阅读说明：本技术 一种真空镀膜机用的蒸发舟 (Evaporation boat for vacuum coating machine ) 是由 陈珂珩 于 2020-07-30 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种真空镀膜机用的蒸发舟,包括舟体和位于舟体两端的加热电极,所述舟体包括加热腔室和位于加热腔室两端的进料口；所述加热腔室的壁体中部设置有夹层,所述夹层内嵌设有辅助加热片,所述加热腔室上侧设置有蒸发舟盖体,所述蒸发舟盖体两端分别设置有插入夹层的固定耳搭,所述蒸发舟盖体中部设置有通气孔；具有适应性好、成本可控、效率高的优点。(The invention provides an evaporation boat for a vacuum coating machine, which comprises a boat body and heating electrodes positioned at two ends of the boat body, wherein the boat body comprises a heating chamber and feeding holes positioned at two ends of the heating chamber; an interlayer is arranged in the middle of the wall body of the heating cavity, an auxiliary heating sheet is embedded in the interlayer, an evaporation boat cover body is arranged on the upper side of the heating cavity, two ends of the evaporation boat cover body are respectively provided with a fixed lug inserted into the interlayer, and the middle of the evaporation boat cover body is provided with a vent hole; the method has the advantages of good adaptability, controllable cost and high efficiency.)

一种真空镀膜机用的蒸发舟

技术领域

本发明属于蒸发镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜机用的蒸发舟。

背景技术

蒸发舟的形状不一，形态各异，但归根结底主要是由两部分构成。典型的蒸发舟，主要由一个中间下凹的深槽及加热时与外接电源相连接的电极组成。使用时将蒸发料装入凹槽中，然后将电极固定在加热电源的电极固定端即可。由于制作蒸发舟的材料一般都使用耐高温且电阻较大的金属材料，如钨、钽、钼等，所以通入一定的电流后蒸发舟会大量的发热，当达到所蒸发材料所需的蒸发温度时，就会将蒸发料蒸发出去沉积到指定基板上。

在高真空电阻蒸发镀膜领域，蒸发舟，包括线性蒸发源、船型蒸发舟、蒸发篮加坩埚等，其中线性蒸发源均匀性好，材料利用率高，但造价昂贵，船型蒸发舟造价低廉，但蒸发均匀区较小，材料利用率低，浪费严重；蒸发篮加坩埚装料多，但极限温度低，只能蒸发低熔点材料。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空镀膜机用的蒸发舟，以解决现有的蒸发舟存在造价昂贵、材料利用率低或极限温度低等问题。

本发明提供了如下的技术方案：

一种真空镀膜机用的蒸发舟，包括舟体和位于舟体两端的加热电极，所述舟体包括加热腔室和位于加热腔室两端的进料口；所述加热腔室的壁体中部设置有夹层，所述夹层内嵌设有辅助加热片，所述加热腔室上侧设置有蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体两端分别设置有***夹层的固定耳搭，所述蒸发舟盖体中部设置有通气孔。

优选的，所述加热腔室与进料口为一体成型或焊接连接。

优选的，所述加热电极材料厚度大于舟体材料壁厚度。

优选的，所述通气孔为沿蒸发舟盖体表面均匀阵列设置的圆形通孔。

优选的，所述通气孔为设置于蒸发舟盖体表面的条形通孔。

优选的，所述通气孔为设置于蒸发舟盖体中部窄口，所述窄口两侧设置有与蒸发舟盖体一体成型的填充壁。

优选的，所述蒸发舟盖体两端分别设置有把手。

优选的，所述舟体采用高熔点的金属材料制成，所述高熔点的金属材料包括金属钨或钛合金。

本发明的有益效果是：

本发明的一种真空镀膜机用的蒸发舟，通过对蒸发舟盖体进行模块化设计，使得其可以根据实际需要进行更换，以增加蒸发舟的适应性；同时加装了辅助发热片，提升其极限温度，和工作效率。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明结构示意图；

图2是加热腔室截面结构示意图；

图3是另一种蒸发舟盖体结构示意图；

图4是另一种蒸发舟盖体结构示意图；

图中标记为：1.舟体，11.加热腔室，12.进料口，2.加热电极，3.夹层，4.辅助加热片，5.蒸发舟盖体，51.固定耳搭，52.通气孔，53.把手，54.填充壁把手，6.窄口。

具体实施方式

如图1所示，真空镀膜机用的蒸发舟，包括舟体1和位于舟体1两端的加热电极2，舟体1包括加热腔室11和位于加热腔室11两端的进料口12，加热腔室11与进料口12为一体成型或焊接连接，加热电极2材料厚度大于舟体1材料壁厚度，舟体1采用高熔点的金属材料制成，高熔点的金属材料包括金属钨或钛合金。

加热腔室11的壁体中部设置有夹层3，夹层3内嵌设有辅助加热片4，加热腔室11上侧设置有蒸发舟盖体5，蒸发舟盖体5两端分别设置有***夹层3的固定耳搭5，蒸发舟盖体5中部设置有通气孔52。通过辅助加热片4使加热腔室11内的受热更均匀，从而提高镀膜材料的蒸发速度，提高了镀膜机的镀膜效率。

如图2所示，根据使用需要，通气孔52可以为沿蒸发舟盖体5表面均匀阵列设置的圆形通孔或条形通孔，可有效避免加热腔室11内的铝液在沸腾时飞溅至外部,即能降低铝丝的浪费，又能提高镀铝层的均匀度。

如图3所示，根据使用需要，通气孔52为设置于蒸发舟盖体5中部窄口6，窄口6两侧设置有与蒸发舟盖体5一体成型的填充壁54。窄口6提供的线性蒸发舟的蒸汽出口为线性蒸发口，蒸发材料线性蒸镀，蒸汽出口更小，减少了发散浪费，提高了材料利用率，线性蒸镀配合旋转基片台，提高镀膜均匀性，结构简单，加工方便，整体造价低廉。

为了方便更换蒸发舟盖板，5蒸发舟盖体5两端分别设置有把手。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。