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具体实施方式

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下面，将参考附图详细描述本发明的实施方式。

图1和图2是示意性地示出当从上面和正面观看时本发明的实施方式的沉积装置系统的真空室的内部的图。

本发明的实施方式的沉积装置系统可包括真空室1、可移动地安装在真空室1中的沉积装置100、以及可拆卸地设置在真空室1的上侧的堵塞检测清除模块200，如图1和2所示。

支撑部10设置在真空室1内部的下侧，第一驱动部11和第二驱动部12在支撑部10上在两侧在前后方向上并排布置得较长，第三驱动部13在两个方向上布置得较长以穿过第一驱动部11和第二驱动部12，并且沉积装置100可设置在第三驱动部13上。

第一驱动部11和第二驱动部12可被构造成在真空室1的前后方向上移动沉积装置100和第三驱动部13，并且第三驱动部13可被构造成在真空室1的两个方向上移动沉积装置100。

至少一个或多个的气相沉积对象14和15可安装在真空室1内部，并且可通过设置在真空室1的天花板上的对准器16固定在沉积装置100上方。当然，气相沉积对象14和15可被不同地构造成包括玻璃基板。

因此，当沉积装置100通过第一驱动部11和第二驱动部12在真空室1的前后方向上移动或通过第三驱动部13在真空室1的两个方向上移动时，从沉积装置100排出的沉积材料可沉积在至少一个或多个的气相沉积对象14和15上。

如上所述，沉积过程以沉积装置100移动并且气相沉积对象14和15被固定的内联方式(in-line manner)进行，或者沉积过程以气相沉积对象14和15移动并且沉积装置100被固定的集群方式(cluster manner)进行，但不限于此。

图3是示出本发明的实施方式的沉积装置的分解立体图。

如图3所示，应用于本发明的沉积装置100可包括容纳沉积原料的坩埚110、被设置成围绕坩埚110的加热器120、被设置成围绕加热器120的冷却器130、设置在坩埚110的上表面上的喷嘴盖140、以及设置在喷嘴盖140的上表面上的引导件150。

坩埚110具有上表面开口的容器形状，可容纳沉积原料，并且可被加热器120加热以将沉积原料蒸发成沉积材料。

沉积原料是在坩埚110中容纳的材料，沉积材料是在坩埚110中蒸发的材料，沉积原料和沉积材料相同，它们只是为了便于描述而区分液体/固体材料和气态材料的名称，但不限于此。

至少一个喷嘴111可位于坩埚110的上部，喷嘴111可形成为供沉积材料通过的各种形状，例如孔或狭缝。坩埚110可在真空室1(如图2所示)中在前后方向上布置得较长，并且喷嘴111可被布置成在真空室1(如图2所示)中在前后方向上以预定距离彼此隔开。

加热器120可包括容纳坩埚110的加热器框架、向坩埚110产生热量的加热器、以及将由加热器产生的热量反射到坩埚110的反射器。加热器框架被设置成围绕坩埚110，反射器安装在加热器框架内部，并且加热器安装在反射器内部，使得加热器可被安装成最靠近坩埚110。

冷却器130可容纳加热器120，并且可被构造成一种使从加热器120排出的热量向外部的泄漏最小化的热绝缘体。

喷嘴盖140覆盖在于坩埚110的上部形成的喷嘴111的外围，并且可位于坩埚110的上部和引导件150的下部之间。喷嘴盖140可使坩埚110中产生的热量向引导件150的传递最小化，从而使受热的引导件150对气相沉积对象14和15(如图2所示)的影响最小化。

引导件150引导从喷嘴111排出的沉积材料，引导沉积材料朝向气相沉积对象14和15(如图12所示)，并且引导沉积材料均匀地沉积在气相沉积对象14和15上(如图2所示)。

引导件150可使沉积材料对真空室1的影响最小化，并限制从喷嘴111喷射的材料沉积在气相沉积对象14和15上的入射角(如图2所示)。

图4是示意性地示出本发明的实施方式的堵塞防止模块的图，并且图5和图6是示出可应用于图4的堵塞防止模块的上部的立体图和侧视图。

应用于本发明的堵塞防止模块200可以以模块的形式安装在真空室1的上部，并且真空室1中的喷嘴141和142中发生的堵塞可在真空室1外部被检测并清除。

当然，堵塞防止模块200的安装位置不限于真空室1内部的上侧，并且堵塞防止模块200可设置在真空室1内部面向沉积装置100的一个表面上，或者可安装在真空室1内部的两侧或下侧。

