一种具有真空吸附作用的装条夹具及装条方法

文档序号:1218186 发布日期:2020-09-04 浏览:10次 >En<

阅读说明:本技术 一种具有真空吸附作用的装条夹具及装条方法 (Strip mounting clamp with vacuum adsorption effect and strip mounting method ) 是由 殷方军 苏建 徐现刚 郑兆河 孙春明 于 2019-02-28 设计创作,主要内容包括:本发明涉及一种具有真空吸附作用的装条夹具及装条方法,属于半导体激光器腔面镀膜领域,包括支架和盖板,支架的背面设置有凹槽,支架背面上设置有盖板,盖板与凹槽形成一密闭腔室;支架正面设置有四条脊,每条脊上均设置有一条狭缝,狭缝的深度贯穿支架的正面并位于凹槽内,狭缝与密闭腔室相通,支架的上侧设置有通孔,通孔的一端与密闭腔室相同,另一端连接有真空泵;中间两条脊的高度小于外侧两条脊的高度,中间两条脊的间距小于巴条的长度,外侧两条脊的间距大于巴条的长度且小于陪条的长度,装条后巴条在腔长方向上均比陪条高。本发明构简单,成本低,操作方便,通过抽真空吸附,避免了排列巴条过程中巴条塌落问题,提高了巴条腔面的整齐度。(The invention relates to a bar mounting clamp with a vacuum adsorption effect and a bar mounting method, belonging to the field of semiconductor laser cavity surface coating, and comprising a support and a cover plate, wherein the back of the support is provided with a groove, the back of the support is provided with the cover plate, and the cover plate and the groove form a closed cavity; the front surface of the bracket is provided with four ridges, each ridge is provided with a slit, the depth of each slit penetrates through the front surface of the bracket and is positioned in the groove, the slits are communicated with the closed chamber, the upper side of the bracket is provided with a through hole, one end of each through hole is the same as the closed chamber, and the other end of each through hole is connected with a vacuum pump; the height of two middle ridges is less than the height of two outside ridges, and the interval of two middle ridges is less than the length of bar, and the interval of two outside ridges is greater than the length of bar and is less than the length of accompanying the strip, and the bar is higher than accompanying the strip in the chamber length direction after the strip is adorned. The bar arranging device is simple in structure, low in cost and convenient to operate, and the problem of bar collapse in the bar arranging process is solved through vacuum adsorption, so that the uniformity of the bar cavity surface is improved.)

一种具有真空吸附作用的装条夹具及装条方法

技术领域

本发明涉及一种具有真空吸附作用的装条夹具及装条方法,属于半导体激光器腔面镀膜技术领域。

背景技术

半导体激光器产品凭借自身的优势得到各行业的青睐。半导体激光器的制造工艺也越来越成熟稳定,为了追求高功率、高转换效率和长寿命,半导体激光器需要在腔面上进行镀膜优化其反射率。

半导体激光器在镀膜过程中,需要将若干巴条排列在一起,然后分别在两个腔面上进行镀膜。半导体激光器的巴条体积小,而且很娇贵,排列巴条是比较精细和繁琐的工作。日本、德国等国家已经生产出自动装条机来替代人工装条,但是,设备的价格相对比较贵,效率也不高。目前,行业中大多数还是采用人工装条,用镊子或者真空吸笔拾取巴条,然后放置到特制的夹具中。在装条的过程中,因为巴条之间存在静电、摩擦、黏附等因素,巴条腔面不容易排列整齐。腔面高低不平的巴条在镀膜时,会存在遮挡效应,造成膜层不均,影响产品的质量和稳定性。为了解决上述问题,目前主要措施是采用陪条工艺,即用腔长比巴条短的的配、陪条将巴条隔开,在腔面方向上巴条呈突出状态,镀膜时可以降低巴条的遮挡效应。为了减少巴条PN面的膜料渗入,巴条腔长突出量一般控制在十几微米以内。因为金属黏附和技术等原因,巴条排列时还是会存在一些巴条无法突出的情况。

