阅读说明：本技术 一种石英晶体谐振器真空镀膜装置 (Vacuum coating device for quartz crystal resonator ) 是由 屈明明 王波 温从众 袁林花 于 2020-07-31 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,涉及真空镀膜技术领域。本发明包括支撑架和箱体,支撑架的左侧上方固定连接有箱体,箱体的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆,轴杆的侧壁上均连接有支撑板,支撑板的下表面开设有第一安装槽,第一安装槽内连接有加热机构,支撑板的上表面开设有第二安装槽,第二安装槽内连接有夹紧机构,真空泵上固定连接有真空管,真空管的另一端固定连接在箱体的右侧壁上。本发明通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上,使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时,磁控靶能够扫射的面积更广,进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜,使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整。(The invention discloses a vacuum coating device for a quartz crystal resonator, and relates to the technical field of vacuum coating. The vacuum pump comprises a support frame and a box body, wherein the box body is fixedly connected above the left side of the support frame, a shaft lever is rotatably connected between the upper side wall and the lower side wall in the box body, supporting plates are respectively connected onto the side walls of the shaft lever, a first mounting groove is formed in the lower surface of each supporting plate, a heating mechanism is connected into the first mounting groove, a second mounting groove is formed in the upper surface of each supporting plate, a clamping mechanism is connected into the second mounting groove, a vacuum tube is fixedly connected onto a vacuum pump, and the other end of the vacuum tube. According to the invention, the supporting plate is uniformly and fixedly connected to the shaft rod, so that the area which can be swept by the magnetron target is wider when the quartz crystal resonator on the supporting plate is coated, the coating can be carried out in the gap of the quartz crystal resonator, and the coating on the surface of the quartz crystal resonator is more complete.)

一种石英晶体谐振器真空镀膜装置

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，特别是涉及一种石英晶体谐振器真空镀膜装置。

背景技术

在石英晶体谐振器的制造过程中，需要对石英晶体谐振器的电极等部件进行银层镀膜，以防止石英晶体谐振器及其零部件氧化，导致石英晶体谐振器使用寿命缩减。现有的石英晶体谐振器镀膜技术主要通过真空镀膜设备进行镀膜加工，但是在现有设备的镀膜过程中，由于石英晶体谐振器并非平面，导致石英晶体谐振器进行真空镀膜时候，石英晶体谐振器之间的间隙处很难镀膜，造成镀膜程度不完整。

发明内容

本发明的目的在于提供一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上，使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整，解决了现有的问题。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，包括支撑架和箱体，所述支撑架的左侧上方固定连接有箱体，所述箱体的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆，所述轴杆的侧壁上均匀固定连接有支撑板，通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上，便可支撑板绕着轴杆转动，使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整，所述支撑板的下表面开设有第一安装槽，所述第一安装槽内固定连接有加热机构，，通过加热机构能够对支撑板进行加热，进而使得支撑板上的石英晶体谐振器温度升高，所述支撑板的上表面开设有第二安装槽，所述第二安装槽内固定连接有夹紧机构，所述箱体的内部左侧壁上固定连接有安装竖板，所述安装竖板的右侧面上均匀固定连接有磁控靶，所述支撑架的上表面右侧固定连接有真空泵，所述真空泵上固定连接有真空管，所述真空管的另一端固定连接在箱体的右侧壁上，通过真空泵能够使得箱体内处于真空状态，以便于进行真空镀膜。

进一步地，所述支撑架的下方对应箱体的位置处固定连接有防护箱，所述轴杆的下端贯穿箱体的下侧壁和支撑架并固定连接有第一齿轮，所述防护箱的内部右侧固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮啮合连接。

进一步地，所述加热机构包括加热盒和电加热丝，所述加热盒固定镶嵌在第一安装槽内，所述加热盒的内部固定连接有电加热丝。

进一步地，所述夹紧机构包括弹簧和夹板，所述第二安装槽的侧壁上对称开设有凹槽，所述凹槽的内部固定连接有弹簧，所述弹簧的末端伸出凹槽并固定连接有夹板，通过设置的弹簧和夹板能够对石英晶体谐振器进行加持，避免支撑板转动时石英晶体谐振器在第二安装槽内晃动，导致镀膜不均匀。

