一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机

文档序号:1459646 发布日期:2020-02-21 浏览:13次 >En<

阅读说明:本技术 一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机 (Vacuum coating machine for processing metallized film of capacitor ) 是由 曹志勇 于 2019-12-14 设计创作,主要内容包括:本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:动力箱、镀膜机箱、气阀,所述动力箱顶端面位置连接镀膜机箱且二者内部相互连通,镀膜机箱侧边设有气阀,本发明的有益效果:通过结构中的蒸气夹套与整流舱相互配合减缓蒸气在筒套内的回流速度,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气,并借由分流槽的沟槽形状将蒸气的流速控制为稳定的直线型流体以达到可控的目的,控制蒸气的堆积密度和输出密度防止引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量。(The invention discloses a vacuum coating machine for processing a metallized film of a capacitor, which structurally comprises: the power box comprises a power box, a film coating machine box and an air valve, wherein the top end surface of the power box is connected with the film coating machine box, the two are mutually communicated, and the air valve is arranged on the side edge of the film coating machine box. The steam jacket and the rectification cabin in the structure are matched with each other to slow down the reflux speed of steam in the jacket, all the steam is divided into a plurality of parts of steam with equal content according to a uniform horizontal line, the flow rate of the steam is controlled to be stable linear fluid by means of the shape of the groove of the diversion groove so as to achieve the purpose of controllability, and the bulk density and the output density of the steam are controlled to prevent the excitation and ionization of the steam and residual gas from influencing the quality of a film layer.)

一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机

技术领域

本发明涉及电容器加工领域,尤其是涉及到一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。

背景技术

电容器在生产时需要采用金属化薄膜基材进行制造,并在此过程中完成薄膜的卷绕成型,质量过关的金属薄膜对于电容器加工而言显得尤为重要,而金属化薄膜通常使用真空镀膜方式进行制作,在主流的加工方式中会在较高真空度的环境下利用热阴极发射电子在电场作用下成为高能量密度的电子束直接轰击到镀料上,完成蒸发镀膜,不过若是蒸发源附近的蒸气密度高的话,电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用,电子的通量将散失和轨道偏移,同时引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量,基于以上前提,本案研发了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机以解决这个问题。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明是通过如下的技术方案来实现:一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:动力箱、镀膜机箱、气阀,所述动力箱顶端面位置连接镀膜机箱且二者内部相互连通,镀膜机箱侧边设有气阀,动力箱整体呈现长方体结构,主要用于放置提供设备驱动的机械构件与电子元件,同时作为线路管的连接载体进行使用,其外壳采用金属材料制成,坚硬的材质特性有助于起到承载来自顶部的镀膜机箱的重量并为其提供防止变形的抗压性能,气阀则是用于排导设备内的蒸气压力的结构,通过结构的调控性能能保证设备内的气压处于正常标准,并保障设备内的高真空度环境状态。

作为本发明进一步技术补充,所述镀膜机箱由蒸气夹套、蒸气出口、筒体、轴承座、整流舱组成,所述蒸气夹套顶端中部位置设有蒸气出口,蒸气夹套两侧连接筒体,筒体一端与轴承座相连,整流舱位于蒸气夹套底部位置并与其相互连通,蒸气夹套为镀膜机箱的核心运转结构,蒸气出口在顶部设有两个,数量上的充足能够保证蒸气排出的速度,防止蒸气在结构内堆积回流而影响蒸气的分布平均性,筒体为镀膜机箱外层的壳体结构,主要是起到结构密封的作用,防止蒸气从设备的缝隙中泄露出,由于加工中所使用的液体为化工类液体,所产生的液体蒸气也是专用于金属化薄膜的镀层,具有一定的化学特性,严密的封堵性能是筒体的重要保障,轴承座用于结构间的轻微调整与分层开启。

作为本发明进一步技术补充,所述蒸气夹套由筒套、降流滤板、蒸气导管、分流槽组成,所述筒套两端均设有降流滤板,降流滤板侧边相邻位置连通蒸气导管且在彼此之间等距排列有分流槽,筒套为蒸气夹套的主体承载结构,一方面是为构件提供连接载体使其相互连通,另一方面则是作为蒸气的流经通道,通过结构的构造使蒸气上升并向两侧导出,降流滤板的板块组成结构内有直径相同的蜂窝状孔洞,能够吸收从其结构中通过的蒸气并减缓蒸气在筒套内的回流速度,防止蒸气再次堆积,蒸气导管则是用于流通蒸气的管道结构,中部的分流槽可将从底部位置上升的蒸气进行均分,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气。

