阅读说明：本技术 一种掺杂的类石墨复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的类石墨复合薄膜的部件 (Doped graphite-like composite film, preparation method thereof and part containing doped graphite-like composite film ) 是由 蔡海潮 薛玉君 叶军 司东宏 李航 贺江涛 杨芳 刘春阳 马喜强 于 2019-10-15 设计创作，主要内容包括：本发明涉及一种掺杂的类石墨复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的类石墨复合薄膜的部件,该掺杂的类石墨复合薄膜由掺杂元素和类石墨组成,掺杂元素为铈和铝；掺杂元素铈的质量百分比为6.47-13.49%,掺杂元素铝的质量百分比为1.21-12.26%,余量为类石墨。本发明掺杂的类石墨复合薄膜力学性能得到了增强,继而表现出优异的耐磨损性能；该铈和铝共掺杂的类石墨复合薄膜的结晶强度较高,硬度和弹性模量均提高10%以上。(the invention relates to a doped graphite-like composite film, a preparation method thereof and a part containing the doped graphite-like composite film, wherein the doped graphite-like composite film consists of doping elements and graphite-like materials, and the doping elements are cerium and aluminum; the mass percent of the doping element cerium is 6.47-13.49%, the mass percent of the doping element aluminum is 1.21-12.26%, and the balance is graphite-like. The mechanical property of the doped graphite-like composite film is enhanced, and excellent wear resistance is further shown; the cerium and aluminum co-doped graphite-like composite film has high crystallization strength, and the hardness and the elastic modulus are both improved by more than 10%.)

一种掺杂的类石墨复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的类石 墨复合薄膜的部件

技术领域

本申请涉及表面工程技术领域，具体涉及一种掺杂的类石墨复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的类石墨复合薄膜的部件。

背景技术

类石墨碳基薄膜是以SP²杂化碳键为主、氢含量小于20％的一种非晶碳膜，也称为GLC，类石墨薄膜材料因其优异的润滑特性而受到了广泛的研究关注，这种薄膜材料抗氧化温度较高，减摩和抗辐射性能优异，它具有耐磨与自润滑一体化特性，在航空航天、高端装备无油润滑系统等领域得到了广泛应用。但是类石墨薄膜具有较高内应力、塑韧性差、与金属基体的相容性差等问题，Teer公司制备的Graphit-ic类石墨复合薄膜，通过复合一定含量的Cr元素调节了类石墨膜的塑韧性，减小了内应力，改善了复合薄膜的承载能力和耐磨性。然而由于Cr过渡层为柱状晶，晶界之间存在孔隙，使得薄膜较易剥落，影响了其耐磨性能及使用寿命。

稀土元素具有偶联效应和微合金化作用，在类石墨薄膜中掺杂稀土元素可以提高薄膜的综合性能，特别是热稳定性、耐磨性，因此稀土掺杂是新型固体润滑薄膜的一个重要研究方向，如申请公布号为CN101613855A的中国专利申请中公开了一种掺杂稀土元素的类石墨薄膜。

但是现有技术中的掺杂的类石墨薄膜存在硬度低、摩擦系数高、磨损率高的问题。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种掺杂的类石墨复合薄膜，以解决现有技术中类石墨薄膜硬度低、摩擦系数高、磨损率高的问题。

本发明的第二个目的在于提供一种掺杂的类石墨复合薄膜的制备方法，以解决现有技术中制备方法复杂化、成本高的问题。

本发明的第三个目的在于提供一种含有掺杂的类石墨复合薄膜的部件，提高部件的使用寿命。

为实现上述目的，本发明的技术方案是：

一种掺杂的类石墨复合薄膜，由掺杂元素和类石墨组成，掺杂元素为铈和铝；掺杂元素铈的质量百分比为6.47-13.49％，掺杂元素铝的质量百分比为1.19-12.26％，余量为类石墨。

本发明的掺杂的类石墨复合薄膜，由掺杂元素和类石墨组成，掺杂元素为铈和铝，同时控制掺杂元素铈和掺杂元素铝的质量百分比；具有特定质量百分比的掺杂的类石墨复合薄膜有效抑制了类石墨薄膜柱状晶的快速生长，消除了成膜粒子在快速扩散时形成的孔洞，使复合薄膜的力学性能得到了增强，继而表现出优异的耐磨损性能；该二元(铈和铝)共掺杂的类石墨基复合薄膜的结晶强度较高，硬度和弹性模量均提高10％以上。

一种掺杂的类石墨复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：采用磁控溅射法在预热处理后的基体表面沉积掺杂的类石墨复合薄膜，冷却，即得。

