阅读说明：本技术 一种线性蒸发舟 (Linear evaporation boat ) 是由 彭建 田琳 夏虎 于 2019-11-27 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种线性蒸发舟包括蒸发室、进料斗和夹持翼,所述进料斗与所述蒸发室连接且内部空间相通,所述进料斗顶部开设有进料口,所述夹持翼位于所述进料斗外且与所述进料斗连接,所述蒸发室顶部开设线性蒸发窄口,结合线性源和舟型源的优点,提高了材料利用率,蒸镀时配合基片台旋转,提高了镀膜均匀性,蒸发舟由板材直接剪切折弯而成,简化了生产工序,降低了制造成本,同时使蒸发口调节更加简单。(The invention discloses a linear evaporation boat which comprises an evaporation chamber, a feed hopper and a clamping wing, wherein the feed hopper is connected with the evaporation chamber, the inner space of the feed hopper is communicated, the top of the feed hopper is provided with a feed inlet, the clamping wing is positioned outside the feed hopper and is connected with the feed hopper, the top of the evaporation chamber is provided with a linear evaporation narrow opening, the advantages of a linear source and a boat-shaped source are combined, the material utilization rate is improved, a substrate table is matched for rotation during evaporation, the coating uniformity is improved, the evaporation boat is formed by directly shearing and bending a plate, the production process is simplified, the manufacturing cost is reduced, and meanwhile, the adjustment of the evaporation opening is simpler.)

一种线性蒸发舟

技术领域

本发明涉及高真空电子蒸发镀膜领域，特别是涉及一种线性蒸发舟。

背景技术

在高真空电阻蒸发镀膜领域，蒸发器皿多种多样，包括线性蒸发源、船型蒸发舟、蒸发篮加坩埚等，其中线性蒸发源均匀性好，材料利用率高，但造价昂贵，船型蒸发舟造价低廉，但蒸发均匀区较小，材料利用率低，浪费严重；蒸发篮加坩埚装料多，但极限温度低，只能蒸发低熔点材料。

发明内容

本发明的目的是提供一种线性蒸发舟，以解决上述现有技术存在的问题，提高材料利用率，提高均匀性，整体造价低廉，生产方便。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

本发明提供一种线性蒸发舟包括蒸发室、进料斗和夹持翼，所述进料斗与所述蒸发室连接且内部空间相通，所述进料斗顶部开设有进料口，所述夹持翼位于所述进料斗外且与所述进料斗连接，所述蒸发室顶部开设线性蒸发窄口。

优选地，所述蒸发室包括底板、前壁、后壁和顶板，所述底板与所述顶板平行且均水平，所述顶板包括前顶板和后顶板，所述前壁顶边与所述前顶板前边相连，所述后壁顶边与所述后顶板后边相连，所述前顶板与所述后顶板之间的夹缝即为所述线性蒸发窄口，所述前壁底边及所述后壁底边分别与所述底板的前后两边相连，所述前壁、所述底板和所述后壁的同侧边形成连通口，所述进料斗有两个，分别与所述蒸发室两侧的连通口边沿连接。

优选地，所述进料斗包括斜挡板、前挡板和后挡板，所述斜挡板底边与所述底板连接，所述斜挡板顶边与所述顶板底面位于同一水平面，所述前挡板与所述前壁及所述斜挡板连接，所述后挡板与所述后壁及所述斜挡板连接，所述前挡板顶边、所述斜底板顶边、所述后挡板顶边和所述顶板侧边形成所述进料口。

优选地，所述夹持翼有两个，每个所述夹持翼包括垂直连接板和水平夹持板，所述垂直连接板与所述斜挡板顶边连接，所述水平夹持板侧边与所述垂直连接板顶边连接。

优选地，所述线性蒸发舟由塑性板材直接剪切折弯成型。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明提供的线性蒸发舟的蒸汽出口为线性蒸发口，蒸发材料线性蒸镀，蒸汽出口更小，减少了发散浪费，提高了材料利用率，线性蒸镀配合旋转基片台，提高镀膜均匀性，结构简单，加工方便，整体造价低廉。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的线性蒸发舟轴侧图；

图2为本发明提供的线性蒸发舟主视图；

图3为图2的线性蒸发舟俯视图；

图4为板材折弯示意图；

图中：1-蒸发室、2-进料斗、3-夹持翼、4-线性蒸发窄口、5-进料口。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种线性蒸发舟，以解决现有技术存在的问题，结合线性源和舟型源的优点，提高材料利用率，提高镀膜均匀性，简化生产工序，降低制造成本，同时使蒸发口调节更加简单。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1-3所示，本发明提供一种线性蒸发舟包括蒸发室1、进料斗2和夹持翼3，进料斗2与蒸发室1连接且内部空间相通，进料斗2顶部开设有进料口5，夹持翼3位于进料斗2外且与进料斗2连接，蒸发室1顶部开设线性蒸发窄口4，蒸发口为线性，开口更小，减少发散浪费，提高材料利用率，配合旋转基片台，实现大面积均匀镀膜。

蒸发室1包括底板、前壁、后壁和顶板，底板与顶板平行且均水平，顶板包括前顶板和后顶板，前壁顶边与前顶板前边相连，后壁顶边与后顶板后边相连，前顶板与后顶板之间的夹缝即为线性蒸发窄口4，前壁底边及后壁底边分别与底板的前后两边相连，前壁、底板和后壁的同侧边形成连通口，进料斗2有两个，分别与蒸发室1两侧的连通口连接，顶板前后分开，改变前顶板与后顶板之间距离，无需二次加工，即可改变线性蒸发窄口4的线宽，使得线性蒸发窄口4的调节更加简单。

进料斗2包括斜挡板、前挡板和后挡板，斜挡板底边与底板连接，斜挡板顶边与顶板底面位于同一水平面，前挡板与前壁及斜挡板连接，后挡板与后壁及斜挡板连接，前挡板顶边、斜底板顶边、后挡板顶边和顶板侧边形成进料口5，方便向蒸发室1内添加原料，且进料斗底部为斜挡板，原料不会在进料口5处滞留。

夹持翼3有两个，每个夹持翼3包括垂直连接板和水平夹持板，垂直连接板与斜挡板顶边连接，水平夹持板侧边与垂直连接板顶边连接，使夹持更加稳固，方便蒸发舟移动。

线性蒸发舟由塑性板材直接剪切折弯成型，生产简易，成本低廉，蒸发口的线宽可调。

本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。