进一步地，所述支撑板的下表面位于加热机构的左右两侧分别固定连接有L型卡板，所述L型卡板的下端卡设在加热机构的下表面。

进一步地，所述夹板的宽度大于凹槽的宽度，所述夹板远离弹簧的一侧面固定连接有夹持垫，能够增大石英晶体谐振器与夹板之间的摩擦力，增强石英晶体谐振器的稳定性。

本发明具有以下有益效果：

1、本发明将第二齿轮与第一齿轮啮合连接，电机转动时能够驱动第二齿轮转动，进而便能够使得第一齿轮驱动轴杆转动，使得支撑板转动起来，通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上，便可支撑板绕着轴杆转动，使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整。

2、本发明通过在支撑板上设置的第二安装槽能够在镀膜时将石英晶体谐振器放置在其内部，通过设置的弹簧和夹板能够对石英晶体谐振器进行加持，避免支撑板转动时石英晶体谐振器在第二安装槽内晃动，导致镀膜不均匀，通过在夹板上粘结夹持垫，能够增大石英晶体谐振器与夹板之间的摩擦力，增强石英晶体谐振器的稳定性。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的防治板俯视结构示意图；

图3为本发明的加热机构安装结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、支撑架；2、箱体；3、轴杆；4、支撑板；401、第一安装槽；402、第二安装槽；5、安装竖板；501、磁控靶；6、防护箱；601、第一齿轮；602、电机；603、第二齿轮；7、真空泵；701、真空管；8、加热机构；801、加热盒；802、电加热丝；803、L型卡板；9、夹紧机构；901、凹槽；902、弹簧；903、夹板；904、夹持垫。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1和图3所示，本发明为一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，包括支撑架1和箱体2，支撑架1的左侧上方固定连接有箱体2，箱体2的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆3，轴杆3的侧壁上均匀固定连接有支撑板4，支撑板4的下表面开设有第一安装槽401，第一安装槽401内固定连接有加热机构8，加热机构8包括加热盒801和电加热丝802，加热盒801固定镶嵌在第一安装槽401内，加热盒801的内部固定连接有电加热丝802，支撑板4的下表面位于加热机构8的左右两侧分别固定连接有L型卡板803，L型卡板803的下端卡设在加热机构8的下表面，通过加热机构8能够对支撑板4进行加热，进而使得支撑板4上的石英晶体谐振器温度升高，通过将支撑板4均匀固定连接在轴杆3上，便可支撑板4绕着轴杆3转动，使得支撑板4上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶501能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整。

其中如图1-2所示，支撑板4的上表面开设有第二安装槽402，第二安装槽402内固定连接有夹紧机构9，夹紧机构9包括弹簧902和夹板903，第二安装槽402的侧壁上对称开设有凹槽901，凹槽901的内部固定连接有弹簧902，弹簧902的末端伸出凹槽901并固定连接有夹板903，夹板903的宽度大于凹槽901的宽度，夹板903远离弹簧902的一侧面固定连接有夹持垫904，通过设置的第二安装槽402能够在镀膜时将石英晶体谐振器放置在其内部，通过设置的弹簧902和夹板903能够对石英晶体谐振器进行加持，避免支撑板4转动时石英晶体谐振器在第二安装槽402内晃动，导致镀膜不均匀，通过在夹板903上粘结夹持垫904，能够增大石英晶体谐振器与夹板903之间的摩擦力，增强石英晶体谐振器的稳定性。

其中如图1所示，箱体2的内部左侧壁上固定连接有安装竖板5，安装竖板5的右侧面上均匀固定连接有磁控靶501，支撑架1的上表面右侧固定连接有真空泵7，真空泵7上固定连接有真空管701，真空管701的另一端固定连接在箱体2的右侧壁上，通过真空泵7能够使得箱体2内处于真空状态，以便于进行真空镀膜。

其中如图1所示，支撑架1的下方对应箱体2的位置处固定连接有防护箱6，轴杆3的下端贯穿箱体2的下侧壁和支撑架1并固定连接有第一齿轮601，防护箱6的内部右侧固定连接有电机602，电机602的输出端固定连接有第二齿轮603，第二齿轮603与第一齿轮601啮合连接，电机602转动时能够驱动第二齿轮603转动，进而便能够使得第一齿轮601驱动轴杆3转动，使得支撑板4转动起来。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本发明的优选实施例，并不限制本发明，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，均属于在本发明的保护范围。