中国专利CN104218446A公开了一种半导体激光器装条装置及装条方法,该装置包括支座和夹具,支座上有四条脊,中间两个脊的高度相同且比外侧两个脊的高度低。夹具包括固定夹板、活动夹板、导柱和弹簧。导柱与固定夹板连接;活动夹板上有与支座四条脊相对应的槽,可以沿着导柱上下移动;固定夹板与活动夹板之间有拉力弹簧。装条时,将夹具放置到支座上,向上推开活动夹板,自下至上将陪条和巴条逐次相间地放置在支座对应的脊上,然后将活动夹板下移,夹紧巴条。该专利的技术核心是利用两组脊确定高度差,巴条腔面落在中间两条脊上,陪条腔面落在外边两侧的脊上。巴条排列完成后,巴条在腔长方向有上述高度差的突出量,有效的改善了巴条存在的遮挡效应。但是,在排列巴条时,存在巴条塌落的问题,腔长越小的巴条塌落问题越突出。而且因为静电、摩擦和金属黏附等因素很难保证巴条完全落在中间两条脊上,陪条完全落在外侧的两条脊上,操作不便。

发明内容

针对现有技术中半导体激光器排列巴条时,巴条容易塌落和不易排列整齐的问题,本发明提供一种结构简单、操作方便,配合使用陪条,排列巴条效果更好的具有真空吸附作用的装条夹具及装条方法。

本发明采用以下技术方案:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,包括支架和盖板,所述支架的背面设置有一凹槽,所述支架背面在所述凹槽上固定所述盖板,所述盖板与凹槽形成一密闭腔室;

所述支架正面设置有四条脊,每条脊上均设置有一条狭缝,所述狭缝的长度小于脊的长度,优选的,狭缝距离脊的两端3mm左右,所述狭缝的深度贯穿支架的正面并位于所述凹槽内,所述狭缝与所述密闭腔室相通,所述支架的上侧设置有一通孔,所述通孔的一端与所述密闭腔室相同,另一端连接有一连接管,所述连接管连接有真空泵,真空泵抽真空的力度可调;

所述四条脊的中间两条脊的高度相同,外侧两条脊的高度相同,且中间两条脊的高度小于外侧两条脊的高度,中间两条脊的间距略小于巴条的长度,保证巴条能够放置在中间两条脊上即可,外侧两条脊的间距大于巴条的长度且略小于陪条的长度,陪条放置在外侧两条脊上,所述巴条的腔长大于陪条的腔长,保证装条后,巴条在腔长方向上均比陪条高。

优选的,位于支架上侧的通孔设置有内螺纹,所述连接管的一端设置有与通孔的内螺纹相配合的外螺纹。

优选的,所述支架的上表面为倾斜面,与水平面成一定夹角,倾斜角度保证在放置巴条和陪条后整体不会倾倒。

优选的,所述支架的上表面与水平面的夹角为40~70°。

优选的,所述凹槽内放置有与其相匹配的密封圈,盖板压紧密封圈,保证凹槽与盖板之间的密封性。

进一步优选的,所述凹槽的形状为圆形或方形等,可根据情况灵活选择,相应的,密封圈应与凹槽形状一致,两者相匹配。

进一步优选的,所述支架与盖板之间通过螺钉连接。

进一步优选的,所述陪条比巴条的腔长小0.01~0.03mm,所述中间两条脊的高度比外侧两条脊的高度低0.005~0.015mm,装条后,巴条在腔长方向上均比陪条高出0.005~0.015mm。

优选的,陪条比巴条的腔长小0.02mm,所述中间两条脊的高度比外侧两条脊的高度低0.01mm,装条后,巴条在腔长方向上均比陪条高出0.01mm。

本发明通过支架的凹槽、盖板和密封圈形成一个相对的密闭腔室,除四条狭缝和位于支架上侧的通孔外,夹具内部成密封状态。

本发明的具有真空吸附作用的装条夹具的装条方法,包括:

(1)打开真空泵,真空泵对支架的密闭腔室抽真空,四条脊上的狭缝与外界相通,具有一定的吸附力;

(2)将夹持巴条的夹具放置到支架上并呈开启状态,通过狭缝的吸附作用,将陪条和巴条依次分别放置到外侧两条脊和中间两条脊上,装条完毕,关闭加持巴条的夹具以及装条夹具的真空泵;

(3)将巴条进行镀膜。

本发明的有益效果为:

