曝光平台的支撑装置

文档序号:1966305 发布日期:2021-12-14 浏览:19次 >En<

阅读说明:本技术 曝光平台的支撑装置 (Supporting device of exposure platform ) 是由 余燕青 杜志航 于 2021-09-15 设计创作,主要内容包括:本发明涉及曝光平台的支撑装置,具有上铬板固定框及下铬板固定框,以及还包括有给予上铬板固定框安装支持的支撑立柱,上铬板固定框在支撑立柱上通过滑动块引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动,滑动块与上铬板固定框之间通过浮动块连接,该浮动块与滑动块在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量,使上铬板固定框和下铬板固定框构建真空时,上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动。本发明可以保证曝光过程的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移,继续保持精确的对位状态,提升曝光生产效率及质量,加工精度更高。结构简单,投资成本低,符合产业利用。(The invention relates to a supporting device of an exposure platform, which comprises an upper chromium plate fixing frame, a lower chromium plate fixing frame and a supporting upright post for mounting and supporting the upper chromium plate fixing frame, wherein the upper chromium plate fixing frame is guided on the supporting upright post by a sliding block to move along a Z axis of a space rectangular coordinate system, the sliding block is connected with the upper chromium plate fixing frame by a floating block, the floating block and the sliding block have relative movement in a certain range in the Z axis direction of the space rectangular coordinate system, and when the upper chromium plate fixing frame and the lower chromium plate fixing frame construct a vacuum, the upper chromium plate fixing frame can move to the lower chromium plate fixing frame along with a vacuumizing state. The invention can ensure that the circuit board in the exposure process can not deform and shift even if the circuit board is subjected to vibration under the vacuum environment adsorption, the accurate alignment state is continuously kept, the exposure production efficiency and quality are improved, and the processing precision is higher. Simple structure, low investment cost and industrial utilization.)

曝光平台的支撑装置

技术领域

本发明涉及柔性电子线路板和IC引线框架的加工制造技术领域,具体涉及应用于双面自动对位曝光机的曝光平台。

背景技术

随着电子技术的发展,线路板(PCB/FPC等)的应用越来越广泛,对于其加工制造的技术要求越来越高。通常,线路板曝光是线路板制造过程中的一道重要工序,而能否实现良好的曝光工序,关键点在于能否达到线路板上面线路和下面线路之间精准的套合对位。图1所示,曝光平台用于实现线路板与铬板对位并进行曝光作业,现有技术中,曝光平台主要通过CCD对位机构100的控制下,移动调整装载铬板的上框模200及下框模300,以达到线路板400与铬板的对位。然而,在实际生产中,对位后的线路板经常受到振动或铜膜拉伸纹路的影响,导致线路上下板线路走位或扭曲变形等,影响柔性线路板连接前后线路和IC引线框架在邦定的生产及质量。随后出现营造真空环境来配合曝光,通过真空吸附柔性基板400,防止受到振动或铜膜拉伸纹路的影响;但是,为了满足抽真空,上框模200和下框模300之间的安装结构相对复杂化,且上框模200和下框模300之间缺少配合抽真空的位移量,造成上框模200下降卡顿,影响抽真空质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种曝光平台的支撑装置,很好解决上述技术问题。

为达到上述目的,本发明采用如下技术方案:

曝光平台的支撑装置,具有上铬板固定框及下铬板固定框,以及还包括有给予上铬板固定框安装支持的支撑立柱,上铬板固定框在支撑立柱上通过滑动块引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动,滑动块与上铬板固定框之间通过浮动块连接,该浮动块与滑动块在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量,使上铬板固定框和下铬板固定框构建真空时,上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动。

上述方案进一步是,所述上铬板固定框和下铬板固定框构建真空基于上玻璃、下玻璃及密封胶条来实现,该上玻璃设置在上铬板固定框上,下玻璃和密封胶条则设置在下铬板固定框上;上玻璃和下玻璃相互平行设置,待曝光的柔性基板定位在上玻璃和下玻璃之间,且在真空状态下进行曝光;所述密封胶条分布在下玻璃的周边,且密封胶条的上侧面高于下玻璃的上侧面,密封胶条支顶上铬板固定框并协助上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动。

上述方案进一步是,所述上铬板固定框是矩形,上铬板固定框的四个角方位分别对应连接浮动块,四个浮动块中有一个是直接固定连接上铬板固定框,另外三个浮动块通过调节块连接上铬板固定框,调节块在空间直角坐标系中至少可以沿其一轴向调节位移。

上述方案进一步是,所述的滑动块通过电机丝杆机构驱动,实现滑动块在支撑立柱上沿空间直角坐标系的Z轴移动。

上述方案进一步是,所述支撑立柱围绕上铬板固定框的外围间隔布置,且所有支撑立柱安装在同一底板上。

本发明通过在上铬板固定框与支撑立柱之间通过滑动块及浮动块的连接,使上铬板固定框获得上下移动的开合工作同时,还提供上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动,以便上铬板固定框和下铬板固定框构建真空,将待曝光的柔性线路板夹在上铬板固定框和下铬板固定框之间,使柔性线路板在保持与上铬板和下铬板的稳定套合对位时呈真空吸附状态,可以保证曝光过程的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移,继续保持精确的对位状态,提升曝光生产效率及质量,加工精度更高。结构简单,投资成本低,符合产业利用。

附图说明

附图1为现有的曝光平台结构示意图;

附图2为本发明的局部结构示意图;

附图3为图2实施例的俯视结构示意图;

