阅读说明：本技术 加热装置及具有其的共蒸发加热装置 (Heating device and co-evaporation heating device with same ) 是由 黄春泉 牙侯固 陈文锋 于 2019-03-26 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种加热装置,包括：底板、加热组件和散热部,所述散热部具有顶面和侧面,所述散热部的顶面和侧面与所述底板合围,形成散热腔体,所述加热组件包括发热部和接线端,所述发热部和所述接线端连接,所述发热部位于所述散热腔体,所述接线端伸出所述散热腔体。该加热装置可以将发热部散发的热量均匀传递,从而使得该加热装置能够提供分布均匀的热量,从而避免产生热传导不均匀造成的缺陷。(The invention discloses a heating device, comprising: the heating assembly comprises a heating part and a wiring terminal, the heating part is connected with the wiring terminal, the heating part is located in the heat dissipation cavity, and the wiring terminal extends out of the heat dissipation cavity. The heating device can evenly transfer the heat emitted by the heating part, so that the heating device can provide the heat which is evenly distributed, and the defect caused by uneven heat conduction is avoided.)

加热装置及具有其的共蒸发加热装置

技术领域

本发明涉及装备制造技术领域，尤其涉及一种加热装置及具有其的共蒸发加热装置。

背景技术

在现代工业生产中，真空技术运用越来越广泛，现有的许多产品生产都需要用到真空设备，在真空中加热设备越来越多，对温度控制要求越来越高。

共蒸发设备是应用共蒸发工艺制作太阳能电池的核心装置之一。目前共蒸发设备采用的是电阻丝加热，大部分使用电阻丝加热直接传递热量到加热件，这种加热方式，一方面，采用直接加热对加热件加热会导致加热不均匀，而共蒸发设备对加热件温度均匀性要求高，现有加热方式无法满足工艺要求。另一方面，由于电阻丝的排布，可能会导致部分区域得不到有效的加热，从而造成工艺缺陷。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明一方面提供了一种加热装置，包括：底板、加热组件和散热部，所述散热部具有顶面和侧面，所述散热部的顶面和侧面与所述底板合围，形成散热腔体，所述加热组件包括发热部和接线端，所述发热部和所述接线端连接，所述发热部位于所述散热腔体，所述接线端伸出所述散热腔体。

根据本发明的加热装置，通过设置底板、加热组件和散热部，散热部的顶面和侧面与底板合围形成散热腔体，加热组件包括发热部和接线端，发热部和接线端连接，发热部位于散热腔体，接线端伸出散热腔体。这样可以通过接线端接通电源，使得发热部在散热腔体内部散发热量；散热部的顶面和侧面具有较好的热传导效果，可以将发热部散发的热量均匀传递，从而使得该加热装置能够提供分布均匀的热量，从而避免产生热传导不均匀造成的缺陷。

可选地，所述发热部包括至少两排发热丝，所述至少两排发热丝互相连接且平行设置。

可选地，还包括隔热板，所述隔热板设置于所述底板靠近所述加热组件的表面。

可选地，还包括定位件，所述定位件位于所述散热腔体内，用于将所述发热部固定于所述底板，且连接所述散热部的顶面和所述底板。

可选地，还包括卡销，所述卡销设置于所述定位件的两端，用于紧固所述定位件与所述散热部的顶面和所述底板的连接。

可选地，所述散热部的顶面材料为碳-碳复合材料。

可选地，所述接线端为至少两个。

本发明另一方面提供了一种共蒸发加热装置，包括壳体和如上所述的加热装置，所述加热装置位于所述壳体内。

可选地，包括用于蒸发工艺的蒸发源，所述蒸发源位于所述壳体内，且与所述加热装置相对设置。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1为本发明实施例加热装置的结构示意图。

图2为本发明实施例加热装置的另一角度结构示意图。

图3为本发明实施例加热装置的另一角度结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本发明实施例提供的方案设计一种加热装置100，如图1所示，包括底板10、加热组件20和散热部30，所述散热部30具有顶面31和侧面32，所述散热部30的顶面31和侧面32与所述底板10合围，形成散热腔体40，所述加热组件20包括发热部21和接线端22，所述发热部21和所述接线端22连接，所述发热部21位于所述散热腔体40，所述接线端22伸出所述散热腔体40。

