[db:专利名称-en]

文档序号:1459648 发布日期:2020-02-21 浏览:14次 中文

阅读说明:本技术 一种用于gigs太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置 ([db:专利名称-en]) 是由 徐根保 刘林 张宽翔 王昌华 王宝玉 蒋继文 于 2019-12-16 设计创作,主要内容包括:本发明公开一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置,包括蒸发源本体以及设于蒸发源本体内的坩埚,其特征在于,所述蒸发源本体内壁间隔设有第一加热丝与第二加热丝,第一加热丝位于蒸发源本体的头部,第一加热丝与第二加热丝均沿蒸发源本体内壁环形分布,蒸发源本体内的底部还设有第三加热丝;坩埚内的头部设有束流块,束流块设有与坩埚同轴的束流孔,束流孔呈喇叭状,束流孔由头部朝尾部渐缩;该装置能够解决蒸发源易堵以及蒸发膜层不均匀的问题。([db:摘要-en])

[db:权利要求-en] [db:英文01技术领域] [db:英文02背景技术] [db:英文03发明内容] [db:英文04附图说明] [db:英文05实施方式]
7页详细技术资料下载
上一篇:一种医用注射器针头装配设备
下一篇:靶材移动装置及使用方法

网友询问留言

已有0条留言

还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!

精彩留言,会给你点赞!