直径收缩器223、刻度A、滑槽B、防滑齿条C、滑条D、推动齿E、卡条D1、转轮F、收线杆G、避让槽G1、转杆G2、拉绳H、遮光网I、皮筋J、光束孔K。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9，本发明提供一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器技术方案：其结构包括机体1、激光器2，所述机体1通过螺栓连接于激光器2底部，所述激光器2通过螺栓连接于机体1上表面，所述机体1设有控制面板10，所述控制面板10通过螺栓连接于机体1外表面；所述激光器2设有支撑脚20、按键板21、光束调节器22，所述支撑脚20通过螺栓连接于机体1与激光器2之间，所述按键板21通过螺栓连接于激光器2外表面上，所述光束调节器22通过螺栓连接于激光器2外表面，所述光束调节器22设有刻度板220、旋转器221、收线器222、直径收缩器223，所述刻度板220嵌设于旋转器221两端，旋转器221嵌设于刻度板220之间，所述收线器222嵌设于旋转器221内部，所述直径收缩器223嵌设于旋转器221内部，所述刻度板220用于根据光点直径进行旋转调节，所述旋转器221用于带动收线器222进行工作，所述收线器222用于拉动直径收缩器223进行光点直径的调节，所述刻度板220设有刻度A、滑槽B，所述刻度A均匀分布于刻度板220外表面上，所述滑槽B嵌设于刻度板A底部，所述刻度220用于对准光点直径的精确数值，所述滑槽B用于辅助滑条D进行转动，所述旋转器221设有防滑齿条C、滑条D、推动齿E，所述防滑齿条C分布于旋转器221外表面上，所述滑条D焊接于旋转器221上下表面上，所述推动齿E均匀分布于旋转器221内壁上，所述防滑齿条C用于在旋转时进行防滑作用，所述滑条D用于带动旋转器221在刻度板220之间进行转动，所述推动齿E用于推动收线器222进行收线工作，所述滑条D设有卡条D1，所述卡条D1焊接于滑条D上，所述卡条D1嵌设于滑槽B中，所述卡条D1用于带动滑条D卡在滑槽B中，从而辅助旋转器221进行转动，所述收线器222设有转轮F、收线杆G，所述转轮F焊接于收线杆G两端，所述收线杆G焊接于旋转器221内壁上，所述转轮F用于带动收线杆G内部的转杆G2进行转动，所述收线杆G用于在收线时卡住拉绳H，所述收线杆G设有避让槽G1、转杆G2，所述避让槽G1嵌设于收线杆G外表面上，所述转杆G2焊接于转轮F之间，所述转杆G2用于带动拉绳H进行缠绕，从而拉动拉绳H进行收缩和释放，所述直径收缩器223设有拉绳H、遮光网I、皮筋J、光束孔K，所述拉绳H连接于避让槽G1与皮筋J之间，所述遮光网I通过缝合连接于皮筋J与收线器222之间，所述皮筋J通过缝合连接于遮光网I中间部分，所述光束孔K嵌设于皮筋J中心部分，所述拉绳H用于拉动皮筋J进行伸缩，所述遮光网I用于控制光点的直径大小，所述皮筋J用于带动遮光网I进行收缩，所述光束孔K用于形成光点。

在使用时，通过转动旋转器221对准刻度板220，从而带动收线器222进行工作，进而拉动直径收缩器223进行光点直径的调节；在转动旋转器221时，通过手指接触防滑齿条C，从而转动旋转器221，旋转器221带动滑条D进行转动，同时带动推动槽E进行转动，推动齿E在转动的过程中推动收线器222进行工作；当旋转器221进行转动时需要对准刻度板220上的刻度A，同时滑条D在刻度板220上的滑槽B中进行转动，滑条D通过卡条D1的卡固作用，使得滑条D能够在滑槽B中进行圆周轨迹转动；当推动齿E转动时带动收线器222上下两端的转轮F进行转动，转轮F在转动的过程中带动转杆G2转动，当转杆G2转动时收线杆G不动，通过收线杆G上的避让槽G1对拉绳H进行控制，从而拉动直径收缩器223进行工作；当拉绳H进行拉动时，将会带动皮筋J进行拉动，皮筋J通过6根拉绳H的拉力向四周拉动，从而带动遮光网I进行收缩，带动皮筋J中间的光束孔K进行扩大，从而扩大光束孔K的直径，使得光点直径能够进行调节。

本发明相对现有技术获得的技术进步是：

能够通过旋转器在旋转过程中带动推动齿推动收线器上的转轮进行转动，从而带动转杆对拉绳进行缠绕收缩，在拉绳收缩的过程中通过拉绳拉动皮筋向四周拉绳，从而扩大皮筋的直径，皮筋外圈被遮光网遮挡，从而能够保证光束只能够通过光束孔进行照射，以此能够根据需要的光点直径进行刻度板上的刻度对准，从而将光点直径精确到某个数值，使激光器在进行光刻工作时调节切割槽的宽度，从而缩小光刻时产生的误差，同时通过缩小光点直径能够更进一步精确光刻的长度，提高激光器在进行光刻时的精确度。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。