本发明的掺杂的类石墨复合薄膜的制备方法，在保护气氛下，先对基体进行预热处理，然后采用磁控溅射法在基体表面沉积掺杂的类石墨复合薄膜，冷却，即得含有掺杂的类石墨基复合薄膜的部件。该制备方法具有简单化、成本低的特点。磁控溅射法是在保护气氛下，在溅射靶和镀膜室壁之间施加电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使保护气氛发生电离；保护气氛被溅射靶加速并轰击溅射靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜，通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。

优选的，掺杂的类石墨复合薄膜由掺杂元素和类石墨组成，掺杂元素为铈和铝；掺杂元素铈的质量百分比为6.47-13.49％，掺杂元素铝的质量百分比为1.19-12.26％，余量为类石墨。

优选的，基体为石英玻璃、硅片或钢中的任意一种。

优选的，工作气体的压强为0.4-1.6Pa；保护气氛为氩气；工作气体的流量为20sccm～100sccm。

优选的，预热处理的温度为300℃，预热处理的时间为60-90分钟。

优选的，基体在进行预热处理之前，还有清洗基体和真空处理基体的步骤。清洗基体为先用无水乙醇超声清洗基体15分钟，再用丙酮清洗基体10分钟。真空处理基体为将基体置于真空环境下，真空度为5e-4Pa。

为进一步提高掺杂的类石墨复合薄膜的硬度，优选的，沉积掺杂的类石墨复合薄膜包括共溅射石墨靶和掺杂靶；所述掺杂靶为铈-铝合金靶；共溅射时间为100-150分钟，石墨靶的溅射功率为120-250W，铈-铝合金靶的溅射功率为10-50W；铈-铝合金靶材中铈原子与铝原子的比为(5-50)：(50-95)。

为进一步提高掺杂的类石墨复合薄膜的硬度，优选的，共溅射时间为120-150分钟，石墨靶的溅射功率为150-250W。

为进一步提高掺杂的类石墨复合薄膜与基体之间的膜基结合力，优选的，在沉积掺杂的类石墨复合薄膜之前，先溅射沉积过渡层，过渡层为铈-铝合金层，溅射沉积过渡层采用铈-铝合金靶。

为进一步提高掺杂的类石墨复合薄膜与基体之间的膜基结合力，优选的，溅射沉积过渡层的溅射功率为10-50W，溅射沉积过渡层的溅射时间为10～20分钟。

一种含有掺杂的类石墨复合薄膜的部件，包括部件基体和镀覆在部件基体上的复合镀层，复合镀层包括掺杂的类石墨复合薄膜；掺杂的类石墨复合薄膜由掺杂元素和类石墨组成，掺杂元素为铈和铝；掺杂元素铈的质量百分比为6.47-13.49％，掺杂元素铝的质量百分比为1.19-12.26％，余量为硫化物。

本发明的含有掺杂的类石墨复合薄膜的部件，有效抑制了类石墨薄膜柱状晶的快速生长，消除了成膜粒子在快速扩散时形成的孔洞，使复合薄膜的力学性能得到了增强，继而表现出优异的耐磨损性能；该二元(铈和铝)共掺杂的类石墨复合薄膜的结晶强度较高，硬度和弹性模量均提高10％以上。掺杂的类石墨复合薄膜和部件基体相互配合，将掺杂的类石墨基复合薄膜和基体之间的膜基结合力提高了30％以上。

优选的，部件基体为石英玻璃、硅片或钢中的任意一种。

为提高掺杂的类石墨基复合薄膜和基体之间的膜基结合力，优选的，复合镀层还包括设置在掺杂的类石墨复合薄膜与部件基体之间的过渡层；所述过渡层为铈-铝合金层；所述过渡层是将铈元素和铝元素通过磁控溅射法在部件基体表面沉积得到；过渡层中铈原子与铝原子的比为(5-50)：(50-95)。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明的实施方式作进一步说明。以下实施例中，铈-铝合金靶、铈靶、铝靶、石墨靶等原料，超声波清洗机、真空室、磁控溅射法等设备均可通过市售常规渠道获得。铈-铝合金靶中铈原子与铝原子的比为50：50，或者铈-铝合金靶中铈原子与铝原子的比为10：90，或者铈-铝合金靶中铈原子与铝原子的比为5：95。

一、掺杂的类石墨复合薄膜的实施例

实施例1

本实施例的掺杂的类石墨复合薄膜，由掺杂元素和类石墨组成，掺杂元素为铈和铝，掺杂元素铈的质量百分比为12.98％，掺杂元素铝的质量百分比为2.12％，余量为类石墨。