本发明结构简单,成本低,操作方便,通过抽真空吸附巴条的方式避免了排列巴条过程中巴条塌落问题,提高了巴条腔面的整齐度。配合使用陪条的排条方法,保证在腔长方向上巴条比配条高出0.005-0.015mm,进一步降低遮挡效应,提升了巴条的合格率。

附图说明:

图1为本发明的具有真空吸附作用的装条夹具的支架正面的结构示意图;

图2为具有真空吸附作用的装条夹具的支架背面的结构示意图;

图3为本发明的盖板的其中一种结构示意图;

图4为本发明的连接管的其中一种结构示意图;

图5为本发明的密封圈的其中一种结构示意图;

图6为本发明的支架、盖板、密封圈的其中一种配合关系示意图;

其中,1-支架,2-盖板,3-凹槽,4-狭缝,5-通孔,6-连接管,A、B、C、D-脊。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述,但不仅限于此,本发明未详尽说明的,均按本领域常规技术。

实施例1:

如图1~6所示,一种具有真空吸附作用的装条夹具,包括支架1和盖板2,支架1的背面设置有一凹槽3,支架1背面在凹槽3上固定盖板2,盖板2与凹槽3形成一密闭腔室;

支架1正面设置有四条脊,如图1所示,从左向右,分别为A、B、C、D,四条脊的长度相同,每条脊上均设置有一条狭缝4,狭缝4的长度小于脊的长度,狭缝4距离脊(A、B、C或D)的两端3mm,狭缝4的深度贯穿支架1的正面并位于凹槽3内,狭缝4与密闭腔室相通,支架1的上侧设置有一通孔5,通孔5的一端与密闭腔室相同,另一端连接有一连接管6,连接管6连接有真空泵,真空泵抽真空的力度可调;

四条脊的中间两条脊B、C的高度相同,外侧两条脊A、D的高度相同,且中间两条脊B、C的高度小于外侧两条脊A、D的高度,中间两条脊B、C之间的间距略小于巴条的长度,保证巴条能够放置在中间两条脊B、C上即可,外侧两条脊A、D之间的间距大于巴条的长度且略小于陪条的长度,陪条放置在外侧两条脊A、D上,巴条的腔长大于陪条的腔长,保证装条后,巴条在腔长方向上均比陪条高。

实施例2:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,结构如实施例1所示,所不同的是,位于支架1上侧的通孔5设置有内螺纹,连接管6的一端设置有与通孔的内螺纹相配合的外螺纹。

实施例3:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,结构如实施例1所示,所不同的是,支架1的上表面为倾斜面,与水平面成一定夹角,倾斜角度保证在放置巴条和陪条后整体不会倾倒。

实施例4:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,结构如实施例3所示,所不同的是,支架1的上表面与水平面的夹角为40~70°。

实施例5:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,结构如实施例1所示,所不同的是,凹槽3内放置有与其相匹配的密封圈,盖板2压紧密封圈7,保证凹槽与盖板之间的密封性。

实施例6:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,结构如实施例1所示,所不同的是,凹槽3的形状为圆形,如图2所示,相应的,密封圈7也为圆形,如图5所示。

实施例7:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,结构如实施例1所示,所不同的是,支架1与盖板2之间通过螺钉连接,如图2~3所示,支架1背面四角设置有螺纹孔8,盖板四角设置有与其对应的连接孔9,可通过螺钉进行连接。

实施例8:

一种具有真空吸附作用的装条夹具,结构如实施例1所示,所不同的是,陪条比巴条的腔长小0.02mm,所述中间两条脊的高度比外侧两条脊的高度低0.01mm,装条后,巴条在腔长方向上均比陪条高出0.01mm。

实施例9:

一种具有真空吸附作用的装条夹具的装条方法,包括:

(1)打开真空泵,真空泵对支架1的密闭腔室抽真空,四条脊上的狭缝4与外界相通,具有一定的吸附力;

(2)将夹持巴条的夹具放置到支架1上并呈开启状态,通过狭缝4的吸附作用,将陪条和巴条依次分别放置到外侧两条脊和中间两条脊上,装条完毕,关闭加持巴条的夹具以及装条夹具的真空泵;

(3)将巴条进行镀膜。

以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

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