作为本发明进一步技术补充,所述整流舱由舱体、螺旋轮、平流座组成,所述舱体两侧呈上下两个方位设有螺旋轮,平流座连接于舱体底端面且二者相互连通,舱体为整流舱的底部主体结构,是整流舱两大构成部分之一,舱体形成一个两端为斜角的梯形构造,主要用于输入特殊蒸气并使其在内部短暂储存,侧边的螺旋轮则是表面具有螺旋线条构造的中空轮结构,当其高速旋转时会通过中部的孔洞制造出吸引力并由此将舱体中的蒸气向中段位置聚拢,打散蒸气在舱体内的堆积状态,使得蒸气在向上输出时为均匀分布状态。

作为本发明进一步技术补充,所述平流座由储气箱、十字管、梯级板组成,所述储气箱中部位置设有十字管,十字管上下两端连通梯级板,储气箱作为平流座的壳体结构,主要用于将从底部输送上来的蒸气直接通过底部的梯级板导入并通过中间的十字管向上导出,十字管为十字形管道结构,可将蒸气从四个不同的方向进行疏导,主要是用于蒸气含量高于加工标准时进行适当的调整降低,梯级板按照蒸气的输出密度呈现阶梯状分布,主要是用于控制蒸气的堆积密度和输出密度,最大程度上保证蒸气的均流性。

有益效果

本发明应用于电容器金属化薄膜加工技术方面,主要是为了解决电容器基材在加工的过程中蒸气密度高会引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量的问题;

本发明通过创新镀膜机箱结构来解决这个问题,通过结构中的蒸气夹套与整流舱相互配合减缓蒸气在筒套内的回流速度,防止蒸气再次堆积,同时将从底部位置上升的蒸气进行均分,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气,并借由分流槽的沟槽形状将蒸气的流速控制为稳定的直线型流体以达到可控的目的,控制蒸气的堆积密度和输出密度防止引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本发明一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机的外部结构示意图。

图2为本发明一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机的镀膜机箱结构正剖图。

图3为本发明一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机的镀膜机箱的蒸气夹套结构正剖图。

图4为本发明一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机的镀膜机箱的整流舱结构正剖图。

图5为本发明一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机的镀膜机箱的整流舱的平流座结构正剖图。

图中:动力箱-1、镀膜机箱-2、气阀-3、蒸气夹套-5、蒸气出口-6、筒体-7、轴承座-8、整流舱-9、筒套-11、降流滤板-12、蒸气导管-13、分流槽-14、舱体-16、螺旋轮-17、平流座-18、储气箱-20、十字管-21、梯级板-22。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式以及附图说明,进一步阐述本发明的优选实施方案。

实施例1

请参阅图1,本发明提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:动力箱1、镀膜机箱2、气阀3,所述动力箱1顶端面位置连接镀膜机箱2且二者内部相互连通,镀膜机箱2侧边设有气阀3,动力箱1整体呈现长方体结构,主要用于放置提供设备驱动的机械构件与电子元件,同时作为线路管的连接载体进行使用,其外壳采用金属材料制成,坚硬的材质特性有助于起到承载来自顶部的镀膜机箱2的重量并为其提供防止变形的抗压性能,气阀3则是用于排导设备内的蒸气压力的结构,通过结构的调控性能能保证设备内的气压处于正常标准,并保障设备内的高真空度环境状态。

请参阅图2,本发明提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:所述镀膜机箱2由蒸气夹套5、蒸气出口6、筒体7、轴承座8、整流舱9组成,所述蒸气夹套5顶端中部位置设有蒸气出口6,蒸气夹套5两侧连接筒体7,筒体7一端与轴承座8相连,整流舱9位于蒸气夹套5底部位置并与其相互连通,蒸气夹套5为镀膜机箱的核心运转结构,蒸气出口6在顶部设有两个,数量上的充足能够保证蒸气排出的速度,防止蒸气在结构内堆积回流而影响蒸气的分布平均性,筒体7为镀膜机箱2外层的壳体结构,主要是起到结构密封的作用,防止蒸气从设备的缝隙中泄露出,由于加工中所使用的液体为化工类液体,所产生的液体蒸气也是专用于金属化薄膜的镀层,具有一定的化学特性,严密的封堵性能是筒体7的重要保障,轴承座8用于结构间的轻微调整与分层开启。