附图4为本发明的的上铬板固定框和下铬板固定框配合示意图。

具体实施方式

以下将结合附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明,以充分地了解本发明的目的、特征和效果。

需要说明的是,在本发明的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。

参阅图2、3、4所示,是本发明的较佳实施例示意图,本发明有关一种曝光平台的支撑装置,具有上铬板固定框1及下铬板固定框2,以及还包括有给予上铬板固定框1安装支持的支撑立柱3,上铬板固定框1上对应组装上铬板,而下铬板固定框2对应组装下铬板,以便用于曝光作业。上铬板固定框1在支撑立柱3上通过滑动块4引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动,滑动块4与上铬板固定框1之间通过浮动块5连接。该浮动块5与滑动块4在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量,使上铬板固定框1和下铬板固定框2构建真空时,上铬板固定框1跟随抽真空状态自适向下铬板固定框2移动。本实施例中,浮动块5与滑动块4在空间直角坐标系的Z轴方向上的一定范围内移动,可以通过滑槽限位或者凸块卡位等方式,在此不限,只要满足滑动块4带动上铬板固定框1运动,同时还能给予上铬板固定框1跟随抽真空状态自适向下铬板固定框2方向移动。所述上铬板固定框1和下铬板固定框2构建真空基于上玻璃11、下玻璃21及密封胶条22来实现,该上玻璃11设置在上铬板固定框1上,下玻璃21和密封胶条22则设置在下铬板固定框2上;上玻璃11和下玻璃21相互平行设置,待曝光的线路板定位在上玻璃11和下玻璃21之间,且在真空状态下进行曝光。所述密封胶条22分布在下玻璃21的周边,且密封胶条22的上侧面高于下玻璃21的上侧面,密封胶条22支顶上铬板固定框1并协助上铬板固定框1跟随抽真空状态自适向下铬板固定框2移动。抽真空时,上铬板固定框1、下铬板固定框2、上玻璃11和下玻璃21来形成的密封腔达到真空贴附环境;待曝光的线路板嵌设在上玻璃11和下玻璃21之间,在完成与上铬板及下铬板对位后,通过真空贴附力使待曝光的线路板贴附在上玻璃11和下玻璃21之间,在对位状态下然后进行上下曝光,由于曝光过程待曝光的线路板保持呈真空贴附状态稳定对位,即使遇到震动也不会发生变形及偏移,继续保持精确的对位状态,提升曝光生产效率及质量和加工精度。在本实施例中,上铬板固定框1和下铬板固定框2通过相应的UVW调节机构,由此实现X、Y、θ方向的调节,以便在CCD对位机构的控制下对位调节操作,具体工作是:调校CCD对位机构对准上玻璃11的靶标,再驱动下玻璃21的UVW对位系统,使下玻璃21的靶标与上玻璃11的靶标进行套合,完成上下玻璃套合对位。以及调校CCD对位机构对准线路板的靶标,再驱动上玻璃11的UVW对位系统与线路板的靶标进行套合,完成线路板与两个铬版的套合对位。具体的调节机构是现有技术,在此不再赘述。

图2、3、4所示,本实施例中,所述上铬板固定框1是方形,上铬板固定框1的四个角方位分别对应连接浮动块5,四个浮动块5中有一个是直接固定连接上铬板固定框1,另外三个浮动块5通过调节块6连接上铬板固定框1,调节块6在空间直角坐标系中至少可以沿其一轴向调节位移,由此可调整上铬板固定框1的四个角方位安装,达到上铬板固定框1的安装调整。所述支撑立柱3围绕上铬板固定框1的外围间隔布置,且所有支撑立柱3安装在同一底板8上,该结构简单,方便制作及组装。底板8在UVW调节机构的驱动下实现整体调整上铬板固定框1,以便上铬板与下铬板及线路板之间对位。所述的滑动块4通过电机丝杆机构7驱动,实现滑动块4在支撑立柱3上沿空间直角坐标系的Z轴移动,该结构简单,方便组装,且运动平稳、准确。

工作时,线路板与上下两个铬版的套合对位后,电机丝杆机构7驱动滑动块4移动,使上铬板固定框1靠向下铬板固定框2,当上铬板固定框1与密封胶条22接触,滑动块4继续移动,则密封胶条22托持上铬板固定框1,这时依靠浮动块5相对滑动块4移动来配合,实现上铬板固定框1停靠在密封胶条22上,浮动块5相对滑动块4移动的距离则提供上铬板固定框1跟随抽真空状态自适向下铬板固定框2方向移动的空间,由此满足抽真空要求,且保证真空度,利于线路板线在完成对位后依靠真空吸附力与上下铬板保持定位,提升曝光质量。

本发明通过在上铬板固定框与支撑立柱之间通过滑动块及浮动块的连接,使上铬板固定框获得上下移动的开合工作同时,还提供上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动,以便上铬板固定框和下铬板固定框构建真空,将待曝光的柔性线路板夹在上铬板固定框和下铬板固定框之间,使柔性线路板在保持与上铬板和下铬板的稳定套合对位时呈真空吸附状态,可以保证曝光过程的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移,继续保持精确的对位状态,提升曝光生产效率及质量,加工精度更高。结构简单,投资成本低,符合产业利用。

以上虽然结合附图描述了本发明的较佳具体实施例,但本发明不应被限制于与以上的描述和附图完全相同的结构和操作,对本技术领域的技术人员来说,在不超出本发明构思和范围的情况下通过逻辑分析、推理或者有限的实验还可对上述实施例作出许多等效改进和变化,但这些改进和变化都应属于本发明要求保护的范围。

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