根据本发明的加热装置100，通过设置底板10、加热组件20和散热部30，散热部30的顶面31和侧面32与底板10合围形成散热腔体40，加热组件20包括发热部21和接线端22，发热部21和接线端22连接，发热部21位于散热腔体40，接线端22伸出散热腔体40。这样可以通过接线端22接通电源，使得发热部21在散热腔体40内部散发热量；散热部30的顶面31和侧面32具有较好的热传导效果，可以将发热部21散发的热量均匀传递，从而使得该加热装置100能够提供分布均匀的热量，从而避免产生热传导不均匀造成的缺陷。

在本发明实施例中，散热部30的顶面31和侧面32与底板10合围形成散热腔体40。散热腔体40为长方体，散热部30的顶面31构成长方体的顶面，散热部30的侧面32构成长方体的侧面，底板10构成长方体的地面。顶面31、侧面32和底板10形成的散热腔体40用于容纳发热部21。发热部21作为本加热装置的发热源，设置在散热腔体40有利于热量的保存及传递。将加热组件20的接线端22设置在散热腔体40外部，便于加热组件20与电源连通，有利于为加热装置100供电。散热部30的顶面31可吸收发热部21散发的热量，再将热量传递到与其正对的待加热件上，散热部30的存在，避免了发热部21直接对待加热件进行加热，散热部30可将发热部21散发的热量均匀的扩散到待加热件上，使得加热装置100能够提供分布均匀的热量，从而避免热传导不均匀的问题。

在一些实施例中，发热部21包括至少两排发热丝211，至少两排发热丝211互相连接且平行设置。发热丝211作为加热装置的发热材料可选用铁铬铝或镍铬电热合金，具有通电即可发热，发热效果好、发热温度高、使用寿命长、表面负荷高、抗氧化性能好等优点。而选用至少两排发热丝平行设置，可以增大发热部21的发热面积，确保散热部30能对待加热件均匀加热。

在一些实施例中，加热装置100还包括隔热板50，隔热板50设置于底板10靠近加热组件20的表面。隔热板50可以阻隔发热部21散发的热量往底板10一侧发散。待加热件设置在散热部30的对面，同时远离底板10，因此在底板10靠近加热组件20的表面设置隔热板50可以避免热量的流失，同时对底板10起到一定的保护作用。

在一些实施例中，加热装置100还包括定位件60，所述定位件60位于所述散热腔体40内，用于将所述发热部21固定于所述底板10，且连接所述散热部30的顶面31和所述底板10。定位件60起到连接固定的作用，一方面定位件60可以对发热部21进行定位固定，避免发热部21发生脱落和位移，从而影响加热装置100的稳定性。另一方面定位件60还可以固定连接散热部30的顶面31和底板10，使得加热装置100结构稳定性更高。

在一些实施例中，加热装置100还包括卡销70，所述卡销70设置于所述定位件60的两端，用于紧固所述定位件60与所述散热部30的顶面31和所述底板10的连接。卡销70与定位件60的连接不易发生脱落和松动，连接的稳定性更高。当然也可以采用其他的固定连接方式来连接定位件60、散热部30的顶面31和所述底板10。本实施例采用卡销70进行连接还具有方便拆卸、便于维修和养护的优点。

在一些实施例中，散热部30的顶面31材料选用碳-碳复合材料。碳-碳复合材料是碳纤维及其织物增强的碳基体复合材料。具有低密度、高强度、高比模量、高导热性、低膨胀系数、摩擦性能好，以及抗热冲击性能好、尺寸稳定性高等优点。采用碳-碳复合材料的顶面31能将发热部21散发的热量均匀的扩散到待加热件上，使得加热装置100能够提供分布均匀的热量，从而避免热传导不均匀的问题。

另外，接线端22为至少两个，便于连接电源的正负极，为加热装置100供电。

本发明实施例还提供了一种共蒸发加热装置，包括壳体、用于蒸发工艺的蒸发源和如上所述的加热装置，加热装置和蒸发源均位于壳体内，蒸发源与加热装置相对设置。待加工件位于蒸发源与加热装置之间。蒸发源可进行蒸发工艺，加热装置可为待加工件提供均匀的受热。采用该共蒸发加热装置的产品稳定性好、质量高。

虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。