请参阅图3,本发明提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:所述蒸气夹套5由筒套11、降流滤板12、蒸气导管13、分流槽14组成,所述筒套11两端均设有降流滤板12,降流滤板12侧边相邻位置连通蒸气导管13且在彼此之间等距排列有分流槽14,筒套11为蒸气夹套5的主体承载结构,一方面是为构件提供连接载体使其相互连通,另一方面则是作为蒸气的流经通道,通过结构的构造使蒸气上升并向两侧导出,降流滤板12的板块组成结构内有直径相同的蜂窝状孔洞,能够吸收从其结构中通过的蒸气并减缓蒸气在筒套11内的回流速度,防止蒸气再次堆积,蒸气导管13则是用于流通蒸气的管道结构,中部的分流槽14可将从底部位置上升的蒸气进行均分,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气,并借由分流槽14的沟槽形状将蒸气的流速控制为稳定的直线型流体以达到可控的目的。

请参阅图4,本发明提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:所述整流舱9由舱体16、螺旋轮17、平流座18组成,所述舱体16两侧呈上下两个方位设有螺旋轮17,平流座18连接于舱体16底端面且二者相互连通,舱体16为整流舱9的底部主体结构,是整流舱9两大构成部分之一,舱体16形成一个两端为斜角的梯形构造,主要用于输入特殊蒸气并使其在内部短暂储存,侧边的螺旋轮17则是表面具有螺旋线条构造的中空轮结构,当其高速旋转时会通过中部的孔洞制造出吸引力并由此将舱体16中的蒸气向中段位置聚拢,打散蒸气在舱体16内的堆积状态,使得蒸气在向上输出时为均匀分布状态。

请参阅图5,本发明提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括:所述平流座18由储气箱20、十字管21、梯级板22组成,所述储气箱20中部位置设有十字管21,十字管21上下两端连通梯级板22,储气箱20作为平流座18的壳体结构,主要用于将从底部输送上来的蒸气直接通过底部的梯级板22导入并通过中间的十字管21向上导出,十字管21为十字形管道结构,可将蒸气从四个不同的方向进行疏导,主要是用于蒸气含量高于加工标准时进行适当的调整降低,梯级板22按照蒸气的输出密度呈现阶梯状分布,主要是用于控制蒸气的堆积密度和输出密度,最大程度上保证蒸气的均流性。

实施例2

结合第一实施例而引出的第二实施例说明,结合图3、图4与图5,所述蒸气夹套5由筒套11、降流滤板12、蒸气导管13、分流槽14组成,所述筒套11两端均设有降流滤板12,降流滤板12侧边相邻位置连通蒸气导管13且在彼此之间等距排列有分流槽14,所述整流舱9由舱体16、螺旋轮17、平流座18组成,所述舱体16两侧呈上下两个方位设有螺旋轮17,平流座18连接于舱体16底端面且二者相互连通,所述平流座18由储气箱20、十字管21、梯级板22组成,所述储气箱20中部位置设有十字管21,十字管21上下两端连通梯级板22,主要是分层次对设备中的蒸气进行分流,其一是由整流舱9侧边的螺旋轮17打散蒸气在舱体16内的堆积状态,使得蒸气在向上输出时为均匀分布状态,其二由平流座18按照蒸气的输出密度呈现阶梯状输出,其三则是由蒸气夹套5的分流槽14将从底部位置上升的蒸气进行均分,将所有的蒸汽按照统一水平线化分为若干份均等含量的蒸气,并借由分流槽14的沟槽形状将蒸气的流速控制为稳定的直线型流体以达到可控的目的。

所述动力箱1顶端面位置连接镀膜机箱2且二者内部相互连通,镀膜机箱2侧边设有气阀3,所述镀膜机箱2由蒸气夹套5、蒸气出口6、筒体7、轴承座8、整流舱9组成,所述蒸气夹套5顶端中部位置设有蒸气出口6,蒸气夹套5两侧连接筒体7,筒体7一端与轴承座8相连,整流舱9位于蒸气夹套5底部位置并与其相互连通,当电子在电场作用下成为高能量密度的电子束直接轰击到镀料上后,通过镀膜机箱2将蒸气调控为均流性状态,防止密度过于集中引发蒸气和残余气体的激发和电离而影响膜层质量即可,当蒸气均匀分布后即可抽真空完成镀膜作业并将电容器基材取出进行后期加工。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点,本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神或基本特征的前提下,不仅能够以其他的具体形式实现本发明,还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围,因此本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定,而不是上述说明限定。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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