实施例2-14

实施例2-14的掺杂的类石墨复合薄膜，由掺杂元素和类石墨组成，掺杂元素为铈和铝；各成分的含量列于表1中。

表1实施例2-13的掺杂的硫化物(WS₂)复合薄膜的成分组成

二、以下掺杂的类石墨复合薄膜的制备方法的具体实施例，分别对实施例1-14的掺杂的类石墨复合薄膜的制备进行说明。

实施例15

本实施例的掺杂的类石墨复合薄膜的制备方法，对实施例1的掺杂的类石墨复合薄膜的制备进行说明，具体包括以下步骤：

1)使用无水乙醇在超声波清洗机中清洗基体硅片表面15分钟，然后使用丙酮在超声波清洗机中清洗基体硅片表面10分钟；将基体硅片放入真空室内进行真空处理，真空度为5e-4Pa；通入氩气，氩气流量为40sccm，控制真空室内氩气的压强为1.2Pa，对基片预热处理60分钟，预热处理的温度为300℃；

2)维持真空室内氩气流量为40sccm，氩气的压强为1.2Pa；采用磁控溅射法在基体硅片表面沉积掺杂的类石墨复合薄膜：打开掺杂靶铈-铝合金靶的挡板，用20W的直流电源激励铈-铝合金靶，形成稳定的辉光后保持在20W的功率并溅射20分钟形成过渡层，然后打开石墨靶的挡板并用120W的功率与掺杂靶铈-铝合金靶共溅射，共溅射时间为120分钟，制备得到含有2.2μm铈-铝掺杂的类石墨复合薄膜；铈-铝合金靶中铈原子与铝原子的比为50：50，铈-铝合金靶纯度为99.99％。

实施例16-18

实施例16-18的掺杂的硫化物复合薄膜的制备方法，与实施例15基本相同，区别仅在于，工作压强分别为0.4Pa、0.8Pa、1.6Pa。

实施例19-22

实施例19-22的掺杂的硫化物复合薄膜的制备方法，与实施例15基本相同，区别仅在于，激励铈-铝合金靶的功率分别为10W、30W、40W、50W。

实施例23-26

实施例23-26的掺杂的硫化物复合薄膜的制备方法，与实施例15基本相同，区别仅在于，氩气的流量分别为20sccm、60sccm、80sccm、100sccm。

实施例27

实施例27的掺杂的硫化物复合薄膜的制备方法，与实施例15基本相同，区别仅在于，铈-铝合金靶中铈原子与铝原子的比为10：90。

实施例28

实施例28的掺杂的硫化物复合薄膜的制备方法，与实施例15基本相同，区别仅在于，铈-铝合金靶中铈原子与铝原子的比为5：95。

在掺杂的类石墨复合薄膜的制备方法的其他实施情形下，在溅射过渡层之前，可先在部件基体上预溅射5分钟的等离子金属层以达到更好的结合效果。

三、含有掺杂的类石墨复合薄膜的部件的实施例

分别对应实施例15-28的制备方法所得最终产品，包括部件基体、镀制在部件上的过渡层和镀制在过渡层上的掺杂的类石墨复合薄膜。

实施例的部件基体为硅片，部件基体还可以是石英玻璃或钢，针对其他实施情形，在部件的耐磨工作面上进行镀制即可。

四、对比例

对比例1

该对比例制备纯类石墨薄膜，与实施例15的制备方法基本相同，区别仅在于，在镀制铈-铝过渡层后，仅使用石墨靶进行溅射，具体溅射参数保持一致。

五、试验例：

本试验例比较纯类石墨薄膜与相应的复合薄膜的结合力、硬度、摩擦系数和磨损率。其中，结合力、硬度依据纳米压痕仪测试得出，摩擦系数依据高温摩擦磨损试验机测试获得(摩擦半径4mm，对磨球直径6mm，转速336r/min，载荷1N)，磨损率依据公式W＝V/F*L(式中，V为磨痕磨损体积，F为摩擦试验所施加的法向载荷，L为摩擦行程长度)计算获得。

利用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机对上述工艺方法制备的薄膜进行了相关测试，具体测试结果如表1所示：

表1含有掺杂的类石墨基复合薄膜的部件和含有类石墨薄膜的部件性能对比表

编号	膜基结合力	硬度	摩擦系数	磨损率
					对比例1	20N	9GPa	0.1-0.12	7E-16m<sup>3</sup>/N*m
实施例15	50N	4.2GPa	0.05-0.075	7E-18m<sup>3</sup>/N*m
					实施例27	38N	1.8GPa	0.095-0.11	6E-17m<sup>3</sup>/N*m
实施例28	42N	1.9GPa	0.08-0.095	5E-17m<sup>3</sup>/N*m