阅读说明：本技术 一种用于gigs太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置 ([db:专利名称-en]) 是由 徐根保 刘林 张宽翔 王昌华 王宝玉 蒋继文 于 2019-12-16 设计创作，主要内容包括：本发明公开一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置,包括蒸发源本体以及设于蒸发源本体内的坩埚,其特征在于,所述蒸发源本体内壁间隔设有第一加热丝与第二加热丝,第一加热丝位于蒸发源本体的头部,第一加热丝与第二加热丝均沿蒸发源本体内壁环形分布,蒸发源本体内的底部还设有第三加热丝；坩埚内的头部设有束流块,束流块设有与坩埚同轴的束流孔,束流孔呈喇叭状,束流孔由头部朝尾部渐缩；该装置能够解决蒸发源易堵以及蒸发膜层不均匀的问题。([db:摘要-en])

一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置

技术领域

本发明涉及薄膜太阳能电池制造设备技术领域，具体是一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置。

背景技术

铜铟硒太阳能薄膜电池是在玻璃或其它廉价衬底上沉积若干层金属化合物半导体薄膜，薄膜总厚度大约2-3毫米，利用太阳光发电。铜铟硒电池具有成本低，性能稳定，抗辐射能力强等特性，光电转换效率目前是各种薄膜太阳电池之首，正是由于其优异的性能被国际上称为下一时代的廉价太阳能电池，吸引了众多机构及专家进行研究开发。

实际的生产过程中，非常多的设备采用蒸发镀膜的方式去沉积CIGS电池所需要的膜层，但在生产过程中较多的蒸发源存在蒸发口易堵的现象及使用寿命低，蒸发膜层不均匀的现象。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置，该装置能够解决蒸发源易堵以及蒸发膜层不均匀的问题，

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置，包括蒸发源本体以及设于蒸发源本体内的坩埚，所述蒸发源本体内壁间隔设有第一加热丝与第二加热丝，第一加热丝位于蒸发源本体的头部，第一加热丝与第二加热丝均沿蒸发源本体内壁环形分布，蒸发源本体内的底部还设有第三加热丝；

所述坩埚内的头部设有束流块，束流块设有与坩埚同轴的束流孔，束流孔呈喇叭状，束流孔由头部朝尾部渐缩。

进一步的，所述蒸发源本体的头部设有旋转端盖。

进一步的，所述蒸发源本体的外周设有冷却水夹套，冷却水夹套设有冷却水入口与冷却水出口。

本发明的有益效果是，蒸发源本体的内部实现分段加热，第一加热丝与第二加热丝间隔设置，避免因头部工艺温度过高而影响尾部的蒸发速率，保证了蒸发速率的稳定性；坩埚内的头部设有束流块，保证了热量传递的均匀性及在冷却的过程中可以持续保证蒸发源在头部冷却过程中保证温度与控制温度相匹配，减缓冷却速率，避免束流孔堵塞，同时为了保证工艺匹配型，第一加热丝工艺温度要比第二加热丝温度高250-300℃，降温工艺采用同速降温工艺，如此优化可以避免束流孔在蒸发物料还在蒸发的过程中因前端束流孔的温度降低而造成的堵塞，提高蒸发源的使用寿命。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明蒸发源本体的放大示意图；

图3是本发明坩埚的放大示意图；

图4是本发明的安装使用示意图；

图5是图4的侧视图；

图6是图4的俯视图。

具体实施方式

结合图1与图2所示，本发明提供一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置，包括蒸发源本体1以及设于蒸发源本体内的坩埚2，所述蒸发源本体1内壁间隔设有第一加热丝3与第二加热丝4，第一加热丝3位于蒸发源本体1的头部，第一加热丝与第二加热丝均沿蒸发源本体内壁环形分布，第一加热丝3与第二加热丝4间隔10～20mm；蒸发源本体1内的底部还设有第三加热丝5。

蒸发源本体1的外周设有冷却水夹套6，冷却水夹套6设有冷却水入口7与冷却水出口8。蒸发源本体1的头部还设有旋转端盖9，旋转端盖9可通过电机11进行驱动，电机11与旋转端盖9之间通过转轴10进行连接，转轴10贯穿冷却水夹套6，启动电机11实现旋转端盖9的打开与关闭，旋转端盖9与蒸发源本体1的头部之间留有20～30mm的距离。

结合图3所示，所述坩埚2内的头部设有束流块12，束流块12设有与坩埚2同轴的束流孔13，束流孔13呈喇叭状，束流孔13由头部朝尾部渐缩，束流孔13与坩埚内的物料填充区14之间的间距为10～20mm。

结合图4～6所示，使用时，将一组本发明蒸发源装置安装于载架15上，可以在载架15由上至下设置两排，两排蒸发源装置之间形成10º的夹角，相邻的蒸发源装置之间的间距为200mm。

本发明蒸发源本体的内部实现分段加热，第一加热丝与第二加热丝间隔设置，避免因头部工艺温度过高而影响尾部的蒸发速率，保证了蒸发速率的稳定性；坩埚内的头部设有束流块，保证了热量传递的均匀性及在冷却的过程中可以持续保证蒸发源在头部冷却过程中保证温度与控制温度相匹配，减缓冷却速率，避免束流孔堵塞，同时为了保证工艺匹配型，第一加热丝工艺温度要比第二加热丝温度高250-300℃，降温工艺采用同速降温工艺，如此优化可以避免束流孔在蒸发物料还在蒸发的过程中因前端束流孔的温度降低而造成的堵塞，提高蒸发源的使用寿命；通过通入冷却水，可以避免在使用时对相邻的蒸发源装置造成影响。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。