如图4至图6所示，堵塞防止模块200还可包括观察口V1、V2和V3、相机210、照明部221和222、激光器230、激光移动单元240、快门单元251、252和253、控制器260和监视器270。

观察口V1、V2和V3被设置成透射具有特定波段波长的光，并且至少一个观察口可设置在真空室1的上表面上。

第一观察口V1可设置在安装相机210的位置处以透射具有适合于相机210的波长的光，并且第一涂层C1可形成在第一观察口V1的外侧表面上。第一涂层C1可以是抗反射涂层，并且即使当相机210的光入射时，第一涂层C1也通过减少反射光的量在相机210上形成图像。

第二观察口V2设置在安装照明单元221和222的位置处，并且第二涂层C2可形成在第二观察口V2的外侧表面上。第二涂层C2可仅透射具有特定波段波长的光并且透射由照明单元221和222照射的光的波长。

第三观察口V3设置在安装激光器230的位置处，并且第三涂层C3可形成在第三观察口V3的外侧表面上。第三涂层C3可透射激光束并且透射从激光器230照射的激光束。

第一、第二和第三观察口V1、V2和V3可根据需要添加涂层，但不限于此。

第一、第二和第三观察口V1、V2和V3均设置在相邻位置，第一观察口V1可设置在一对第二观察口V2之间，第三观察口V3可设置在第一观察口V1的一侧，但不限于此。

第一、第二和第三观察口V1、V2和V3在蒸发过程中可容易被沉积材料污染。为了防止这种情况，可在第一、第二和第三观察口V1、V2和V3下方设置可单独更换的第一、第二和第三玻璃G1、G2和G3。

第一、第二和第三玻璃G1、G2和G3可定位成面向第一、第二和第三观察口V1、V2和V3的内部，并且可定位成距离第一、第二和第三观察口V1、V2和V3比距离喷嘴111更近。

可设置能够在真空室1内部支撑第一、第二和第三玻璃G1、G2和G3的支撑构件，并且根据污染程度，将第一、第二和第三玻璃G1、G2和G3更换为新玻璃。

相机210安装在真空室外部，即，第一观察口V1外部以面向喷嘴111，并且可以以预设周期拍摄至少一个喷嘴111。

相机210可以是即使在真空室1外部也能够准确地拍摄位于真空室1内部的喷嘴111的视觉相机，但不限于此。

另外，相机210可通过有线或无线方式与控制器260通信，并且可将由相机210拍摄的喷嘴图像传送至控制器260。

照明单元221和222可与相机210连接以调整喷嘴111的环境亮度，使得相机210清楚地拍摄喷嘴111。这一对照明单元221和222可设置在相机210的两侧以向喷嘴111照射光。

照明单元221和222可照射具有特定波段波长的光，并且光提高堵塞在喷嘴111中的沉积材料的亮度，从而引起荧光或磷光。根据实施方式，照明单元221和222可以以紫外(UV)光的形式构成，并且当照射UV光时，用于OLED显示器制造过程的有机材料可以是荧光或磷光，但不限于此。

激光器230被构造成向喷嘴111输出激光束，并且激光束可向喷嘴111的堵塞部分提供热能。根据实施方式，激光器230可以以UV激光器的形式构成，但不限于此。

另外，激光器230可通过有线或无线方式与控制器260通信，并且根据控制器260的控制信号控制激光束的输出强度和时间。

激光移动单元240可被构造成将从激光器230输出的激光束移动至喷嘴111上的一个点。

根据实施方式，激光移动单元240可包括将从激光器230输出的激光束朝向喷嘴111上的一个点反射的反射器241以及调整反射器241的角度的旋转电机242。

反射器241的一个表面可被设置成面向激光器230和喷嘴111之间，并且反射器241的另一个表面可连接至旋转电机242。

当然，对激光移动单元240进行了简单描述，可添加扩束器、聚光器等，并且可被构造成在水平方向上移动激光器230或旋转激光器230所指向的角度，但不限于此。

至少一个快门单元251、252和253可被设置成保护第一、第二和第三观察口V1、V2和V3免受沉积材料的影响，并且第一、第二和第三快门单元251、252和253可设置在第一、第二和第三观察口V1、V2和V3和喷嘴111之间以被开闭。

第一快门单元251被设置成开闭第一观察口V1的视野，并且可由设置在第一观察口V1下方以面向第一观察口V1的第一快门251a和控制第一快门251a的运动的第一快门驱动部251b组成。

第一快门251a可被设置为比喷嘴11更靠近距离第一观察口V1，并且可位于第一玻璃G1下方。第一快门驱动部251b可由连接至第一快门251a的一侧的旋转轴和电机组成，但不限于此。

第二快门单元252被设置为开闭第二观察口V2的视野并且可由第二快门252a和第二快门驱动部252b组成。

第三快门单元253被设置为开闭第三观察口V3的视野并且可由第三快门253a和第三快门驱动部253b组成。

第一、第二和第三快门251a、252a和253a通常保持在关闭状态。

因此，当沉积材料在沉积过程期间通过喷嘴111向上排出时，正在蒸发的沉积材料在沉积在第一、第二和第三观察口V1、V2和V3上之前被第一、第二、第三快门251a、252a和253a以及第一、第二和第三玻璃G1、G2和G3双重阻挡，从而保持第一、第二和第三观察口V1、V2和V3处于清洁状态。

当相机210工作时，第一快门251a可暂时性地打开第一观察口V1，但是正在蒸发的沉积材料被第一玻璃G1阻挡，从而保持第一观察口V1清洁。

当照明单元221和222工作时，第二快门252a可暂时性地打开地第二观察口V2，但是正在蒸发的沉积材料被第二玻璃G2阻挡，从而保持第二观察口V2清洁。

当激光器230工作时，第三快门253a可暂时性地打开第三观察口V3，但是正在蒸发的沉积材料被第三玻璃G3阻挡，从而保持第三观察口V3清洁。

控制器260可控制相机210、照明单元221和222、激光器230、激光移动单元240、第一、第二和第三快门单元251、252和253以及监视器270的操作，并通过有线或无线方式传输控制信号。

控制器260可通过控制相机210、照明单元221和222以及第一和第二快门单元251和252的操作来拍摄喷嘴图像、接收喷嘴图像、处理喷嘴图像并将喷嘴图像传送至监视器270。

控制器260可分析喷嘴图像以检测初始堵塞现象或通过操作员的判断根据输入信号判断堵塞，并且将堵塞警报以文本、声音或警告灯的形式传送至监视器270。

已检测到初始堵塞的控制器260可通过控制激光器230、激光移动单元240和第三快门单元253的操作将激光束照射到喷嘴111上的一个点，即检测到初始堵塞的点。

控制器260可均匀地控制激光束的输出强度和时间或根据喷嘴111的堵塞程度进行各种控制以提高激光束的输出强度和时间，但不限于此。

监视器270可显示喷嘴图像和从控制器260传送的堵塞警报。

操作员可通过监视器270上显示的喷嘴图像快速确定喷嘴111的初始堵塞现象，或者检查喷嘴111的堵塞被清除。

图7a和图7b是示出本发明的实施方式的通过堵塞防止模块清除堵塞之前/之后在监视器上显示的喷嘴图像的图。

在本发明的堵塞防止模块清除堵塞之前，通过如图7a所示的喷嘴图像可以清楚地看出，喷嘴111的孔被沉积材料a堵塞。

然而，在本发明的堵塞防止模块通过激光束清除堵塞之后，通过如图7b所示的喷嘴图像可以看出，沉积材料从喷嘴111的孔中完全清除。

上述描述仅说明本发明的技术思想，并且本发明所属领域的技术人员在不脱离本发明的基本特征的情况下可以进行各种修改和变化。

因此，本发明所公开的实施方式不旨在限制本发明的技术精神，而是旨在解释本发明的技术精神，并且本发明的技术精神的范围不受这些实施方式的限制。

本发明的范围应由下述权利要求来解释，并且在其等效范围内的所有技术思想均应被解释为包括在本发明的范围内。

[工业实用性]

本实施方式可提供一种在制造OLED显示器面板时将有机材料以薄膜形状沉积在玻璃基板上的沉积装置系统。